JP6917813B2 - プラズマリアクタ、空気清浄器 - Google Patents
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Description
以下、本発明の空気清浄器を具体化した第1実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
以下、本発明を具体化した第2実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、前記第1実施形態と相違する部分を中心に説明する。本実施形態では、プラズマリアクタの構造が前記第1実施形態とは異なっている。
11,91,111…プラズマリアクタ
12,134…電源
13…送風手段としてのファン
20,92,114,122…基板としてのセラミック基板
21…主面としての第1主面
22,96,123…主面としての第2主面
23…誘電体
31,101,116…貫通部としての貫通孔
33…貫通部の端部としての第1端部
34…貫通部の端部としての第2端部
41,112…第1放電電極
42,113…第2放電電極
54…オゾン濃度センサ
61…制御手段としてのCPU
115…主面
A1,A2…空気
Claims (16)
- 一対の主面を有するとともに前記一対の主面を貫通する貫通部が形成された誘電体製の基板と、前記基板に形成された第1放電電極と、前記基板に形成され前記第1放電電極とは極性が異なる第2放電電極とを備えたプラズマリアクタにおいて、
前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、前記主面に垂直な方向から見たときに前記貫通部を挟むように配置され、かつ前記主面の面方向に延びる層状の電極であり、
前記貫通部を横断して前記第1放電電極及び前記第2放電電極間に生じる放電により、プラズマを発生させる
ことを特徴とするプラズマリアクタ。 - 前記第1放電電極及び前記第2放電電極のうちの少なくとも一方が、前記貫通部の内壁面にて非露出の状態となっていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、基板内部に埋設された層状の電極であることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、基板内部における同一の深さに埋設された層状の電極であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、前記基板の前記主面の面方向に延びるとともに前記主面上に設けられた層状の電極であって、誘電体からなる保護層により被覆されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマリアクタ。
- 前記貫通部は溝状の貫通部であり、前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、前記溝状の貫通部の長さ方向に沿って延びるように配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプラズマリアクタ。
- 複数の前記溝状の貫通部が並列に配置され、前記第1放電電極及び前記第2放電電極は、前記溝状の貫通部の幅方向に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項6に記載のプラズマリアクタ。
- 前記溝状の貫通部は、端部が幅広に形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載のプラズマリアクタ。
- 前記第1放電電極及び前記第2放電電極の材料がタングステンであり、前記誘電体の材料がアルミナであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプラズマリアクタ。
- 前記基板は、基板厚さ方向に複数枚積層されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のプラズマリアクタ。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプラズマリアクタと、
前記プラズマリアクタにプラズマを発生させるための電圧を印加する電源と、
前記貫通部に空気を流すとともに、前記プラズマリアクタにて発生したオゾンを前記空気とともに放出する送風手段と
を備えたことを特徴とする空気清浄器。 - 前記オゾンの濃度を測定するオゾン濃度センサと、
前記オゾン濃度センサによって測定された前記オゾンの濃度が許容値を超えた場合に、前記電源から前記プラズマリアクタに印加する電力を低下させる制御を行う制御手段と
を備えることを特徴とする請求項11に記載の空気清浄器。 - 前記制御手段は、前記オゾン濃度センサによって測定された前記オゾンの濃度が許容値を超えた場合に、前記送風手段の出力を低下させる制御を行うことを特徴とする請求項12に記載の空気清浄器。
- 前記送風手段は、前記プラズマリアクタよりも上流側に配置されることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の空気清浄器。
- 前記プラズマリアクタは、電圧波形の中心周波数が20kHz以上の電源を用いて駆動されることを特徴とする請求項11乃至14のいずれか1項に記載の空気清浄器。
- 前記電源は、バッテリーであることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載の空気清浄器。
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