JP6909637B2 - 光導波路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図6〜図13は第1実施形態の光導波路装置の製造方法を示す図、図14は第1実施形態の光導波路装置を示す図である。以下、光導波路装置の製造方法を説明しながら、光導波路装置の構造を説明する。
図17〜図20は第2実施形態の光導波路装置の製造方法を示す図、図21は第2実施形態の光導波路装置を示す図である。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板の上に形成された第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、
前記第2クラッド層は、前記コア層の延在方向の一方側部分を覆う未硬化の感光性樹脂と、前記コア層の延在方向の他方側部分を覆う硬化した感光性樹脂とを備え、
前記未硬化の感光性樹脂、前記コア層、前記第1クラッド層及び前記基板の各端面は、面一になった面であることを特徴とする光導波路装置。 - 基板と、
前記基板の上に形成された第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、
前記第2クラッド層は全体が未硬化の感光性樹脂であり、
前記第2クラッド層、前記コア層、前記第1クラッド層及び前記基板の各端面は、面一になった面であることを特徴とする光導波路装置。 - 基板と、
前記基板の上に形成されたクラッド層と、
前記クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記クラッド層及び前記コア層の上に粘着層で仮接着された樹脂フィルムと
を有することを特徴とする光導波路装置。 - 前記未硬化の感光性樹脂は、現像液に溶解して除去される特性を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路装置。
- 前記樹脂フィルム、前記コア層、前記クラッド層及び前記基板の各端面は、面一になった面であることを特徴とする請求項3に記載の光導波路装置。
- 基板の上に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に未硬化の感光性樹脂を形成する工程と、
前記未硬化の感光性樹脂の一部を硬化して、前記コア層の延在方向の一方側部分を覆う未硬化の感光性樹脂と、前記コア層の延在方向の他方側部分を覆う硬化した感光性樹脂とを備えた第2クラッド層を得る工程と、
前記第2クラッド層、コア層、第1クラッド層及び前記基板を切断して個片化する工程と
を有し、
前記切断して個片化する工程において、前記コア層は、前記未硬化の感光性樹脂で保護された状態で切断されることを特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 基板の上に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に、未硬化の感光性樹脂からなる第2クラッド層を形成する工程と、
前記第2クラッド層、コア層、第1クラッド層及び前記基板を切断して個片化する工程と
を有し、
前記切断して個片化する工程において、前記コア層は、前記未硬化の感光性樹脂で保護された状態で切断されることを特徴とする光導波路装置の製造方法。 - 基板の上に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に、樹脂フィルムを粘着層で仮接着する工程と、
前記樹脂フィルム、コア層、第1クラッド層及び前記基板を切断して個片化する工程と を有することを特徴とする光導波路装置の製造方法。
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