JP6913147B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Landscapes
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Description
13 回転軸
15 ローターシャフト
17 ホルベックハブ
19 ホルベックスリーブ
21 ダブルサイド式のホルベックステーター
23 外側のホルベックステーター
25 第一のホルベック段
27 第二の外側のホルベック段
29 第三の内側のホルベック段
33 インレット
35 アウトレット
37 外側のホルベックねじ溝
39 内側のホルベックねじ溝
41 ウェブ
43 ウェブ高さ
47 ホルベック間隙
53 外側の溝ベース部
55 内側の溝ベース部
111 ターボ分子ポンプ
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モーター
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モーター室
139 冷却媒体接続部
141 下側面
143 ねじ
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ローター
151 回転軸
153 ローターシャフト
155 ローターディスク
157 ステーターディスク
159 スペーサーリング
161 ローターハブ
163 ホルベックロータースリーブ
165 ホルベックロータースリーブ
167 ホルベックステータースリーブ
169 ホルベックステータースリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラー支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ローター側の支承半部
193 ステーター側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承部間隙
201 担持部分
203 担持部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 さらばね
215 緊急用または安全用支承部
217 モーターステーター
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
αi 内側のテーパー角度
αa 外側のテーパー角度
NGDAE インレットにおける外側の溝ベース部直径
NGDAA アウトレットにおける外側の溝ベース部直径
NGDIE インレットにおける内側の溝ベース部直径
NGDIA アウトレットにおける内側の溝ベース部直径
Claims (13)
- 真空ポンプであって、
インレット(33)を有し、
アウトレット(35)を有し、そして、
一つの共通の回転軸(13)に対して同軸であり、ポンプ方向においてインレット(33)とアウトレット(35)の間に互いに連続する少なくとも二つのホルベック段(25,27,29)を有し、これらが其々、ホルベックねじ溝(37,39)と、回転軸(13)を中心として回転するホルベックスリーブ(19)を有し、そしてこれらホルベック段において、ホルベックねじ溝(37,39)のウェブ高さ(43)が其々、ポンプ方向において減少していること、及び外側のホルベックねじ山(37)の溝ベース部(53)によって定義されるテーパー角度(αa)と、内側のホルベックねじ山(39)の溝ベース部(55)によって定義されるテーパー角度(αi)が互いに異なっていることを特徴とする真空ポンプ(11)。 - 互いに連続する二つのホルベック段(27,29)が、両側にホルベックねじ溝(37,39)を設けられた一つの共通なホルベックステーター(21)を有しており、そしてその際、ホルベックステーター(21)の外側面においても、ホルベックステーター(21)の内側面においても、ホルベックねじ溝(37,39)のウェブ高さ(43)が、其々ポンプ方向において減少することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ(11)。
- 共通のホルベックステーター(21)の外側面が、ポンプ方向において増加する外側の溝ベース部直径を有することを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ(11)。
- 共通のホルベックステーター(21)の内側面が、ポンプ方向において減少する内側の溝ベース部直径を有することを特徴とする請求項2または3に記載の真空ポンプ(11)。
- 外側の溝ベース部直径がポンプ方向において増加し、そして内側の溝ベース部直径がポンプ方向において減少することを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- ホルベックステーター(21)の外側面におけるインレット側の溝ベース部直径(NGDAE)が、ホルベックステーター(21)の内側面におけるインレット側の溝ベース部直径(NGDIE)よりも小さいことを特徴とする請求項2から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- 外側のホルベックねじ山(37)の溝ベース部(53)によって定義されるテーパー角度(αa)が5度から15度の間にあり、及び/又は内側のホルベックねじ山(39)の溝ベース部(55)によって定義されるテーパー角度(αi)が1度から5度の間にあることを特徴とする請求項2から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- 外側のホルベックねじ山(37)においてインレット側で、溝ベース部直径に対する二倍されたウェブ高さの比率が0.10より大きく、及び/又は、内側のホルベックねじ山(39)においてインレット側で、溝ベース部直径に対する二倍されたウェブ高さ(43)の比率が、0.4より大きいことを特徴とする請求項2から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- 外側のホルベックねじ山(37)においてアウトレット側のウェブ高さ(43)に対するインレット側のウェブ高さ(43)の比率が0.3より小さく、及び/又は、内側のホルベックねじ山(39)においてアウトレット側のウェブ高さ(43)に対するインレット側のウェブ高さ(43)の比率が、0.5より小さいことを特徴とする請求項2から8のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- ホルベックステーター(21)が、その軸方向の延びに沿って、外側のホルベック段(27)のポンプ方向において、増加する壁厚(45)を有していることを特徴とする請求項2から9のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- ホルベックステーター(21)の壁厚(45)が、外側のホルベック段(27)の最大のウェブ高さ(43)の領域において最小であることを特徴とする請求項2から10のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- ホルベックステーター(21)の最小の壁厚(45)が2mmより小さいことを特徴とする請求項2から11のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
- ホルベックステーター(21)がアルミニウムから製造されており、及び/又はホルベックステーター(21)が一体式に製造されていることを特徴とする請求項2から12のいずれか一項に記載の真空ポンプ(11)。
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