JP6279675B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
その具体的な態様としては、前記制御回路が、全閉状態から流量調整弁が動き出したときの駆動信号値である動き出し駆動信号値とそのときの流体の種類、圧力、温度の少なくともいずれかとを対にして記憶する記憶部と、全閉状態から測定流量を目標流量に等しくすべく流量調整弁を制御し始めるときには、そのときの流体の種類、圧力、温度の少なくともいずれかをパラメータとして、前記記憶部に記憶されている過去の動き出し駆動信号値を参照し、前記初期駆動信号の値を設定する初期駆動信号値設定部とを具備しているものが好ましい。
本実施形態の流体制御装置は、図1に示すように、半導体製造に用いられる材料ガス等の流体流量を制御するものであって、前記流体が流れる流路51を貫通させたボディ5と、前記流路51上に設けられた流量調整弁7と、この流量調整弁7よりも上流側に設けられて当該流路51を流れる流体の流量を測定する流量測定手段2と、流量測定手段2による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁7の弁開度を制御する制御回路1とを具備している。
この制御回路1は、基本的には、流量測定手段2からの出力に基づいて算出した測定流量が、外部機器から受信した目標流量となるように流量調整弁7をフィードバック制御するが、その他に、全閉指令や全開指令などを受け付けた場合には、目標流量を無視して強制的に弁開度を設定することもできる。
目標流量は、メモリに設けた目標流量記憶部12に蓄積されている。この目標流量は、例えば外部機器からの指令により更新可能である。
全閉印加電圧から初期印加電圧への変化分である初期変化電圧と、流体の種類、圧力及び温度との関係は、具体的には、以下の通りである。
また、前記実施形態では、初期印加電圧を定めるパラメータとして、流体種類、圧力、温度の全てを用いていたが、いずれか少なくとも1つでもよい。
初期駆動信号値を、流体の種類、圧力又は温度をパラメータとして予め定められた、初期駆動信号値を求めるための関数又は表から算出しても構わない。
流体の種類、圧力又は温度をパラメータとして定められる最適な初期駆動信号値は、機差があり、かつ、流量制御弁やその周辺機器の使用などによる経時変化によっても変化する場合がある。このような機差や経時変化等に対応するには、学習機能をもたせておくことが好ましい。
この場合、前記制御回路が、全閉状態から測定圧力を目標圧力に等しくすべく圧力調整弁を制御し始めるときには、そのときの流体の種類、流量、温度の少なくともいずれかをパラメータとして初期駆動信号の値を設定するように構成しておけばよい。
1・・・制御回路
2・・・流量測定手段
51・・・流路
7・・・流量調整弁
Claims (2)
- 駆動信号の値に応じて開度が変化し、流路を流れる流体の流量を調整する流量調整弁と、前記流路を流れる流体の流量を測定するための流量測定手段と、前記流量測定手段によって得られた測定流量が、与えられた目標流量と等しくなるように、駆動信号を出力して前記流量調整弁を制御する制御回路とを具備したものであって、
前記制御回路が、全閉状態から測定流量を目標流量に等しくすべく流量調整弁を制御し始めるときには、そのときの流体の圧力又は温度をパラメータとして初期駆動信号の値を設定するように構成されており、
前記制御回路が、流体の圧力又は温度に応じて定まる電圧設定係数を予め定められた基準変化電圧にかけ合わせて初期変化電圧を算出し、予め定められた全閉印加電圧から前記初期変化電圧を差し引いて前記初期駆動信号の値を算出することを特徴とする流体制御装置。 - 前記制御回路が、流体の圧力及び温度の両方をパラメータとする関数を用いて前記初期駆動信号の値を算出することを特徴とする請求項1記載の流体制御装置。
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