JP6869080B2 - ロボット制御装置及び制御プログラム - Google Patents
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- 230000036544 posture Effects 0.000 claims description 169
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 111
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 87
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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Description
前記記憶部には、前記規定された複数の姿勢と前記ロボットの位置とが共に記憶してあり、前記経由点テーブルには、前記複数の姿勢間で経由すべき姿勢を前記ロボットの位置を示す情報別に示す経由点の情報が記憶してあり、前記プロセッサは、読み出した経由点の情報が示す姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記経由点の情報に対応付けられている位置を前記移動機構へ出力した後に、変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている位置を前記移動機構へ出力する。
図1は、実施の形態1における搬送システムの概要を示す説明図であり、図2は搬送システムの模式上面図である。搬送システムは、複数のステーション81〜86と、搬送ロボット1と、制御装置10と、ベース20とを含み、矩形板状のワークWを搬送する。ワークWの形状は勿論例示であり、円板状等であってもよい。
「0」:経由点なし
「1」:ホームポジション(任意の高さ)
「2」:ホームポジション(変更後の高さ)
「3」:ホームポジション(変更前の高さ)
「2」と「3」はいずれもホームポジションに対応するが、「2」は、ハンド15の高さを、搬送ロボット1が変更後の姿勢にてワークWを搬入又は搬出するための高さと同一に変更しておくことに対応する。「3」は、ハンド15の高さを、搬送ロボット1が変更前の姿勢でワークWを搬入又は搬出した時点での高さのままとすることに対応する。なお経由点の情報は、上述のように4つに限らず更に他の特定の姿勢に対応する情報を含む5つ以上の数を含んでもよい。
図9は、実施の形態2における搬送システムの模式上面図である。実施の形態2の搬送システムは、複数のステーション81〜86と、搬送ロボット1bと、制御装置10と、ベース20とスライダー200とを含み、矩形板状のワークWを搬送する。ワークWの形状は勿論例示であり、円板状等であってもよい。なお実施の形態2の搬送システムの内、実施の形態1の搬送システムと共通する構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。特に実施の形態2では、搬送ロボット1bの構成が実施の形態1と異なり、更に障害物92が加えられているが、ロボット制御装置10の構成は経由テーブル10Tの内容以外は実施の形態1と共通であり、制御プログラム10Pは同一である。
「0」:経由点なし
「1」:ホームポジション(任意の高さ、変更前の旋回角度)
「2」:ホームポジション(変更後の高さ、変更前の旋回角度)
「3」:ホームポジション(変更前の高さ、変更前の旋回角度)
「4」:ホームポジション(任意の高さ、変更後の旋回角度)
「5」:ホームポジション(変更後の高さ、変更後の旋回角度)
「6」:ホームポジション(変更前の高さ、変更後の旋回角度)
つまり、「1」〜「3」は高さが異なるものの旋回角度が変更前と同一である一方で、「4」〜「6」は旋回角度が変更後と同一であるとする。
実施の形態2における図10〜図11に示した姿勢の変更例では、第1ステーション81のリトラクトポジションから第6ステーション86のリトラクトポジションへの姿勢の変更時に経由する経由点の情報を「2,0,0,…」(図10)としたが、「2,5,0,…」としてもよい。つまり、経由点が「2,0,0,…」である場合は、「2」のホームポジションの情報が、「変更前の旋回角度のままで変更後の高さとする」ことに対応するから、図11Bから図11Cへの姿勢の変化で示されているように、プロセッサ101は搬送ロボット1bを旋回させると共にスライダー200を動作させて位置を変更する。これに対し、経由点の情報を「2,5,0,…」とした場合は、「5」のホームポジションの情報は「変更後の旋回角度で変更後の高さとする」ことに対応するから、プロセッサ101はまず経由点「2」に基づき高さを変更させ、経由点「5」に基づき旋回角度を旋回させた後に、スライダー200を動作させて位置を変更する。
実施の形態2においては、経由点の情報としてスライダー200上の位置情報(座標X)を含むようにしてもよい。例えばホームポジションの情報として以下のような情報を加える。
「7」:ホームポジション(変更前のスライダー位置)
「8」:ホームポジション(変更後のスライダー位置)
「0」:経由点なし
「11」:ホームポジション(任意の高さ、変更前の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「12」:ホームポジション(任意の高さ、変更前の旋回角度、変更後のX軸上位置)
「21」:ホームポジション(変更後の高さ、変更前の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「22」:ホームポジション(変更後の高さ、変更前の旋回角度、変更後のX軸上位置)
「31」:ホームポジション(変更前の高さ、変更前の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「32」:ホームポジション(変更前の高さ、変更前の旋回角度、変更後のX軸上位置)
「41」:ホームポジション(任意の高さ、変更後の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「42」:ホームポジション(任意の高さ、変更後の旋回角度、変更後のX軸上位置)
「51」:ホームポジション(変更後の高さ、変更後の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「52」:ホームポジション(変更後の高さ、変更後の旋回角度、変更後のX軸上位置)
「61」:ホームポジション(変更前の高さ、変更後の旋回角度、変更前のX軸上位置)
「62」:ホームポジション(変更前の高さ、変更後の旋回角度、変更後のX軸上位置)
12 第1軸
13 第1アーム
14 第2アーム
15 ハンド
21 第1連結部
22 第2連結部
23 第3連結部
21M 第1モータ
22M 第2モータ
23M 第3モータ
24M 第4モータ
10 ロボット制御装置
100 制御部
101 プロセッサ
102 メモリ
10P 制御プログラム
10T 経由点テーブル
Claims (6)
- 複数のアーム及びハンドが連結部で連結されている水平多関節のアーム機構を備えるロボットの姿勢を変更させるロボット制御装置であって、
予め規定された複数の姿勢夫々の識別情報に対応付けて、前記規定された複数の姿勢夫々での各連結部におけるアームの回転角度を記憶しておく記憶部と、
前記複数の姿勢間で経由すべき1又は複数の姿勢を示す経由点の情報を、変更前及び変更後の姿勢を示す識別情報の組に対応付けて記憶した経由点テーブルと、
前記複数のアーム間の各連結部に対し、該連結部における回転角度を各出力するプロセッサと
を備え、
前記経由点の情報は、前記ロボットの異なる特定の姿勢夫々に対応する符号の列であって、前記符号の内の特定の符号は経由点が無いことに対応し、他の符号で経由すべき特定の姿勢を示し、
前記プロセッサは、
変更前及び変更後の姿勢を示す識別情報に基づき、前記変更前の識別情報及び前記変更後の識別情報の組に対応付けられた経由点の情報を前記経由点テーブルから読み出し、
読み出した経由点の情報が示す符号の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し、前記経由点の情報が示す姿勢の数だけ出力した後、変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力する
ことを特徴とするロボット制御装置。 - 前記経由点の情報が示す符号列の符号の順に、前記特定の符号に至るまで、各符号の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を出力する
請求項1に記載のロボット制御装置。 - 前記ハンドの高さを変更する昇降機構を更に備え、
前記記憶部には、前記規定された複数の姿勢夫々での前記ハンドの高さが更に記憶してあり、
前記経由点テーブルには、前記複数の姿勢間で経由すべき姿勢を前記ハンドの高さを示す情報別に示す経由点の情報が記憶してあり、
前記プロセッサは、読み出した経由点の情報が示す姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記経由点の情報に対応する高さを前記昇降機構へ出力した後に、変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記変更後の姿勢の識別情報に対応付けられているハンドの高さを前記昇降機構へ出力する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のロボット制御装置。 - 前記ハンドの高さを示す情報別に示す経由点の情報は、任意の高さの特定の姿勢、変更前の姿勢と同じ高さにおける特定の姿勢、変更後の姿勢と同じ高さにおける特定の姿勢夫々に対応する符号の情報である
請求項3に記載のロボット制御装置。 - 前記ロボットを移動させる移動機構を更に備え、
前記記憶部には、前記規定された複数の姿勢と前記ロボットの位置とが共に記憶してあり、
前記経由点テーブルには、前記複数の姿勢間で経由すべき姿勢を前記ロボットの位置を示す情報別に示す経由点の情報が記憶してあり、
前記プロセッサは、読み出した経由点の情報が示す姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記経由点の情報に対応付けられている位置を前記移動機構へ出力した後に、変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力すると共に前記変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている位置を前記移動機構へ出力する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のロボット制御装置。 - 複数のアーム及びハンドが連結部で連結されている水平多関節のアーム機構を備えるロボットと接続されるプロセッサに、前記ロボットの姿勢を変更させる処理を実行させる制御プログラムであって、
前記プロセッサに、
変更前及び変更後の姿勢を示す識別情報を取得し、
予め規定された複数の姿勢夫々の識別情報に対応付けて記憶してある前記複数の姿勢夫々での各連結部におけるアームの回転角度を記憶してある記憶部から、取得した識別情報に対応する回転角度を読み出し、
複数の姿勢間で経由すべき1又は複数の姿勢を示し、前記ロボットの異なる特定の姿勢夫々に対応する符号の列であって、前記符号の内の特定の符号は経由点が無いことに対応し、他の符号で経由すべき特定の姿勢を示す経由点の情報を、変更前及び変更後の姿勢を示す識別情報の組に対応付けて記憶してある経由点テーブルを読み出し、
読み出した経由点テーブルから、取得した変更前及び変更後の姿勢を示す識別情報に基づき、前記変更前の識別情報及び前記変更後の識別情報の組に対応付けられた経由点の情報を抽出し、
抽出した経由点の情報が示す符号の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記複数のアーム及びハンドの間の各連結部に対し、前記経由点の情報が示す姿勢の数だけ出力した後、変更後の姿勢の識別情報に対応付けられている回転角度を前記各連結部に対し出力する
処理を実行させることを特徴とする制御プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017072439A JP6869080B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | ロボット制御装置及び制御プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017072439A JP6869080B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | ロボット制御装置及び制御プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018171691A JP2018171691A (ja) | 2018-11-08 |
JP6869080B2 true JP6869080B2 (ja) | 2021-05-12 |
Family
ID=64106494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017072439A Active JP6869080B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | ロボット制御装置及び制御プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6869080B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4589853B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2010-12-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送システム及び基板搬送方法 |
JP4974859B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2012-07-11 | 株式会社ダイヘン | ロボット制御装置 |
JP5239845B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-07-17 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体製造装置 |
JP5504641B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-05-28 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ロボット及びそれを備えた基板搬送装置、半導体製造装置 |
JP6217089B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2017-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット制御システム、ロボット、ロボット制御方法及びプログラム |
JP2016040067A (ja) * | 2014-08-13 | 2016-03-24 | キヤノン株式会社 | ロボット装置、ロボット制御方法、プログラム及び記録媒体 |
JP6511806B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2019-05-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 多関節ロボット及び多関節ロボットの制御方法 |
-
2017
- 2017-03-31 JP JP2017072439A patent/JP6869080B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018171691A (ja) | 2018-11-08 |
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