JP6879240B2 - アーク電極の位置調整方法及びこれを用いた石英ガラスルツボの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
11 アーク炉
11a 格納容器
12 アーク電極
13 アーク電極保持機構
14 モールド
14i モールドの内面
15 モールド回転機構
16 モールド傾斜機構
20 三次元測定器
21 支持台
22 多関節型アーム
23 測距センサ
31 シリカ粉
33 付着物(シリカ粒)
100 石英ガラスルツボ
100a ルツボの側壁部
100b ルツボの底部
100c ルツボのコーナー部
100i ルツボの内面
100o ルツボの外面
101 透明層
102 不透明層
Claims (12)
- 回転するモールドの内面に堆積させたシリカ粉をアーク溶融する回転モールド法による石英ガラスルツボの製造に用いられるアーク電極の位置調整方法であって、
アーク炉内に複数本のアーク電極を設置し、
三次元測定器を用いて前記複数本のアーク電極の外形の3次元座標を測定し、
前記三次元測定器の測定結果に基づいて前記複数本のアーク電極の位置を調整することを特徴とするアーク電極の位置調整方法。 - 前記三次元測定器を用いて前記アーク炉内に設置された前記モールドの3次元座標を測定し、
前記三次元測定器の測定結果に基づいて前記モールドに対する前記複数本のアーク電極の各々の位置を調整する、請求項1に記載のアーク電極の位置調整方法。 - 前記三次元測定器は、支持台と、支持台に固定された多関節型アームと、前記多関節型アームに組み込まれた角度センサと、前記多関節型アームの先端部に設けられた測距センサとを備え、前記角度センサ及び前記測距センサの出力値に基づいて測定対象物の3次元座標を算出する、請求項1又は2に記載のアーク電極の位置調整方法。
- 前記三次元測定器は前記アーク炉の外側に設置されており、
前記三次元測定器の前記多関節型アームは、前記アーク炉の外側から前記アーク炉内に進入して前記複数本のアーク電極の外形の3次元座標を測定する、請求項3に記載のアーク電極の位置調整方法。 - 回転するモールドの内面に堆積させたシリカ粉をアーク溶融する回転モールド法による石英ガラスルツボの製造方法であって、
アーク炉内に複数本のアーク電極を設置し、
三次元測定器を用いて前記複数本のアーク電極の外形の3次元座標を測定し、
前記三次元測定器の測定結果に基づいて前記複数本のアーク電極の位置を調整し、
前記モールド内に前記シリカ粉をセットし、
位置調整された前記複数本のアーク電極を用いて前記モールド内の前記シリカ粉をアーク加熱することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。 - 前記三次元測定器を用いて前記アーク炉内に設置された前記モールドの3次元座標を測定し、
前記三次元測定器の測定結果に基づいて前記モールドに対する前記複数本のアーク電極の各々の位置を調整する、請求項5に記載の石英ガラスルツボの製造方法。 - 前記三次元測定器は、支持台と、支持台に固定された多関節型アームと、前記多関節型アームに組み込まれた角度センサと、前記多関節型アームの先端部に設けられた測距センサとを備え、前記角度センサ及び前記測距センサの出力値に基づいて測定対象物の3次元座標を算出する、請求項5又は6に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
- 前記三次元測定器は前記アーク炉の外側に設置されており、
前記三次元測定器の前記多関節型アームは、前記アーク炉の外側から前記アーク炉内に進入して前記複数本のアーク電極の外形の3次元座標を測定し、アーク溶融時には前記アーク炉の外側に退避する、請求項7に記載の石英ガラスルツボの製造方法。 - アーク炉と、
前記アーク炉内に設置された複数本のアーク電極と、
前記複数本のアーク電極の各々の位置を調整可能に保持するアーク電極保持機構と、
前記アーク炉内に設置されたモールドと、
前記モールドを回転させるモールド回転機構と、
前記複数本のアーク電極及び前記モールドを含む炉内構造物の外形の3次元座標を測定する三次元測定器とを備えることを特徴とする石英ガラスルツボ製造装置。 - 前記アーク電極保持機構は、
各アーク電極の垂直方向の位置を調整する垂直位置調整部と、
各アーク電極の水平方向の位置を調整する水平位置調整部と、
各アーク電極の傾斜角度を調整する角度調整部とを有する、請求項9に記載の石英ガラスルツボ製造装置。 - 前記三次元測定器は、支持台と、支持台に固定された多関節型アームと、前記多関節型アームに組み込まれた角度センサと、前記多関節型アームの先端部に設けられた測距センサとを備え、前記角度センサ及び前記測距センサの出力値に基づいて前記炉内構造物の3次元座標を算出する、請求項9又は10に記載の石英ガラスルツボ製造装置。
- 前記三次元測定器は前記アーク炉の外側に設置されており、
前記三次元測定器の前記多関節型アームは、前記アーク炉の外側から前記アーク炉内に進入して前記複数本のアーク電極の外形の3次元座標を測定し、アーク溶融時には前記アーク炉の外側に退避する、請求項11に記載の石英ガラスルツボ製造装置。
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