JP6948167B2 - 半導体装置、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents
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Description
図1の回路図を参照して、半導体装置100の構成について説明する。方向を説明するために、半導体装置100の表面に沿った座標系SYSを設定する。以下の例では座標系SYSは直交座標系であるが、2つの軸(x軸及びy軸)は交差していればよい。例えば、2つの軸がなす角度は、80度以上90度未満であってもよく、60度程度であってもよく、45度程度であってもよい。
図4を参照して、第2実施形態に係る半導体装置400について説明する。第1実施形態の半導体装置100との相違点について主に説明し、同様であってもよい構成については説明を省略する。半導体装置400は、複数の吐出用ヒータ101が配された領域109を複数(この例では2つ)有する。複数の吐出用ヒータ101を2列有することによって、半導体装置400は、倍の密度でインクを吐出可能になる。
図5を参照して、第3実施形態に係る半導体装置500について説明する。第1実施形態の半導体装置100との相違点について主に説明し、同様であってもよい構成については説明を省略する。半導体装置500は、複数の吐出用ヒータ101が配された領域109を複数(この例では6つ)有する。上から1列目と2列目の領域109の間と、3列目と4列目の領域109の間と、5列目と6列目の領域109の間とにそれぞれ液体供給口401が配置されている。この3つの液体供給口401には異なる色の液体が供給されてもよく、各列に含まれる吐出用ヒータ101は色に応じた形状を有してもよい。
図6(a)は、インクジェット方式のプリンタ、ファクシミリ、コピー機等に代表される液体吐出装置1600の内部構成を例示している。本例で液体吐出装置は記録装置と称されてもよい。液体吐出装置1600は、所定の媒体P(本例では紙等の記録媒体)に液体(本例ではインク、記録剤)を吐出する液体吐出ヘッド1510を備える。本例では液体吐出ヘッドは記録ヘッドと称されてもよい。液体吐出ヘッド1510はキャリッジ1620の上に搭載され、キャリッジ1620は、螺旋溝1604を有するリードスクリュー1621に取り付けられうる。リードスクリュー1621は、駆動力伝達ギア1602及び1603を介して、駆動モータ1601の回転に連動して回転しうる。これにより、液体吐出ヘッド1510は、キャリッジ1620と共にガイド1619に沿って矢印a又はb方向に移動しうる。
Claims (18)
- 液体吐出ヘッドに用いられる半導体装置であって、
液体にエネルギーを付与するための複数の第1ヒータと、
抵抗値が測定される複数の第2ヒータと、
複数のスイッチ素子と、
第1配線と、
第2配線と、
を備え、
前記複数の第2ヒータのそれぞれは、前記複数のスイッチ素子のうち対応する1つとともに、前記第1配線と前記第2配線との間に直列に接続されており、
前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータの製造誤差を推定可能なように、電流が流れる方向における長さと当該方向に交差する方向における幅との少なくとも一方が互いに異なる複数の形状を有し、
前記複数の第1ヒータの2つの端子の少なくとも一方の接続先は、前記第2ヒータの2つの端子の接続先とは異なる
ことを特徴とする半導体装置。 - 液体吐出ヘッドに用いられる半導体装置であって、
液体にエネルギーを付与するための複数の第1ヒータと、
抵抗値が測定される複数の第2ヒータと、
複数のスイッチ素子と、
第1配線と、
第2配線と、
を備え、
前記複数の第2ヒータのそれぞれは、前記複数のスイッチ素子のうち対応する1つとともに、前記第1配線と前記第2配線との間に直列に接続されており、
前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータの製造誤差を推定可能なように、幅と長さとの少なくとも一方が異なる複数の形状を有し、
前記複数の第1ヒータは、第1方向に並んでおり、
前記複数の第2ヒータは、前記第1方向に並んでおり、
前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータが配置された領域に対して、前記第1方向と交差する第2方向に位置する
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータが配置された領域の中央部分に対して前記第2方向に位置するヒータを含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータが配置された領域の端部に対して前記第2方向に位置するヒータを含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 液体吐出ヘッドに用いられる半導体装置であって、
液体にエネルギーを付与するための複数の第1ヒータと、
抵抗値が測定される複数の第2ヒータと、
複数のスイッチ素子と、
第1配線と、
第2配線と、
を備え、
前記複数の第2ヒータのそれぞれは、前記複数のスイッチ素子のうち対応する1つとともに、前記第1配線と前記第2配線との間に直列に接続されており、
前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータの製造誤差を推定可能なように、幅と長さとの少なくとも一方が異なる複数の形状を有し、
前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータの何れかに対して幅又は長さの差が10%以上であるヒータを含む
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記複数の第1ヒータと前記複数の第2ヒータとは同一の層に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記複数の第2ヒータは、前記複数の第1ヒータの何れかと長さ又は幅が等しいヒータを含むことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線の一端に接続された第1端子と、
前記第2配線の一端に接続された第2端子とを更に備え、
前記第1端子と前記第2端子との間の電圧又は電流を測定することによって、前記複数の第2ヒータの抵抗値が測定されることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1配線の前記第1端子とは反対側に接続された第3端子と、
前記第2配線の前記第2端子とは反対側に接続された第4端子とを更に備え、
前記第3端子と前記第4端子との間の電圧又は電流を更に測定することによって、前記複数の第2ヒータの抵抗値が測定されることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - ヒータを介さずに前記第1配線と前記第2配線との間に接続されたスイッチ素子を更に含むことを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記複数の第1ヒータに接続された複数のパワートランジスタと、
前記複数のスイッチ素子のオン・オフ及び前記複数のパワートランジスタのオン・オフを制御する制御回路とを更に備え、
前記制御回路は、前記複数のスイッチ素子のオン・オフを制御するための回路構成と、前記複数のパワートランジスタのオン・オフを制御するための回路構成とに共有部分を有することを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記複数の第1ヒータに対して吐出口が配置され、
前記複数の第2ヒータに対して吐出口が配置されていない
ことを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記複数のスイッチ素子は前記第1配線と前記第2配線との何れかである共通配線に接続され、前記複数の第2ヒータの、スイッチ素子と接続される端子ではない方の端子は、前記複数の第1ヒータが接続されるパッドとは異なるパッドに接続されることを特徴とする請求項1乃至12の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記複数の第2ヒータは、幅と長さとが互いに等しいヒータを含むことを特徴とする請求項1乃至13の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1ヒータは吐出用ヒータであり、前記第2ヒータは測定用ヒータであることを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載の半導体装置。
- 請求項1乃至14の何れか1項に記載の半導体装置と、前記半導体装置によって液体の吐出が制御される吐出口と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 請求項16に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに液体を吐出させるための駆動信号を供給する供給手段と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
- 前記第1配線の一端に接続された第1端子と、前記第2配線の一端に接続された第2端子との間の電圧又は電流を測定し、測定の結果に基づいて前記複数の第2ヒータの抵抗値を算出する検出回路を更に備えることを特徴とする請求項17に記載の液体吐出装置。
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