JP6939857B2 - 電気光学装置、および電子機器 - Google Patents
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Description
素電極に対向する対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に配置された電気光学
層と、前記基板と前記画素電極との間に配置された絶縁層と、前記絶縁層と前記電気光学
層との間に配置され、前記絶縁層に接触する配線または電極である導電膜を含み、前記画
素電極に電気的に接続された容量と、前記絶縁層に設けられ、前記導電膜に接続される導
電部と、を有し、前記導電部は、前記導電膜を構成する材料とは異なる材料で構成され、
かつ前記絶縁層の厚さ方向からみて前記導電膜と重なり、前記導電部における前記導電膜
と接触する面は、前記絶縁層における前記導電膜と接触する面と前記厚さ方向における位
置が異なる部分を有する。
本発明の電気光学装置の一例として、アクティブマトリクス方式の液晶装置を例に説明する。
1A−1.基本構成
図1は、第1実施形態に係る電気光学装置100の平面図である。図2は、図1中のA−A線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を適宜用いて説明する。また、X軸に沿う一方向をX1方向といい、X1方向とは反対の方向をX2方向という。同様に、Y軸に沿う一方向をY1方向といい、Y1方向とは反対の方向をY2方向という。Z軸に沿う一方向をZ1方向といい、Z1方向とは反対の方向をZ2方向という。
向膜46とを有する。共通電極45は「対向電極」の例示である。液晶層9は「電気光学
層」の例示である。第2基体41、絶縁膜42、共通電極45および第2配向膜46は、
この順に並ぶ。第2配向膜46が最も液晶層9側に位置する。第2基体41は、透光性お
よび絶縁性を有する平板で構成される。第2基体41は、例えば、ガラスまたは石英等で
構成される。絶縁膜42は、例えば酸化ケイ素等の透光性および絶縁性を有するケイ素系
の無機材料で形成される。共通電極45は、例えばITOまたはIZO等の透明導電材料
で構成される。第2配向膜46は、液晶層9の液晶分子を配向させる。第2配向膜46の
構成材料としては、例えばポリイミドおよび酸化ケイ素等が挙げられる。
図3は、素子基板2の電気的な構成を示す等価回路図である。図3に示すように、素子基板2には、n本の走査線244とm本のデータ線246とn本の容量線としての第1定電位線245と、が設けられる。nおよびmはそれぞれ2以上の整数である。
ぶ。また、n本の第1定電位線245は、複数のデータ線246および複数の走査線24
4と絶縁され、これらに対して離間して形成される。第1定電位線245には、例えばグ
ランド電位等の固定電位が印加される。また、第1定電位線245と画素電極28との間
には、液晶容量に保持される電荷のリークを防止するために蓄積容量200が液晶容量と
並列に配置される。蓄積容量200は、供給された画像信号Smに応じて画素電極28の
電位を保持するための容量素子である。蓄積容量200は「容量」の例示である。
図4は、素子基板2の一部を示す断面図である。以下の説明では、Z1方向を上方とし、Z2方向を下方として説明する。図4に示すように、素子基板2の第1基体21には、遮光体241が設けられる。遮光体241は、トランジスター23ごとに設けられる。遮光体241は、遮光性および導電性を有する。遮光性とは、可視光に対する遮光性を意味し、具体的には可視光の透過率が10%以下であることをいう。なお、遮光体241は、第1基体21に設けられる凹部内に配置される。遮光体241の構成材料としては、例えば、タングステン(W)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、鉄(Fe)およびアルミニウム(Al)等の金属、金属窒化物ならびに金属シリサイド等が挙げられる。これらの中でも、タングステンを用いることが好ましい。タングステンは耐熱性に優れるため、タングステンを用いることで、遮光体241によってトランジスター23への光の入射を特に効果的に防ぐことができる。
図6は、下部容量電極251に接続されるコンタクト部272を示す断面図である。なお、コンタクト部272〜274は、同様の構成であるため、以下ではコンタクト部272について代表して説明する。また、以下の説明では、コンタクト部272が「導電部」に相当し、層間絶縁膜225が「絶縁層」に相当し、第1定電位線245が「第2導電膜」に相当し、第1容量25の下部容量電極251が「導電膜」に相当する。よって、下部容量電極251は「第1導電膜」に相当する。下部容量電極251は、層間絶縁膜225と前述の液晶層9との間に位置する。
第2実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
第3実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
電気光学装置100は、各種電子機器に用いることができる。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板に配置された画素電極と、
前記画素電極に対向する対向電極と、
前記画素電極と前記対向電極との間に配置された電気光学層と、
前記基板と前記画素電極との間に配置された絶縁層と、
前記絶縁層と前記電気光学層との間に配置され、前記絶縁層に接触する配線または電極である導電膜を含み、前記画素電極に電気的に接続された容量と、
前記絶縁層に設けられたコンタクトホール内に配置され、前記導電膜に接続される導電部と、を有し、
前記導電部は、前記導電膜を構成する材料とは異なる材料で構成され、かつ前記絶縁層の厚さ方向からみて前記導電膜と重なり、
前記導電部における前記導電膜と接触する領域は、前記絶縁層における前記導電膜と接触する領域と前記厚さ方向における位置が異なる部分を有し、
前記導電部は、タングステンを含む第1層と、前記第1層と前記絶縁層との間に配置され、前記第1層と異なる材料で構成される第2層とを含み、
前記第1層における前記導電膜と接触する領域の位置と、前記第2層における前記導電膜と接触する領域の位置とは、前記厚さ方向において異なることを特徴とする電気光学装置。 - 前記導電膜は、配線である請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記導電膜は、容量電極である請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記導電膜における前記絶縁層と反対の面は、凹凸を有する請求項1から3のいずれか1項に記載の電気光学装置。
- 前記導電膜は、第1導電膜であり、
前記絶縁層における前記第1導電膜とは反対に設けられ、配線または電極である第2導電膜を備え、
前記導電部は、前記厚さ方向からみて前記第2導電膜と重なり、前記第2導電膜に接続される請求項1から4のいずれか1項に記載の電気光学装置。 - 前記画素電極と隣り合う第2画素電極とを有し、
前記導電部は、前記厚さ方向からみて前記画素電極と前記第2画素電極との間に位置する請求項1から5のいずれか1項に記載の電気光学装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の電気光学装置と、
前記電気光学装置の動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする電子機器。
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