JP6897740B2 - 画素ユニット、及び撮像素子 - Google Patents
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Description
3 フォトダイオード
5 トランジスタ
51 ゲート
52 第1のゲート領域
53 第2のゲート領域
GW1 第1のゲート幅
GW2 第2のゲート幅
LD ゲート長方向
WD ゲート幅方向
54 延長部
7 拡散領域
7a 高濃度領域
7b 低濃度領域(半導体基板)
11 トランジスタ
13 トランジスタ
17 画素群
19 垂直信号線
23 固体撮像素子
Claims (9)
- 光電変換素子と、
前記光電変換素子に接続する転送ゲートを備える転送トランジスタと、
前記転送ゲートに接続するフローティングディフュージョン領域とを備える画素ユニットであって、
前記転送ゲートは、
ゲート幅方向に第1のゲート幅を有し、前記フローティングディフュージョン領域に接続して前記フローティングディフュージョン領域から離れるゲート長方向に延びる第1のゲート領域と、
前記ゲート幅方向に前記第1のゲート幅より小さい第2のゲート幅を有し、前記第1のゲート領域から連続して前記ゲート長方向に延びる第2のゲート領域とを含み、
前記第2のゲート領域は、前記第1のゲート領域から離れる方向に前記第1のゲート幅から前記第2のゲート幅になるように徐々に小さくなり、
前記転送ゲートの平面形状は、四角形の前記フローティングディフュージョン領域から離れた側の2つの角部を切り欠いた形状であることを特徴とする画素ユニット。 - 前記第2のゲート領域は、テーパ状に形成されている請求項1に記載の画素ユニット。
- 前記光電変換素子、前記転送ゲート、及び前記フローティングディフュージョン領域が、直線上に配置されている請求項1または2に記載の画素ユニット。
- 前記フローティングディフュージョン領域は、拡散する不純物濃度が異なる第1の拡散領域及び第2の拡散領域を含んで構成されており、
前記第1の拡散領域は、前記第2の拡散領域よりも不純物濃度が高く、
前記第2の拡散領域は、前記第1の拡散領域を挟むように前記第1の拡散領域に隣接する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の画素ユニット。 - 前記フローティングディフュージョン領域に接続されて前記フローティングディフュージョン領域に蓄積された電荷をリセットするリセットトランジスタをさらに備える請求項1乃至4のいずれか1項に記載の画素ユニット。
- 前記フローティングディフュージョン領域に接続して前記フローティングディフュージョン領域で変換した電圧を増幅する増幅トランジスタをさらに備える請求項1乃至5のいずれか1項に記載の画素ユニット。
- 前記転送ゲートは、前記転送トランジスタから前記フローティングディフュージョン領域に向かって延びる延長部をさらに備える請求項1乃至6のいずれか1項に記載の画素ユニット。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の画素ユニットが複数配置された撮像素子であって、
前記画素ユニットのうち、一部の画素ユニットが第1の方向に並んで配置された画素ユニット列を構成し、
前記画素ユニット列がさらに第1の方向と直交する第2の方向に複数並んで配置された撮像素子。 - 前記画素ユニット列を構成する前記一部の画素ユニットは、前記画素ユニットの電気信号を読み出す1つの信号線に接続されている請求項8に記載の撮像素子。
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JP2019184311A JP6897740B2 (ja) | 2016-03-07 | 2019-10-07 | 画素ユニット、及び撮像素子 |
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