JP6897392B2 - 超純水製造装置の運転方法及び超純水製造装置 - Google Patents
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- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims description 84
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims description 84
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 42
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 claims description 42
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 67
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 29
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 27
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 9
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 4
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 3
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 description 2
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 2
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 1
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 1
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
3 ポンプ(送液・昇圧手段)
9 UF膜分離装置(膜ろ過装置)
10 戻り配管
11A 第一のバイパス流路
11B 第二のバイパス流路
12 ブースターポンプ(送液・昇圧手段)
21 超純水製造装置
23 一次純水システム
24 サブシステム(二次純水システム)
W 原水
W1 前処理水
W2 一次純水
W3 超純水
UP ユースポイント
Claims (3)
- 一次純水システムと、この一次純水システムで製造された一次純水を処理するサブシステムとを有し、前記サブシステムが超純水をユースポイントに送給するための送液・昇圧手段と、この送液・昇圧手段の後段に設けられた膜ろ過装置とを備えた超純水製造装置の運転方法であって、
前記送液・昇圧手段を停止するに際し、
前記ユースポイントへの超純水の供給を停止する工程と、
前記膜ろ過装置への送液を停止する工程と、
前記送液・昇圧手段を停止する工程と
をこの順に実施する、超純水製造装置の運転方法。 - 前記送液・昇圧手段を停止した後再起動するに際し、前記膜ろ過装置への送液及び前記ユースポイントへの超純水の供給を停止した状態で前記送液・昇圧手段を再起動し、
次に前記膜ろ過装置への送液を再開し、
続いて前記ユースポイントへの超純水の供給を再開する、
請求項1に記載の超純水製造装置の運転方法。 - 前記超純水製造装置が、前記ユースポイントを迂回する第一のバイパス流路と、前記膜ろ過装置を迂回する第二のバイパス流路とを有する、請求項1又は2に記載の超純水製造装置の運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017144781A JP6897392B2 (ja) | 2017-07-26 | 2017-07-26 | 超純水製造装置の運転方法及び超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017144781A JP6897392B2 (ja) | 2017-07-26 | 2017-07-26 | 超純水製造装置の運転方法及び超純水製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019025391A JP2019025391A (ja) | 2019-02-21 |
JP6897392B2 true JP6897392B2 (ja) | 2021-06-30 |
Family
ID=65475238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017144781A Active JP6897392B2 (ja) | 2017-07-26 | 2017-07-26 | 超純水製造装置の運転方法及び超純水製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6897392B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5811090A (ja) * | 1981-07-13 | 1983-01-21 | Arubatsuku Service Kk | 純水製造用逆浸透装置又は限外「ろ」過装置 |
JPS60882A (ja) * | 1983-05-31 | 1985-01-05 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
JPS61178088A (ja) * | 1985-02-01 | 1986-08-09 | Hitachi Ltd | 純水製造装置 |
JP4228732B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2009-02-25 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造システム |
JP4534766B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2010-09-01 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
JP6225487B2 (ja) * | 2013-04-11 | 2017-11-08 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造システム及び超純水製造供給システム |
CN105283422B (zh) * | 2013-07-24 | 2017-09-22 | 栗田工业株式会社 | 超纯水制造***、超纯水制造供给***及其洗涤方法 |
-
2017
- 2017-07-26 JP JP2017144781A patent/JP6897392B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019025391A (ja) | 2019-02-21 |
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