JP6906473B2 - 磁場補償装置 - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 261
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 178
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000001936 parietal effect Effects 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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- G01R33/07—Hall effect devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- 磁束ガイド部材であって、直線状かつロッド状の第1の磁束ガイド部材(20)および直線状かつロッド状の第2の磁束ガイド部材(30)のみからなる磁束ガイド部材と、
磁場センサ(50)と、
補償コイル(40)と、
制御ユニットと、
を有する磁場補償装置(10)であって、
・前記第1の磁束ガイド部材(20)は、X方向に形成された長手方向軸線と、第1の頭頂部側の端部(22)と、を有しており、
・前記第2の磁束ガイド部材(30)は、X方向に形成された長手方向軸線を有しており、前記第1の磁束ガイド部材(20)および前記第2の磁束ガイド部材(30)は、相互にY方向において間隔を空けて設けられており、前記第1の磁束ガイド部材(20)の前記長手方向軸線および前記第2の磁束ガイド部材(30)の前記長手方向軸線は、相互に実質的に平行に配置されており、
・前記補償コイル(40)は、前記第1の磁束ガイド部材(20)の周囲および前記第2の磁束ガイド部材(30)の周囲に形成されており、
・前記制御ユニットは、前記磁場センサ(50)および前記補償コイル(40)と電気的に相互作用関係にあり、前記制御ユニットは、前記磁場センサ(50)の測定信号に基づいて、前記補償コイル(40)を流れる補償電流(IFB)を閉ループ制御して、前記磁場センサ(50)の場所においてX方向に形成された外部磁場に対して磁場を実質的に補償するように構成されており、
前記第2の磁束ガイド部材(30)においては、X軸の方向に磁場が形成されており、
前記磁場センサ(50)は、前記第1の磁束ガイド部材(20)の前記頭頂部側の端部に配置されており、
前記磁場センサ(50)と、前記第1の磁束ガイド部材(20)と、前記第2の磁束ガイド部材(30)と、前記補償コイル(40)と、前記制御ユニットと、は、同一の半導体基板に集積されており、
前記第1の磁束ガイド部材(20)の周囲に形成された前記補償コイル(40)の部分は、前記第2の磁束ガイド部材(30)の周囲に形成された前記補償コイル(40)の部分と比較して逆向きの巻回方向を有し、
前記X方向において、前記第2の磁束ガイド部材(30)の長さは、前記第1の磁束ガイド部材(20)の長さよりも長い、または、
前記X方向において、前記第2の磁束ガイド部材(30)の長さは、前記第1の磁束ガイド部材(20)の長さよりも短い、
ことを特徴とする磁場補償装置(10)。 - 前記第1の磁束ガイド部材および/または前記第2の磁束ガイド部材(30)は、前記補償コイル(40)を完全に貫通している、
請求項1記載の磁場補償装置(10)。 - 前記補償コイル(40)は、前記磁場センサ(50)の周囲の少なくとも一部に、または、周囲全体に形成されている、
請求項1または2記載の磁場補償装置(10)。 - 前記第1、第2の磁束ガイド部材(20,30)同士の間の間隙は、前記第1の磁束ガイド部材(20)の直径の4倍よりも小さく形成されている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の磁場補償装置(10)。 - 前記補償コイル(40)の延びに沿って巻線の横断面積が変化する、
請求項1から4までのいずれか1項記載の磁場補償装置(10)。 - 前記磁場センサ(50)は、ホールセンサとして、または、GMRセンサとして、または、TMRセンサとして形成されている、
請求項1から5までのいずれか1項記載の磁場補償装置(10)。 - 前記磁場センサ(50)は、前記半導体基板に形成されたホールセンサとして形成されている、
請求項1から6までのいずれか1項記載の磁場補償装置(10)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021035823A JP7513548B2 (ja) | 2017-05-08 | 2021-03-05 | 磁場補償装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017004349.3 | 2017-05-08 | ||
DE102017004349.3A DE102017004349A1 (de) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | Magnetfeldkompensationseinrichtung |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021035823A Division JP7513548B2 (ja) | 2017-05-08 | 2021-03-05 | 磁場補償装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018189653A JP2018189653A (ja) | 2018-11-29 |
JP6906473B2 true JP6906473B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=63895649
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018089279A Active JP6906473B2 (ja) | 2017-05-08 | 2018-05-07 | 磁場補償装置 |
JP2021035823A Active JP7513548B2 (ja) | 2017-05-08 | 2021-03-05 | 磁場補償装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021035823A Active JP7513548B2 (ja) | 2017-05-08 | 2021-03-05 | 磁場補償装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10473733B2 (ja) |
JP (2) | JP6906473B2 (ja) |
CN (1) | CN108872887B (ja) |
DE (1) | DE102017004349A1 (ja) |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2833109A (en) * | 1955-10-10 | 1958-05-06 | Robert E Walker | Hay bale stooker |
BE650176A (ja) * | 1963-07-05 | |||
JPH0432787A (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-04 | Kawatetsu Techno Res Corp | 磁界センサ |
JPH04155266A (ja) | 1990-10-17 | 1992-05-28 | Shimadzu Corp | 電流変換器 |
JP3545074B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2004-07-21 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 半導体基板に集積される磁気検出素子及び磁気検出モジュール |
DE19538757C1 (de) * | 1995-10-18 | 1997-03-06 | Vdo Schindling | Magnetfeldsensor |
JP3024442U (ja) * | 1995-11-08 | 1996-05-21 | 甲神電機株式会社 | 電流検出器 |
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JP3797149B2 (ja) * | 2001-07-02 | 2006-07-12 | 日本ビクター株式会社 | 電流センサ |
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JP5504481B2 (ja) | 2010-07-12 | 2014-05-28 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
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CN103091647A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
BR112014015024A2 (pt) * | 2011-12-23 | 2017-06-13 | Koninklijke Philips Nv | dispositivo de rm |
JP5990963B2 (ja) | 2011-12-26 | 2016-09-14 | 日立金属株式会社 | 磁気センサデバイス、及び電流センサ回路 |
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EP2833109A1 (en) * | 2013-07-31 | 2015-02-04 | Bayern Engineering GmbH & Co. KG | Measurement apparatus with compensation |
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DE102014211311A1 (de) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Magnetfeldsensoranordnung, entsprechendes Herstellungsverfahren und Betriebsverfahren |
CN104224179A (zh) * | 2014-09-10 | 2014-12-24 | 中国科学院电工研究所 | 一种磁共振成像***的磁场稳定方法和装置 |
CN104819712B (zh) * | 2015-04-27 | 2018-03-09 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种用于微型核磁共振陀螺仪的磁补偿线圈结构件 |
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CN205720615U (zh) * | 2016-06-07 | 2016-11-23 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
CN106093524A (zh) * | 2016-06-22 | 2016-11-09 | 无锡乐尔科技有限公司 | 磁芯及电流传感器 |
-
2017
- 2017-05-08 DE DE102017004349.3A patent/DE102017004349A1/de active Pending
- 2017-07-11 US US15/646,641 patent/US10473733B2/en active Active
-
2018
- 2018-05-04 CN CN201810421585.2A patent/CN108872887B/zh active Active
- 2018-05-07 JP JP2018089279A patent/JP6906473B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-05 JP JP2021035823A patent/JP7513548B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018189653A (ja) | 2018-11-29 |
JP7513548B2 (ja) | 2024-07-09 |
US20180321330A1 (en) | 2018-11-08 |
CN108872887B (zh) | 2020-12-08 |
JP2021081450A (ja) | 2021-05-27 |
US10473733B2 (en) | 2019-11-12 |
DE102017004349A1 (de) | 2018-11-08 |
CN108872887A (zh) | 2018-11-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190401 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190729 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191122 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20191122 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20191203 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20191211 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20200131 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20200212 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20200716 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20201027 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20201207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210305 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20210517 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20210621 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20210621 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |