JP6882929B2 - 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6882929B2 JP6882929B2 JP2017091381A JP2017091381A JP6882929B2 JP 6882929 B2 JP6882929 B2 JP 6882929B2 JP 2017091381 A JP2017091381 A JP 2017091381A JP 2017091381 A JP2017091381 A JP 2017091381A JP 6882929 B2 JP6882929 B2 JP 6882929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon oxide
- oxide film
- film
- region
- wave resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 330
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 318
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 27
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 492
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 72
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 72
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 34
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 25
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBXOPEGTOZQGQO-UHFFFAOYSA-N [Li].[Nb] Chemical compound [Li].[Nb] IBXOPEGTOZQGQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02834—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02858—Means for compensation or elimination of undesirable effects of wave front distortion
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/131—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials consisting of a multilayered structure
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図3(a)から図4(c)は、実施例1に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図3(a)に示すように、圧電基板10を準備する。圧電基板10としては、ニオブ酸リチウム基板またはタンタル酸リチウム基板を用いることができる。圧電基板10をニオブ酸リチウム基板とする場合、例えば回転Yカットニオブ酸リチウム基板を用いる。回転Yカット角が127.86°においてレイリー波の電気機械結合係数が最大となる。Campbell&Jones法を用いシミュレーションすると、回転Yカット角が120°から140°の範囲ではレイリー波の電気機械結合係数はリーキー波の電気機械結合係数より大きくなる。よって、レイリー波が主モードとなり、リーキー波は不要波となる。レイリー波を主モードとする場合、回転Yカット角は120°以上かつ140°以下が好ましい。また、127.86°に対し製造上のばらつきを考慮し、回転Yカット角は126°以上かつ130°以下が好ましい。
図6は、図1(a)のA−A断面の音速を示す図である。図6に示すように、ギャップ領域56の音速は交差領域50の音速より速い。これにより、弾性波は交差領域50内に閉じ込められる。酸化シリコン膜16の音速が酸化シリコン膜14の音速より遅くなるように、酸化シリコン膜16に音速が遅くなる元素または分子を含む。これにより、エッジ領域54の音速が中央領域52の音速より遅くなる。よって、交差領域50内の基本横モードの強度分布がY方向にフラットとなる。さらに、高次横モードの結合係数が小さくなる。これらにより、横モードスプリアスを抑制するピストンモードを実現することができる。
比較例1を用い弾性表面波共振器の弾性波の音速をシミュレーションした。図7は、比較例1に係る弾性表面波共振器の断面図である。図7に示すように、比較例1では、酸化シリコン膜14上に付加膜17が設けられている。付加膜17の膜厚は交差領域50、ギャップ領域56およびバスバー領域58で同じである。比較例1のシミュレーション条件は以下である。
圧電基板10:127.86°回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板
金属膜12 :膜厚が278nm(0.0655λ)の銅膜
酸化シリコン膜14:金属膜12上の膜厚が956nm(0.225λ)、弗素を添加していない
IDT22:ピッチλが4.25μm、対数が100対、開口長が20λ
ΔV(T)=Δfr(T)=(fr(T)−fr(0))/fr(0)×100[%]
ここで、fr(0)は、付加膜17を設けないときの共振周波数であり、fr(T)は、付加膜17の膜厚がTのときの共振周波数である。
比較例1の結果に基づき比較例2について説明する。図9(a)は、比較例2に係る弾性波共振器の断面図である。図9(a)に示すように、エッジ領域54の酸化シリコン膜14上に付加膜17が設けられている。付加膜17は二酸化シリコンである。横モードスプリアスを抑制するため、エッジ領域54の音速を中央領域52の音速より1.5%から2.5%遅くしようとすると、付加膜17の膜厚は0.1λ(400nm)以上となる。付加膜17の膜厚は酸化シリコン膜14の膜厚の1/2以上となる。このように、厚い付加膜17の加工をするのは容易でない。また、酸化シリコン膜14と付加膜17の空隙に露出する面の凹凸が大きくなるとSH波等の不要波が生じ共振器特性が劣化する。
図9(b)は、比較例3に係る弾性波共振器の断面図である。図9(b)に示すように、付加膜17を酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化タングステンまたは酸化テルルのようにバルクの音速が遅い材料とすることで、付加膜17の膜厚を例えば0.04λ(150nm)以下にできる。これにより、比較例1に比べ、付加膜17の加工が容易になる。また、酸化シリコン膜14および付加膜17の空隙に露出する最上面の凹凸が小さくなる。これにより、凹凸に起因した不要波を抑制できる。
比較例4では、比較例1と同じ構造で、付加膜17を弗素(F)を添加した酸化シリコン膜とした。図10(a)は、比較例4の付加膜の弗素濃度に対するバルクにおける音速を示す図、図10(b)は、比較例4における付加膜のλで規格化した膜厚に対する音速変化率を示す図である。図10(a)に示すように、酸化シリコン(SiO2)に弗素の濃度が高くなるとバルクの音速が遅くなる。
次に弗素を添加した酸化シリコン膜の周波数温度係数を調べるため比較例5に係る弾性表面波共振器を作製した。比較例5の構造は、図7と同じである。
作製条件は以下である。
圧電基板10:127.86°回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板
金属膜12 :圧電基板側から膜厚が10nmのRu膜、膜厚が131nm(0.0655λ)の銅膜および膜厚が9nmのCr膜
酸化シリコン膜14:金属膜12上の膜厚が450nm(0.225λ)の酸化シリコン膜、弗素の濃度を変化させた
付加膜17:膜厚が0.0035λの酸化ニオブ
IDT22:ピッチλが2.0μm、対数が100対、開口長が20λ
図12は、実施例1の変形例1に係る弾性波共振器の断面図である。図12に示すように、エッジ領域54における酸化シリコン膜14上に酸化シリコン膜16が設けられている。エッジ領域54における酸化シリコン膜16の膜厚はT22である。中央領域52、ギャップ領域56およびバスバー領域58には酸化シリコン膜16は設けられていない。酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T11と中央領域52の膜厚T12は略同じである。これにより、酸化シリコン膜14の上面は平坦となる。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図13(a)は、実施例1の変形例2に係る弾性波共振器の断面図である。図13(a)のように、エッジ領域54に加えバスバー領域58の酸化シリコン膜16の膜厚が中央領域52の膜厚より大きくてもよい。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図13(b)は、実施例1の変形例3に係る弾性波共振器の断面図である。図13(b)のように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12と中央領域52の膜厚T11とは略同じであり、酸化シリコン膜14の上面は平坦である。酸化シリコン膜14上にエッジ領域54の膜厚T22が中央領域52の膜厚T21より大きい酸化シリコン膜16が設けられている。これにより、エッジ領域54において酸化シリコン膜16の上面に凸部62が形成される。実施例1の変形例3では、バスバー領域58には酸化シリコン膜16は設けられていないが、酸化シリコン膜16を中央領域52およびギャップ領域56と同じ厚さで設けてもよい。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図13(c)は、実施例1の変形例4に係る弾性波共振器の断面図である。図13(c)に示すように、ギャップ領域56に中央領域52と同じ膜厚の酸化シリコン膜16が設けられ、バスバー領域58にエッジ領域54と同じ膜厚の酸化シリコン膜16が設けられている。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。
図14(a)は、実施例1の変形例5に係る弾性波共振器の断面図である。図14(a)に示すように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12は中央領域52の膜厚T11より小さい。これにより、エッジ領域54における酸化シリコン膜14の上面に凹部48が形成される。酸化シリコン膜14の上面の凹部48の深さD1に比べ酸化シリコン膜16の上面の凹部47の深さD2は小さい。これにより、酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22は中央領域52の膜厚T21より大きくなる。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図14(b)は、実施例1の変形例6に係る弾性波共振器の断面図である。図14(b)に示すように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12は中央領域52の膜厚T11より小さく、エッジ領域54における酸化シリコン膜14の上面に凹部48が形成される。エッジ領域54における酸化シリコン膜16の上面に凸部62が形成されている。酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22は中央領域52の膜厚T21より大きくなる。酸化シリコン膜14の上面の凹部48の深さD1に比べ酸化シリコン膜16の上面の凸部62の高さH2は小さい。これにより、酸化シリコン膜16の上面の凹凸は酸化シリコン膜14の上面の凹凸より小さくなる。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図14(c)は、実施例1の変形例7に係る弾性波共振器の断面図である。図14(c)に示すように、エッジ領域54における酸化シリコン膜16の膜厚T22は酸化シリコン膜14の膜厚T12より大きい。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図15(a)は、実施例1の変形例8に係る弾性波共振器の断面図である。図15(a)に示すように、金属膜12上に酸化シリコン膜16が設けられ、酸化シリコン膜16上に酸化シリコン膜14が設けられている。エッジ領域54における酸化シリコン膜16の上面に凸部62が設けられている。これにより、酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22が中央領域52の膜厚T21より大きくなる。膜厚T11+T21と膜厚T12+T22とが略同じなため、酸化シリコン膜14の上面はほぼ平坦となる。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。
図15(b)は、実施例1の変形例9に係る弾性波共振器の断面図である。図15(b)に示すように、中央領域52およびギャップ領域56には酸化シリコン膜16が設けられていない。エッジ領域54以外には酸化シリコン膜16は設けられていなくてもよい。膜厚T12+T22が膜厚T11と略同じであるため、酸化シリコン膜14および16の上面はほぼ平坦となる。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図15(c)は、実施例1の変形例10に係る弾性波共振器の断面図である。図15(c)に示すように、パッド領域59に酸化シリコン膜14および16を貫通する開口が設けられている。パッド領域59において金属膜12に接触するパッド電極30がバスバー領域58の酸化シリコン膜16上に設けられている。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図16(a)および図16(b)は、実施例1の変形例11に係る弾性波共振器のエッジ領域54付近の拡大平面図である。図16(a)および図16(b)に示すように、エッジ領域54における酸化シリコン膜14の上面の凹部48または酸化シリコン膜16の上面の凸部62はエッジ領域54の一部に島状に設けられている。すなわち、エッジ領域54内において酸化シリコン膜16の膜厚が中央領域52より大きい領域(または元素が置換された領域)は一部でもよい。また、図示していないが、エッジ領域54における酸化シリコン膜14の上面の凹部48または酸化シリコン膜16の上面の凸部62は、電極指26の間または電極指26上に周期的に配置してもよい。その他の構成は、実施例1およびその変形例1から10と同じであり説明を省略する。
図17(b)は、実施例2の変形例1に係る弾性波共振器の断面図である。図17(b)に示すように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12と中央領域52の膜厚T11は略同じである。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32は中央領域52の膜厚T31より小さい。これにより、酸化シリコン膜18のエッジ領域54の上面に凹部49が形成される。酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22は中央領域52の膜厚T21より大きい。酸化シリコン膜16の上面はほぼ平坦である。すなわち、エッジ領域54の膜厚T12+T22+T32と中央領域52の膜厚T11+T21+T31とは略同じである。実施例2の変形例1では、酸化シリコン膜18の上面に凸凹を形成した後に酸化シリコン膜16を成膜し、その後酸化シリコン膜16上を平坦化する。その他の構成は実施例2と同じであり説明を省略する。
図17(c)は、実施例2の変形例2に係る弾性波共振器の断面図である。図17(c)に示すように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12と中央領域52の膜厚T11は略同じである。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32と中央領域52の膜厚T31とは略同じである。酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22は中央領域52の膜厚T21より大きい。これにより、酸化シリコン膜16のエッジ領域54の上面に凸部62が形成される。実施例2の変形例2では、酸化シリコン膜14から16を成膜した後、酸化シリコン膜16の上面に凹凸を形成する。平坦化を行わないため、製造工数を削減できる。その他の構成は実施例2と同じであり説明を省略する。
図18(a)は、実施例2の変形例3に係る弾性波共振器の断面図である。図18(a)に示すように、酸化シリコン膜14および16の上に酸化シリコン膜18が設けられている。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32と中央領域52の膜厚T31は略同じである。実施例2の変形例3では、酸化シリコン膜14の上面に凹凸を形成した後、酸化シリコン膜16を形成し、酸化シリコン膜16の上面を平坦化する。その後酸化シリコン膜18を成膜する。その他の構成は実施例1の変形例2と同じであり説明を省略する。
図18(b)は、実施例2の変形例4に係る弾性波共振器の断面図である。図18(b)に示すように、酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32と中央領域52の膜厚T31は略同じである。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の上面に凹部49が設けられている。その他の構成は実施例1の変形例5と同じであり説明を省略する。
図18(c)は、実施例2の変形例5に係る弾性波共振器の断面図である。図18(c)に示すように、酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32と中央領域52の膜厚T31は略同じである。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の上面に凸部63が設けられている。その他の構成は実施例1の変形例6と同じであり説明を省略する。
図19は、実施例2の変形例6に係る弾性波共振器の断面図である。図19に示すように、酸化シリコン膜14のエッジ領域54の膜厚T12と中央領域52の膜厚T11は略同じである。酸化シリコン膜16のエッジ領域54の膜厚T22は中央領域52の膜厚T21より大きい。これにより、酸化シリコン膜16のエッジ領域54の上面に凸部62が形成される。酸化シリコン膜18のエッジ領域54の膜厚T32と中央領域52の膜厚T31は略同じである。これにより、酸化シリコン膜18のエッジ領域54の上面に凸部63が形成される。その他の構成は実施例2の変形例3と同じであり説明を省略する。
図20(b)は、実施例3の変形例1に係る弾性波共振器の断面図である。図20(b)に示すように、バスバー領域58に酸化シリコン膜16が設けられている。その他の構成は実施例3と同じであり説明を省略する。
図21(a)は、実施例3の変形例2に係る弾性波共振器の断面図である。図21(a)に示すように、酸化シリコン膜16および16a上に酸化シリコン膜18が設けられている。酸化シリコン膜18の元素または分子の濃度は酸化シリコン膜14より高く、酸化シリコン膜16より低い。その他の構成は実施例3の変形例1と同じであり説明を省略する。
図21(b)は、実施例3の変形例3に係る弾性波共振器の断面図である。図21(b)に示すように、酸化シリコン膜16および16a上に酸化シリコン膜14aが設けられている。酸化シリコン膜14aの元素または分子の濃度は酸化シリコン膜14と同じ(例えば元素または分子を意図的に略含まない)である。その他の構成は実施例3の変形例1と同じであり説明を省略する。
図21(c)は、実施例3の変形例4に係る弾性波共振器の断面図である。図21(c)に示すように、酸化シリコン膜14と圧電基板10との間に酸化シリコン膜16および16aが設けられている。その他の構成は実施例3の変形例1と同じであり説明を省略する。
図22(b)は、実施例4の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図22(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ64が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ66が接続されている。送信フィルタ64は、送信端子Txから入力された信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ66は、共通端子Antから入力された信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ64および受信フィルタ66の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
12 金属膜
14、14a、16、16a、18 酸化シリコン膜
22 IDT
25 櫛型電極
26 電極指
28 バスバー
50 交差領域
52 中央領域
54 エッジ領域
56 ギャップ領域
58 バスバー領域
64 送信フィルタ
66 受信フィルタ
Claims (16)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、弾性波を励振する複数の電極指と前記複数の電極指を接続するバスバーとを有する一対の櫛型電極が対向するIDTと、
前記一対の櫛型電極の複数の電極指が交差する交差領域内の前記複数の電極指上に設けられ、前記交差領域の前記電極指の延伸方向の両端に相当するエッジ領域の少なくとも一部の膜厚が前記交差領域内の前記エッジ領域に挟まれた中央領域の膜厚以下である第1酸化シリコン膜と、
前記交差領域内の前記複数の電極指上に設けられ、酸化シリコン膜に添加されることにより前記酸化シリコン膜の音速が遅くなる元素または分子を含み、前記第1酸化シリコン膜より前記元素または分子の濃度が高く、前記エッジ領域の少なくとも一部の膜厚が前記中央領域の膜厚より大きい第2酸化シリコン膜と、
を具備する弾性波共振器。 - 前記元素または分子は、F、H、CH3、CH2、Cl、C、N、P、BおよびSの少なくとも1つである請求項1記載の弾性波共振器。
- 前記元素または分子はFである請求項1記載の弾性波共振器。
- 前記第1酸化シリコン膜は前記元素または分子を含まない請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記第1酸化シリコン膜は前記元素または分子を含む請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記交差領域において前記第1酸化シリコン膜および前記第2酸化シリコン膜のうち上に位置する酸化シリコン膜の上面は略平坦であり、前記交差領域において前記上面上に他の膜は設けられていない請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記第2酸化シリコン膜は前記バスバーの少なくとも一部上に設けられている請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記エッジ領域において、前記第2酸化シリコン膜は前記第1酸化シリコン膜より厚い請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記第1酸化シリコン膜と前記第2酸化シリコン膜とは接する請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記交差領域内の前記複数の電極指上に設けられ、前記第1酸化シリコン膜より前記元素または分子の濃度が高く、前記第2酸化シリコン膜より前記元素または分子濃度が低く、前記エッジ領域の少なくとも一部の膜厚が前記中央領域の膜厚以下である第3酸化シリコン膜を具備する請求項1から9のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 前記第3酸化シリコン膜は、前記第1酸化シリコン膜と前記第2酸化シリコン膜との間に設けられている請求項10記載の弾性波共振器。
- 前記第3酸化シリコン膜は前記第1酸化シリコン膜および前記第2酸化シリコン膜上に設けられている請求項10記載の弾性波共振器。
- 前記交差領域において前記第3酸化シリコン膜の上面は略平坦であり、前記交差領域において前記上面上に他の膜は設けられていない請求項12記載の弾性波共振器。
- 前記圧電基板はニオブ酸リチウム基板またはタンタル酸リチウム基板である請求項1から13のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 請求項1から14のいずれか一項記載の弾性波共振器を含むフィルタ。
- 請求項15記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017091381A JP6882929B2 (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
US15/958,756 US10938371B2 (en) | 2017-05-01 | 2018-04-20 | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017091381A JP6882929B2 (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018191112A JP2018191112A (ja) | 2018-11-29 |
JP6882929B2 true JP6882929B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
ID=63917573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017091381A Active JP6882929B2 (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10938371B2 (ja) |
JP (1) | JP6882929B2 (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018057201A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | Sensor Kinesis Corp. | Surface acoustic wave biosensor employing an analog front end and dna encoded libraries to improved limit of detection (lod) with exemplary apparatus of the same |
US10911023B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-02-02 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etch-stop layer |
US10637438B2 (en) * | 2018-06-15 | 2020-04-28 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators for high power applications |
US11146232B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-10-12 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced spurious modes |
US11936358B2 (en) | 2020-11-11 | 2024-03-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance |
US11323089B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Filter using piezoelectric film bonded to high resistivity silicon substrate with trap-rich layer |
US11206009B2 (en) | 2019-08-28 | 2021-12-21 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with interdigital transducer with varied mark and pitch |
US11323090B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator using Y-X-cut lithium niobate for high power applications |
US10998882B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-05-04 | Resonant Inc. | XBAR resonators with non-rectangular diaphragms |
US11949402B2 (en) | 2020-08-31 | 2024-04-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonators with different membrane thicknesses on the same die |
US11888463B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-01-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multi-port filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
US10917072B2 (en) | 2019-06-24 | 2021-02-09 | Resonant Inc. | Split ladder acoustic wave filters |
US11967945B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-04-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters |
US11146238B2 (en) | 2018-06-15 | 2021-10-12 | Resonant Inc. | Film bulk acoustic resonator fabrication method |
US11323091B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-05-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with diaphragm support pedestals |
US11996822B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-05-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Wide bandwidth time division duplex transceiver |
US11901878B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-02-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes with a wider top layer |
US11916539B2 (en) | 2020-02-28 | 2024-02-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Split-ladder band N77 filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
US11876498B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-01-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method |
US11909381B2 (en) | 2018-06-15 | 2024-02-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes having a narrower top layer |
US11264966B2 (en) | 2018-06-15 | 2022-03-01 | Resonant Inc. | Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator with diamond layers in Bragg reflector stack |
US10826462B2 (en) | 2018-06-15 | 2020-11-03 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with molybdenum conductors |
US11469735B2 (en) * | 2018-11-28 | 2022-10-11 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device, filter, and multiplexer |
JP2020096220A (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2020122005A1 (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7290949B2 (ja) * | 2019-01-30 | 2023-06-14 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
WO2020179905A1 (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-10 | 株式会社村田製作所 | フィルタ、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
CN113615082A (zh) * | 2019-04-05 | 2021-11-05 | 华为技术有限公司 | Saw器件及其制造方法 |
US11821872B2 (en) * | 2019-07-19 | 2023-11-21 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Acoustoelectric amplification in resonant piezoelectric-semiconductor cavities |
US11652466B2 (en) * | 2019-08-29 | 2023-05-16 | Skyworks Solutions, Inc. | Suppression of transverse mode spurious signals in surface acoustic wave devices utilizing a dense film above gap region of interdigital transducer electrodes |
US11804822B2 (en) * | 2019-10-23 | 2023-10-31 | Skyworks Solutions, Inc. | Surface acoustic wave resonator with reduced frequency shift |
US20210344322A1 (en) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | RF360 Europe GmbH | Surface acoustic wave electroacoustic device for reduced transversal modes |
US11811391B2 (en) | 2020-05-04 | 2023-11-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etched conductor patterns |
CN112532205B (zh) * | 2021-02-10 | 2021-05-25 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种弹性表面波谐振器和滤波器以及天线共用器 |
WO2023002823A1 (ja) * | 2021-07-20 | 2023-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7364197B2 (ja) * | 2022-02-01 | 2023-10-18 | 三安ジャパンテクノロジー株式会社 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
US11811237B1 (en) | 2022-07-06 | 2023-11-07 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | System and method for radio frequency power sensing and scavenging based on phonon-electron coupling in acoustic waveguides |
CN115037274B (zh) * | 2022-08-12 | 2022-12-20 | 常州承芯半导体有限公司 | 声表面波谐振装置及其形成方法 |
CN116208119B (zh) * | 2023-04-19 | 2023-07-14 | 深圳新声半导体有限公司 | 声表面波装置及其制造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005260296A (ja) | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
EP1732214A4 (en) * | 2004-03-29 | 2008-08-06 | Murata Manufacturing Co | RIM SURFACE WAVE COMPONENT MANUFACTURING METHOD AND EDGE SURFACE ELEMENT |
US7939989B2 (en) | 2009-09-22 | 2011-05-10 | Triquint Semiconductor, Inc. | Piston mode acoustic wave device and method providing a high coupling factor |
JP5422441B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-02-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP5521045B2 (ja) | 2010-08-31 | 2014-06-11 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP5936393B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2016-06-22 | トライクイント・セミコンダクター・インコーポレイテッドTriQuint Semiconductor,Inc. | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 |
US9065424B2 (en) | 2011-03-25 | 2015-06-23 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd | Acoustic wave device with reduced higher order transverse modes |
WO2012176455A1 (ja) * | 2011-06-23 | 2012-12-27 | パナソニック株式会社 | ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたアンテナ共用器 |
JP5797979B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2015-10-21 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
EP3235130A1 (en) * | 2014-12-16 | 2017-10-25 | SnapTrack, Inc. | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
JP6415469B2 (ja) | 2016-03-22 | 2018-10-31 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ並びに弾性波共振器の製造方法 |
US11095266B2 (en) * | 2016-10-07 | 2021-08-17 | Qorvo Us, Inc. | Slanted apodization for acoustic wave devices |
-
2017
- 2017-05-01 JP JP2017091381A patent/JP6882929B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-20 US US15/958,756 patent/US10938371B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018191112A (ja) | 2018-11-29 |
US10938371B2 (en) | 2021-03-02 |
US20180316333A1 (en) | 2018-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6882929B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
US11863156B2 (en) | Acoustic wave device including multi-layer interdigital transducer electrodes | |
JP6415469B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ並びに弾性波共振器の製造方法 | |
US9276558B2 (en) | Surface acoustic wave device including a confinement layer | |
US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
WO2011158445A1 (ja) | 弾性波素子 | |
JP5828032B2 (ja) | 弾性波素子とこれを用いたアンテナ共用器 | |
US8680744B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
US8427032B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
WO2010137279A1 (ja) | 弾性波共振器と、これを用いたアンテナ共用器 | |
JP2020188408A (ja) | 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品 | |
US9419584B2 (en) | Antenna sharing device | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
WO2020204045A1 (ja) | 高次モード弾性表面波デバイス | |
WO2011052218A1 (ja) | 弾性波素子と、これを用いたデュプレクサおよび電子機器 | |
JP5213708B2 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 | |
JP2013138333A (ja) | 弾性波素子 | |
US11722117B2 (en) | Acoustic wave resonator, filter, multiplexer, and wafer | |
JP2019201345A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2010101166A1 (ja) | 弾性表面波素子とその製造方法 | |
JP5671713B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JPWO2010125934A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2022172569A (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP2006148279A (ja) | 弾性表面波デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210420 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6882929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |