JP6888996B2 - 大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
10a 管壁
10b 端部壁
11 流入口(放電用ガス流入部)
11a 接続管
12 流出口
13a、13a’ 内側電極(一方の電極、帯状電極)
13a1 中央部
13a2 縁部(両縁部)
13b、13b’ 内側管
14 放電空間(プラズマ発生空間)
15 外側電極(他方の電極、帯状電極)
20 放電管(放電容器)
20a 管壁
20b 端部壁
21 流入口
22 流出口
23、23’、23’’ 電極(帯状電極)
231、231’、231’’ 中央部
232、232’、232’’ 縁部(両縁部)
100 大気圧プラズマ発生装置
Claims (6)
- 放電用ガスが流入し流出する放電管と、上記放電管を介在させて対向配置された一対の電極とを備え、上記放電用ガスが上記放電管の内部を流動する大気圧プラズマ発生装置において、
上記一対の電極間の電界強度が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、
上記一対の電極の少なくとも一方の電極は、上記放電管の内側に配設された内側電極であって、上記内側電極の幅が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、及び
上記内側電極は、上記放電管の軸方向に沿って配設された帯状電極であって、上記帯状電極の幅方向の両縁部の少なくとも一方の厚さが、上記帯状電極の中央部の厚さよりも薄いこと、
を特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 放電用ガスが流入し流出する放電管と、上記放電管を介在させて対向配置された一対の電極とを備え、上記放電用ガスが上記放電管の内部を流動する大気圧プラズマ発生装置において、
上記一対の電極間の電界強度が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、
上記一対の電極の少なくとも一方の電極は、上記放電管の内側に配設された内側電極であって、上記内側電極の幅が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、及び
上記内側電極を埋設する内側管を有し、該内側管は、上記内側電極の最大幅方向の厚さが最も薄いこと、
を特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 放電用ガスが流入し流出する放電管と、上記放電管を介在させて対向配置された一対の電極とを備え、上記放電用ガスが上記放電管の内部を流動する大気圧プラズマ発生装置において、
上記一対の電極間の電界強度が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、
上記一対の電極の少なくとも一方の電極は、上記放電管の内側に配設された内側電極であって、上記内側電極の幅が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、及び
上記内側電極は、上記放電管の内側に配設された内側管により埋設されており、上記内側管の上記放電管の径方向の厚さは、上記放電管の周方向に沿って不均一であること、
を特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 請求項2または3に記載の大気圧プラズマ発生装置において、上記内側管は上記放電管と一体として加熱成形されている大気圧プラズマ発生装置。
- 放電用ガスが流入し流出する放電管と、上記放電管を介在させて対向配置された一対の電極とを備え、上記放電用ガスが上記放電管の内部を流動する大気圧プラズマ発生装置において、
上記一対の電極間の電界強度が上記放電管の周方向に沿って不均一であること、
上記一対の電極の少なくとも一方は、上記放電管の管壁に沿う帯状電極であって、上記放電管の管壁内に埋設されていること、
上記帯状電極は、上記放電管を構成する小径管と大径管との間での加熱溶着により埋設されていること、及び
上記帯状電極の幅方向の両縁部が、ナイフエッジ形状であること、
を特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の大気圧プラズマ発生装置において、上記一対の電極間の距離または誘電体の厚さを、上記放電管の周方向または径方向に沿って不均一とすることにより、上記放電管内に電界強度が局所的に高い領域を形成した大気圧プラズマ発生装置。
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