JP6905153B2

JP6905153B2 - リフトピンホルダー

Info

Publication number: JP6905153B2
Application number: JP2020523778A
Authority: JP
Inventors: キエムケーグエン
Original assignee: Applied Materials Inc
Current assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 2017-10-27
Filing date: 2018-10-25
Publication date: 2021-07-21
Anticipated expiration: 2038-10-25
Also published as: CN111279464B; WO2019084235A1; TWI785137B; JP2021501474A; KR20200062374A; KR102404531B1; CN111279464A; US20190131165A1; US10535549B2; TW202017692A

Description

分野

本開示の実施形態は、一般に、基板処理に関する。

背景

半導体処理では、半導体基板を処理チャンバ内の基板支持体上で昇降させるために、リフトピンが用いられる。典型的には、ロボットアームが基板を処理チャンバの上部に搬送し、ここで、基板は基板支持体を貫通して上方に延びるリフトピン上に配置される。次いで、リフトピンが処理チャンバの下部に下降し、基板を基板支持体上に配置する。その後、ロボットアームはチャンバから引き出される。

基板の処理後、リフトピンは基板支持体のブッシングングを介して上方に持ち上げられ、基板を押し上げることにより基板を基板支持体から持ち上げる。次いで、ロボットアームが基板の下に再挿入され、処理された基板をチャンバから取り出す。本発明者は、従来のリフトピンホルダーはリフトピンを十分に固定しないため、リフトピンが基板支持体のブッシングングに寄りかかり、摩擦される場合があることを発見した。

従来のリフトピンアセンブリによる更なる問題が生じるのは、リフトピンが基板を基板支持体から持ち上げようとする際、リフトピンの動きが滑らかで連続的な動きではなく、つっかえる動きになる場合である。本発明者は、つっかえる動きは、リフトピンを支持する基板支持体の下方のリフトピンホルダー内に落下した破片により引き起こされることを発見した。つっかえる動きは振動を引き起こし、基板の動きから発生する粒子がリフトピンホルダー内に落下する原因になる可能性がある。リフトピンが上下に移動すると、破片はリフトピンをブッシングに摩擦させる。その結果、リフトピンのつっかえる動きにより、基板の損傷が発生する可能性がある。つっかえる問題に対処するために、リフトピンホルダーのクリーニングに洗浄液が使用されてきた。しかしながら、クリーニングでは根本的な問題が解決されないため、破片がリフトピンホルダーに再び落下する。

従って、本発明者は、改良されたリフトピンホルダー及びそれを組み込んだリフトピンアセンブリを提供した。

概要

リフトピンホルダーの実施形態が本明細書に開示される。幾つかの実施形態では、リフトピンホルダーは、上部及び下部を有するハウジング部材であって、上部は中央空間を画定する環状壁を含むハウジング部材と、少なくとも部分的に中央空間内に配置され、基部とリフトピンを支持するように構成された上方突出部分とを有する支持部材と、支持部材の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第１の複数のプロングを有する第１のグリッパーであって、第１の複数のプロングの間に配置され、第１のグリッパーの本体を介して延びる第１の中央開口部を含み、第１の複数のプロングは、第１の中央開口部に延在する時にリフトピンを把持するように構成され、支持部材の上方突出部分は第１の中央開口部に延在する第１のグリッパーと、支持部材の基部の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第２の複数のプロングを有する第２のグリッパーであって、第２の複数のプロングの間に配置された第２の中央開口部と、第２のグリッパーの本体を介して延び、第２の中央開口部に開口する第３の中央開口部を含み、第２の複数のプロングは、第２の中央開口部に延在する時にリフトピンを把持するように構成され、第１のグリッパーは第３の中央開口部内に配置された第２のグリッパーを含む。

幾つかの実施形態では、リフトピンアセンブリは、基部と、基部から上方に延びる複数の支持要素と、複数の支持要素の対応するものの上部に結合された複数のリフトピンホルダーと、複数のリフトピンホルダーに対応する複数のリフトピンを含む。複数のリフトピンホルダーの各々は、上部及び下部を有するハウジング部材であって、上部は中央空間を画定する環状壁を含み、下部は対応する支持要素を受容し、内部で対応する支持要素の相対的回転を防止する凹部を含むハウジング部材と、少なくとも部分的に中央空間内に配置され、基部とリフトピンを支持するように構成された上方突出部分とを有する支持部材と、支持部材の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第１の複数のプロングを有する第１のグリッパーであって、第１の複数のプロングの間に配置され、第１のグリッパーの本体を介して延びる第１の中央開口部を含み、第１の複数のプロングは第１の中央開口部に延在するリフトピンを把持するように構成され、支持部材の上方突出部分は第１の中央開口部に延在する第１のグリッパーと、支持部材の基部の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第２の複数のプロングを有する第２のグリッパーであって、第２の複数のプロングの間に配置された第２の中央開口部と、第２のグリッパーの本体を介して延び、第２の中央開口部に開口する第３の中央開口部を含み、第２の複数のプロングは、第２の中央開口部に延在するリフトピンを把持するように構成され、第１のグリッパーは第３の中央開口部内に配置された第２のグリッパーを含む。複数のリフトピンの各々の底部は複数のリフトピンホルダーの対応するもの内に配置される。

幾つかの実施形態では、処理チャンバは、チャンバ本体と、チャンバ本体の上に配置された蓋であって、蓋及びチャンバ本体は内部容積を画定する蓋と、内部容積内に配置された基板支持体と、基板支持体内に配置された複数のリフトピンブッシングであって、対応する複数のリフトピンを複数のリフトピンブッシングを介して通過させることを可能にする複数のリフトピンブッシングと、リフトピンアセンブリを含む。リフトピンアセンブリは、基部と、基部から上方に延びる複数の支持要素と、複数の支持要素の対応するものの上部に結合された複数のリフトピンホルダーとを含む。複数のリフトピンホルダーの各々は、上部及び下部を有するハウジング部材であって、上部は中央空間を画定する環状壁を含み、下部は対応する支持要素を受容し、内部で対応する支持要素の相対的回転を防止する凹部を含むハウジング部材と、少なくとも部分的に中央空間内に配置され、基部とリフトピンを支持するように構成された上方突出部分とを有する支持部材と、支持部材の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第１の複数のプロングを有する第１のグリッパーであって、第１の複数のプロングの間に配置され、第１のグリッパーの本体を介して延びる第１の中央開口部を含み、第１の複数のプロングは第１の中央開口部に延在するリフトピンを把持するように構成され、支持部材の上方突出部分は第１の中央開口部に延在する第１のグリッパーと、支持部材の基部の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第２の複数のプロングを有する第２のグリッパーであって、第２の複数のプロングの間に配置された第２の中央開口部と、第２のグリッパーの本体を介して延び、第２の中央開口部に開口する第３の中央開口部を含み、第２の複数のプロングは、第２の中央開口部に延在するリフトピンを把持するように構成され、第１のグリッパーは第３の中央開口部内に配置された第２のグリッパーを含む。

本開示の他の及び更なる実施形態が以下に説明される。

上記で簡単に要約され、以下でより詳細に説明される本開示の実施形態は、添付図面に示される本開示の例示的な実施形態を参照することにより理解することができる。しかしながら、添付図面は本開示の典型的な実施形態のみを例示し、その範囲を限定するものではなく、本開示は他の等しく有効な実施形態を有することができる。
本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダーが使用され得る例示的な処理チャンバの概略断面図を示す。本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンアセンブリの斜視図を示す。本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダーの等角図を示す。線Ｂ―Ｂ’に沿った図３Ａのリフトピンホルダーの断面図を示す。本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダーの底面等角図を示す。本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダーで使用するためのグリッパーの等角図を示す。

理解を容易にするために、可能な場合、図面に共通の同一の要素を示すために同一の参照番号が使用される。図面は縮尺どおりに描かれておらず、明確にするために簡略化される場合がある。一実施形態の要素及び構成は、更に詳述することなく、他の実施形態に有利に組み込むことができる。

詳細な説明

本明細書では、リフトピンホルダー及びこれを組み込んだリフトピンアセンブリの実施形態が開示される。本発明のリフトピンホルダーは従来のリフトピンホルダーの問題を有利に低減又は排除するものであり、リフトピンホルダーはその内部に落下した破片に付着することを生じさせていた。本発明のリフトピンホルダーは、リフトピンホルダー内に落下した破片と接触する可能性のある鋭いエッジを低減し、これにより、リフトピンホルダーの要素が破片に付着するリスクを大幅に低減する。本発明のリフトピンホルダーは、リフトピンをリフトピンホルダー内に固定するための追加の支持を提供することにより、リフトピンの安定性を更に改善する。

図１は、本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダー及びリフトピンアセンブリを使用することができる例示的な基板処理チャンバ１００の概略断面図を示す。本明細書に開示される教示での使用に適用可能な適切なリアクタには、例えば、ＴＥＴＲＡ（商標名）Ｉ、ＴＥＴＲＡ（商標名）ＩＩ及びＴＥＴＲＡ（商標名）ＩＩＩフォトマスクエッチングシステムが含まれ、これらはすべて、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社から入手可能である。本明細書で示される処理チャンバ１００の特定の実施形態は例示目的で提供され、本開示の範囲を限定するために使用されるべきではない。本発明のリフトピンホルダーは、本明細書に開示される利点のために、同様のリフトピンアセンブリを利用する任意の処理チャンバに取り付けることが可能である。

処理チャンバ１００は、一般に、底部１０３と、側壁１０４と、側壁１０４の上に配置されたチャンバ蓋１０６を有するチャンバ本体を備え、チャンバ本体は処理容積１０８を画定する。更に、処理チャンバ１００は基板支持アセンブリ１０１を含む。更に、処理チャンバ１００は処理容積１０８に配置されたライナー１１０を含み、側壁１０４が処理化学物質及び／又は処理副産物により損傷及び汚染されるのを防止する。スリットバルブドア開口部１１２が側壁１０４及びライナー１１０を貫通して形成され、基板及びシステム内に配置された基板搬送機構（例えば、処理チャンバ１００に結合されたクラスタツール等）の通過を可能にする。スリットバルブドア１１４は、スリットバルブドア開口部１１２を選択的に開閉する。

基板支持体１３９及び接続領域１４０を含む基板支持体アセンブリ１０１は処理空間１０８内に配置され、支持体１４２により支持される。幾つかの実施形態では、基板支持体１３９は静電チャックであってもよい。リフト１１６は、基板１０２の処理及びロード／アンロードの際、基板支持体１３９に配置されたブッシング１８５を介して、リフトピンアセンブリ１６０に配置されたリフトピン１１８を上昇及び下降させるように構成される（図２に関して以下で説明する）。リフトピンアセンブリ１６０は基部１６１及び複数の支持要素１６２を含む。基板支持アセンブリ１０１の接続領域１４０は、一般に、処理容積１０８と流体連通していない。幾つかの実施形態では、接続領域１４０は、複数の電気接続（例えば、熱電対ワイヤ、ヒータ要素ワイヤ、シールドされた静電チャック電極ワイヤ等）及び基板支持アセンブリ１０１を通して流体を移送するための管を含むことができる。また、幾つかの実施形態では、接続領域１４０は、支持体１４２と、冷却管１４４と、電気接続１２２を含むことができる。幾つかの実施形態では、電気接続１２２は基板支持アセンブリ１０１をバイアス電源１２０に接続し、基板支持体アセンブリ１０１上で基板１０２を固定するためのチャッキング力を生成する。１以上の加熱要素１１９（例えば、抵抗加熱要素等）を基板支持体１３９に埋設し、基板１０２を所定の温度に加熱及び維持することができる。１以上の加熱要素１１９を使用して、基板１０２を所望の処理温度に加熱することができる。また、幾つかの実施形態では、接続領域１４０は、基板支持体１３９を介して冷却材を流すための冷却管１４４を含むことができる。冷却管は熱交換器１４６に接続することができる。幾つかの実施形態では、温度測定装置１４８を基板支持アセンブリ１０１に接続することができる。

幾つかの実施形態では、１以上の処理ガスを、ガス源１２４から入口１２６を介して処理容積１０８に供給することができる。真空ポンプ１２８は処理容積１０８と流体連通し、プレナム１３０を介して、処理容積１０８を排気し、低圧環境を維持する。

幾つかの実施形態では、処理チャンバ１００は、チャンバ蓋１０６の外側に配置されたアンテナアセンブリ１３２を更に含む。アンテナアセンブリ１３２は、整合ネットワーク１３６を介して高周波（ＲＦ）プラズマ電源１３４に接続することができる。処理の間、アンテナアセンブリ１３２はＲＦプラズマ電源１３４により提供されるＲＦ電力でエネルギー印加され、処理容積１０８内の処理ガスを点火してプラズマを形成し、基板１０２の処理中にプラズマを維持する。

図２は本明細書に開示される実施形態によるリフトピンアセンブリ１６０の斜視図を示す。図２に示されるように、リフトピンアセンブリ１６０は基部１６１と、複数の支持要素１６２を含む。基部１６１は、任意の適切な形状（例えば、円形等）であってもよい。幾つかの実施形態では、基部１６１は、処理チャンバ１００内で処理される基板と同じ形状を有していてもよい。幾つかの実施形態では、基部１６１は、図２に示されるように、環状であってもよい。各々の支持要素１６２は、図３Ａ〜５を参照して以下に説明されるように、リフトピンホルダーを介してリフトピン１１８を支持するように構成される。リフトピン１１８及び支持要素１６２の数は、処理チャンバ１００の構成に基づいて変えることができる。幾つかの実施形態では、リフトピンアセンブリ１６０は、基部１６１上に配置された３つの支持要素１６２を含み、３本のリフトピン１１８を支持する。

図３Ａは、本開示の幾つかの実施形態によるリフトピンホルダー３００の等角図を示す。図３Ｂは、線Ｂ―Ｂ’に沿った図３Ａのリフトピンホルダー３００の断面図を示す。幾つかの実施形態では、リフトピンホルダー３００は、ハウジング部材３０２と、支持部材３０４と、第１グリッパー３０６と、第２グリッパー３０８を含む。幾つかの実施形態では、ハウジング部材３０２及び支持部材３０４はステンレス鋼で形成される。このような実施形態では、ハウジング部材３０２及び支持部材３０４の表面を追加的に電解研磨して、ハウジング部材３０２と支持部材３０４の接触面の耐久性を高めることができる。幾つかの実施形態では、第１及び第２グリッパー３０６、３０８は、プロセス適合性プラスチック（例えば、有機熱可塑性ポリマー（例えば、ＰＥＥＫ）又はポリイミド系プラスチック（例えば、ＶＥＳＰＥＬ（商標名））等）で形成される。幾つかの実施形態では、支持部材３０４の表面仕上げは２２Ｒａ未満であり、支持部材３０４が中央空間３１６に落下した任意の破片に付着するのを最小化又は防止する。幾つかの実施形態では、少なくとも支持部材３０４の底部端部３７０は、約０．０２５インチ〜約０．０４０インチの半径を有し、支持部材３０４が中央空間３１６に落下した任意の破片に付着することを更に最小化又は防止する。

ハウジング部材３０２は、上部３１０と、下部３１２を有する。上部３１０は、中央空間３１６を画定する環状壁３１４を含む。支持部材３０４は少なくとも部分的に中央空間３１６内に配置され、基部３１８と、リフトピン１１８を支持するように構成された上方突出部分３２０を有する。第１のグリッパー３０６（図５にも図示される）は、支持部材３０４の上に配置される。

図５を参照すると、幾つかの実施形態では、第１のグリッパー３０６は、本体３４３から上方に延びる第１の複数のプロング３４２を含む。第１の複数のプロング３４２は第１の複数のスロット３４４により分離され、第１のグリッパー３０６を介して延びる第１の中央開口部３４５を囲む。支持部材３０４の上方突出部分３２０は第１の中央開口部３４５内に延びる。第１の中央開口部３４５の第１の内径はリフトピン１１８の直径よりも小さい。これにより、リフトピン１１８が第１のグリッパー３０６に挿入されると、第１の複数のプロング３４２は外側に曲がり、リフトピン１１８が第１の中央開口部３４５に入ることを可能にする。第１の中央開口部３４５の内径はリフトピン１１８の直径より小さい。従って、第１の複数のプロング３４２は、リフトピン１１８に対して半径方向内側に向けられた力を加えてリフトピン１１８を所定の位置に保持することにより、リフトピン１１８を把持する。

図３Ａ及び３Ｂに戻ると、第２のグリッパー３０８は支持部材３０４の基部３１８の上に配置され、第２のグリッパー３０８の本体３２４から上方に突出する第２の複数のプロング３４６を含む。第２のグリッパー３０８は、第２の複数のプロング３４６と第３の中央開口部３２２の間に配置された第２の中央開口部３２６を含み、第３の中央開口部３２２は第２のグリッパー３０８の本体を介して延び、第２の中央開口部３２６で開口する。第２の複数のプロング３４６は、第２の中央開口部３２６内に延びるリフトピンを把持するように構成される。第１のグリッパー３０６は、第３の中央開口部３２２内に配置される。

第２の複数のプロング３４６は第２の複数のスロット３４８により分離される。第１の中央開口部３４５及び第１の複数のプロング３４２と同様に、第２の中央開口部３２６は、リフトピン１１８の直径よりも小さい第２の直径を有する。これによって、リフトピン１１８が第２のグリッパー３０８に挿入されると、第２の複数のプロング３４６が外側に曲がり、リフトピン１１８が第２の中央開口部３２６に入ることを可能にする。これにより、第２のグリッパー３０８はリフトピン１１８に追加の保持／安定化するための力を与える。幾つかの実施形態では、ハウジング部材３０２、支持部材３０４、第１のグリッパー３０６及び第２のグリッパー３０８は同軸である。

幾つかの実施形態では、第１のグリッパー３０６は、第１のグリッパー３０６の反対側を介して配置された第１のセットの共線穴３４９（１つは図５に示されるが、両方は図３Ｂに断面で示される）を含む。このような実施形態では、支持部材３０４は、第１のセットの共線穴３４９と同軸に配置された第１の貫通穴３２８を含む。第１のロッキングピン３３０は、第１のセットの共線穴３４９と第１の貫通穴３２８を介して配置され、支持部材３０４に対する第１のグリッパー３０６の相対位置を固定する。

幾つかの実施形態では、第２のグリッパー３０８は、第２のグリッパー３０８の反対側を介して配置された第２のセットの共線穴３３２を含む。このような実施形態では、支持部材３０４は、追加的に、第２のセットと共線穴３３２と同軸に配置された第２の貫通口３３４を含む。第２のロッキングピン３３６が第２のセットの共線穴３３２と第２の貫通口３３４を介して配置され、支持部材３０４に対する第２のグリッパー３０８の相対位置を固定する。

幾つかの実施形態では、リフトピンホルダー３００は、ハウジング部材３０２の環状チャネル３４０内に配置された環状保持リング３３８（例えば、スナップリング）を更に含む。環状保持リング３３８は、支持部材３０４、第１のグリッパー３０６及び第２のグリッパー３０８が、ハウジング部材３０２の外部に落下することを防止するように構成される（即ち、ハウジング部材３０２外の垂直移動を防止する）。

幾つかの実施形態では、第１のグリッパー３０６は、第１の複数のスロット３４４の底部に配置され、開口する第１の複数のリリーフ穴３５０を含み、第１の複数のプロング３４２の熱膨張を可能にする。同様に、幾つかの実施形態では、第２のグリッパー３０８は、第２の複数のスロット３４８の底部に配置され、開口する第２の複数のリリーフ穴３５２を含み、第２の複数のプロング３４６の熱膨張を可能にする。

幾つかの実施形態では、ハウジング部材３０２の下部は、リフトピンアセンブリ１６０の支持要素１６２の１つを受け入れるように構成された凹部３５４を含む。凹部３５４は、凹部３５４内での支持要素１６２の相対的回転を防止するように構成される。図４を参照すると、幾つかの実施形態では、凹部３５４は、１以上の直線壁４０２と、１以上の湾曲壁４０４を含むことができる。図２を参照すると、各々の支持要素１６２の上部２０２は、上部２０２が凹部３５４に挿入されると、支持要素１６２に対するリフトピンホルダー３００の回転を有利に防止するような対応した形状を有することができる。幾つかの実施形態では、複数のリリーフスロット４０６を凹部３５４に追加的に提供し、凹部３５４内での上部２０２の熱膨張を補償することができる。

幾つかの実施形態では、ハウジング部材３０２は、ハウジング部材３０２の下部３１２の穴３５８を介して、凹部３５４内に延びる固定要素３５６を追加的に含むことができる。固定要素３５６は、支持要素１６２をハウジング部材３０２に結合するように構成される。例えば、固定要素３５６は、支持要素１６２の上部２０２の対応するねじ穴２０４にねじ込まれるように構成されたねじ付きシャフト３６０を有するねじ（例えば、カウンタインクねじ）であってもよい。

上記は本開示の実施形態を対象とするが、本開示の他の及び更なる実施形態は、その基本的な範囲から逸脱することなく創作することができる。

Claims

上部及び下部を有するハウジング部材であって、上部は中央空間を画定する環状壁を含むハウジング部材と、
少なくとも部分的に中央空間内に配置され、基部とリフトピンを支持するように構成された上方突出部分とを有する支持部材と、
支持部材の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第１の複数のプロングを有する第１のグリッパーであって、
第１の複数のプロングの間に配置され、第１のグリッパーの本体を介して延びる第１の中央開口部を含み、
第１の複数のプロングは、第１の中央開口部に延在する時にリフトピンを把持するように構成され、
支持部材の上方突出部分は第１の中央開口部に延在する第１のグリッパーと、
支持部材の基部の上に配置され、自身の本体から上方に突出する第２の複数のプロングを有する第２のグリッパーであって、
第２の複数のプロングの間に配置された第２の中央開口部と、第２のグリッパーの本体を介して延び、第２の中央開口部に開口する第３の中央開口部を含み、
第２の複数のプロングは、第２の中央開口部に延在する時にリフトピンを把持するように構成され、
第１のグリッパーは第３の中央開口部内に配置された第２のグリッパーを含む、リフトピンホルダー。
第１のグリッパー及び支持部材を介して配置され、第１のグリッパーを支持部材に固定する第１のロッキングピンを含む請求項１記載のリフトピンホルダー。
第２のグリッパー及び支持部材を介して配置され、第２のグリッパーを支持部材に固定する第２のロッキングピンを含む請求項２記載のリフトピンホルダー。
ハウジング部材の環状チャネルに配置され、支持部材、第１のグリッパー、及び第２のグリッパーがハウジング部材から脱落するのを防止するように構成された環状保持リングを更に含む請求項１記載のリフトピンホルダー。
第１の複数のプロングが第１の複数のスロットにより分離され、第１の中央開口部がリフトピンの直径よりも小さい第１の内径を有し、
第２の複数のプロングが第２の複数のスロットにより分離され、第２の中央開口部がリフトピンの直径よりも小さい第２の内径を有する請求項１〜４のいずれか１項記載のリフトピンホルダー。
第１のグリッパーは、第１の複数のスロットの底部にあり、第１の複数のスロットに開口する第１の複数のリリーフ穴を含み、第２のグリッパーは、第２の複数のスロットの底部にあり、第２の複数のスロットに開口する第２の複数のリリーフ穴を含む請求項５記載のリフトピンホルダー。
ハウジング部材の下部は、リフトピンアセンブリの支持要素を受容し、内部で支持要素の相対的回転を防止するように構成された凹部を含む請求項１〜４のいずれか１項記載のリフトピンホルダー。
ハウジング部材は、ハウジング部材の下部の穴を介して凹部内に延びる固定要素を含み、固定要素は支持要素をハウジング部材に結合するように構成される請求項７記載のリフトピンホルダー。
固定要素はねじである請求項８に記載のリフトピンホルダー。
ハウジング部材及び支持部材はステンレス鋼で形成される請求項１〜４のいずれか１項記載のリフトピンホルダー。
支持部材の表面仕上げは２２Ｒａ未満である請求項１０記載のリフトピンホルダー。
第１及び第２のグリッパーはプロセス適合性プラスチックで形成される請求項１〜４のいずれか１項記載のリフトピンホルダー。
基部と、
基部から上方に延びる複数の支持要素と、
複数の支持要素の対応するものの上部に結合された複数のリフトピンホルダーであって、各々が請求項１〜４のいずれか１項記載されているリフトピンホルダーと、
複数のリフトピンホルダーに対応する複数のリフトピンであって、各々の底部が複数のリフトピンホルダーの対応するもの内に配置された複数のリフトピンを含むリフトピンアセンブリ。
複数のリフトピンホルダーは、
第１のグリッパーに配置され、第１の複数のプロングを分離する第１の複数のスロットと、第２のグリッパーに配置され、第２の複数のプロングを分離する第２の複数のスロットであって、第１の中央開口部は、リフトピンの直径より小さい第１の内径を有し、第２の中央開口部は、リフトピンの直径より小さい第２の内径を有する第１及び第２の複数のスロット、又は
ハウジング部材の下部の穴を介して凹部内に延び、支持要素をハウジング部材に結合する固定要素の少なくとも１つを有する請求項１３記載のリフトピンアセンブリ。
チャンバ本体と、
チャンバ本体の上に配置された蓋であって、蓋及びチャンバ本体は内部容積を画定する蓋と、
内部容積内に配置された基板支持体と、
基板支持体内に配置された複数のリフトピンブッシングと、
リフトピンアセンブリであって、
基部と、
基部から上方に延びる複数の支持要素と、
複数の支持要素の対応するものの上部に結合された複数のリフトピンホルダーであって、各々が請求項１〜４のいずれか１項記載されているリフトピンホルダーを含むリフトピンアセンブリと、
複数のリフトピンホルダーに対応する複数のリフトピンであって、各々のリフトピンは複数のリフトピンブッシングの対応するものを介して通過し、複数のリフトピンの各々の底部は複数のリフトピンホルダーの対応するものの内部に配置された複数のリフトピンを含む、処理チャンバ。