JP6935171B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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Description
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置の構成例について説明する。
図1に、本発明の一態様にかかる半導体装置10の構成例を示す。半導体装置10は、セルアレイ20、制御回路30、読み出し回路40を有する。
次に、半導体装置10の動作について説明する。以下、図2に示すメモリセル21において、特に多値データの読み書きを行う際の動作例について説明する。
まず、メモリセル21に書き込むデータに対応する電位(以下、書き込み電位ともいう)を配線CLに供給する。例えば、メモリセル21に4値のデータを記憶する場合は、4値の電位V1、V2、V3、V4(V1>V2>V3>V4)のいずれかを選択し、配線CLに供給する。また、配線WEBの電位をローレベルとして、配線BLの電位に所定の電位(ここではハイレベル)を供給する。なお、ここでは配線BLの電位はV1以上とする。そして、配線WLに選択信号を供給して、トランジスタ101をオン状態とする。これにより、配線BLからノードSNにハイレベルの電位が供給される。
次に、メモリセル21からデータを読み出す動作について説明する。まず、配線WEBの電位をローレベルとして配線BLの電位をハイレベルにプリチャージした後、配線WEBの電位をハイレベルとして配線BLを浮遊状態とする。その後、配線WLに選択信号を供給してトランジスタ101をオン状態とする。これにより、配線BLとノードSNが導通状態となる。
次に、メモリセル21へのデータの書き戻しについて説明する。図2に示すメモリセル21は、読み出し動作時にノードSNに蓄積された電荷を開放する破壊読み出しである。そのため、読み出し動作後に引き続きデータを保持する場合は、以下のように読み出したデータを再度メモリセル21に書き込む動作(書き戻し動作)を行う。
次に、図2に示すメモリセル21、回路31、回路41の具体的な動作の一例を、図4のタイミングチャートを用いて説明する。なお、期間T11から期間T13は、メモリセル21へのデータの書き込みを行う期間であり、期間T21から期間T26は、メモリセル21からのデータの読み出しを行う期間であり、期間T31から期間T33は、メモリセル21へのデータの書き戻しを行う期間である。ここでは一例として、メモリセル21において4値のデータの読み書きを行う動作について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置の変形例について説明する。
図5に、メモリセル21の変形例を示す。図5に示すメモリセル21は、トランジスタ101が一対のゲートを有している点で図2と異なる。すなわち、図5におけるトランジスタ101は、図2におけるトランジスタ101にバックゲートが設けられた構成を有する。
図6に、回路31、回路41の変形例を示す。
半導体装置10は、制御回路30、読み出し回路40が別の層に形成され、メモリセル21、回路31、回路41が積層された構成を有していてもよい。メモリセル21、回路31、回路41が積層された構成の例を、図7に示す。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置を用いた記憶装置およびコンピュータについて説明する。
図9は、上記実施の形態で説明した半導体装置10を有する記憶装置の構成例を示すブロック図である。
図10は、図9で説明した行選択ドライバ310の構成例を示すブロック図である。
図11は、図9で説明した列選択ドライバ320のうち、特に配線CLに供給する信号を制御する機構の構成例を示すブロック図である。
図12は、上記の記憶装置を有するコンピュータの構成例を示すブロック図である。
本実施の形態では、開示する発明の一態様に係るトランジスタについて説明する。
図13(A)乃至図13(C)は、トランジスタ1400aの上面図および断面図である。図13(A)は上面図である。図13(B)は、図13(A)に示す一点鎖線A1−A2に対応する断面図であり、図13(C)は、図13(A)に示す一点鎖線A3−A4に対応する断面図である。なお、図13(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。なお、一点鎖線A1−A2をトランジスタ1400aのチャネル長方向、一点鎖線A3−A4をトランジスタ1400aのチャネル幅方向と呼ぶ場合がある。
まず、金属酸化物1431乃至金属酸化物1433に適用可能な金属酸化物について説明を行う。
基板1450としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板(イットリア安定化ジルコニア基板など)、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えばSOI(Silicon On Insulator)基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
絶縁膜1401は、基板1450と導電膜1414を電気的に分離させる機能を有する。
導電膜1411乃至導電膜1414して、銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、アルミニウム(Al)、マンガン(Mn)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉛(Pb)、錫(Sn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、ストロンチウム(Sr)の低抵抗材料からなる単体、合金、またはこれらを主成分とする化合物を含む導電膜の単層または積層とすることが好ましい。特に、耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましい。また、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。さらに、Cu−Mn合金を用いると、酸素を含む絶縁体との界面に酸化マンガンを形成し、酸化マンガンがCuの拡散を抑制する機能を持つので好ましい。
導電膜1421乃至導電膜1424として、銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、アルミニウム(Al)、マンガン(Mn)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉛(Pb)、錫(Sn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、ストロンチウム(Sr)の低抵抗材料からなる単体、合金、またはこれらを主成分とする化合物を含む導電膜の単層または積層とすることが好ましい。特に、耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましい。また、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。さらに、Cu−Mn合金を用いると、酸素を含む絶縁体との界面に酸化マンガンを形成し、酸化マンガンがCuの拡散を抑制する機能を持つので好ましい。
領域1441、領域1442は、例えば、導電膜1421、導電膜1423が、金属酸化物1431、金属酸化物1432の酸素を引き抜くことで形成される。酸素の引き抜きは、高い温度で加熱するほど起こりやすい。トランジスタの作製工程には、いくつかの加熱工程があることから、領域1441、領域1442には酸素欠損が形成される。また、加熱により該酸素欠損のサイトに水素が入りこみ、領域1441、領域1442に含まれるキャリア密度が増加する。その結果、領域1441、領域1442が低抵抗化する。
絶縁膜1406は、比誘電率の高い絶縁体を有することが好ましい。例えば、絶縁膜1406は、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、またはシリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物などを有することが好ましい。
図13に示すトランジスタ1400aは、導電膜1414及び絶縁膜1402、絶縁膜1403を省略してもよい。その場合の例を図16に示す。
図17に示すトランジスタ1400cにおいて、A3−A4方向に、金属酸化物1431、1432の幅を広げてもよい。その場合の例を図18に示す。
図17に示すトランジスタ1400cにおいて、A3−A4方向に、金属酸化物1431、金属酸化物1432から成る領域(以下、フィンと呼ぶ)を複数設けてもよい。その場合の例を図19に示す。
図20(A)乃至図20(D)は、トランジスタ1400fの上面図および断面図である。図20(A)は、トランジスタ1400fの上面図であり、図20(B)は図20(A)に示す一点鎖線A1−A2に対応する断面図であり、図20(C)は一点鎖線A3−A4に対応する断面図である。なお、一点鎖線A1−A2をチャネル長方向、一点鎖線A3−A4をチャネル幅方向という場合がある。トランジスタ1400fもトランジスタ1400a等と同様に、s−channel構造のトランジスタである。トランジスタ1400fでは、ゲート電極を構成する導電膜1412の側面に接して、絶縁膜1409が設けられている。絶縁膜1409および導電膜1412が絶縁膜1407に覆われている。絶縁膜1409はトランジスタ1400fのサイドウォール絶縁膜として機能する。トランジスタ1400aと同様に、ゲート電極を導電膜1411乃至導電膜1413の積層としてもよい。
図21(A)及び図21(B)は、トランジスタ1680の上面図および断面図である。図21(A)は上面図であり、図21(A)に示す一点鎖線A−B方向の断面が図21(B)に相当する。なお、図21(A)及び図21(B)では、図の明瞭化のために一部の要素を拡大、縮小、または省略して図示している。また、一点鎖線A−B方向をチャネル長方向と呼称する場合がある。
本実施の形態では、上記実施の形態に示す半導体装置10に適用可能なデバイスの構成例について、図22乃至図25を用いて説明を行う。
図22(A)、図22(B)は半導体装置10の断面図の一部を示している。図22(A)は、半導体装置10のメモリセル21を構成するトランジスタのチャネル長方向の断面図を表している。また、図22(B)は、半導体装置10のメモリセル21を構成するトランジスタのチャネル幅方向の断面図を表している。
半導体装置10は、半導体装置10が有する全てのOSトランジスタを、同一の層に形成してもよい。その場合の例を、図23(A)、図23(B)に示す。図22と同様に、図23(A)は半導体装置10のメモリセル21を構成するトランジスタのチャネル長方向の断面図を表し、図23(B)は半導体装置10のメモリセル21を構成するトランジスタのチャネル幅方向の断面図を表している。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明したOSトランジスタに適用可能な酸化物半導体膜の構造について説明する。
CAAC−OS膜は、c軸配向した複数の結晶部を有する酸化物半導体膜の一つである。
微結晶酸化物半導体膜は、高分解能TEM像において、結晶部を確認することのできる領域と、明確な結晶部を確認することのできない領域と、を有する。微結晶酸化物半導体膜に含まれる結晶部は、1nm以上100nm以下、または1nm以上10nm以下の大きさであることが多い。特に、1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の微結晶であるナノ結晶(nc:nanocrystal)を有する酸化物半導体膜を、nc−OS膜と呼ぶ。また、nc−OS膜は、例えば、高分解能TEM像では、結晶粒界を明確に確認できない場合がある。
非晶質酸化物半導体膜は、膜中における原子配列が不規則であり、結晶部を有さない酸化物半導体膜である。石英のような無定形状態を有する酸化物半導体膜が一例である。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した半導体装置10を構成する絶縁層、導電層、半導体層等の成膜方法について説明する。
本実施の形態では、上述の実施の形態で説明した半導体装置または記憶装置を電子部品に適用する例、及び該電子部品を具備する電子機器に適用する例について、図26、図27を用いて説明する。
図26(A)では上記実施の形態で説明し半導体装置を電子部品に適用する例について説明する。なお電子部品は、半導体パッケージ、又はIC用パッケージともいう。この電子部品は、端子取り出し方向や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在する。そこで、本実施の形態では、その一例について説明することにする。
次に上述した電子部品を適用した電子機器について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置または記憶装置を備えることができるRFタグの使用例について図28を用いながら説明する。RFタグの用途は広範にわたるが、例えば、紙幣、硬貨、有価証券類、無記名債券類、証書類(運転免許証や住民票等、図28(A)参照)、記録媒体(DVDやビデオテープ等、図28(B)参照)、包装用容器類(包装紙やボトル等、図28(C)参照)、乗り物類(自転車等、図28(D)参照)、身の回り品(鞄や眼鏡等)、食品類、植物類、動物類、人体、衣類、生活用品類、薬品や薬剤を含む医療品、または電子機器(液晶表示装置、EL表示装置、テレビジョン装置、または携帯電話)等の物品、若しくは各物品に取り付ける荷札(図28(E)、図28(F)参照)等に設けて使用することができる。
本実施例では、上記実施の形態で用いることができるOSトランジスタの特性の測定結果について説明する。
まず、OSトランジスタとSiトランジスタの温度特性を測定した。図29(A)に、OSトランジスタのゲート電圧VG−ドレイン電流ID特性、及びゲート電圧VG−電界効果移動度μFE特性の温度依存性の測定結果を示す。また、図29(B)に、Siトランジスタのゲート電圧VG−ドレイン電流ID特性、及びゲート電圧VG−電界効果移動度μFE特性の温度依存性の測定結果を示す。なお、図29(A)、(B)においては、−25℃、50℃、150℃の温度での各電気特性の測定結果を示している。また、ドレイン電圧VDは1Vとしている。
次に、OSトランジスタと、Siトランジスタの耐圧性に関する測定を行った。図30に、SiトランジスタとOSトランジスタのVD−ID特性の測定結果を示す。図30では、SiトランジスタとOSトランジスタとについて同じ条件での耐圧を比較するために、共にチャネル長を0.9μmとし、チャネル幅を10μmとし、酸化シリコンを用いたゲート絶縁膜の膜厚を20nmとしている。なお、ゲート電圧は、2Vとしている。
20 セルアレイ
21 メモリセル
30 制御回路
31 回路
40 読み出し回路
41 回路
50 容量
101 トランジスタ
102 容量素子
110 トランジスタ
120 トランジスタ
300 記憶装置
310 行選択ドライバ
311 デコーダ
312 制御回路
313 制御回路
320 列選択ドライバ
321 デコーダ
322 ラッチ回路
323 D/Aコンバータ
324 スイッチ回路
325 トランジスタ
326 トランジスタ
400 コンピュータ
410 入力装置
420 出力装置
430 中央演算処理装置
431 制御回路
432 演算回路
433 記憶装置
434 記憶装置
440 主記憶装置
1400a トランジスタ
1400b トランジスタ
1400c トランジスタ
1400d トランジスタ
1400e トランジスタ
1400f トランジスタ
1401 絶縁膜
1402 絶縁膜
1403 絶縁膜
1404 絶縁膜
1405 絶縁膜
1406 絶縁膜
1407 絶縁膜
1408 絶縁膜
1409 絶縁膜
1411 導電膜
1412 導電膜
1413 導電膜
1414 導電膜
1415 開口部
1421 導電膜
1422 導電膜
1423 導電膜
1424 導電膜
1430 金属酸化物
1431 金属酸化物
1431a 金属酸化物
1431b 金属酸化物
1431c 金属酸化物
1432 金属酸化物
1432a 金属酸化物
1432b 金属酸化物
1432c 金属酸化物
1433 金属酸化物
1441 領域
1442 領域
1450 基板
1451 低抵抗領域
1452 低抵抗領域
1461 領域
1461a 領域
1461b 領域
1461c 領域
1461d 領域
1461e 領域
1462 領域
1463 領域
1680 トランジスタ
1681 絶縁膜
1682 半導体
1683 導電膜
1684 導電膜
1685 絶縁膜
1686 絶縁膜
1687 絶縁膜
1688 導電膜
1689 導電膜
1700 基板
1701 素子分離層
1702 絶縁体
1703 絶縁体
1704 絶縁体
1705 絶縁体
1706 絶縁体
1710 導電体
1711 導電体
1712 導電体
1713 導電体
1714 導電体
1715 導電体
1716 導電体
1717 導電体
1718 導電体
1719 導電体
1730 配線
1731 配線
1732 配線
1733 配線
1734 配線
1735 配線
1736 配線
1737 配線
1751 電極
1752 電極
1753 絶縁体
1790 ゲート電極
1792 ウェル
1793 チャネル形成領域
1794 低濃度不純物領域
1795 高濃度不純物領域
1796 導電性領域
1797 ゲート絶縁膜
1798 側壁絶縁層
1799 側壁絶縁層
4000 RFタグ
4700 電子部品
4701 リード
4702 プリント基板
4703 回路部
4704 回路基板
5201 筐体
5202 筐体
5203 表示部
5204 表示部
5205 マイクロホン
5206 スピーカ
5207 操作キー
5208 スタイラス
5301 筐体
5302 冷蔵室用扉
5303 冷凍室用扉
5401 筐体
5402 表示部
5403 キーボード
5404 ポインティングデバイス
5601 筐体
5602 筐体
5603 表示部
5604 表示部
5605 接続部
5606 操作キー
5701 車体
5702 車輪
5703 ダッシュボード
5704 ライト
5801 筐体
5802 筐体
5803 表示部
5804 操作キー
5805 レンズ
5806 接続部
Claims (3)
- 第1のトランジスタ及び容量素子を有するメモリセルと、第2のトランジスタと、を有し、
前記メモリセルに書き込むデータは、2ビット以上のデータであり、
前記第1のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の配線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記容量素子の一方の電極と電気的に接続され、
前記容量素子の他方の電極は、第2の配線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第1の配線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第3の配線と電気的に接続され、
前記メモリセルへのデータの書き込み動作は、
前記第2の配線に、前記メモリセルに書き込むデータに応じた第1の電位を供給する第1の動作と、
前記第1の動作の後、前記第1のトランジスタをオン状態とすることにより、前記容量素子の一方の電極に所定の電位を供給する第2の動作と、
前記第2の動作の後、前記第1のトランジスタをオフ状態とし、前記第2の配線の電位を前記第1の電位から第2の電位に変化させることにより、前記容量素子の一方の電極の電位を前記第1の電位に応じた第3の電位とする第3の動作と、を有し、
前記メモリセルからデータを読み出す動作は、
前記第3の動作の後、前記第1の配線を浮遊状態にする第4の動作と、
前記第4の動作の後、前記第1のトランジスタをオン状態とすることにより、前記第1の配線の電位を前記第3の電位に応じた第4の電位とし、前記第3の配線の電位を前記第4の電位に応じた電位とする第5の動作と、を有し、
前記第5の動作の際に、前記第2の配線の電位を順次変化させる半導体装置。 - 請求項1において、
前記メモリセルは、前記第2のトランジスタ上に積層されている半導体装置。 - 請求項1または2において、
前記容量素子の容量値は、前記第1の配線に付加された寄生容量の容量値よりも大きい半導体装置。
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