JP6930115B2

JP6930115B2 - 液体吐出装置

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Publication number: JP6930115B2
Application number: JP2017008896A
Authority: JP
Inventors: 大輝竜田; 亮治藤森; 小池　薫; 薫小池
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2017-01-20
Filing date: 2017-01-20
Publication date: 2021-09-01
Anticipated expiration: 2037-01-20
Also published as: EP3351393A1; US20180207944A1; US10618307B2; JP2018114737A; EP3351393B1

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

ノズルからインク等の液体を吐出する液体吐出装置では、液体を流通させる液体流路の他に、弁などの駆動用の気体を流通させる気体流路を備え、その気体流路が加圧室と減圧室とで兼用される場合がある。例えば特許文献１では、液体流路を減圧して気泡を取り除く減圧脱泡室と、ダイヤフラムが設けられた加圧室と、これら加圧室および減圧脱泡室（減圧室）に連通する気体流路とを備える。気体流路はポンプに連通しているので、気体流路をポンプで減圧すれば、減圧脱泡室が減圧されて、液体流路を流通する液体から気泡を取り除くことができる。また気体流路をポンプで加圧すれば、加圧室が加圧されてダイヤフラムを駆動することができる。

特開２０１０−０５２３２０号公報

特許文献１のように加圧室と減圧脱泡室とで気体流路を兼用する構成では、気体流路を減圧状態から加圧へ切り替える場合がある。ところが、気体流路を減圧から加圧へ移行する際には、減圧の圧力が低いほど、減圧から加圧への移行に時間がかかり、圧力変化の応答性が低下してしまうという問題があった。以上の事情を考慮して、本発明は、気体流路を減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を向上させることを目的とする。

［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路を介して減圧脱泡室と加圧室とに連通するポンプと、を備え、ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、複数のシーケンスは、減圧脱泡室の平均圧力が異なるように減圧脱泡室を減圧する複数の減圧シーケンスと、加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含む。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプを駆動することによって、減圧脱泡室の平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室の平均圧力が高い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることができるので、気体流路の圧力が高い減圧状態から加圧することができる。これにより、気体流路を減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。しかも、減圧シーケンスを選択することで、ポンプの駆動時間が変わり、減圧脱泡室の平均圧力を変えることができるので、ポンプの寿命を延ばすことができる。

［態様２］
本発明の好適な態様（態様２）に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路に連通するポンプと、を備え、ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、複数のシーケンスは、ポンプの消費電力が異なるように減圧脱泡室を減圧する複数の減圧シーケンスと、加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含む。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプを駆動することによって、ポンプの消費電力量を変えることができる。ポンプの消費電力量を変えることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力も変えることができる。したがって、ポンプの消費電力量が低い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることで、気体流路の圧力が高い減圧状態から加圧できる。これにより、気体流路を減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。また、減圧シーケンスを選択することで、ポンプの消費電力量を変えることができるので、ポンプの寿命を延ばすことができる。

［態様３］
態様１または態様２の好適例（態様３）において、複数の減圧シーケンスは、ポンプによる減圧脱泡室の目標とする到達圧力が異なる。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプを駆動することによって、減圧脱泡室の目標とする到達圧力を変えることができる。したがって、到達圧力が低い減圧シーケンスを選択することで、気泡の排出速度を速めることができる。他方、到達圧力が高い減圧シーケンスを選択することで、ポンプの寿命を延ばすことができる。

［態様４］
態様１から態様３の何れかの好適例（態様４）において、複数の減圧シーケンスは、ポンプの駆動周期が異なる。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプを駆動することによって、ポンプの駆動周期を変えることができる。ポンプの駆動周期を変えることで、減圧脱泡室の平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室の平均圧力が高い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることができるので、気体流路を減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。また、ポンプの駆動周期を変えることで、ポンプの消費電力量を変えることもできる。ポンプの駆動周期を短くするほど、減圧脱泡室の到達圧力が高くても目標とする平均圧力を実現できる。このため、ポンプや液体吐出装置の流路構造の耐圧性を低減できるので、流路構造を簡素化できる。

［態様５］
態様１から態様４の何れかの好適例（態様５）において、加圧室は、加圧シーケンスによる加圧によって撓む可撓膜を備え、複数の減圧シーケンスは、可撓膜を加圧するタイミングに応じて選択される。以上の態様によれば、可撓膜を加圧するタイミングに応じて、減圧シーケンスを使い分けることができる。したがって、例えば可撓膜を加圧しない場合には、気体流路の圧力が低い減圧シーケンスを選択して脱泡速度を高めることができる。また、可撓膜を加圧するタイミングでは、加圧シーケンスを実行する前に気体流路の圧力が高い減圧シーケンスを選択して、減圧から加圧への移行する際の可撓膜の応答性を高めることができる。

［態様６］
態様１から態様５の何れかの好適例（態様６）において、複数の減圧シーケンスは、液体流路内の気泡量に応じて選択される。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスは、液体流路内の気泡量に応じて選択されるから、液体流路内の気泡量が所定量以下のときに、気体流路の圧力が高い減圧シーケンスを選択することで、ポンプの消費電力を抑えることができるので、ポンプの寿命を延ばすことができる。また液体流路内の気泡量が所定量を超えるときに、気体流路の圧力が低い減圧シーケンスを選択することで、例えば液体の初期充填時などのように気泡が多いときに気泡を排出する速度を速めることができる。

［態様７］
態様１から態様６の何れかの好適例（態様７）において、複数の減圧シーケンスは、ポンプの駆動時間に応じて選択される。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスは、ポンプの駆動時間に応じて選択されるから、ポンプの駆動時間が所定時間以下のときに、気体流路の圧力が低い減圧シーケンスを選択し、ポンプの駆動時間が所定時間を超えたときに、気体流路の圧力が高い減圧シーケンスを選択することで、ポンプの寿命を延ばすことができる。

［態様８］
態様１から態様７の何れかの好適例（態様８）において、加圧シーケンスによって加圧室の可撓膜を撓ませることにより、液体流路の体積を減少させて、ノズルから液体を排出する。以上の態様によれば、加圧シーケンスによって加圧室の可撓膜を撓ませることにより、液体流路の体積を減少させて、ノズルから液体を排出するから、加圧シーケンスによってノズルから増粘した液体を排出できる。このとき、気体流路の圧力が高い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることで、可撓膜の応答性を向上できるので、ノズルから増粘した液体を排出する効率を高めることができる。

［態様９］
本発明の好適な態様（態様９）に係る液体吐出装置の駆動方法は、液体吐出装置の駆動方法であって、液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路に連通するポンプと、を備え、減圧脱泡室の平均圧力が異なるように減圧脱泡室を減圧する複数の減圧シーケンスから選択された減圧シーケンスと、加圧室を加圧する加圧シーケンスとによってポンプを駆動する。以上の態様によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプを駆動することによって、減圧脱泡室の平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室の平均圧力が高い減圧シーケンスによってポンプを駆動すれば、その減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることで、気体流路の圧力が高い減圧状態から加圧できるので、気体流路を減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。

［態様１０］
態様９の好適例（態様１０）において、複数の減圧シーケンスは、第１減圧シーケンスと第２減圧シーケンスを含み、第２減圧シーケンスは、第１減圧シーケンスよりも減圧脱泡室の平均圧力が高く、第２減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替える。以上の態様によれば、減圧脱泡室の平均圧力が高い第２減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えるから、気体流路の圧力が高い減圧状態から加圧できるので、気体流路を減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。また、減圧脱泡室の平均圧力が低い第１減圧シーケンスを選択することで、減圧脱泡室の気泡の排出速度を高めることができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図２に示す液体吐出ヘッドのＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。第１実施形態の減圧シーケンス（第１減圧シーケンス）Ｇ１を示す図である。第１実施形態の減圧シーケンス（第２減圧シーケンス）Ｇ２を示す図である。第１実施形態におけるポンプを駆動するためのシーケンスを示す図である。比較例におけるポンプを駆動するためのシーケンスを示す図である。第２実施形態におけるポンプを駆動するためのシーケンスを示す図である。第３実施形態におけるポンプを駆動するためのシーケンスを示す図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０は、制御装置１２と搬送機構１５とキャリッジ１８と液体吐出ヘッド２０とを具備する。液体吐出装置１０にはインクを貯留する液体容器１４が装着される。

液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプのカートリッジである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプのカートリッジであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４に貯留されるインクは、液体吐出ヘッド２０に圧送される。

制御装置１２は、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構１５は、制御装置１２による制御のもとで媒体１１をＹ方向に搬送する。液体吐出ヘッド２０は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置１２による制御のもとで複数のノズルＮの各々から媒体１１に吐出する。

液体吐出ヘッド２０はキャリッジ１８に搭載される。図１では、キャリッジ１８に１つの液体吐出ヘッド２０を搭載した場合を例示したが、これに限られず、キャリッジ１８に複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。制御装置１２は、Ｙ方向に交差（図１では直交）するＸ方向にキャリッジ１８を往復させる。媒体１１の搬送とキャリッジ１８の往復との反復に並行して液体吐出ヘッド２０が媒体１１にインクを吐出することで媒体１１の表面に所望の画像が形成される。なお、キャリッジ１８には、複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。Ｘ−Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向をＺ方向と表記する。

図２は、液体吐出ヘッド２０の分解斜視図である。図３は、図２に示す液体吐出ヘッド２０のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド２０は、弁機構ユニット４１と流路ユニット４２と液体吐出部４４と流路部品４６とを備える。液体吐出部４４は、複数のノズルＮからインクを吐出する。流路ユニット４２は、弁機構ユニット４１を経由したインクを液体吐出部４４に供給する液体流路Ｄが内部に形成された構造体である。液体吐出部４４は、液体容器１４から流路部品４６および流路ユニット４２を介して供給されるインクを媒体１１に吐出する。弁機構ユニット４１は、流路部品４６から供給されるインクの液体流路Ｄの開閉を制御する後述の開閉弁Ｂを内包する。弁機構ユニット４１は、流路ユニット４２に、その側面からＸ方向に張り出すように設置される。他方、流路部品４６は、流路ユニット４２の側面に対向するように設置される。流路部品４６の上面と弁機構ユニット４１の底面とは、Ｚ方向に相互に間隔をあけて対向する。流路部品４６内の液体流路Ｄと弁機構ユニット４１内の液体流路Ｄとは相互に連通する。

液体吐出部４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電素子４８４と筐体部４８５と封止体４８６とが流路基板４８１の一方側に配置されるとともに、他方側にノズル板４８７および緩衝板４８８が配置された構造体である。流路基板４８１と圧力室基板４８２とノズル板４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板４８７に形成される。ノズル板４８７のうち流路基板４８１とは反対側の表面が吐出面（液体吐出部４４のうち媒体１１との対向面）に相当する。

複数のノズルＮは、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とに区分される。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２の各々は、Ｙ方向に沿って配列された複数のノズルＮの集合である。第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並列する。なお、第１ノズル列Ｌ１の各ノズルＮと第２ノズル列Ｌ２の各ノズルＮとでＹ方向の位置を相違させること（いわゆる千鳥配置またはスタガ配置）も可能である。

図３に示すように、本実施形態の液体吐出部４４は、第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の左側部分）と第２ノズル列Ｌ２に対応する構造（図３の右側部分）とが、Ｘ方向の仮想線Ｏ−Ｏに対して略線対称に形成され、両構造は実質的に共通する。このため、以下では、主に第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の仮想線Ｏ−Ｏよりも左側部分）に着目して説明する。

流路基板４８１には、開口部４８１Ａと分岐流路（絞り流路）４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成される。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮにわたり連続する開口である。緩衝板４８８は、流路基板４８１のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面に設置されて開口部４８１Ａを閉塞する平板材（コンプライアンス基板）である。開口部４８１Ａ内の圧力変動は緩衝板４８８により吸収される。

筐体部４８５には、流路基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室（リザーバー）ＳＲが形成される。図３の左側の共通液室ＳＲは、第１ノズル列Ｌ１を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。図３の右側の共通液室ＳＲは、第２ノズル列Ｌ２を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。各共通液室ＳＲには、上流側から供給されるインクが流入する流入口Ｒｉｎが形成される。

圧力室基板４８２にはノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成される。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路基板４８１とに挟まれた空間は、共通液室ＳＲから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳＣとして機能する。各圧力室ＳＣは、流路基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。

振動板４８３のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面にはノズルＮ毎に圧電素子４８４が形成される。各圧電素子４８４は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。駆動信号の供給により圧電素子４８４が変形することで振動板４８３が振動すると、圧力室ＳＣ内の圧力が変動して圧力室ＳＣ内のインクがノズルＮから吐出される。封止体４８６は、複数の圧電素子４８４を保護する。なお、圧電素子４８４は、不図示のフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ：ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ：ＣｈｉｐＯｎＦｉｌｍ）などを経由して制御装置１２に接続される。

弁機構ユニット４１と流路ユニット４２とは、液体流路Ｄと気体流路Ａを備えた流路構造体として機能する。液体流路Ｄは、ノズルＮに連通する流路である。気体流路Ａは、液体流路Ｄの開閉弁Ｂの制御を行う加圧室ＲＣと、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを介して液体流路Ｄの脱泡（インクから気泡を取り除く動作）を行う減圧脱泡室Ｑに連通する。

先ず、開閉弁Ｂと加圧室ＲＣについて説明する。弁機構ユニット４１の内部には、液体流路Ｄの一部を構成する上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２と、気体流路Ａに連通する加圧室ＲＣとが形成される。上流側流路Ｒ１は、流路部品４６を介して液体圧送機構１６に接続される。液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを加圧状態で液体吐出ヘッド２０に供給（すなわち圧送）する機構である。上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間には開閉弁Ｂが設置され、下流側流路Ｒ２と加圧室ＲＣとの間には可撓膜７１が介在する。

開閉弁Ｂは、液体吐出部４４にインクを供給する液体流路Ｄを開閉する弁機構である。開閉弁Ｂは、弁体Ｖを備える。弁体Ｖは、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間に設けられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とを連通（開状態）または遮断（閉状態）する。弁体Ｖには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される方向に付勢するバネＳｐが設けられている。したがって、弁体Ｖに力が作用していないときには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、バネＳｐの付勢力に抗して弁体Ｖに力がかかってＺ方向の正側に移動することで、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通する。

加圧室ＲＣには袋状体７３が設置される。袋状体７３は、ゴム等の弾性材料で形成された袋状の部材である。袋状体７３は、気体流路Ａの加圧により膨張するとともに減圧により収縮する。袋状体７３は、流路部品４６内の気体流路Ａを介してポンプ１９に接続される。本実施形態のポンプ１９は、気体流路Ａの加圧と減圧が可能である。ポンプ１９は、加圧用と減圧用とを兼用する１つのポンプで構成してもよく、また加圧用のポンプと減圧用のポンプに分けて構成してもよい。ポンプ１９は、制御装置１２からの指示に応じて複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動される。複数のシーケンスには、気体流路Ａに空気を供給する加圧シーケンスと、気体流路Ａから空気を吸引する減圧シーケンスとが含まれる。加圧シーケンスによって気体流路Ａが加圧（空気が供給）されることで袋状体７３は膨張し、減圧シーケンスによって気体流路Ａが減圧（空気が吸引）されることで袋状体７３は収縮する。

袋状体７３が収縮した状態では、下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の範囲内に維持されている場合には、弁体ＶがバネＳｐに付勢されて上方（Ｚ方向の負側）に押しつけられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、液体吐出部４４によるインクの吐出や外部からの吸引に起因して下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の閾値を下回る数値まで低下すると、弁体ＶがバネＳｐによる付勢力に対抗して下方（Ｚ方向の正側）に移動し、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通される。また、ポンプ１９による加圧で袋状体７３が膨張すると、袋状体７３による押圧によって、バネＳｐの付勢力に抗して可撓膜７１が弁体Ｖを押し下げて、Ｚ方向の正側に移動する。したがって、可撓膜７１による押圧により弁体Ｖが移動して開閉弁Ｂが開放される。すなわち、下流側流路Ｒ２内の圧力の高低に関わらず、ポンプ１９による加圧で強制的に開閉弁Ｂを開放することが可能である。ポンプ１９による加圧で強制的に可撓膜７１を可動して開閉弁Ｂを開放するのは、例えば液体吐出ヘッド２０に最初にインクを充填（以下「初期充填」という）する場合、クリーニングの際にノズルＮからインクを排出する場合が挙げられる。

次に、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣと減圧脱泡室Ｑについて説明する。流路ユニット４２には、鉛直空間ＲＶに連通するフィルター室ＲＦと減圧脱泡室Ｑとが形成されている。減圧脱泡室Ｑは、液体流路Ｄの一部を減圧してインクから気泡を取り除くための空間である。減圧脱泡室Ｑは、インクから取り除かれた気泡（気体）が一時的に滞留する脱泡空間として機能する。なお、減圧脱泡室Ｑは、互いに連通する減圧室と脱泡室との２つの空間に分けて構成し、減圧室と脱泡室との連通部分に開閉弁または逆止弁を設けるようにしてもよい。

フィルター室ＲＦには、フィルターＦが設けられている。フィルターＦは、液体吐出部４４に液体流路Ｄを横断するように設置され、インクに混入した気泡や異物を捕集する。具体的には、フィルターＦは、空間ＲＦ１と空間ＲＦ２とを仕切るように設置される。上流側の空間ＲＦ１は弁機構ユニット４１の下流側流路Ｒ２に連通し、下流側の空間ＲＦ２は鉛直空間ＲＶに連通する。

鉛直空間ＲＶは、インクを一時的に貯留するための空間である。鉛直空間ＲＶには、フィルターＦを通過したインクが空間ＲＦ２から流入する流入口Ｖｉｎと、インクがノズルＮ側に流出する流出口Ｖｏｕｔとが形成される。流入口Ｖｉｎは、流出口Ｖｏｕｔと比較して鉛直方向の上方（Ｚ方向の負側）に位置する。このような構成によれば、空間ＲＦ２内のインクは、流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶ内のインクは流出口Ｖｏｕｔを介して共通液室ＳＲに流入する。共通液室ＳＲに流入したインクは、開口部４８１Ａを経由して各圧力室ＳＣに供給されて、各ノズルＮから吐出される。

気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣは減圧脱泡室Ｑと液体流路Ｄの複数の箇所を仕切るように設置される。ただし、気体透過膜の配置位置や数は例示したものに限られない。例えば液体流路Ｄの１カ所の部分（例えば気体透過膜ＭＣの部分）だけに気体透過膜を設けるようにしてよい。気体透過膜ＭＡは、鉛直空間ＲＶと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＢは、共通液室ＳＲと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＣは、空間ＲＦ１と減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＡ〜ＭＣは、気体（空気）は透過させるけれどもインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。フィルターＦで捕集された気泡は、気体透過膜ＭＣを透過することで減圧脱泡室Ｑに排出され、インクから取り除かれる。またフィルターＦを通過してしまった気泡も、空間ＲＦ１から流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶに流入する。したがって、鉛直空間ＲＶに流入した気泡も気体透過膜ＭＡを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。

また、共通液室ＳＲには排出口Ｒｏｕｔが形成される。排出口Ｒｏｕｔは、共通液室ＳＲの天井面４９に形成された流路である。共通液室ＳＲの天井面４９は、流入口Ｒｉｎ側から排出口Ｒｏｕｔ側にかけて高くなる傾斜面（平面または曲面）である。したがって、流入口Ｒｉｎから進入した気泡も排出口Ｒｏｕｔ側に誘導され、気体透過膜ＭＢを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。

減圧脱泡室Ｑは、気体流路Ａに連通しているので、ポンプ１９で気体流路Ａを減圧することで、減圧脱泡室Ｑが減圧される。減圧脱泡室Ｑが減圧されると、液体流路Ｄ内の気泡が気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過する。気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過して減圧脱泡室Ｑに移動した気体は、気体流路Ａを通って装置外部に排出される。こうして、液体流路Ｄから気泡が取り除かれる。

なお、本実施形態の液体流路Ｄは、流路ユニット４２から弁機構ユニット４１を経由して流路部品４６の内部に至る排出経路７６を有する。排出経路７６は、流路ユニット４２の内部流路（具体的には液体吐出部４４にインクを供給するための流路）に連通する経路である。具体的には、排出経路７６は、各液体吐出部４４の共通液室ＳＲの排出口Ｒｏｕｔと鉛直空間ＲＶとに連通する。

排出経路７６の弁機構ユニット４１側の端部は、閉塞弁７８に接続される。閉塞弁７８が設置される位置は任意であるが、図３では流路部品４６内に閉塞弁７８を設置した構成を例示している。閉塞弁７８は、通常状態では排出経路７６を閉塞し（ノーマリークローズ）、一時的に排出経路７６を大気に開放可能な弁機構である。

上述のとおり、本実施形態の液体吐出ヘッド２０では、気体流路Ａが加圧室ＲＣと減圧脱泡室Ｑに連通している。したがって、ポンプ１９によって気体流路Ａを加圧することで、加圧室ＲＣの袋状体７３を膨張させて開閉弁Ｂを開放出来ると共に、ポンプ１９によって気体流路Ａを減圧することで、減圧脱泡室Ｑを減圧させて液体流路Ｄから気体を取り除くことができる。

ところで、本実施形態のように、加圧室ＲＣと減圧脱泡室Ｑとで気体流路Ａを兼用する構成では、気体流路Ａを減圧状態から加圧へ切り替える場合がある。ところが、気体流路Ａを減圧から加圧へ移行する際には、減圧の圧力が低いほど、減圧から加圧への移行に時間がかかり、圧力変化の応答性（可撓膜７１の応答性）が低下してしまうという問題があった。

そこで、第１実施形態では、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるように減圧脱泡室Ｑを減圧する複数の減圧シーケンスのうちから、制御装置１２が選択した減圧シーケンスによってポンプ１９を駆動できるようにしている。ここでの減圧シーケンスは、ポンプ１９の駆動が開始されてから目標とする到達圧力までと、その到達圧力から次にポンプ１９の駆動が開始されるまでのシーケンスである。減圧脱泡室Ｑの平均圧力とは、減圧シーケンスにおいて、上述した目標とする到達圧力から次にポンプ１９の駆動が開始されるまでの圧力の平均値である。

このような構成によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプ１９を駆動することによって、減圧脱泡室Ｑの平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が高い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることで、気体流路Ａの圧力が高い減圧状態から加圧できる。これにより、気体流路Ａを減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性（可撓膜７１の応答性）を向上させることができる。しかも、減圧シーケンスを選択することで、ポンプの駆動時間が変わり、減圧脱泡室Ｑの平均圧力を変えることができるので、ポンプ１９の寿命を延ばすことができる。また、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が低い減圧シーケンスを選択することで、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過して排出される気泡の排出速度を速めることができる。

以下、第１実施形態における複数の減圧シーケンスの具体例について説明する。ここでは、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なる減圧シーケンスＧ１（第１減圧シーケンス）および減圧シーケンスＧ２（第２減圧シーケンス）を例示する。ただし、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なる減圧シーケンスは、例示した２つに限られず、３つ以上であってもよい。図４は、減圧シーケンスＧ１を示す図であり、図５は、減圧シーケンスＧ２を示す図である。図４および図５において、横軸は１時間単位の経過時間［ｈ］であり、縦軸は減圧脱泡室Ｑの圧力［ｋＰａ］である。

本実施形態の減圧シーケンスＧ１、Ｇ２はそれぞれ、ポンプ１９の駆動が開始されてから目標とする到達圧力までと、その到達圧力から次にポンプ１９の駆動が開始されるまでを１つのシーケンスとする。減圧シーケンスＧ１、Ｇ２は、所定時間（図４および図５では１時間）ごとに複数回繰り返される。図４におけるＰ１は、次の減圧シーケンスＧ１によりポンプ１９が駆動される直前の圧力である。図５におけるＰ２は、次の減圧シーケンスＧ１によりポンプ１９が駆動される直前の圧力である。

図４の１回目の減圧シーケンスＧ１では、減圧脱泡室Ｑの圧力が０の状態から、ポンプ１９を駆動して減圧する。そして、減圧脱泡室Ｑの圧力が目標の到達圧力である−６０ｋＰａに到達すると、ポンプ１９を停止する。その後は、減圧脱泡室Ｑでの脱泡が進み、減圧脱泡室Ｑへ気体が流入するので徐々に圧力が減衰（上昇）する。そして１時間後に２回目の減圧シーケンスＧ１により再びポンプ１９を駆動して減圧する。図４は、減圧シーケンスＧ１を１時間ごとに繰り返すシーケンスである。したがって、図４のシーケンスにおいては、減圧シーケンスＧ１ではポンプ１９は１時間ごとに駆動する。ただし、ポンプ１９を駆動するタイミングは、例示したものに限られない。

図５の１回目の減圧シーケンスＧ２では、減圧脱泡室Ｑの圧力が０の状態から、ポンプ１９を駆動して減圧する。そして、減圧脱泡室Ｑの圧力が目標の到達圧力である−３０ｋＰａに到達すると、ポンプ１９を停止する。その後は、減圧脱泡室Ｑでの脱泡が進むので徐々に圧力が上昇する。そして１時間後に２回目の減圧シーケンスＧ２により再びポンプ１９を駆動して減圧する。図５は、減圧シーケンスＧ２を１時間ごとに繰り返すシーケンスである。したがって、図５のシーケンスにおいても、図４の場合と同様に、ポンプ１９は１時間ごとに駆動する。ただし、ポンプ１９を駆動するタイミングは、例示したものに限られない。

図４の減圧シーケンスＧ１による減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力（−６０ｋＰａ）は、図５の減圧シーケンスＧ２による減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力（−３０ｋＰａ）よりも低い。このため、図４の到達圧力（−６０ｋＰａ）からＰ１までの平均の圧力である図４の減圧脱泡室Ｑの平均圧力は、図５の到達圧力（−３０ｋＰａ）からＰ２までの平均圧力である減圧シーケンスＧ１の減圧脱泡室Ｑの平均圧力よりも低い。したがって、減圧シーケンスＧ１の方が、減圧シーケンスＧ２よりも減圧脱泡室Ｑの圧力を低くできるので、脱泡の速度を高めることができる。この点で、減圧シーケンスＧ１は、高速脱泡シーケンスであると言える。

見方を変えれば、図５の減圧シーケンスＧ２による減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力は、図４の減圧シーケンスＧ１による減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力よりも高く。また図５の減圧シーケンスＧ１の減圧脱泡室Ｑの平均圧力は、図４の減圧脱泡室Ｑの平均圧力よりも高い。したがって、減圧シーケンスＧ２の方が、減圧シーケンスＧ１よりも減圧脱泡室Ｑの圧力を高くできるので、ポンプ１９の負荷を軽減することができる。この点で、減圧シーケンスＧ２は、低負荷脱泡シーケンスであると言える。なお、減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力や平均圧力は、例示したものに限られない。

図５における減圧シーケンスＧ２による減圧脱泡室Ｑの平均圧力は、図４における、減圧シーケンスＧ１による減圧脱泡室Ｑの平均圧力よりも高い圧力となる。したがって、減圧から加圧に切り替える際には、減圧シーケンスＧ２から加圧した方が減圧シーケンスＧ１から加圧するよりも、短い時間で加圧に移行することができ、圧力変化の応答性を高めることができる。したがって、本実施形態では、減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることで、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。

以下、このような加圧シーケンスＫを行う場合について、具体的に説明する。図６は、減圧シーケンスＧ１から加圧シーケンスＫに切り替える本実施形態のシーケンスを示す図であり、図７は、減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫ’に切り替える比較例のシーケンスを示す図である。図６および図７において、横軸は１時間単位の経過時間［ｈ］であり、縦軸は減圧脱泡室Ｑの圧力［ｋＰａ］である。図６および図７の加圧シーケンスＫ、Ｋ’は、減圧脱泡室Ｑの目標の到達圧力が６０ｋＰａである場合を例示する。ただし、減圧脱泡室Ｑの目標の到達圧力は、例示したものに限られない。

図６および図７の加圧シーケンスＫ、Ｋ’はそれぞれ、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を終えた後にポンプ１９を駆動して、目標とする到達圧力６０ｋＰａまで加圧し、元の圧力に戻す場合のシーケンスである。このとき、図７の比較例のように、減圧シーケンスＧ１から加圧シーケンスＫ’に切り替える場合には、Ｐ２よりも低い圧力Ｐ１から加圧シーケンスＫ’が開始される。これに対して、図６の本実施形態のように、減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替える場合には、Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２から加圧シーケンスＫが開始される。したがって、図６の本実施形態の方が、図７の比較例よりも、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を高めることができる。また、ポンプ１９を駆動して、目標とする到達圧力６０ｋＰａまで加圧するタイミングは、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を終えた後でなくてもよく、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２の途中であってもよい。この場合であっても、減圧シーケンスＧ２による減圧脱泡室Ｑの平均圧力が、減圧シーケンスＧ１による減圧脱泡室Ｑの平均圧力よりも高いので、減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることにより、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を高めることができる。

本実施形態の液体吐出装置１０によれば、制御装置１２は、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるように減圧脱泡室Ｑを減圧する複数の減圧シーケンスＧ１、Ｇ２から選択された減圧シーケンスと、加圧室ＲＣを加圧する加圧シーケンスＫとによってポンプ１９を駆動する。このように、制御装置１２が、２つ減圧シーケンスＧ１、Ｇ２から選択するシーケンスを変えてポンプ１９を駆動することによって、減圧脱泡室Ｑの平均圧力（または到達圧力）を変えることができる。したがって、制御装置１２が、減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることで、圧力が高い減圧状態から加圧できるので、減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。しかも、制御装置１２が、減圧シーケンスＧ２を選択することで、ポンプ１９の消費電力を抑えることができ、ポンプ１９の寿命を延ばすことができる。また、制御装置１２が、減圧シーケンスＧ１を選択することで、液体流路Ｄの脱泡速度を高めることができる。

なお、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２が、可撓膜７１を加圧するタイミングに応じて選択されるようにするようにしてもよい。このようにすることで、可撓膜７１を加圧するタイミングに応じて、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を使い分けることができる。例えば制御装置１２は、可撓膜７１を加圧しない場合には、減圧シーケンスＧ１を選択して脱泡速度を高めることができる。また、制御装置１２は、可撓膜７１を加圧するタイミングでは、加圧シーケンスＫを実行する前に減圧シーケンスＧ２を選択することで、減圧から加圧への移行する際の可撓膜７１の応答性を高めることができる。

また、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２は、液体流路Ｄ内の気泡量に応じて選択されるようにしてもよい。このようにすることで、液体流路Ｄ内の気泡量に応じて、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を使い分けることができる。例えば制御装置１２は、インクの速度や圧力を検出するセンサー（図示略）で液体流路Ｄ内の気泡量を検出し、その検出された気泡量に応じて減圧シーケンスＧ１、Ｇ２が選択される。この構成によれば、例えば制御装置１２は、液体流路Ｄ内の気泡量が所定量以下のときに、気体流路Ａの圧力が高い減圧シーケンスＧ２を選択する。これにより、ポンプ１９の消費電力を抑えることができるので、ポンプ１９の寿命を延ばすことができる。他方、制御装置１２は、液体流路Ｄ内の気泡量が所定量を超えるときには、気体流路Ａの圧力が低い減圧シーケンスＧ１を選択する。これにより、例えばインクの初期充填時などのように気泡が多いときに気泡を排出する速度を速めることができる。

また、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２は、ポンプ１９の駆動時間に応じて選択されるようにしてもよい。このようにすることで、ポンプ１９の駆動時間に応じて、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を使い分けることができる。例えば制御装置１２は、ポンプ１９の駆動時間を取得し、ポンプ１９の駆動時間が所定時間以下のときに、気体流路Ａの圧力が低い減圧シーケンスＧ１を選択する。他方、制御装置１２は、ポンプ１９の駆動時間が所定時間を超えたときに、気体流路Ａの圧力が高い減圧シーケンスＧ２を選択する。このように減圧シーケンスＧ１、Ｇ２を使い分けることで、ポンプ１９の寿命を延ばすことができる。

また、本実施形態の加圧シーケンスＫによれば、加圧室ＲＣの可撓膜７１を撓ませることにより、液体流路Ｄの体積を減少させて、ノズルＮからインクを排出することもできる。これにより、加圧シーケンスＫによってノズルＮから増粘した液体を排出したり、ノズルＮからインクを排出して紙粉やゴミなどを付着させてから、吐出面をブレードでクリーニングしたりこともできる。このような加圧を行う際に、気体流路Ａの圧力が高い減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることで、可撓膜７１の応答性を向上できるので、ノズルＮから増粘したインクを排出する効率を高めることができる。なお、本実施形態の加圧室ＲＣでは、袋状体７３を設けた場合を例示したが、これに限られず、袋状体７３を設けずに気体の圧力だけで可撓膜７１を可動させるようにしてもよい。また、加圧室ＲＣでは、開閉弁Ｂを設けずに、可撓膜７１だけを駆動する構成にしてもよい。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。図８は、第２実施形態においてポンプ１９を駆動するシーケンスを示す図である。なお、図８において、減圧シーケンスＧ１は図４と同様であり、減圧シーケンスＧ２が図５と異なる。図５の減圧シーケンスＧ２は、図４の減圧シーケンスＧ１とは、ポンプ１９を駆動する周期が同じで、減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力が異なるようにすることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるようにした場合を例示した。これに対して、図８の減圧シーケンスＧ２では、減圧シーケンスＧ１とは、減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力（−６０ｋＰａ）が同じで、ポンプ１９を駆動する周期が異なるようにすることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるようにした場合を例示する。

具体的には、減圧シーケンスＧ１では、１時間ごとにポンプ１９を駆動するのに対して、図８の減圧シーケンスＧ２では、３時間ごとにポンプ１９を駆動する。この構成によれば、減圧シーケンスＧ１、Ｇ２から選択するシーケンスを変えてポンプ１９を駆動することによって、ポンプ１９の駆動周期を変えることができる。このように、ポンプ１９の駆動周期を変えることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が高い減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることができるので、気体流路Ａの圧力が高い減圧状態から加圧することができる。このため、気体流路Ａを減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。

また、ポンプ１９の駆動周期を変えることで、ポンプ１９の消費電力量を変えることもできる。ポンプ１９の駆動周期を短くするほど、減圧脱泡室Ｑの到達圧力が高くても目標とする平均圧力を実現できる。このため、ポンプ１９や液体吐出装置１０の流路構造の耐圧性を低減できるので、流路構造を簡素化できる。なお、図８では、減圧シーケンスＧ２との比較のために、減圧シーケンスＧ１を点線で重ねて示しているが、減圧シーケンスＧ１は図８とは別のタイミングで実施可能である。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。図９は、第３実施形態においてポンプ１９を駆動するシーケンスを示す図である。図９の減圧シーケンスＧ２では、減圧シーケンスＧ１とは、ポンプ１９を駆動する周期だけではなく、減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力（−６０ｋＰａ）も異なるようにすることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるようにした場合を例示する。

具体的には、図９の減圧シーケンスＧ２では、３時間ごとにポンプ１９を駆動し、減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力は−３０ｋＰａである。このように、ポンプ１９の駆動周期と減圧脱泡室Ｑの平均圧力を変えることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力を変えることができる。したがって、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が高い減圧シーケンスＧ２から加圧シーケンスＫに切り替えることができるので、気体流路Ａの圧力が高い減圧状態から加圧することができる。しかも、図９の減圧シーケンスＧ２では、図８の場合よりも減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力が高いため、図８の場合よりも圧力が高い減圧状態から加圧することができる。このため、図９の減圧シーケンスＧ２では、図８の場合よりも、気体流路Ａを減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を高めることができる。また、図９の減圧シーケンスＧ２においても、図８の場合と同様にポンプ１９の駆動周期を短くするほど、ポンプ１９や液体吐出装置１０の流路構造の耐圧性を低減できるので、流路構造を簡素化できる。なお、図９では、減圧シーケンスＧ２との比較のために、減圧シーケンスＧ１を点線で重ねて示しているが、減圧シーケンスＧ１は図９とは別のタイミングで実施可能である。

＜変形例＞
以上に例示した各実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、減圧脱泡室Ｑの平均圧力が異なるように減圧脱泡室Ｑを減圧する複数の減圧シーケンスによってポンプ１９を駆動する場合を例示したが、これに限られない。例えばポンプ１９の消費電力が異なるように減圧脱泡室Ｑを減圧する複数の減圧シーケンスによってポンプ１９を駆動するようにしてもよい。この構成によれば、複数の減圧シーケンスから選択するシーケンスを変えてポンプ１９を駆動することによって、ポンプ１９の消費電力量を変えることができる。ポンプ１９の消費電力量を変えることで、減圧脱泡室Ｑの平均圧力も変えることができる。したがって、ポンプ１９の消費電力量が低い減圧シーケンスから加圧シーケンスに切り替えることで、気体流路Ａの圧力が高い減圧状態から加圧できる。これにより、気体流路Ａを減圧から加圧への移行する際の圧力変化の応答性を向上させることができる。また、減圧シーケンスを選択することで、ポンプ１９の消費電力量を変えることができるので、ポンプ１９の寿命を延ばすことができる。

（２）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ１８をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２０を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（３）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２０を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（４）上述した実施形態で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１０…液体吐出装置、１１…媒体、１２…制御装置、１４…液体容器、１５…搬送機構、１６…液体圧送機構、１８…キャリッジ、１９…ポンプ、２０…液体吐出ヘッド、４１…弁機構ユニット、４２…流路ユニット、４４…液体吐出部、４６…流路部品、４８１…流路基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…分岐流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電素子、４８５…筐体部、４８６…封止体、４８７…ノズル板、４８８…緩衝板、４９…天井面、７１…可撓膜、７３…袋状体、７６…排出経路、７８…閉塞弁、Ａ…気体流路、Ｂ…開閉弁、Ｄ…液体流路、Ｆ…フィルター、Ｑ…減圧脱泡室、ＲＣ…加圧室、Ｇ１、Ｇ２…減圧シーケンス、Ｋ、Ｋ’…加圧シーケンス、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、ＭＡ、ＭＢ、ＭＣ…気体透過膜、Ｎ…ノズル、Ｏ−Ｏ…仮想線、Ｒ１…上流側流路、Ｒ２…下流側流路、ＲＦ…フィルター室、ＲＦ１…空間、ＲＦ２…空間、ＲＶ…鉛直空間、Ｒｉｎ…流入口、Ｒｏｕｔ…排出口、Ｓｐ…バネ、ＳＣ…圧力室、ＳＲ…共通液室、Ｖ…弁体、Ｖｉｎ…流入口、Ｖｏｕｔ…流出口。

Claims

液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
前記加圧室は、前記加圧シーケンスによる加圧によって撓む可撓膜を備え、
前記可撓膜を加圧しない場合には、前記第１減圧シーケンスを選択し、前記可撓膜を加圧する場合には前記第２減圧シーケンスを選択することを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
気泡量が所定量より多い場合には前記第１減圧シーケンスを選択し、気泡量が前記所定量より低い場合には前記第２減圧シーケンスを選択することを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
前記ポンプの駆動時間が所定時間より短い場合には前記第１減圧シーケンスを選択し、前記ポンプの駆動時間が前記所定時間より長い場合には前記第２減圧シーケンスを選択する液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
前記液体流路に最初に液体を充填するとき、前記第１減圧シーケンスが選択されることを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
前記減圧脱泡室の減圧を行った後に前記加圧室の加圧を行うときに、前記第２減圧シーケンスが選択されることを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
加圧室と、
前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通する気体流路と、
前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記減圧脱泡室の平均圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高くなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含むことを特徴とする液体吐出装置であって、
前記ポンプは、（i）前記第１減圧シーケンスと前記第２減圧シーケンスにおいて、前記気体流路を介して、前記減圧脱泡室と前記加圧室の両方から空気を吸引し、（ii）前記加圧シーケンスにおいて、前記気体流路を介して、前記減圧脱泡室と前記加圧室の両方に空気を供給することを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
前記加圧室は、前記加圧シーケンスによる加圧によって撓む可撓膜を備え、
前記可撓膜を加圧しない場合には、前記第１減圧シーケンスを選択し、前記可撓膜を加圧する場合には前記第２減圧シーケンスを選択することを特徴とする請求項１から４のいずれかの液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
気泡量が所定量より多い場合には前記第１減圧シーケンスを選択し、気泡量が前記所定量より低い場合には前記第２減圧シーケンスを選択することを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
前記ポンプの駆動時間が所定時間より短い場合には前記第１減圧シーケンスを選択し、前記ポンプの駆動時間が前記所定時間より長い場合には前記第２減圧シーケンスを選択する液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
前記液体流路に最初に液体を充填するとき、前記第１減圧シーケンスが選択されることを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
前記減圧脱泡室の減圧を行った後に前記加圧室の加圧を行うときに、前記第２減圧シーケンスが選択されることを特徴とする液体吐出装置。
液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
前記気体流路に連通する加圧室と、
前記気体流路に連通するポンプと、を備え、
前記ポンプは、複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動され、
複数の前記シーケンスは、前記減圧脱泡室を減圧する第１減圧シーケンスと、前記ポンプの消費電力が前記第１減圧シーケンスよりも小さくなるようにして前記減圧脱泡室を減圧する第２減圧シーケンスと、前記加圧室を加圧する加圧シーケンスと、を含み、
前記ポンプは、（i）前記第１減圧シーケンスと前記第２減圧シーケンスにおいて、前記気体流路を介して、前記減圧脱泡室と前記加圧室の両方から空気を吸引し、（ii）前記加圧シーケンスにおいて、前記気体流路を介して、前記減圧脱泡室と前記加圧室の両方に空気を供給することを特徴とする液体吐出装置。
前記第２減圧シーケンスは、前記ポンプによる前記減圧脱泡室の目標とする到達圧力が前記第１減圧シーケンスよりも高いことを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
前記加圧シーケンスによって前記加圧室の可撓膜を撓ませることにより、前記液体流路の体積を減少させて、前記ノズルから前記液体を排出することを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。