JP6890365B1 - メタルマスク版製造設備と製造方法 - Google Patents
メタルマスク版製造設備と製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6890365B1 JP6890365B1 JP2021053592A JP2021053592A JP6890365B1 JP 6890365 B1 JP6890365 B1 JP 6890365B1 JP 2021053592 A JP2021053592 A JP 2021053592A JP 2021053592 A JP2021053592 A JP 2021053592A JP 6890365 B1 JP6890365 B1 JP 6890365B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal mask
- screen frame
- sheet
- frame
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 184
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 184
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 60
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のメタルマスク版製造設備であって、前記面状発熱体と被覆シートの間、または前記面状発熱体と前記メタルマスクの間に、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に形成または配置された押圧治具を備える、
ことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、金属製のスクリーン枠に、メッシュシートを介してメタルマスクを張設するための、メタルマスク版製造方法であって、前記スクリーン枠を載置可能な大きさの平面を有する製版台の前記平面上に、弾性支持体を載置する工程と、前記スクリーン枠を、前記メッシュシートを上にして、その枠内に、厚板状の弾性支持体を収納した状態で平面上に置き、前記スクリーン枠の前記メッシュシート上に、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に塗布、形成または配置された接着剤の層を挟んで、メタルマスクを密着させる工程と、前記接着剤の硬化温度を出力可能な面状発熱体を、前記メタルマスク上に設置する工程と、前記スクリーン枠より大きい外枠に張設された、柔軟な被覆シートで前記スクリーン枠を押圧する工程と、前記面状発熱体を発熱させ、前記接着剤を硬化させるとともに、前記外枠と前記被覆シートと前記平面に囲まれた空間から空気を吸引し、前記被覆シートにより前記メタルマスクを前記メッシュシートに圧着する工程と、前記メッシュシートの、前記メタルマスクに固着した部分の内側を切除する工程と、を含むことを特徴とする、メタルマスク版製造方法である。
請求項4に記載の発明は、金属製のスクリーン枠に、メッシュシートを介してメタルマスクを張設するための、メタルマスク版製造方法であって、前記スクリーン枠を載置可能な大きさの平面を有する製版台の前記平面上に面状発熱体、前記メタルマスクをこの順番で載置する工程と、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に、接着剤の層を塗布、形成または配置する工程と、前記スクリーン枠を、前記メッシュシートを下にして前記メタルマスク上に載置する工程と、前記スクリーン枠内に、弾性支持体を収納する工程と、前記スクリーン枠と前記弾性支持体を、前記スクリーン枠より大きい外枠に張設された、柔軟な被覆シートで押圧する工程と、前記面状発熱体を発熱させ、前記接着剤を硬化させるとともに、前記外枠と前記被覆シートと前記平面に囲まれた空間から空気を吸引し、前記被覆シートにより前記メタルマスクを前記メッシュシートに圧着する工程と、前記メッシュシートの、前記メタルマスクに固着した部分の内側を切除する工程と、を含むことを特徴とする、メタルマスク版製造方法である。
2 押圧用枠
21 外枠
22 被覆シート
3 製版台
31 吸気孔
4 遮熱シート
5 弾性支持体
6 接着剤
7 面状発熱体
8 押圧治具
F スクリーン枠
M メタルマスク
P 空気吸引機
S メッシュシート
Claims (4)
- メッシュシートが張設されている金属製のスクリーン枠に、前記メッシュシートを介してメタルマスクを張設するための、メタルマスク版製造設備であって、
前記スクリーン枠より大きい外枠に、柔軟な被覆シートを張設した押圧用枠と、
前記スクリーン枠の全体を載置可能な大きさの平面を有する製版台と、
前記製版台の平面上に載置され、前記スクリーン枠の内側に収納可能な形状の弾性支持体と、
前記製版台と前記被覆シートの両方またはいずれか一方に形成された吸気孔と、
前記吸気孔と蛇管を介して空気の流通自在に接続され、所定の吸引力を有する空気吸引機と、
所定の熱と圧力で硬化する接着剤の層と、
前記接着剤の硬化温度を出力可能な面状発熱体と、
を備え、
前記接着剤は、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に塗布、形成または配置されており、
前記吸気孔は、前記押圧用枠を前記製版台に密着させたとき、前記外枠の枠内であり、前記スクリーン枠の枠外の範囲に位置している、
ことを特徴とする、メタルマスク版製造設備。 - 前記面状発熱体と被覆シートの間、または前記面状発熱体と前記メタルマスクの間に、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に形成または配置された押圧治具を備える、
ことを特徴とする、請求項1に記載のメタルマスク版製造設備。 - 金属製のスクリーン枠に、メッシュシートを介してメタルマスクを張設するための、メタルマスク版製造方法であって、
前記スクリーン枠を載置可能な大きさの平面を有する製版台の前記平面上に、弾性支持体を載置する工程と、
前記スクリーン枠を、前記メッシュシートを上にして、その枠内に、厚板状の弾性支持体を収納した状態で平面上に置き、前記スクリーン枠の前記メッシュシート上に、前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に塗布、形成または配置された接着剤の層を挟んで、メタルマスクを密着させる工程と、
前記接着剤の硬化温度を出力可能な面状発熱体を、前記メタルマスク上に設置する工程と、
前記スクリーン枠より大きい外枠に張設された、柔軟な被覆シートで前記スクリーン枠を押圧する工程と、
前記面状発熱体を発熱させ、前記接着剤を硬化させるとともに、前記外枠と前記被覆シートと前記平面に囲まれた空間から空気を吸引し、前記被覆シートにより前記メタルマスクを前記メッシュシートに圧着する工程と、
前記メッシュシートの、前記メタルマスクに固着した部分の内側を切除する工程と、
を含むことを特徴とする、メタルマスク版製造方法。 - 金属製のスクリーン枠に、メッシュシートを介してメタルマスクを張設するための、メタルマスク版製造方法であって、
前記スクリーン枠を載置可能な大きさの平面を有する製版台の前記平面上に面状発熱体、前記メタルマスクをこの順番で載置する工程と、
前記メタルマスクの外周を含むロの字形状に、接着剤の層を塗布、形成または配置する工程と、
前記スクリーン枠を、前記メッシュシートを下にして前記メタルマスク上に載置する工程と、
前記スクリーン枠内に、弾性支持体を収納する工程と、
前記スクリーン枠と前記弾性支持体を、前記スクリーン枠より大きい外枠に張設された、柔軟な被覆シートで押圧する工程と、
前記面状発熱体を発熱させ、前記接着剤を硬化させるとともに、前記外枠と前記被覆シートと前記平面に囲まれた空間から空気を吸引し、前記被覆シートにより前記メタルマスクを前記メッシュシートに圧着する工程と、
前記メッシュシートの、前記メタルマスクに固着した部分の内側を切除する工程と、
を含むことを特徴とする、メタルマスク版製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020190626 | 2020-11-17 | ||
JP2020190626 | 2020-11-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6890365B1 true JP6890365B1 (ja) | 2021-06-18 |
JP2022080246A JP2022080246A (ja) | 2022-05-27 |
Family
ID=76429593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021053592A Active JP6890365B1 (ja) | 2020-11-17 | 2021-03-26 | メタルマスク版製造設備と製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6890365B1 (ja) |
-
2021
- 2021-03-26 JP JP2021053592A patent/JP6890365B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022080246A (ja) | 2022-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4491049B1 (ja) | 熱板加熱による熱成形装置および熱成形方法 | |
JP6057880B2 (ja) | 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置 | |
JP6890365B1 (ja) | メタルマスク版製造設備と製造方法 | |
CN116364563B (zh) | 一种显示屏基板贴盖方法 | |
US9679866B2 (en) | Bonding stage and method of manufacturing the same | |
JPH10224012A (ja) | 可撓基板にスチフナを装着する方法 | |
JP2010017719A (ja) | 加熱プレス装置 | |
JP3609048B2 (ja) | 積層シートの加圧装置 | |
JP7213785B2 (ja) | 半導体ウエハマウント装置および半導体装置の製造方法 | |
US8302836B2 (en) | Ball array mask and ball array mask supporting apparatus | |
KR100516055B1 (ko) | 공기압을 이용한 액정 표시 장치용 가열 압착기 | |
KR102307395B1 (ko) | 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법 | |
KR20150016834A (ko) | 리지드 플렉시블 기판 제조용 지그 및 그를 이용한 리지드 플렉시블 기판 제조방법 | |
JP4113002B2 (ja) | 液晶表示装置の製造装置 | |
JP2000168022A (ja) | 真空積層成形装置および真空積層成形方法 | |
KR20080046939A (ko) | 정전척 및 이의 제조 방법 | |
JPH07245359A (ja) | グリーンシート積層方法と装置および押圧型 | |
JP3243608B2 (ja) | 真空積層装置および真空積層方法 | |
JPH09181342A (ja) | 太陽電池セルとカバーガラスの接着方法および接着装置 | |
JPH1152321A (ja) | ギャップ出し治具 | |
KR101501987B1 (ko) | 휴대용 단말기의 서브 케이스와 이를 위한 안테나 패치의 제조방법 및 이에 의한 안테나 패치 | |
CN114975726A (zh) | 压合工装及其组装方法 | |
JP2020152013A (ja) | 積層装置 | |
JP2011139005A (ja) | 加圧モジュールおよびデバイスの製造方法 | |
JPH1039319A (ja) | ギャップ出し治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210326 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210326 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6890365 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |