JP6923346B2 - 基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板を搬送する基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法に関する。

半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等の各種基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。

このような基板処理装置では、一般に、一枚の基板に対して複数の処理ユニットにおいて連続的に処理が行われる。そのため、基板処理装置には、複数の処理ユニットの間で基板を搬送する基板搬送装置が設けられる。基板搬送装置においては、所定の処理ユニット内への基板の搬送および搬入を正確に行うために、動作状態を調整する作業（ティーチング）が行われる。

特許文献１には、複数の処理チャンバを含む処理システムが記載されるとともに、ロボット（基板搬送装置）のエンドエフェクタ（基板保持部）の位置を較正するためのビジョンシステムが記載されている。ビジョンシステムにおいては、カメラ、電源、送信機および配置プレートを含むカメラアセンブリがロボットのエンドエフェクタ（基板保持部）により搬送される。カメラアセンブリのカメラにより取得される画像に基づいてロボットのエンドエフェクタの位置が較正される。

特表２００６−５２２４７６号公報

上記のカメラアセンブリは、カメラアセンブリがエンドエフェクタにより保持された状態でエンドエフェクタが変形しないように、軽量かつコンパクトに作製される。そのため、カメラアセンブリは高価である。また、上記のビジョンシステムでは、ティーチングごとにカメラアセンブリがエンドエフェクタにより保持される。そのため、ティーチングごとにカメラアセンブリとエンドエフェクタとの位置関係にずれが生じると、ティーチングの精度にばらつきが生じる。

本発明の目的は、正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能な基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法を提供することである。

（１）本発明に係る基板搬送装置は、基板支持部に渡すべき基板または基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を保持するように構成される保持部と、保持部を移動させる駆動部と、保持部に取り付けられる撮像部と、搬送モードおよびティーチングモードで動作可能に構成された制御部とを備え、制御部は、保持部の位置を取得する位置取得部と、保持部が基板支持部に基板を渡すかまたは保持部が基板支持部から基板を受け取るために保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、保持部が正規の受け渡し位置にある状態で撮像部により得られるべき基板支持部のうち基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶する記憶部と、ティーチングモードにおいて、記憶部に記憶された位置情報に基づいて駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ保持部を移動させる移動制御部と、ティーチングモードにおいて、保持部が暫定的な受け渡し位置に移動した後に、撮像部により得られる基板支持部の画像を示す実画像データを取得する画像データ取得部と、ティーチングモードにおいて、画像データ取得部により取得される実画像データおよび記憶部に記憶された基準画像データに基づいて駆動部を制御することにより、保持部が暫定的な受け渡し位置から正規の受け渡し位置に移動するように保持部の位置を調整する位置調整部と、ティーチングモードにおいて、位置調整部による保持部の位置の調整後に、位置取得部により取得された位置に基づいて記憶部に記憶された位置情報を更新する位置情報更新部とを含み、移動制御部は、搬送モードにおいて、記憶部に記憶された更新後の位置情報に基づいて駆動部を制御することにより保持部を正規の受け渡し位置に移動させる。

その基板搬送装置においては、制御部がティーチングモードにある状態で、記憶部に記憶された位置情報に基づいて、保持部が暫定的な受け渡し位置まで移動される。その後、画像データ取得部により取得される実画像データと基準画像データとに基づいて保持部の位置が調整されることにより、保持部が暫定的な受け渡し位置から正規の受け渡し位置へ移動される。保持部の位置の調整後に位置取得部により取得された保持部の位置に基づいて、記憶部に記憶された位置情報が更新される。制御部が搬送モードにある状態で、記憶部に記憶された更新後の位置情報に基づいて保持部が正規の受け渡し位置まで移動される。

上記の構成によれば、保持部に撮像部が取り付けられることにより、簡単な構成で撮像部により取得される実画像データと基準画像データとに基づいて保持部のティーチングが行われる。したがって、ティーチングごとに保持部により撮像部を保持するための構成を用意する必要がない。また、ティーチングごとに保持部により撮像部を保持する必要がないので、保持部と撮像部の視野との位置関係にばらつきが生じない。これらの結果、正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能になる。

（２）位置調整部は、ティーチングモードにおいて、画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像と、記憶部に記憶された基準画像データに基づく画像との一致度が予め定められた一致度しきい値よりも大きくなるように保持部の位置を調整してもよい。これにより、簡単な処理で正確に保持部のティーチングを行うことができる。

（３）記憶部に記憶された基準画像データは、保持部が正規の受け渡し位置にある状態で撮像部により得られる基板支持部の画像を示す画像データであってもよい。この場合、正確な基準画像データを撮像部を用いて容易に取得することができる。

（４）制御部は、ティーチングモードにおいて、暫定的な受け渡し位置と正規の受け渡し位置とのずれ量を算出するとともに算出したずれ量を記憶するずれ量記憶部と、ティーチングモードにおいて、ずれ量記憶部に新たなずれ量が記憶されたときに、新たなずれ量と前回のティーチング時にずれ量記憶部に記憶されたずれ量との差分を算出し、算出された差分が予め定められた差分しきい値よりも大きい場合に警報を出力する警報出力部とを含んでもよい。このような構成により、使用者は、保持部のティーチング時に基板搬送装置の異常を容易に知ることができる。

（５）基板搬送装置は、表示部をさらに備え、制御部は、ティーチングモードにおいて、画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像を表示するように表示部を制御する表示制御部をさらに含んでもよい。

この場合、保持部のティーチング時に、撮像部により得られる基板支持部の画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、ティーチング中の保持部の移動状態を確認することができる。

（６）表示制御部は、ティーチングモードにおいて、表示部に表示される画像上に、基準画像データに基づく画像に関する情報を重畳表示するように表示部を制御してもよい。

それにより、使用者は、基準画像データに基づく画像に関する情報を参照しつつ、ティーチング中の保持部の移動状態を確認することができる。

（７）基板搬送装置は、保持部の位置を修正するために使用者により操作可能な操作部をさらに備え、制御部は、ティーチングモードにおいて、操作部の操作に応答して位置調整部により調整された保持部の位置を修正する位置修正部をさらに含み、位置情報更新部は、ティーチングモードにおいて、位置調整部により調整された保持部の位置が位置修正部により修正された場合に、位置修正部による修正後に、位置取得部により取得された位置に基づいて記憶部に記憶された位置情報を更新してもよい。

この場合、使用者は、操作部を操作することにより、位置調整部により調整された保持部の位置を容易に修正することができる。
（８）保持部には、当該保持部に保持される基板の予め定められた部分が位置すべき基準位置が定義され、撮像部は、当該撮像部の視野が基準位置を含むように保持部に取り付けられてもよい。
（９）撮像部は、斜め上方の位置から基準位置を向く撮像が可能となるように、保持部の上面上に取り付けられてもよい。

（１０）本発明に係る基板処理装置は、基板に処理を行う基板処理装置であって、基板支持部を有し、基板支持部に支持された基板に処理を行うように構成された処理ユニットと、上記の基板搬送装置とを備え、基板搬送装置の制御部は、搬送モードにおいて、駆動部を制御することにより処理ユニットへ渡すべき基板または処理ユニットから受け取った基板を搬送する。

その基板処理装置は、上記の基板搬送装置を備えるので基板を搬送する保持部の正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能である。したがって、基板処理装置のメンテナンスに必要なコストの増大が抑制されるとともに、基板の搬送不良に起因する基板の処理不良の発生が防止される。

（１１）本発明に係る基板搬送装置のティーチング方法は、基板支持部に渡すべき基板または基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置のティーチング方法であって、基板搬送装置は、基板を保持するように構成される保持部と、保持部を移動させる駆動部とを含み、ティーチング方法は、保持部に撮像部を取り付けるステップと、保持部が基板支持部に基板を渡すかまたは保持部が基板支持部から基板を受け取るために保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、保持部が正規の受け渡し位置にある状態で撮像部により得られるべき基板支持部のうち基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶するステップと、記憶するステップにより記憶された位置情報に基づいて駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ保持部を移動させるステップと、保持部が暫定的な受け渡し位置に移動した後に、撮像部により得られる基板支持部の画像を示す実画像データを取得するステップと、実画像データを取得するステップにより取得される実画像データおよび記憶するステップにより記憶された基準画像データに基づいて駆動部を制御することにより、保持部が暫定的な受け渡し位置から正規の受け渡し位置に移動するように保持部の位置を調整するステップと、調整するステップによる保持部の位置の調整後に、保持部の位置を取得するとともに取得された位置に基づいて記憶するステップにより記憶された位置情報を更新するステップとを含む。

その基板搬送装置のティーチング方法においては、記憶された位置情報に基づいて、保持部が暫定的な受け渡し位置まで移動される。その後、取得される実画像データと基準画像データとに基づいて保持部の位置が調整されることにより、保持部が暫定的な受け渡し位置から正規の受け渡し位置へ移動される。保持部の位置の調整後に取得された保持部の位置に基づいて、記憶された位置情報が更新される。この場合、上記の基板搬送装置を用いて基板を搬送する際には、記憶された更新後の位置情報に基づいて駆動部を制御することにより保持部を正規の受け渡し位置に正確かつ容易に移動させることが可能になる。

上記の方法によれば、保持部に撮像部が取り付けられることにより、簡単な構成で撮像部により取得される実画像データと基準画像データとに基づいて保持部のティーチングが行われる。したがって、ティーチングごとに保持部により撮像部を保持するための構成を用意する必要がない。また、ティーチングごとに保持部により撮像部を保持する必要がないので、保持部と撮像部の視野との位置関係にばらつきが生じない。これらの結果、正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能になる。

本発明によれば、基板搬送装置の正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能になる。

（ａ）は本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置の平面図であり、（ｂ）は本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置の側面図であり、（ｃ）は本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置の正面図である。 （ａ）は図１のハンドに取り付けられるカメラの視野を示す平面図であり、（ｂ）は図１のハンドに取り付けられるカメラの視野を示す側面図である。 基板搬送装置の制御系の構成を示すブロック図である。 ティーチングモードにある基板搬送装置がハンドの受け取り位置を更新する具体例を示す図である。 ティーチングモードにある基板搬送装置がハンドの受け取り位置を更新する具体例を示す図である。 ティーチングモードにある基板搬送装置がハンドの受け取り位置を更新する具体例を示す図である。 ティーチングモードにある基板搬送装置がハンドの受け取り位置を更新する具体例を示す図である。 制御部の機能的な構成を示すブロック図である。 ティーチングモードにおける基板搬送装置の動作を示すフローチャートである。 ティーチングモードにおける基板搬送装置の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の模式的平面図である。 主として図１１の搬送部を示す側面図である。 主として図１１の塗布処理部、塗布現像処理部および洗浄乾燥処理部を示す基板処理装置の模式的側面図である。 主として図１１の熱処理部および洗浄乾燥処理部を示す基板処理装置の模式的側面図である。

以下、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法について図面を用いて説明する。なお、以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板またはフォトマスク用基板等をいう。

［１］基板搬送装置の構成
図１（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置５００の平面図、側面図および正面図である。図１の基板搬送装置５００は、移動部材５１０（図１（ｂ），（ｃ））、回転部材５２０、２つのハンドＨ１，Ｈ２および２つのカメラＣ１，Ｃ２を含む。移動部材５１０は、ガイドレール（図示せず）に沿って水平方向に移動可能に構成される。

移動部材５１０上には、略直方体形状の回転部材５２０が鉛直方向の軸の周りで回転可能に設けられる。回転部材５２０にはハンドＨ１，Ｈ２がそれぞれ支持部材５２１，５２２により支持される。ハンドＨ１，Ｈ２は、回転部材５２０の長手方向に進退可能に構成される。本実施の形態では、ハンドＨ２が回転部材５２０の上面の上方に位置し、ハンドＨ１がハンドＨ２の上方に位置する。

ハンドＨ１，Ｈ２の各々は、ガイド部Ｈａおよびアーム部Ｈｂからなる。ガイド部Ｈａは略円弧形状を有し、アーム部Ｈｂは長方形状を有する。ガイド部Ｈａの内周部には、ガイド部Ｈａの内側に向かうように複数（本例では３つ）の突出部ｐｒが形成されている。各突出部ｐｒの先端部に、吸着部ｓｍが設けられている。吸着部ｓｍは、吸気系（図示せず）に接続される。複数の突出部ｐｒの複数の吸着部ｓｍ上に基板Ｗが載置される。この状態で、複数の吸着部ｓｍ上の基板Ｗの複数箇所が吸気系によりそれぞれ複数の吸着部ｓｍに吸着される。

カメラＣ１，Ｃ２の各々は、例えば撮像素子およびレンズを含むＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサである。なお、カメラＣ１，Ｃ２の各々は、ＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサであってもよい。カメラＣ１，Ｃ２は、それぞれハンドＨ１，Ｈ２上に取り付けられている。各カメラＣ１，Ｃ２は、各ハンドＨ１，Ｈ２のガイド部Ｈａ上でかつ回転部材５２０の長手方向に延びる各ハンドＨ１，Ｈ２の中心軸ＣＬ（図１（ａ））上に位置する。

各ハンドＨ１，Ｈ２においては、保持される基板Ｗの中心が位置すべき基準の位置（以下、基準位置と呼ぶ。）ｒ１，ｒ２が予め定められている。各ハンドＨ１，Ｈ２における基準位置ｒ１，ｒ２は、例えばガイド部Ｈａの内周部に沿って形成される円の中心位置である。各ハンドＨ１，Ｈ２における基準位置ｒ１，ｒ２は、複数の吸着部ｓｍの中心位置であってもよい。

［２］カメラＣ１，Ｃ２の視野
図２（ａ），（ｂ）は、図１のハンドＨ１に取り付けられるカメラＣ１の視野を示す平面図および側面図である。図２（ａ），（ｂ）では、カメラＣ１の視野ｖｆが二点鎖線で示される。

カメラＣ１の視野ｖｆは、例えばカメラＣ１が有するレンズの倍率、画角および光軸の向き等により定まる。カメラＣ１の視野ｖｆは、少なくともハンドＨ１の基準位置ｒ１を含むように設定される。本例では、カメラＣ１の視野ｖｆは、基準位置ｒ１が視野ｖｆの中心に位置するように設定される。

図１のハンドＨ２に取り付けられるカメラＣ２についても、ハンドＨ１に取り付けられるカメラＣ１と同様に、カメラＣ２の視野ｖｆは、少なくともハンドＨ２の基準位置ｒ２を含むように設定される。本例では、カメラＣ２の視野ｖｆは、基準位置ｒ２が視野ｖｆの中心に位置するように設定される。

［３］基板搬送装置５００の制御系の構成
図３は基板搬送装置５００の制御系の構成を示すブロック図である。図３に示すように、基板搬送装置５００は、上下方向駆動モータ５１１、上下方向エンコーダ５１２、水平方向駆動モータ５１３、水平方向エンコーダ５１４、回転方向駆動モータ５１５、回転方向エンコーダ５１６、上ハンド進退用駆動モータ５２５、上ハンドエンコーダ５２６、下ハンド進退用駆動モータ５２７、下ハンドエンコーダ５２８、カメラＣ１，Ｃ２、制御部５３０、操作部５５０および表示部５９０を含む。

上下方向駆動モータ５１１は、制御部５３０の制御により図１の移動部材５１０を上下方向（本例では鉛直方向）に移動させる。上下方向エンコーダ５１２は、上下方向駆動モータ５１１の回転角度を示す信号を制御部５３０に出力する。それにより、制御部５３０は、移動部材５１０の上下方向の位置を検出することができる。

水平方向駆動モータ５１３は、制御部５３０の制御により図１の移動部材５１０を水平方向に移動させる。水平方向エンコーダ５１４は、水平方向駆動モータ５１３の回転角度を示す信号を制御部５３０に出力する。それにより、制御部５３０は、移動部材５１０の水平方向の位置を検出することができる。

回転方向駆動モータ５１５は、制御部５３０の制御により図１の回転部材５２０を上下方向（本例では鉛直方向）の軸の周りで回転させる。回転方向エンコーダ５１６は、回転方向駆動モータ５１５の回転角度を示す信号を制御部５３０に出力する。それにより、制御部５３０は、水平面内での回転部材５２０の向きを検出することができる。

上ハンド進退用駆動モータ５２５は、制御部５３０の制御により図１のハンドＨ１を回転部材５２０上で水平方向に進退させる。上ハンドエンコーダ５２６は、上ハンド進退用駆動モータ５２５の回転角度を示す信号を制御部５３０に出力する。それにより、制御部５３０は、回転部材５２０上でのハンドＨ１の位置を検出することができる。

下ハンド進退用駆動モータ５２７は、制御部５３０の制御により図１のハンドＨ２を回転部材５２０上で水平方向に進退させる。下ハンドエンコーダ５２８は、下ハンド進退用駆動モータ５２７の回転角度を示す信号を制御部５３０に出力する。それにより、制御部５３０は、回転部材５２０上でのハンドＨ２の位置を検出することができる。

カメラＣ１，Ｃ２の各画素は、制御部５３０の制御により受光量に対応する電気信号を受光信号として出力する。出力された受光信号は、制御部５３０に与えられる。制御部５３０は、各カメラＣ１，Ｃ２から与えられる受光信号に基づいて、各カメラＣ１，Ｃ２の視野ｖｆ内の画像を示す画像データを生成する。制御部５３０には、表示部５９０が接続されている。制御部５３０は、生成された画像データに基づく画像を表示部５９０に表示させる。

さらに、制御部５３０には、操作部５５０が接続される。使用者は、操作部５５０を操作することにより各種指令および情報を制御部５３０に与えることができる。

［４］搬送モードおよびティーチングモード
本実施の形態に係る基板搬送装置５００は、搬送モードおよびティーチングモードで動作可能に構成される。搬送モードにおいては、基板搬送装置５００は、例えば一の処理ユニットの所定の基板支持部にある基板をハンドＨ１，Ｈ２のいずれかにより受け取って搬送し、他の処理ユニットの所定の基板支持部に渡す（載置する）。基板支持部は、例えば基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持するスピンチャック、基板Ｗの外周端部を保持するスピンチャック、基板Ｗの裏面の複数の部分をそれぞれ支持する複数の支持ピン、または基板Ｗを載置可能なプレートである。

搬送モードにおいて各ハンドＨ１，Ｈ２が所定の基板支持部にある基板Ｗを受け取るための受け取り位置は、基板搬送装置５００に定義された固有の三次元座標系（以下、搬送装置座標系と呼ぶ。）で表され、図３の制御部５３０に記憶されている。また、搬送モードにおいて各ハンドＨ１，Ｈ２が所定の基板支持部に基板Ｗを渡すための載置位置も、搬送装置座標系で表され、図３の制御部５３０に記憶されている。

制御部５３０に記憶される受け取り位置は、基板搬送装置５００における部品の組み付け誤差または基板搬送装置５００の部品の摩耗等の影響により、正規の受け取り位置からずれる場合がある。また、制御部５３０に記憶される載置位置も、受け取り位置と同様の理由により、正規の載置位置からずれる場合がある。

そこで、ティーチングモードにおいては、基板搬送装置５００は、制御部５３０に記憶される受け取り位置が正規な受け取り位置を示すように、受け取り位置の更新を行う。また、基板搬送装置５００は、制御部５３０に記憶される載置位置が正規な載置位置を示すように、載置位置の更新を行う。ティーチングモードで更新された正規の受け取り位置および正規の載置位置に基づいて、基板搬送装置５００が搬送モードで動作することにより、基板Ｗの搬送不良が防止される。

ティーチングモードにある基板搬送装置５００が一のスピンチャックに対するハンドＨ１の受け取り位置を更新する際の動作について、具体例を説明する。初期状態においては、スピンチャックに対するハンドＨ１の暫定的な受け取り位置（搬送装置座標系における受け取り位置の座標）が制御部５３０に記憶されている。また、初期状態においては、ハンドＨ１が正規の受け取り位置にある状態でカメラＣ１により得られるべきスピンチャックの画像（以下、基準画像と呼ぶ。）を示す基準画像データが制御部５３０に記憶されている。本実施の形態では、基準画像データは、ハンドＨ１が正規の受け取り位置にある状態でカメラＣ１により得られる画像を示す画像データである。

図４〜図７は、ティーチングモードにある基板搬送装置５００がハンドＨ１の受け取り位置を更新する具体例を示す図である。図４（ａ），図５（ａ）、図６（ａ）および図７（ａ）には、スピンチャック１およびハンドＨ１の平面図が示される。図４（ｂ），図５（ｂ）、図６（ｂ）および図７（ｂ）には、スピンチャック１およびハンドＨ１の側面図が示される。図４（ｃ），図５（ｃ）、図６（ｃ）および図７（ｃ）には、カメラＣ１により得られる画像（以下、実画像と呼ぶ。）が実線で示されるとともに、基準画像におけるスピンチャックの画像が点線で示される。図４（ｃ），図５（ｃ）、図６（ｃ）および図７（ｃ）の実画像および基準画像においては、横方向がカメラＣ１の視野ｖｆ内の水平方向に対応する。

まず、記憶された暫定的な受け取り位置に基づいて、図３の上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３、回転方向駆動モータ５１５および上ハンド進退用駆動モータ５２５が制御される。それにより、図４（ａ），（ｂ）に示すように、ハンドＨ１が暫定的な受け取り位置まで移動する。この状態で、カメラＣ１によりスピンチャック１が撮像される。

本例のスピンチャック１は、円板形状を有し、基板Ｗの下面中央部を吸着可能に構成される。また、スピンチャック１は、鉛直方向に延びる回転軸３の上端部に設けられる。スピンチャック１の上面中心部には微小な内径を有する縦孔２が形成されている。

ハンドＨ１が正規の受け取り位置にある場合には、ハンドＨ１の基準位置ｒ１がスピンチャック１の縦孔２の位置に一致するとともに実画像と基準画像とが一致することになる。図４（ａ），（ｂ）の例では、ハンドＨ１の基準位置ｒ１がスピンチャック１の縦孔２の位置から大きくずれている。また、図４（ｃ）に示すように、実画像も基準画像から大きくずれている。

そこで、本例では、まずハンドＨ１の進退方向、すなわちハンドＨ１の水平方向の向きを調整するために、図４（ｂ）に白抜きの矢印ａｒ０で示すようにハンドＨ１が暫定的な受け取り位置から所定高さ分上昇する。

図５（ａ），（ｂ）に示すように、ハンドＨ１が暫定的な受け取り位置よりも所定高さ分上方に位置する状態では、図５（ｃ）に示すように、実画像中のスピンチャック１の上面の画像が、図４（ｃ）に示されるスピンチャック１の上面のの画像に比べて大きくなる。それにより、実画像中のスピンチャック１の縦孔２の画像（以下、孔画像２ａと呼ぶ。）を明瞭に識別することが可能になる。

カメラＣ１の視野ｖｆは、基準位置ｒ１が視野ｖｆの中心に位置するように設定されている。そのため、ハンドＨ１の向きがスピンチャック１の中心軸に合っている場合には、孔画像２ａが実画像全体における横方向の中心に位置することになる。

そこで、図５（ａ）に白抜きの矢印ａｒ１で示すように、孔画像２ａが実画像全体における横方向の中心に到達するまでハンドＨ１が回転する。それにより、平面視でハンドＨ１の中心軸ＣＬがスピンチャック１の縦孔２に重なるようにハンドＨ１の水平方向の向きが調整される。その後、図５（ｂ）に白抜きの矢印ａｒ２で示すように、ハンドＨ１が初期状態の高さまで下降する。

図６（ａ），（ｂ）の状態では、ハンドＨ１の基準位置ｒ１はスピンチャック１の縦孔２から上下方向にずれるとともにハンドＨ１の進退方向にずれている。そのため、図６（ｃ）に示すように、孔画像２ａが画像全体における中心に存在しない。また、実画像におけるスピンチャック１の画像（以下、チャック画像１ａと呼ぶ。）の大きさが基準画像におけるスピンチャック１の画像（以下、チャック画像１ｂと呼ぶ。）の大きさと一致しない。

そこで、図６（ａ）に白抜きの矢印ａｒ３で示すようにハンドＨ１が進退方向に移動（本例では前進）するとともに、図６（ｂ）に白抜きの矢印ａｒ４で示すようにハンドＨ１が上下方向に移動（本例では下降）する。

このとき、ハンドＨ１の進退方向および上下方向の移動量は、実画像上のチャック画像１ａの各部の寸法と基準画像上のチャック画像１ｂの各部の寸法とに基づいて算出される。実画像上のチャック画像１ａの各部の寸法と基準画像上のチャック画像１ｂの各部の寸法との対比は、例えばパターンマッチング等の画像処理技術を用いることにより実現可能である。図６（ｃ）の例では、チャック画像１ａの横方向の寸法Ｄ１ａおよび縦方向の寸法Ｄ２ａが、チャック画像１ｂの横方向の寸法Ｄ１ｂおよび縦方向の寸法Ｄ２ｂにそれぞれ一致するように、ハンドＨ１の進退方向および上下方向の移動量がそれぞれ算出される。

上記のようにして、ハンドＨ１の位置が調整されることにより、図７（ａ），（ｂ）に示すように、ハンドＨ１の基準位置ｒ１がスピンチャック１の縦孔２に一致し、図７（ｃ）に示すように、実画像と基準画像とが一致する。

基板搬送装置５００においては、図３の上下方向エンコーダ５１２、水平方向エンコーダ５１４、回転方向エンコーダ５１６および上ハンドエンコーダ５２６からの出力に基づいて、調整後のハンドＨ１の位置を搬送装置座標系上の座標データとして取得することが可能である。そこで、調整後のハンドＨ１の位置が正規の受け取り位置として取得され、初期状態で記憶された暫定的な受け取り位置が、取得された正規の受け取り位置により更新される。

上記の具体例では、ハンドＨ１が暫定的な受け取り位置に移動した後、ハンドＨ１の向きを調整するためにハンドＨ１が一時的に所定高さ分上昇しているが、暫定的な受け取り位置で取得される実画像において孔画像２ａを明瞭に識別できる場合にはハンドＨ１を上昇させる必要はない。

また、上記の具体例では、実画像上の孔画像２ａが実画像全体における横方向の中心に位置するようにハンドＨ１の向きが調整されているが、ハンドＨ１の向きは、実画像上のチャック画像１ａまたは回転軸３の画像に基づいて調整されてもよい。例えば、チャック画像１ａの横方向の中心が実画像全体における横方向の中心に位置するようにハンドＨ１の向きが調整されてもよいし、回転軸３の画像の横方向の中心が実画像全体における横方向の中心に位置するようにハンドＨ１の向きが調整されてもよい。

さらに、上記の具体例では、実画像上のチャック画像１ａが基準画像上のチャック画像１ｂに一致するようにハンドＨ１の位置が調整されているが、ハンドＨ１の位置は、実画像上の回転軸３の画像が基準画像上の回転軸３の画像に一致するように調整されてもよい。

さらに、上記の具体例では、実画像のみに基づいてハンドＨ１の向きが調整された後、実画像および基準画像に基づいてハンドＨ１の上下方向および進退方向の位置が調整されているが、実画像および基準画像に基づいてハンドＨ１の向きならびにハンドＨ１の上下方向および進退方向の位置が調整されてもよい。すなわち、チャック画像１ａ，１ｂが一致するように、ハンドＨ１の向きならびにハンドＨ１の上下方向および進退方向の位置が同時にまたは順次調整されてもよい。

［５］制御部５３０の機能的な構成
図８は、制御部５３０の機能的な構成を示すブロック図である。制御部５３０は、動作モード切替部５０、基準画像記憶部５１、表示制御部５２、画像データ生成部５３、位置調整部５４、位置修正部５５、位置情報記憶部５６、移動制御部５７、位置取得部５８、位置情報更新部５９、ずれ量記憶部６０および警報出力部６１を含む。

制御部５３０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）およびＲＯＭ（リードオンリメモリ）により構成される。ＣＰＵがＲＯＭまたは他の記憶媒体に記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより、制御部５３０の各構成要素の機能が実現される。なお、制御部５３０の一部またはすべての構成要素が電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

以下の説明では、所定の基板支持部に対する各ハンドＨ１，Ｈ２の受け取り位置および載置位置を適宜受け渡し位置と総称する。

動作モード切替部５０は、例えば使用者による図３の操作部５５０の操作に基づいて基板搬送装置５００の動作モードを搬送モードまたはティーチングモードに切り替える。位置情報記憶部５６は、基板搬送装置５００が基板Ｗを受け取る基板支持部および基板搬送装置５００が基板Ｗを渡す基板支持部の各々についての受け渡し位置を位置情報として記憶する。

基準画像記憶部５１は、基板支持部ごとに、各ハンドＨ１，Ｈ２が正規の受け渡し位置にある状態でカメラＣ１，Ｃ２の撮像により得られるべき基板支持部の画像（基準画像）を示す基準画像データを記憶する。

移動制御部５７は、ティーチングモードにおいて、位置情報記憶部５６に記憶された位置情報に基づいて、図３の上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３および回転方向駆動モータ５１５を制御するとともに、上ハンド進退用駆動モータ５２５または下ハンド進退用駆動モータ５２７を制御する。それにより、ハンドＨ１またはハンドＨ２が暫定的な受け渡し位置に移動する。

画像データ生成部５３は、ティーチングモードにおいて、各ハンドＨ１，Ｈ２のカメラＣ１，Ｃ２により基板支持部を撮像し、実画像を示す画像データを実画像データとして生成する。

表示制御部５２は、ティーチングモードにおいて、画像データ生成部５３により生成される実画像データに基づく実画像を図３の表示部５９０に表示する。このとき、表示制御部５２は、図４（ｃ）、図５（ｃ）、図６（ｃ）および図７（ｃ）に示すように、実画像とともに基準画像記憶部５１に記憶された基準画像データに基づく基準画像を表示部５９０に表示してもよい。この場合、基準画像は、実画像と区別できるように、例えば半透明の状態で表示されることが好ましい。

位置調整部５４は、ティーチングモードにおいて、基板支持部の実画像が基準画像記憶部５１に記憶された基板支持部の基準画像に一致するかまたはほぼ一致するように、図３の上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３および回転方向駆動モータ５１５を制御するとともに、上ハンド進退用駆動モータ５２５または下ハンド進退用駆動モータ５２７を制御し、各ハンドＨ１，Ｈ２の位置を調整する。

位置修正部５５は、ティーチングモードにおいて、例えば使用者による図３の操作部５５０の操作に基づいて図３の上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３および回転方向駆動モータ５１５を制御するとともに、上ハンド進退用駆動モータ５２５または下ハンド進退用駆動モータ５２７を制御し、各ハンドＨ１，Ｈ２の位置を修正する。

位置取得部５８は、図３の上下方向エンコーダ５１２、水平方向エンコーダ５１４、回転方向エンコーダ５１６、上ハンドエンコーダ５２６および下ハンドエンコーダ５２８のうち少なくとも１つから出力される信号に基づいて、移動制御部５７、位置調整部５４および位置修正部５５による移動後のハンドＨ１またはハンドＨ２の位置を取得する。

位置情報更新部５９は、ティーチングモードにおいて、位置調整部５４により調整された各ハンドＨ１，Ｈ２の位置または位置修正部５５により修正された各ハンドＨ１，Ｈ２の位置を正規な受け渡し位置として位置情報記憶部５６に記憶された位置情報を更新する。

ずれ量記憶部６０は、ティーチングモードにおいて、位置情報が更新されるごとに、初期状態における暫定的な受け渡し位置と更新された正規の受け渡し位置とのずれ量を算出するとともに算出したずれ量を記憶する。警報出力部６１は、一の受け渡し位置に関してずれ量記憶部６０に新たなずれ量が記憶されたときに、新たなずれ量と前回のティーチング時にずれ量記憶部６０に記憶されたずれ量との差分を算出する。また、警報出力部６１は、算出された差分が予め定められた差分しきい値よりも大きい場合に警報を出力する。この場合、使用者は、ハンドＨ１，Ｈ２のティーチング時に基板搬送装置５００の異常を容易に知ることができる。

上記のように、ティーチングモードにおいて位置情報記憶部５６に正規の受け渡し位置が記憶される。この状態で、移動制御部５７は、搬送モードにおいて、位置情報記憶部５６に記憶された位置情報に基づいて、図３の上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３および回転方向駆動モータ５１５を制御するとともに、上ハンド進退用駆動モータ５２５または下ハンド進退用駆動モータ５２７を制御する。それにより、ハンドＨ１またはハンドＨ２が正規の受け渡し位置へ移動し、複数の基板支持部間で基板Ｗが正確に搬送される。

［６］ティーチングモードにおける基板搬送装置５００の動作
図９および図１０は、ティーチングモードにおける基板搬送装置５００の動作を示すフローチャートである。ここでは、一の基板支持部に対するハンドＨ１のティーチングについて説明する。以下に説明する動作は、基板搬送装置５００がティーチングモードに切り替えられた後、使用者が操作部５５０を操作することにより、ティーチングの対象となるハンドＨ１，Ｈ２のいずれかが指定されるとともに一の基板支持部が指定されることにより開始される。

初期状態においては、基板搬送装置５００の動作モードが図８の動作モード切替部５０によりティーチングモードに設定されているものとする。また、図８の位置情報記憶部５６には、予め一の基板支持部に対する暫定的な受け渡し位置が位置情報として記憶されているものとする。

一の基板支持部に対してハンドＨ１の受け渡し位置のティーチングを行う場合、図８の移動制御部５７は、まず位置情報記憶部５６に記憶された位置情報に基づいて、ハンドＨ１を一の基板支持部に対応する暫定的な受け渡し位置へ移動させる（ステップＳ１１）。

次に、図８の画像データ生成部５３は、ハンドＨ１が暫定的な受け渡し位置にある状態でカメラＣ１により基板支持部を撮像し、実画像データを生成する（ステップＳ１２）。また、図８の表示制御部５２は、生成された実画像データに基づいて図３の表示部５９０に実画像を表示するとともに、図８の基準画像記憶部５１に記憶されている基準画像データに基づいて実画像上に半透明の基準画像を重畳表示する（ステップＳ１３）。なお、画像データ生成部５３は、ティーチングモードにおいて一定周期で基板支持部の撮像および実画像データの生成を繰り返してもよい。この場合、表示制御部５２は、繰り返し生成される実画像データに基づく実画像を表示部５９０に表示してもよい。

次に、図８の位置調整部５４は、実画像と基準画像との一致度を算出する（ステップＳ１４）。ここで、一致度とは、基準画像に対して実画像が近似している程度をいう。一致度が高いほど実画像は基準画像に近似しており、一致度が低いほど実画像は基準画像から相違している。そこで、位置調整部５４は、算出された一致度が、予め定められた一致度しきい値よりも高いか否かを判定する。位置調整部５４は、算出された一致度が一致度しきい値以下である場合、一致度が高くなるように実画像データおよび基準画像データに基づいてハンドＨ１の位置を調整し（ステップＳ１６）、ステップＳ１５の処理に戻る。

位置調整部５４は、ステップＳ１５において算出された一致度が一致度しきい値よりも高い場合、図３の操作部５５０により使用者からハンドＨ１の位置を再度調整するための修正指令があるか否かを判定する（ステップＳ１７）。図８の位置修正部５５は、修正指令があった場合、その修正指令に基づいてハンドＨ１の位置を調整し（ステップＳ１８）、ステップＳ１７の処理に戻る。

図８の位置情報更新部５９は、ステップＳ１７において修正指令がない場合、図８の位置取得部５８により取得される現在のハンドＨ１の位置を正規の受け取り位置として図８の位置情報記憶部５６に記憶されたハンドＨ１の位置情報を更新する（ステップＳ１９）。

次に、図８のずれ量記憶部６０は、ステップＳ１１の初期状態における暫定的な受け渡し位置とステップＳ１９で更新された正規の受け渡し位置とのずれ量を算出し、算出されたずれ量を記憶する（ステップＳ２０）。

次に、図８の警報出力部６１は、一の基板支持部に対して前回のティーチング時にステップＳ２０で算出されたずれ量と、今回のティーチング時にステップＳ２０で算出されたずれ量との差分を算出する（ステップＳ２１）。また、警報出力部６１は、算出結果が予め定められた差分しきい値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ２２）。

算出結果が予め定められた差分しきい値以下である場合には、ハンドＨ１の受け渡し位置についての一連のティーチング動作が終了する。一方、算出結果が予め定められた差分しきい値よりも大きい場合、警報出力部６１は、警報を出力する（ステップＳ２３）。その後、一連のティーチング動作が終了する。

［７］基板搬送装置５００に関する効果
（ａ）本実施の形態に係る基板搬送装置５００においては、ハンドＨ１，Ｈ２にそれぞれカメラＣ１，Ｃ２が取り付けられている。それにより、簡単な構成で各カメラＣ１，Ｃ２により取得される実画像データと基準画像データとに基づいて各ハンドＨ１，Ｈ２のそれぞれのティーチングを行うことができる。したがって、ティーチングごとに各ハンドＨ１，Ｈ２により各カメラＣ１，Ｃ２を保持するための構成を用意する必要がない。また、ティーチングごとに各ハンドＨ１，Ｈ２により各カメラＣ１，Ｃ２を保持する必要がないので、各ハンドＨ１，Ｈ２と各カメラＣ１，Ｃ２の視野ｖｆとの位置関係にばらつきが生じない。これらの結果、正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能になる。

（ｂ）本実施の形態では、各ハンドＨ１，Ｈ２が正規の受け取り位置にある状態で各カメラＣ１，Ｃ２により得られる画像を示す画像データが基準画像データとして用いられる。この場合、正確な基準画像データを容易に取得することができる。

（ｃ）上記のように、ティーチングモードにおいては、実画像データに基づく実画像が表示部５９０に表示されるとともに基準画像が表示部５９０に表示される。実画像データが周期的に生成され、生成された実画像データに基づく実画像が動画として表示部５９０に順次表示される場合、使用者は、基準画像を参照しつつ実画像を視認することにより、ティーチング中の各ハンドＨ１，Ｈ２の移動状態を容易に確認することができる。それにより、使用者は、例えば位置調整部５４によるハンドＨ１（ハンドＨ２）の位置の調整後、表示部５９０に表示される実画像を参照しつつ操作部５５０を操作することによりハンドＨ１（ハンドＨ２）の位置をさらに修正することが可能である。

［８］基板処理装置の構成および動作
図１１は、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の模式的平面図である。図１１以降の図面には、位置関係を明確にするために互いに直交するＵ方向、Ｖ方向およびＷ方向を示す矢印を付している。Ｕ方向およびＶ方向は水平面内で互いに直交し、Ｗ方向は鉛直方向に相当する。

図１１に示すように、基板処理装置１００は、インデクサブロック１１、第１の処理ブロック１２、第２の処理ブロック１３、洗浄乾燥処理ブロック１４Ａおよび搬入搬出ブロック１４Ｂを備える。洗浄乾燥処理ブロック１４Ａおよび搬入搬出ブロック１４Ｂによりインターフェイスブロック１４が構成される。搬入搬出ブロック１４Ｂに隣接するように露光装置１５が配置される。露光装置１５においては、液浸法により基板Ｗに露光処理が行われる。

インデクサブロック１１は、複数のキャリア載置部１１１および搬送部１１２を含む。各キャリア載置部１１１には、複数の基板Ｗを多段に収納するキャリア１１３が載置される。搬送部１１２には、主制御部１１４および基板搬送装置（インデクサロボット）５００ｅが設けられる。主制御部１１４は、基板処理装置１００の種々の構成要素を制御する。

第１の処理ブロック１２は、塗布処理部１２１、搬送部１２２および熱処理部１２３を含む。塗布処理部１２１および熱処理部１２３は、搬送部１２２を挟んで対向するように設けられる。第２の処理ブロック１３は、塗布現像処理部１３１、搬送部１３２および熱処理部１３３を含む。塗布現像処理部１３１および熱処理部１３３は、搬送部１３２を挟んで対向するように設けられる。

洗浄乾燥処理ブロック１４Ａは、洗浄乾燥処理部１６１，１６２および搬送部１６３を含む。洗浄乾燥処理部１６１，１６２は、搬送部１６３を挟んで対向するように設けられる。搬送部１６３には、基板搬送装置（搬送ロボット）５００ｆ，５００ｇが設けられる。搬入搬出ブロック１４Ｂには、基板搬送装置５００ｈが設けられる。基板搬送装置５００ｈは、露光装置１５に対する基板Ｗの搬入および搬出を行う。露光装置１５には、基板Ｗを搬入するための基板搬入部１５ａおよび基板Ｗを搬出するための基板搬出部１５ｂが設けられる。

図１２は主として図１１の搬送部１２２，１３２，１６３を示す側面図である。図１２に示すように、搬送部１２２は、上段搬送室１２５および下段搬送室１２６を有する。搬送部１３２は、上段搬送室１３５および下段搬送室１３６を有する。上段搬送室１２５には基板搬送装置（搬送ロボット）５００ａが設けられ、下段搬送室１２６には基板搬送装置５００ｃが設けられる。また、上段搬送室１３５には基板搬送装置５００ｂが設けられ、下段搬送室１３６には基板搬送装置５００ｄが設けられる。

基板搬送装置５００ａは、ガイドレール５０１，５０２，５０３、移動部材５１０、回転部材５２０およびハンドＨ１，Ｈ２を備える。ガイドレール５０１，５０２は、上下方向に延びるようにそれぞれ設けられる。ガイドレール５０３は、ガイドレール５０１とガイドレール５０２との間で水平方向（Ｕ方向）に延びるように設けられ、上下動可能にガイドレール５０１，５０２に取り付けられる。移動部材５１０は、水平方向（Ｕ方向）に移動可能にガイドレール５０３に取り付けられる。基板搬送装置５００ｂ〜５００ｄの構成は基板搬送装置５００ａの構成と同様である。

搬送部１１２の基板搬送装置５００ｅは、基板Ｗを保持するためのハンドＨ１を有し、図１１の搬送部１６３の基板搬送装置５００ｆ，５００ｇおよび図１２の基板搬送装置５００ｈの各々は基板Ｗを保持するためのハンドＨ１，Ｈ２を有する。図１１および図１２の基板処理装置１００における基板搬送装置５００ａ〜５００ｈとして上記の基板搬送装置５００が用いられる。基板搬送装置５００ａ〜５００ｈの制御部５３０（図３）は、搬送モードにおける基板搬送動作時およびティーチングモードにおけるティーチング動作時に、主制御部１１４により統括的に制御される。基板搬送装置５００ａ〜５００ｈの操作部５５０（図３）および表示部５９０（図３）は、基板搬送装置５００に設けられた共通の操作パネルであってもよい。

搬送部１１２と上段搬送室１２５との間には、基板載置部ＰＡＳＳ１，ＰＡＳＳ２が設けられ、搬送部１１２と下段搬送室１２６との間には、基板載置部ＰＡＳＳ３，ＰＡＳＳ４が設けられる。上段搬送室１２５と上段搬送室１３５との間には、基板載置部ＰＡＳＳ５，ＰＡＳＳ６が設けられ、下段搬送室１２６と下段搬送室１３６との間には、基板載置部ＰＡＳＳ７，ＰＡＳＳ８が設けられる。

上段搬送室１３５と搬送部１６３との間には、載置兼バッファ部Ｐ−ＢＦ１が設けられ、下段搬送室１３６と搬送部１６３との間には載置兼バッファ部Ｐ−ＢＦ２が設けられる。搬送部１６３において搬入搬出ブロック１４Ｂと隣接するように、基板載置部ＰＡＳＳ９および複数の載置兼冷却部Ｐ−ＣＰが設けられる。

図１３は、主として図１１の塗布処理部１２１、塗布現像処理部１３１および洗浄乾燥処理部１６１を示す基板処理装置１００の模式的側面図である。

図１３に示すように、塗布処理部１２１には、塗布処理室２１，２２，２３，２４が階層的に設けられる。塗布処理室２１〜２４の各々には、塗布処理ユニット（スピンコータ）１２９が設けられる。塗布現像処理部１３１には、現像処理室３１，３３および塗布処理室３２，３４が階層的に設けられる。現像処理室３１，３３の各々には現像処理ユニット（スピンデベロッパ）１３９が設けられ、塗布処理室３２，３４の各々には塗布処理ユニット１２９が設けられる。

各塗布処理ユニット１２９は、基板Ｗを保持するスピンチャック２５およびスピンチャック２５の周囲を覆うように設けられるカップ２７を備える。本実施の形態では、各塗布処理ユニット１２９に２組のスピンチャック２５およびカップ２７が設けられる。

塗布処理ユニット１２９においては、図示しない駆動装置によりスピンチャック２５が回転されるとともに、複数の処理液ノズル２８（図１１）のうちのいずれかの処理液ノズル２８がノズル搬送機構２９により基板Ｗの上方に移動され、その処理液ノズル２８から処理液が吐出される。それにより、基板Ｗ上に処理液が塗布される。また、図示しないエッジリンスノズルから、基板Ｗの周縁部にリンス液が吐出される。それにより、基板Ｗの周縁部に付着する処理液が除去される。

塗布処理室２２，２４の塗布処理ユニット１２９においては、反射防止膜用の処理液が処理液ノズル２８から基板Ｗに供給される。それにより、基板Ｗ上に反射防止膜が形成される。塗布処理室２１，２３の塗布処理ユニット１２９においては、レジスト膜用の処理液が処理液ノズル２８から基板Ｗに供給される。それにより、基板Ｗ上にレジスト膜が形成される。塗布処理室３２，３４の塗布処理ユニット１２９においては、レジストカバー膜用の処理液が処理液ノズル２８から基板Ｗに供給される。それにより、基板Ｗ上にレジストカバー膜が形成される。

現像処理ユニット１３９は、塗布処理ユニット１２９と同様に、スピンチャック３５およびカップ３７を備える。また、図１１に示すように、現像処理ユニット１３９は、現像液を吐出する２つの現像ノズル３８およびその現像ノズル３８をＸ方向に移動させる移動機構３９を備える。

現像処理ユニット１３９においては、図示しない駆動装置によりスピンチャック３５が回転されるとともに、一方の現像ノズル３８がＵ方向に移動しつつ各基板Ｗに現像液を供給し、その後、他方の現像ノズル３８が移動しつつ各基板Ｗに現像液を供給する。この場合、基板Ｗに現像液が供給されることにより、基板Ｗの現像処理が行われる。

洗浄乾燥処理部１６１には、洗浄乾燥処理室８１，８２，８３，８４が階層的に設けられる。洗浄乾燥処理室８１〜８４の各々には、洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１が設けられる。洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１においては、図示しないスピンチャックを用いて露光処理前の基板Ｗの洗浄および乾燥処理が行われる。

図１４は主として図１１の熱処理部１２３，１３３および洗浄乾燥処理部１６２を示す基板処理装置１００の模式的側面図である。図１４に示すように、熱処理部１２３は、上段熱処理部３０１および下段熱処理部３０２を有する。上段熱処理部３０１および下段熱処理部３０２には、複数の加熱ユニットＰＨＰ、複数の密着強化処理ユニットＰＡＨＰおよび複数の冷却ユニットＣＰが設けられる。加熱ユニットＰＨＰにおいては、基板Ｗの加熱処理が行われる。密着強化処理ユニットＰＡＨＰにおいては、基板Ｗと反射防止膜との密着性を向上させるための密着強化処理が行われる。冷却ユニットＣＰにおいては、基板Ｗの冷却処理が行われる。

熱処理部１３３は、上段熱処理部３０３および下段熱処理部３０４を有する。上段熱処理部３０３および下段熱処理部３０４には、冷却ユニットＣＰ、複数の加熱ユニットＰＨＰおよびエッジ露光部ＥＥＷが設けられる。エッジ露光部ＥＥＷにおいては、基板Ｗ上に形成されたレジスト膜の周縁部の一定幅の領域に露光処理（エッジ露光処理）が行われる。上段熱処理部３０３および下段熱処理部３０４において、洗浄乾燥処理ブロック１４Ａに隣り合うように設けられる加熱ユニットＰＨＰは、洗浄乾燥処理ブロック１４Ａからの基板Ｗの搬入が可能に構成される。

洗浄乾燥処理部１６２には、洗浄乾燥処理室９１，９２，９３，９４，９５が階層的に設けられる。洗浄乾燥処理室９１〜９５の各々には、洗浄乾燥処理ユニットＳＤ２が設けられる。洗浄乾燥処理ユニットＳＤ２においては、図示しないスピンチャックを用いて露光処理後の基板Ｗの洗浄および乾燥処理が行われる。

図１１〜図１４を参照しながら基板処理装置１００の動作を説明する。基板処理装置１００の稼働時には、基板搬送装置５００ａ〜５００ｈによる基板の搬送動作が行われる。

ここで、基板載置部ＰＡＳＳ１〜ＰＡＳＳ９、載置兼冷却部Ｐ−ＣＰ、塗布処理ユニット１２９、現像処理ユニット１３９、密着強化処理ユニットＰＡＨＰ、冷却ユニットＣＰ、加熱ユニットＰＨＰ、エッジ露光部ＥＥＷおよび洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２の各々が、上記の一の処理ユニットおよび他の処理ユニットに相当する。各処理ユニットは基板支持部を有する。各処理ユニットの基板支持部には、基板搬送装置５００ａ〜５００ｈのいずれかにより受け取り位置および載置位置が設定されている。例えば、塗布処理ユニット１２９、現像処理ユニット１３９、エッジ露光部ＥＥＷおよび洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２の各々において、スピンチャックが基板支持部であり、正規の受け取り位置および正規の載置位置はスピンチャックの回転中心である。基板載置部ＰＡＳＳ１〜ＰＡＳＳ９において、３本の支持ピンが基板支持部であり、正規の受け取り位置および正規の載置位置は３本の支持ピンの上端部の中心位置である。載置兼冷却部Ｐ−ＣＰ、密着強化処理ユニットＰＡＨＰ、冷却ユニットＣＰおよび加熱ユニットＰＨＰの各々において、クーリングプレートまたは加熱プレートが基板支持部であり、正規の受け取り位置および正規の載置位置はクーリングプレートまたは加熱プレートの上面の中心から一定距離上方の位置である。

基板搬送動作時に、図１２において、インデクサブロック１１のキャリア載置部１１１（図１１）に、未処理の基板Ｗが収容されたキャリア１１３が載置される。基板搬送装置５００ｅは、キャリア１１３から基板載置部ＰＡＳＳ１，ＰＡＳＳ３に未処理の基板Ｗを搬送する。また、基板搬送装置５００ｅは、基板載置部ＰＡＳＳ２，ＰＡＳＳ４に載置された処理済の基板Ｗをキャリア１１３に搬送する。

第１の処理ブロック１２において、基板搬送装置５００ａは、基板載置部ＰＡＳＳ１に載置された基板Ｗを密着強化処理ユニットＰＡＨＰ（図１４）、冷却ユニットＣＰ（図１４）および塗布処理室２２（図１３）に順に搬送する。次に、基板搬送装置５００ａは、塗布処理室２２により反射防止膜が形成された基板Ｗを加熱ユニットＰＨＰ（図１４）、冷却ユニットＣＰ（図１４）および塗布処理室２１（図１３）に順に搬送する。続いて、基板搬送装置５００ａは、塗布処理室２１によりレジスト膜が形成された基板Ｗを、加熱ユニットＰＨＰ（図１４）および基板載置部ＰＡＳＳ５に順に搬送する。また、基板搬送装置５００ａは、基板載置部ＰＡＳＳ６に載置された現像処理後の基板Ｗを基板載置部ＰＡＳＳ２に搬送する。

基板搬送装置５００ｃは、基板載置部ＰＡＳＳ３に載置された基板Ｗを密着強化処理ユニットＰＡＨＰ（図１４）、冷却ユニットＣＰ（図１４）および塗布処理室２４（図１３）に順に搬送する。次に、基板搬送装置５００ｃは、塗布処理室２４により反射防止膜が形成された基板Ｗを加熱ユニットＰＨＰ（図１４）、冷却ユニットＣＰ（図１４）および塗布処理室２３（図１３）に順に搬送する。続いて、基板搬送装置５００ｃは、塗布処理室２３によりレジスト膜が形成された基板Ｗを加熱ユニットＰＨＰ（図１４）および基板載置部ＰＡＳＳ７に順に搬送する。また、基板搬送装置５００ｃは、基板載置部ＰＡＳＳ８に載置された現像処理後の基板Ｗを基板載置部ＰＡＳＳ４に搬送する。

第２の処理ブロック１３において、基板搬送装置５００ｂは、基板載置部ＰＡＳＳ５に載置されたレジスト膜形成後の基板Ｗを塗布処理室３２（図１３）、加熱ユニットＰＨＰ（図１４）、エッジ露光部ＥＥＷ（図１４）および載置兼バッファ部Ｐ−ＢＦ１に順に搬送する。また、基板搬送装置５００ｂは、洗浄乾燥処理ブロック１４Ａに隣接する加熱ユニットＰＨＰ（図１４）から露光装置１５による露光処理後でかつ熱処理後の基板Ｗを取り出す。基板搬送装置５００ｂは、その基板Ｗを冷却ユニットＣＰ（図１４）、現像処理室３１（図１３）、加熱ユニットＰＨＰ（図１４）および基板載置部ＰＡＳＳ６に順に搬送する。

基板搬送装置５００ｄは、基板載置部ＰＡＳＳ７に載置されたレジスト膜形成後の基板Ｗを塗布処理室３４（図１３）、加熱ユニットＰＨＰ（図１４）、エッジ露光部ＥＥＷ（図１４）および載置兼バッファ部Ｐ−ＢＦ２に順に搬送する。また、基板搬送装置５００ｄは、洗浄乾燥処理ブロック１４Ａに隣接する加熱ユニットＰＨＰ（図１４）から露光装置１５による露光処理後でかつ熱処理後の基板Ｗを取り出す。基板搬送装置５００ｄは、その基板Ｗを冷却ユニットＣＰ（図１４）、現像処理室３３（図１３）、加熱ユニットＰＨＰ（図１４）および基板載置部ＰＡＳＳ８に順に搬送する。

図１１の洗浄乾燥処理ブロック１４Ａにおいて、基板搬送装置５００ｆは、載置兼バッファ部Ｐ−ＢＦ１，Ｐ−ＢＦ２（図１２）に載置された基板Ｗを洗浄乾燥処理部１６１の洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１（図１３）に搬送する。続いて、基板搬送装置５００ｆは、基板Ｗを洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１から載置兼冷却部Ｐ−ＣＰ（図１２）に搬送する。図１１の基板搬送装置５００ｇは、基板載置部ＰＡＳＳ９（図１１）に載置された露光処理後の基板Ｗを洗浄乾燥処理部１６２の洗浄乾燥処理ユニットＳＤ２（図１４）に搬送する。また、基板搬送装置５００ｇは、洗浄および乾燥処理後の基板Ｗを洗浄乾燥処理ユニットＳＤ２から上段熱処理部３０３の加熱ユニットＰＨＰ（図１４）または下段熱処理部３０４の加熱ユニットＰＨＰ（図１４）に搬送する。

図１２の搬入搬出ブロック１４Ｂにおいて、基板搬送装置５００ｈは、載置兼冷却部Ｐ−ＣＰに載置された露光処理前の基板Ｗを露光装置１５の基板搬入部１５ａ（図１１）に搬送する。また、基板搬送装置５００ｈは、露光装置１５の基板搬出部１５ｂ（図１１）から露光処理後の基板Ｗを取り出し、その基板Ｗを基板載置部ＰＡＳＳ９に搬送する。

上記の基板処理装置１００においては、基板搬送装置５００ａ〜５００ｈの各々に設けられるハンドＨ１，Ｈ２の正確なティーチングを低コストで安定して行うことが可能である。したがって、基板処理装置１００のメンテナンスに必要なコストの増大が抑制されるとともに、基板Ｗの搬送不良に起因する基板Ｗの処理不良の発生が防止される。

また、基板処理装置１００においては、各基板搬送装置５００ａ〜５００ｈのハンドＨ１，Ｈ２の受け取り位置および載置位置のティーチングを並行して行うことができる。それにより、基板処理装置１００における基板搬送装置５００ａ〜５００ｈのティーチングにかかる時間を短縮することができる。

［９］他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態においては、カメラＣ１，Ｃ２がハンドＨ１，Ｈ２の上面上にそれぞれ取り付けられるが、カメラＣ１，Ｃ２はハンドＨ１，Ｈ２の下面上にそれぞれ取り付けられてもよい。また、カメラＣ１，Ｃ２はハンドＨ１，Ｈ２の中心軸ＣＬ上にそれぞれ位置しなくてもよい。

（ｂ）上記実施の形態においては、ハンドＨ１，Ｈ２の基準位置ｒ１，ｒ２がハンドＨ１，Ｈ２の視野ｖｆの中心にそれぞれ位置するように、カメラＣ１，Ｃ２の視野ｖｆがそれぞれ設定されているが、本発明はこれに限定されない。カメラＣ１，Ｃ２の視野ｖｆは、ハンドＨ１，Ｈ２の基準位置ｒ１，ｒ２がハンドＨ１，Ｈ２の視野ｖｆの中心からずれるようにそれぞれ設定されてもよい。

（ｃ）上記実施の形態においては、基準画像データは、各ハンドＨ１，Ｈ２が正規の受け取り位置にある状態で各カメラＣ１，Ｃ２により得られる画像を示す実画像データであるが、本発明はこれに限定されない。基板搬送装置５００の搬送装置座標系により表される図形の３次元ＣＡＤ（Computer-Aided Design）データが存在する場合には、そのＣＡＤデータに基づいて基準画像を示す画像データを生成し、生成された画像データを基準画像データとして用いてもよい。

（ｄ）上記実施の形態では、基板搬送装置５００がティーチングモードにあるときに、表示部５９０に実画像とともに基準画像が半透明の状態で表示されるが、本発明はこれに限定されない。基板搬送装置５００がティーチングモードにあるときに、表示部５９０には、実画像とともに基準画像に関する情報として基板支持部の外形を示す輪郭線または寸法線等が表示されてもよい。

（ｅ）上記実施の形態では、図８の動作モード切替部５０が使用者による図３の操作部５５０の操作に基づいて基板搬送装置５００の動作モードをティーチングモードに切り替えることにより、各ハンドＨ１，Ｈ２のティーチングが行われるが、本発明はこれに限定されない。動作モード切替部５０は、操作部５５０の操作によらず、一定周期あるいは所定数のロットごとに基板搬送装置５００の動作モードを自動的にティーチングモードに切り替えてもよい。

［１０］請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。

上記の実施の形態では、基板搬送装置５００，５００ａ〜５００ｈの各々が基板搬送装置の例であり、ハンドＨ１，Ｈ２が保持部の例であり、ガイドレール５０１，５０２，５０３、移動部材５１０、回転部材５２０、支持部材５２１，５２２、上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３、回転方向駆動モータ５１５、上ハンド進退用駆動モータ５２５および下ハンド進退用駆動モータ５２７が駆動部の例である。

また、カメラＣ１，Ｃ２が撮像部の例であり、制御部５３０が制御部の例であり、位置取得部５８が位置取得部の例であり、基準画像記憶部５１および位置情報記憶部５６が記憶部の例であり、移動制御部５７が移動制御部の例であり、画像データ生成部５３が画像データ生成部の例であり、位置調整部５４が位置調整部の例であり、位置情報更新部５９が位置情報更新部の例である。

また、ずれ量記憶部６０がずれ量記憶部の例であり、警報出力部６１が警報出力部の例であり、表示部５９０が表示部の例であり、操作部５５０が操作部の例であり、位置修正部５５が位置修正部の例であり、基板処理装置１００が基板処理装置の例である。

また、基板載置部ＰＡＳＳ１〜ＰＡＳＳ９、載置兼冷却部Ｐ−ＣＰ、塗布処理ユニット１２９、現像処理ユニット１３９、密着強化処理ユニットＰＡＨＰ、冷却ユニットＣＰ、加熱ユニットＰＨＰ、エッジ露光部ＥＥＷおよび洗浄乾燥処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２の各々が処理ユニットの例である。

請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。

１，２５，３５…スピンチャック，１ａ，１ｂ…チャック画像，２…縦孔，２ａ…孔画像，３…回転軸，５０…動作モード切替部，５１…基準画像記憶部，５２…表示制御部，５３…画像データ生成部，５４…位置調整部，５５…位置修正部，５６…位置情報記憶部，５７…移動制御部，５８…位置取得部，５９…位置情報更新部，６０…ずれ量記憶部，６１…警報出力部，１００…基板処理装置，１２９…塗布処理ユニット，１３９…現像処理ユニット，５００，５００ａ〜５００ｈ…基板搬送装置，５０１，５０２，５０３…ガイドレール，５１０…移動部材，５１１…上下方向駆動モータ，５１２…上下方向エンコーダ，５１３…水平方向駆動モータ，５１４…水平方向エンコーダ，５１５…回転方向駆動モータ，５１６…回転方向エンコーダ，５２０…回転部材，５２１，５２２…支持部材，５２５…上ハンド進退用駆動モータ，５２６…上ハンドエンコーダ，５２７…下ハンド進退用駆動モータ，５２８…下ハンドエンコーダ，５３０…制御部，５５０…操作部，５９０…表示部，Ｃ１，Ｃ２…カメラ，ＣＰ…冷却ユニット，ＥＥＷ…エッジ露光部，Ｈ１，Ｈ２…ハンド，Ｐ−ＢＦ１，Ｐ−ＢＦ２…載置兼バッファ部，Ｐ−ＣＰ…載置兼冷却部，ＰＡＨＰ…密着強化処理ユニット，ＰＡＳＳ１〜ＰＡＳＳ９…基板載置部，ＰＨＰ…加熱ユニット，ｒ１，ｒ２…基準位置，ＳＤ１，ＳＤ２…洗浄乾燥処理ユニット，Ｗ…基板

Claims (11)

1. 基板支持部に渡すべき基板または前記基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置であって、
   基板を保持するように構成される保持部と、
   前記保持部を移動させる駆動部と、
   前記保持部に取り付けられる撮像部と、
   搬送モードおよびティーチングモードで動作可能に構成された制御部とを備え、
   前記制御部は、
   前記保持部の位置を取得する位置取得部と、
   前記保持部が前記基板支持部に基板を渡すかまたは前記保持部が前記基板支持部から基板を受け取るために前記保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、前記保持部が正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られるべき前記基板支持部のうち前記基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶する記憶部と、
   前記ティーチングモードにおいて、前記記憶部に記憶された位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ前記保持部を移動させる移動制御部と、
   前記ティーチングモードにおいて、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置に移動した後に、前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す実画像データを取得する画像データ取得部と、
   前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データおよび前記記憶部に記憶された基準画像データに基づいて前記駆動部を制御することにより、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置から前記正規の受け渡し位置に移動するように前記保持部の位置を調整する位置調整部と、
   前記ティーチングモードにおいて、前記位置調整部による前記保持部の位置の調整後に、前記位置取得部により取得された位置に基づいて前記記憶部に記憶された位置情報を更新する位置情報更新部とを含み、
   前記移動制御部は、前記搬送モードにおいて、前記記憶部に記憶された更新後の位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより前記保持部を前記正規の受け渡し位置に移動させる、基板搬送装置。
2. 前記位置調整部は、前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像と、前記記憶部に記憶された基準画像データに基づく画像との一致度が予め定められた一致度しきい値よりも大きくなるように前記保持部の位置を調整する、請求項１記載の基板搬送装置。
3. 前記記憶部に記憶された基準画像データは、前記保持部が前記正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す画像データである、請求項１または２記載の基板搬送装置。
4. 前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記暫定的な受け渡し位置と前記正規の受け渡し位置とのずれ量を算出するとともに算出したずれ量を記憶するずれ量記憶部と、
   前記ティーチングモードにおいて、前記ずれ量記憶部に新たなずれ量が記憶されたときに、前記新たなずれ量と前回のティーチング時に前記ずれ量記憶部に記憶されたずれ量との差分を算出し、算出された差分が予め定められた差分しきい値よりも大きい場合に警報を出力する警報出力部とを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
5. 表示部をさらに備え、
   前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記画像データ取得部により取得される実画像データに基づく画像を表示するように前記表示部を制御する表示制御部をさらに含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
6. 前記表示制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記表示部に表示される画像上に、前記基準画像データに基づく画像に関する情報を重畳表示するように前記表示部を制御する、請求項５記載の基板搬送装置。
7. 前記保持部の位置を修正するために使用者により操作可能な操作部をさらに備え、
   前記制御部は、前記ティーチングモードにおいて、前記操作部の操作に応答して前記位置調整部により調整された前記保持部の位置を修正する位置修正部をさらに含み、
   前記位置情報更新部は、前記ティーチングモードにおいて、前記位置調整部により調整された前記保持部の位置が前記位置修正部により修正された場合に、前記位置修正部による修正後に、前記位置取得部により取得された位置に基づいて前記記憶部に記憶された前記位置情報を更新する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
8. 前記保持部には、当該保持部に保持される基板の予め定められた部分が位置すべき基準位置が定義され、
   前記撮像部は、当該撮像部の視野が前記基準位置を含むように前記保持部に取り付けられた、請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
9. 前記撮像部は、斜め上方の位置から前記基準位置に向く撮像が可能となるように、前記保持部の上面上に取り付けられた、請求項８記載の基板搬送装置。
10. 基板に処理を行う基板処理装置であって、
    前記基板支持部を有し、前記基板支持部に支持された基板に処理を行うように構成された処理ユニットと、
    請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板搬送装置とを備え、
    前記基板搬送装置の前記制御部は、前記搬送モードにおいて、前記駆動部を制御することにより前記処理ユニットへ渡すべき基板または前記処理ユニットから受け取った基板を搬送する、基板処理装置。
11. 基板支持部に渡すべき基板または前記基板支持部から受け取った基板を搬送する基板搬送装置のティーチング方法であって、
    前記基板搬送装置は、
    基板を保持するように構成される保持部と、
    前記保持部を移動させる駆動部とを含み、
    前記ティーチング方法は、
    前記保持部に撮像部を取り付けるステップと、
    前記保持部が前記基板支持部に基板を渡すかまたは前記保持部が前記基板支持部から基板を受け取るために前記保持部が移動すべき受け渡し位置を示す位置情報を記憶するとともに、前記保持部が正規の受け渡し位置にある状態で前記撮像部により得られるべき前記基板支持部のうち前記基板に接触する部分の画像を示す基準画像データを記憶するステップと、
    前記記憶するステップにより記憶された位置情報に基づいて前記駆動部を制御することにより暫定的な受け渡し位置へ前記保持部を移動させるステップと、
    前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置に移動した後に、前記撮像部により得られる前記基板支持部の画像を示す実画像データを取得するステップと、
    前記実画像データを取得するステップにより取得される実画像データおよび前記記憶するステップにより記憶された基準画像データに基づいて前記駆動部を制御することにより、前記保持部が前記暫定的な受け渡し位置から前記正規の受け渡し位置に移動するように前記保持部の位置を調整するステップと、
    前記調整するステップによる前記保持部の位置の調整後に、前記保持部の位置を取得するとともに取得された位置に基づいて前記記憶するステップにより記憶された位置情報を更新するステップとを含む、基板搬送装置のティーチング方法。

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