JP6903946B2 - 質量流量制御装置及び質量流量制御方法 - Google Patents
質量流量制御装置及び質量流量制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6903946B2 JP6903946B2 JP2017035030A JP2017035030A JP6903946B2 JP 6903946 B2 JP6903946 B2 JP 6903946B2 JP 2017035030 A JP2017035030 A JP 2017035030A JP 2017035030 A JP2017035030 A JP 2017035030A JP 6903946 B2 JP6903946 B2 JP 6903946B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- flow rate
- fluid
- mass flow
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Description
ステップS920:加速手段により、圧力値測定手段によって測定された圧力値の時間変化を加速する。
ステップS930:流量計により、加速手段によって時間変化が加速された圧力値に基づいて流体の流量を計算する。
ステップS940:流量制御弁により、流量計によって計算された上記流量に基づいて流体の流量を制御して、質量流量制御装置のユーザーによって設定された流量である設定流量に流体の流量を近付ける。
ステップS922:フィルタリング手段により、変換手段によってアナログデジタル変換された圧力値の時間変化をフィルタリング処理によって加速する。
2 流量計
2a 圧力差発生手段(層流素子)
2b 圧力値測定手段(圧力センサ)
2c 圧力値測定手段(圧力センサ)
3 機械式調圧弁
3a 流体入口
3b 弁スプリング
3c 弁体
3d 弁座
3e ステム
3f 調圧室
3g ダイアフラム
3h ダイアフラム押さえ
3i 調圧スプリング
3j 調整ねじ
3k 流体出口
4 流量制御弁
4a アクチュエータ
4b 弁
5 圧力センサ
6 温度センサ
Claims (12)
- 流量計と、流量制御弁と、を備え、
前記流量計は、圧力差発生手段と、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1及び前記圧力差発生手段の下流側における前記流体の圧力P2から導かれる1又は2以上の圧力値を測定する圧力値測定手段と、を備える質量流量制御装置において、
前記流量計は、前記圧力値測定手段によって測定された2以上の圧力値のそれぞれについて時間変化を個別に加速する加速手段をさらに備え、前記加速手段によって時間変化が加速された圧力値に基づいて前記流体の流量を計算し、
前記流量制御弁は、前記流量計によって計算された前記流量に基づいて前記流体の流量を制御する
ことを特徴とする質量流量制御装置。 - 前記加速手段は、前記圧力値測定手段によって測定された圧力値をアナログデジタル変換する変換手段と、前記変換手段によってアナログデジタル変換された圧力値の時間変化をデジタルフィルタによるフィルタリング処理によって加速するフィルタリング手段とを含む
ことを特徴とする請求項1に記載の質量流量制御装置。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1と、前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2とを含む
ことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の質量流量制御装置。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1と、前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2との差圧ΔPを含む
ことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の質量流量制御装置。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1又は前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2のいずれかをさらに含む
ことを特徴とする請求項4に記載の質量流量制御装置。 - 前記流量計の上流側に配置される機械式調圧弁をさらに備える
ことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかに記載の質量流量制御装置。 - 前記機械式調圧弁は、前記流量計に隣接して配置され、
前記流量制御弁は、前記流量計の下流側に配置される
ことを特徴とする請求項6に記載の質量流量制御装置。 - 圧力差発生手段及び圧力値測定手段を備える流量計と、流量制御弁と、を備える質量流量制御装置において、
前記圧力値測定手段により、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1及び前記圧力差発生手段の下流側における前記流体の圧力P2から導かれる1又は2以上の圧力値を測定すること、及び
前記流量制御弁により、前記圧力値測定手段によって測定された前記圧力値から導かれる前記流体の流量に基づいて、前記質量流量制御装置のユーザーによって設定された流量である設定流量に前記流体の流量を近付けること、
を含む質量流量制御方法であって、
前記流量計は、加速手段をさらに備え、
前記加速手段により、前記圧力値測定手段によって測定された2以上の前記圧力値のそれぞれについて時間変化を個別に加速すること、
前記流量計により、前記加速手段によって時間変化が加速された圧力値に基づいて前記流体の流量を計算すること、及び
前記流量制御弁により、前記流量計によって計算された前記流量に基づいて前記流体の流量を制御すること、
を含む質量流量制御方法。 - 前記加速手段は、アナログデジタル変換を実行する変換手段と、デジタルフィルタによるフィルタリング処理を実行するフィルタリング手段と、を含み、
前記変換手段により、前記圧力値測定手段によって測定された前記圧力値をアナログデジタル変換すること、及び
前記フィルタリング手段により、前記変換手段によってアナログデジタル変換された前記圧力値の時間変化を前記フィルタリング処理によって加速すること、
を含む請求項8に記載の質量流量制御方法。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1と、前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2とを含む
ことを特徴とする請求項8又は請求項9のいずれかに記載の質量流量制御方法。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1と、前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2との差圧ΔPを含む
ことを特徴とする請求項8又は請求項9のいずれかに記載の質量流量制御方法。 - 前記圧力値が、前記圧力差発生手段の上流側における流体の圧力P1又は前記圧力差発生手段の下流側における流体の圧力P2のいずれかをさらに含む
ことを特徴とする請求項11に記載の質量流量制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/484,517 US10386864B2 (en) | 2016-04-12 | 2017-04-11 | Mass flow controller and a method for controlling a mass flow rate |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016079460 | 2016-04-12 | ||
JP2016079460 | 2016-04-12 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017191597A JP2017191597A (ja) | 2017-10-19 |
JP2017191597A5 JP2017191597A5 (ja) | 2020-02-27 |
JP6903946B2 true JP6903946B2 (ja) | 2021-07-14 |
Family
ID=60086360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017035030A Active JP6903946B2 (ja) | 2016-04-12 | 2017-02-27 | 質量流量制御装置及び質量流量制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6903946B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7059053B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-04-25 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
JP7437980B2 (ja) | 2019-03-12 | 2024-02-26 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置、流体制御システム、診断方法、及び、流体制御装置用プログラム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6962164B2 (en) * | 2001-04-24 | 2005-11-08 | Celerity Group, Inc. | System and method for a mass flow controller |
CN106662883B (zh) * | 2014-09-01 | 2020-11-10 | 日立金属株式会社 | 质量流量控制装置 |
-
2017
- 2017-02-27 JP JP2017035030A patent/JP6903946B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017191597A (ja) | 2017-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20190119099A (ko) | 압력식 유량 제어 장치 및 유량 제어 방법 | |
JP6027395B2 (ja) | 流体制御装置 | |
US10386864B2 (en) | Mass flow controller and a method for controlling a mass flow rate | |
US11269362B2 (en) | Flow rate control method and flow rate control device | |
JP7270988B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
KR20160132404A (ko) | 질량 유량 컨트롤러를 통해 유동을 모니터링하는 시스템 및 방법 | |
JP2014186662A (ja) | 流量モニタ付流量制御装置 | |
CN112272809A (zh) | 流量控制方法以及流量控制装置 | |
JP6903946B2 (ja) | 質量流量制御装置及び質量流量制御方法 | |
KR102339509B1 (ko) | 질량 유량 제어 장치 | |
JP7208634B2 (ja) | 流体制御システムおよび流量測定方法 | |
TWI661180B (zh) | 流量測量方法及流量測量裝置 | |
CN114063658A (zh) | 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质 | |
JP6279675B2 (ja) | 流体制御装置 | |
CN114542780A (zh) | 流体控制装置、流体控制装置的控制方法和程序存储介质 | |
JP2020013269A (ja) | 流量制御装置 | |
US11326914B2 (en) | Flow rate measurement apparatus and method for more accurately measuring gas flow to a substrate processing system | |
TWI643048B (zh) | 流量訊號修正方法及使用其之流量控制裝置 | |
JP2021189514A (ja) | マスフローコントローラおよびハンチング抑制方法 | |
JP7194421B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
JP7495732B2 (ja) | 流量制御装置 | |
WO2021176864A1 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
US20220228896A1 (en) | Pressure control system, pressure control method, and pressure control program | |
JP2019105338A (ja) | 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム | |
JP2023034565A (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200115 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210525 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210607 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6903946 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |