JP6862165B2 - 液体吐出装置および液体吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクなどの液体を吐出する液体吐出装置および液体吐出方法に関するものである。

近年、液体のインクを吐出する液体吐出ヘッドとしてのインクジェット液体吐出ヘッドは、更なる高画質化および記録の高速化の要求に伴い、インクの供給不足による記録のかすれを抑制することが求められている。画像のかすれが引き起こされる原因としては、インクの吐出口までインクを供給するための流路の圧力損失が挙げられる。一方、インクは、高画質化のために色材や樹脂部材などが増えて、高粘度化する傾向にある。加えて、吐出口の配置の高密度化に伴って、インク流路の幅が狭くなる傾向にある。これらのことから、記録高速化に伴った圧力損失の増大は大きな課題となる。

特許文献１には、記録データから記録デューティーを先読みして、全吐出口についての平均流量が所定の流量となるように、記録デューティーに応じてインク流量を制御する構成が記載されている。一方、特許文献２には、液体吐出ヘッドの長尺化に伴って、液体吐出ヘッドにおける複数の吐出口に対して、複数に分岐した供給路を通してインクを供給する構成が記載されている。

特開２００５−２８０２４６号公報 特開２００７−６９４１９号公報

しかし、液体吐出ヘッドにおける複数の吐出口に対して、複数に分岐した供給路を通してインクを供給する構成において、特許文献１に記載されているようにインクを供給した場合には、インクの供給不足が生じるおそれがある。すなわち、特許文献１に記載されているように、全吐出口についてのインクの平均流量に基づいてインク流量を制御した場合には、液体吐出ヘッドに局所的なインクの供給不足が生じるおそれがある。

本発明の目的は、液体吐出ヘッドに対して、複数の供給路を通して安定的に液体を供給することにある。

本発明の液体吐出装置は、液体を吐出する複数の吐出口が設けられたオリフィスプレートと、前記オリフィスプレートが接合された基板と、前記基板の前記オリフィスプレートが接合されている側と反対側に接合されたカバープレートと、を備える液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドから吐出される液体が付与される媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対移動させる移動手段とを有する液体吐出装置であって、前記カバープレートには流入側開口と流出側開口とが設けられており、液体は、前記流入側開口から前記基板に設けられた液体供給路へと流入し、前記基板とオリフィスプレートとの間の圧力室を通り、前記基板に設けられた液体回収路に回収され、さらに前記流出側開口から前記カバープレートの外部に流出するように流れ、前記流入側開口と前記流出側開口との間の、前記液体供給路および前記液体回収路を含む液体流路には、前記複数の吐出口に連通し、前記流入側開口に対応する領域と、前記流出側開口に対応する領域とを含む複数の領域があり、吐出データに基づいて前記液体吐出ヘッドから液体が吐出されるときに、前記複数の領域毎の液体の圧力損失のうちの少なくとも１つが所定量を越えることに基づいて、前記液体吐出ヘッドが液体を吐出する吐出周波数と前記移動手段の移動速度とを制御することで、前記液体吐出ヘッドからの単位時間当たりの液体の吐出量を制御する制御手段を有することを特徴とする。

本発明によれば、複数の供給路を通して液体が供給される液体吐出ヘッドの複数の領域毎の液体流量を所定量以下とすることにより、液体吐出ヘッドに局所的な液体の供給不足を抑制しつつ、液体を安定的に供給することができる。

本発明の第１の実施形態の液体吐出装置としての記録装置の説明図である。 図１における液体吐出ヘッドの異なる構成例を説明するための斜視図である。 図１の液体吐出ヘッドに対するインクの供給系の説明図である。 図１の液体吐出ヘッドにおける記録素子基板の説明図である。 図１の記録装置におけるインク流量の制御処理を説明するためのフローチャートである。 記録デューティーとインク流量との関係の説明図である。 液体吐出ヘッドにおける圧力損失の監視領域の一例の説明図である。 液体吐出ヘッドにおける圧力損失の監視領域の他の例の説明図である。 液体吐出ヘッドにおける圧力損失の監視領域のさらに他の例の説明図である。 液体吐出ヘッドにおける圧力損失の監視領域のさらに他の例の説明図である。 本発明の第２の実施形態の液体吐出装置としての記録装置の説明図である。 図１１の液体吐出ヘッドに対するインクの供給系の説明図である。 図１１の液体吐出ヘッドにおける記録素子基板の説明図である。 図１１の記録装置におけるインク流量の制御処理を説明するためのフローチャートである。 本発明の第３の実施形態の液体吐出装置としての記録装置におけるインク供給系の説明図である。 図１５の液体吐出ヘッドにおける記録素子基板の説明図である。 図１５の液体吐出ヘッドにおける圧力損失の監視領域の一例の説明図である。 本発明の第４の実施形態の液体吐出装置としての記録装置の説明図である。 図１８の記録装置に適用可能なインクの循環経路の第１循環形態の説明図である。 図１８の記録装置に適用可能なインクの循環経路の第２循環形態の説明図である。 第１循環形態と第２循環形態とにおけるインクの循環量の説明図である。 図１８における液体吐出ヘッドの斜視図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ヘッドにおける第１、第２および第３の流路部材の表面と裏面を示す図である。 第１、第２および第３流路部材を接合して形成される流路の拡大透視図である。 図２５のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線に沿う断面図である。 吐出モジュールの斜視図である。 記録素子基板の説明図である。 記録素子基板を図２８のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ線に沿って断面した斜視図である。 ２つの記録素子基板における隣接部の拡大平面図である。 本発明の第５の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ヘッドを構成する流路部材の説明図である。 液体吐出ヘッドにおける記録素子基板と流路部材との接続関係を説明するための透視図である。 図３４のＸＸＸＶ−ＸＸＸＶ線に沿う断面図である。 液体吐出ヘッドにおける吐出モジュールの説明図である。 記録素子基板の斜視図である。 本発明の第５の実施形態の液体吐出装置としての記録装置の説明図である。 本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの構成を示す図である。 本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの構成を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
本実施形態の液体吐出装置は、液体としてのインクを吐出するインクジェット液体吐出ヘッドを用いて、画像を記録するインクジェット記録装置としての適用例である。尚、インク等の液体を吐出する本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置に適用可能である。さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷や半導体基板作製などの用途としても用いることができる。

また、以下に述べる各実施形態は、本発明の適切な具体例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本適用例および実施形態は、本明細書の適用例、実施形態、その他の具体的方法に限定されるものではない。

（記録装置の構成）
図１（ａ）は、本発明を適用可能なインクジェット記録装置１０１の基本構成を説明するための要部の概略斜視図である。本例の記録装置１０１は、いわゆるページワイド型の液体吐出ヘッドを搭載した記録装置であり、記録媒体１０４を矢印Ａの搬送方向に搬送する搬送部１０３と、インクを吐出可能なインクジェット液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）１０２と、備えている。本例の搬送部１０３は、搬送ベルト１０３Ａを用いて記録媒体１０４を搬送する。液体吐出ヘッド１０２は、記録媒体１０４の搬送方向と交差（本例の場合は、直交）する方向に延在するライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドであり、インクを吐出可能な複数の吐出口が記録媒体１０４の幅方向に沿って配列されている。液体吐出ヘッド１０２に対しては、不図示のインクタンクから、インク流路を構成するインク供給部を通してインクが供給される。記録媒体１０４を連続的に搬送しつつ、記録データ（吐出データ）に基づいて、液体吐出ヘッド１０２の吐出口からインクを吐出することにより、記録媒体１０４に画像が記録される。記録媒体１０４はカットシートのみに限定されず、長尺なロールシートなどであってもよい。

図１（ｂ）は、記録装置１０１の制御系の構成例を説明するためのブロック図である。ＣＰＵ１０５は、記録装置１０１の動作の制御処理やデータ処理等を実行する。ＲＯＭ１０６には、それらの処理手順等のプログラムが格納され、ＲＡＭ１０７は、それらの処理を実行するためのワークエリアなどとして用いられる。液体吐出ヘッド１０２は、複数の吐出口と、それぞれの吐出口に連通する複数のインク流路と、それぞれのインク流路に配備された複数の吐出エネルギー発生素子と、が備えられており、これらによってインクを吐出可能な複数のノズルが形成されている。これらのノズルは記録素子として機能する。吐出エネルギー発生素子としては、電気熱変換素子やピエゾ素子などを用いることができる。電気熱変換素子を用いた場合には、その電気熱変換素子の発熱によりインク流路内のインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して吐出口からインクを吐出することができる。液体吐出ヘッド１０２からのインクの吐出は、ホスト装置１０８などから入力される画像データに基づいて、ＣＰＵ１０５がヘッドドライバ１０２Ａを介して吐出エネルギー発生素子を駆動することにより行われる。ＣＰＵ１０５は、モータドライバ１０３Ｂを介して、搬送部１０３を駆動する搬送モータ１０３Ｃを駆動する。

（液体吐出ヘッドの構成）
液体吐出ヘッド１０２は、図２のように、記録素子基板（液体吐出基板）２０２と、それを支持する支持部材２０１と、を含み、記録素子基板２０２には、吐出口２０３、インク流路、および吐出エネルギー発生素子が備えられている。

図２（ａ）の液体吐出ヘッド１０２においては、複数の記録素子基板２０２が千鳥状に配置されており、複数の吐出口２０３が矢印Ａの搬送方向と交差（本例の場合は、直交）する方向に配列されている。本例の場合、吐出口２０３は４つ吐出口列を形成するように配列されており、それらの吐出口列は、それぞれ異なるインクを吐出するものであってもよく、同じインクを吐出するものであってもよい。図２（ｂ）の液体吐出ヘッド１０２においては、複数の記録素子基板２０２が隣接するように配置されている。図２（ｃ）の液体吐出ヘッド１０２においては、単独の記録素子基板２０２が配置されている。液体吐出ヘッド１０２の構成は、これらの図２（ａ），（ｂ），（ｃ）の例のみに限定されず任意である、種々の構成を採用することができる。

（インク供給系の構成）
図３は、液体吐出ヘッド１０２にインクを供給する供給系の構成例を説明するための模式図である。

液体吐出ヘッド１０２は、その液体接続部３０２ｂが共通流路３０３を介してメインタンク３０１と流体的に接続される。共通流路３０３と液体吐出ヘッド１０２は液体接続部３０２ａにおいて接続されており、メインタンク３０１内のインクが液体吐出ヘッド１０２が供給される。液体吐出ヘッド１０２に供給されたインクは、共通流路３０３から複数に分岐した分岐流路３０４を経由して、それらの分岐流路３０４に対応する記録素子基板２０２に供給される。

（記録素子基板の構成の説明）
図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、液体吐出ヘッド１０２における記録素子基板２０２の構成例の説明図である。

図４（ａ）は、本例の記録素子基板２０２の斜視図であり、基板４０２上にオリフィスプレート４０１が接合されている。オリフィスプレート４０１には複数の吐出口２０３が設けられており、それらの吐出口２０３は吐出口列４０３を形成している。基板４０２の表面には、半導体加工により、吐出エネルギー発生素子、電気回路、電気配線、および温度センサーなどの電子デバイスが配置可能であり、そのため基板４０２の材料としては、ＭＥＭＳ加工により流路が形成可能な半導体基板などの材料が望ましい。オリフィスプレート４０１の材料としては、任意の材料が使用できる。例えば、レーザー加工により吐出口を形成可能な樹脂基板、ダイシングにより吐出口を形成可能な無機プレート、光硬化により吐出口および流路を形成可能な感光樹脂材料、およびＭＥＭＳ加工により吐出口および流路を形成可能な半導体基板などが使用できる。

図４（ｂ）は、記録素子基板２０２をオリフィスプレート４０１側から見た拡大透視図であり、図４（ｃ）は、図４（ｂ）のＩＶｃ−ＩＶｃ線に沿う断面図である。図４（ｂ）および図４（ｃ）を用いて記録素子基板の構成を説明する。基板４０２とオリフィスプレート４０１との間の空間には、圧力室４０４が形成されている。吐出口２０３と対向する基板４０２の位置には、吐出口２０３からインクを吐出させるためのエネルギー発生素子４０５が配備されている。エネルギー発生素子４０５として、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などを用いることができる。圧力室４０４は共通液室４０７に流体的に接続されて、一連のインク流路（流体流路）を形成する。図４（ｂ）中の上下方向に延在する共通液室４０７の両側（図４（ｂ），（ｃ）中の左右）には、吐出口列４０３が共通液室４０７と平行に形成されており、共通液室４０７内のインクは、その両側の圧力室４０４を通って吐出口２０３から吐出される。

（インク供給系の圧力損失）
一般に、液体吐出ヘッド１０２からインクを吐出して画像を記録する場合、インクの粘度が高いほど、およびインクの吐出周波数が高いほど、インク供給系における圧力損失が大きくなって、インクの供給不足により記録不良が生じやすくなる。以下、その理由について説明する。

吐出口からインクが吐出される際の圧力損失ΔＰは、ΔＰ＝供給流路の粘性抵抗Ｒ×インク流量Ｑによって求められる。粘性抵抗Ｒは、インクの粘度によって変化し、インクが高粘度になるほど圧力損失が増大する。加えて、吐出口の高密度化のために、吐出口までのインクの供給流路が狭くなっていることも、圧力損失を増大させる要因となる。そのため、メニスカスが落ち込むことで滴形成が乱れるため（ミスト増加、吐出量Ｖｄの変動）、記録不良となる懸念がある。したがって、監視領域の単位で圧力損失を算出することで、局所的な圧力損失の影響を抑制できると考えられる。流量Ｑは、インクの吐出周波数（単位時間当たりのインクの吐出数に対応）と、吐出口の数と、によって決まる。

本実施形態においては、図６から図１０に示すように、並列した分岐流路に対応する記録素子基板の監視領域毎の圧力損失を算出する。しかし、監視領域は本実施形態以外の形態であってもよい。例えば、上流から下流へ循環流が流れるようなメインの共通の供給流路から、複数の記録素子基板２０２にインクが供給される構成においては、上流側に位置する記録素子基板２０２よりも、下流側に位置する記録素子基板２０２の方が、圧力損失が大きい。このような構成において、上流側と下流側の記録素子基板の双方からインクを吐出した場合、下流側の記録素子基板２０２の方が供給不足を生じやすい。このように記録素子基板毎における圧力損失の影響を加味して、インク流量（液体流量）を制御することにより、複数の記録素子基板における局所的なインクの供給不足を緩和して、正常なインク吐出が可能となる。なお、監視領域におけるデューティーの閾値について、吐出口の配列方向に関しては後述するようにインク流量を算出して決める。また、記録媒体の搬送方向（液体吐出ヘッドとの相対移動方向）は印字画像から圧力損失の影響を判断し、任意で設定できるものとする。

（インク流量の制御例）
図５は、ＣＰＵ１０５によって実行されるインク流量の制御処理を説明するためのフローチャートである。

ＣＰＵ１０５は、ホスト装置１０８などから画像データを読み込み（ステップＳ１）、その後、インク流量の監視領域を指定してから（ステップＳ２）、その領域内の吐出口の数を算出する（ステップＳ３）。インク流量の監視領域については後述する。ステップＳ２，Ｓ３の処理は既知のパラメータに基づいて実行することができ、記録動作時毎に、それらの監視領域および吐出口の数を算出する必要はなく、それらを既定値として設計時に記憶しておいてもよい。それぞれの監視領域毎に、それらの監視領域から吐出されるインクの吐出周波数、吐出量、および監視領域内の吐出口数から、それらの監視領域を通過するインクの平均流量Ｑを算出する（ステップＳ４）。そして、それらの監視領域を圧力損失部として捉え、それぞれの監視領域毎に、インクの粘性抵抗Ｒおよび平均流量Ｑから圧力損失ΔＰを算出する（ステップＳ５）し、それらの圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越えるか否かを判定する（ステップＳ６）。圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越えなければ、インク流量の制御はせずに記録動作を実施する（ステップＳ７）。一方、圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越える場合には、インク流量を制御する（ステップＳ８）。すなわち、インクの吐出周波数を低下させると共に、それに対応するように記録媒体１０４の搬送速度を低下させることにより、監視領域を通過するインク流量を減少させる。これにより、監視領域における圧力損失ΔＰを所定値ΔＴＰ以下に抑えることができる。その後、記録動作を実施する（ステップＳ７）。

図６は、インク流量の監視領域の説明図である。

図６（ａ）のように、液体吐出ヘッド１０２における４つの記録素子基板２０２を基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４とする。本実施形態における液体吐出ヘッドは記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型を想定しているが、説明を簡略化するために４つの記録素子基板を備える構成で説明する。図６（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、記録媒体１０４に記録される記録パターン７０１を示し、パターン７０１（Ｃ１），７０１（Ｃ２），７０１（Ｃ３），７０１（Ｃ４）は基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に対応する。説明の便宜上、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４のそれぞれにおいて、記録デューティーが２５％のときに圧力損失が所定値ΔＴＰとなり、平均記録デューティーが２５％を超えたときに圧力損失が所定値ΔＴＰを越えるものとする。記録デューティーは、単位記録領域当たりのインクの付与量に対応し、所謂、ベタ画像を記録するときには記録デューティーが１００％となる。

図６（ｂ）は、全ての基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の記録デューティーが２５％の場合の説明図であり、この場合には、液体吐出ヘッド１０２全体の平均記録デューティーも２５％となり、正常に画像を記録することができる。図６（ｃ）は、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の記録デューティーが０％であり、基板Ｃ４の記録デューティーが１００％の場合の説明図であり、この場合にも液体吐出ヘッド１０２全体の平均記録デューティーは２５％となる。しかし、基板Ｃ４の記録デューティーが１００％であるため、基板Ｃ４の分岐流路３０４（４）に多量のインクが流れて圧力損失が増大する。仮に、このような状況において、液体吐出ヘッド１０２全体の平均記録デューティーが２５％を越えたことを条件としてインク流量を制御した場合には、インク流量が制御されず、基板Ｃ４にインクの供給不足が生じるおそれがある。さらに、仮に、このようなインクの供給不足を回避しようとした場合には、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の１つでも記録デューティーが２５％を越えたときにインク流量を制御する必要がある。そのためには、図６（ｄ）のように、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の記録デューティーが０％、基板Ｃ４の記録デューティーが２５％の場合をも想定し、基板Ｃ４の記録デューティーが２５％を越えたときに、インク流量を制御しなければならない。この図６（ｄ）の場合、液体吐出ヘッド１０２全体の平均記録デューティーは６％となり、この６％にまで平均記録デューティーを抑えなければならず、このことは、インク流量を過剰に抑制することになる。具体的には、インクの吐出周波数および記録媒体の搬送速度を１／４にしなければならない。

本実施形態においては、このような状況を考慮し、インクの分岐流路に対応する記録素子基板毎（液体吐出基板毎）の記録デューティーに基づいて、インク流量を制御する。上記の例においては、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の内の少なくとも１つの記録デューティーが２５％を越える場合に、インク流量を制御する。

本実施形態においては、図７（ａ）のように、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４単位の監視領域８０１（８０１（１），８０１（２），８０１（３），８０１（４））を設定し、それらの領域毎の圧力損失ΔＰを算出する。一般的に圧力損失ΔＰは、流抵抗をＲ［Ｐａ・ｓ／ｍ³］、流量をＱ［ｍ³／ｓ］とした場合に、下式（１）によって表される。
ΔＰ＝Ｒ×Ｑ ・・・ （１）

流量Ｑは、吐出口数をｎ、吐出量をＶｄ［ｍ³］、吐出周波数ｆｏｐ［Ｈｚ］とした場合に、下式（２）によって表される。
Ｑ＝ｎ×Ｖｄ×ｆｏｐ ・・・ （２）

本実施形態においては、監視領域８０１（８０１（１），８０１（２），８０１（３），８０１（４））毎に、圧力損失ΔＰを算出する。つまり、図７（ｂ）のように、共通流路３０３から分岐した４つの分岐流路３０４（３０４（１），３０４（２），３０４（３），３０４（４））からインクが供給される基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４毎に、圧力損失ΔＰを算出する。メインタンク３０１と共通流路３０３とを接続する接続部３０２ａから、共通流路３０３と液体吐出ヘッド１０２とを接続する接続部３０２ｂと、の間の流抵抗をＲ０、流量をＱ０とする。まず、分岐流路３０４（１）の流抵抗をＲ１、流量をＱ１とした場合、基板Ｃ１の圧力損失ΔＰ１は、下式（３）によって表される。
ΔＰ１＝Ｒ０×Ｑ０＋Ｒ１×Ｑ１ ・・・ （３）

同様に、基板Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の圧力損失ΔＰ２，ΔＰ３，ΔＰ４は、下式（４），（５），（６）によって表される。
ΔＰ２＝Ｒ０×Ｑ０＋Ｒ２×Ｑ２ ・・・ （４）
ΔＰ３＝Ｒ０×Ｑ０＋Ｒ３×Ｑ３ ・・・ （５）
ΔＰ４＝Ｒ０×Ｑ０＋Ｒ４×Ｑ４ ・・・ （６）

基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４のそれぞれにおいて、記録デューティーが２５％のときに圧力損失が所定値ΔＴＰとなり、平均記録デューティーが２５％を超えたときに圧力損失が所定値ΔＴＰを越えるものとする。図６（ｂ）の記録パターン７０１を記録する場合には、基板Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の記録デューティーが全て２５％を超えないため、インクの吐出周波数および記録媒体の搬送速度を低下させる必要がない。つまり、記録速度を低下させることなく画像を記録することができる。また図６（ｃ）の記録パターン７０１を記録する場合には、基板Ｃ４の記録デューティーが２５％を超えるため、インクの吐出周波数および記録媒体の搬送速度を低下させて、インク流量を少なくする。これにより、圧力損失を抑えて、インクの供給不足の発生を抑制する。

複数の記録素子基板２０２にインクを供給するために、基板共通流路３０３を複数の分岐流路３０４に分岐する形態は、１つの分岐流路３０４が１つの記録素子基板２０２に対応する形態のみに限定されない。

例えば、図８（ａ），（ｂ）のように、１つの分岐経路が複数の記録素子基板２０２に対応する形態であってもよい。図８（ａ），（ｂ）においては、分岐経路３０４（１）から基板Ｃ１，Ｃ２にインクが供給されて、それらの基板Ｃ１，Ｃ２が監視領域８０２（１）となる。また、分岐経路３０４（２）から基板Ｃ３，Ｃ４にインクが供給されて、それの基板Ｃ３，Ｃ４が監視領域８０２（２）となる。また、図９（ａ），（ｂ）のように、１つの分岐経路が１つの記録素子基板２０２における１つの吐出口列と対応する形態であってもよい。図９（ａ），（ｂ）においては、分岐経路３０４（１）から、基板Ｃ１における一方の吐出口列４０３に対してインクが供給されて、その吐出口列４０３が監視領域８０３（１）となる。また、分岐経路３０４（２）から基板Ｃ１における他方の吐出口列４０３に対してインクが供給されて、その吐出口列４０３が監視領域８０３（２）となる。図９（ａ），（ｂ）における他の分岐流路と監視領域との関係も同様である。また、図１０（ａ），（ｂ）のように、１つの分岐経路３０４が１つの記録素子基板２０２における複数の吐出口２０３と対応する形態としてもよく、この場合には、同じ分岐経路３０４からインクが供給される吐出口２０３が監視領域８０４となる。図７の場合と同様に、これらの図８，図９，図１０の場合にも監視領域毎に圧力損失を算出し、いずれか１つの監視領域における圧力損失が閾値を越えるときに、インクの吐出周波数および記録媒体の搬送速度を低下させて、インク流量を少なくすることができる。

このように本実施形態においては、共通流路から分岐した分岐流路を通して、それぞれの記録素子基板にインクを供給する構成において、画像データに基づいて、分岐流路に対応する記録素子基板の監視領域毎の圧力損失を算出する。そして、監視領域毎の圧力損失が所定の閾値を超えた場合には、インクの吐出周波数と記録媒体の搬送速度とを関連的に低下させることにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を抑制することができる。つまり、液体吐出ヘッドからインクの単位時間当たりの吐出量を低下させることにより、インクを確実に供給することができる。インクの単位時間当たりの吐出量は、単位時間当たりのインクの吐出数に対応する吐出周波数の他、インク滴の大きさを変更することによっても制御することができる。監視領域毎のインク流量が所定量以下となるように、インクの単位時間当たりの吐出量が制御できればよい。本発明は上述した実施形態に限られず、例えば、共通流路から分岐した複数の分岐流路を有する構成において、監視領域を、複数の分岐流路毎に１つずつ、もしくは分岐流路毎に複数設け、監視領域毎の圧力損失を算出する形態にも適用可能である。

（第２の実施形態）
第１の実施形態においては、図４のように、共通液室４０７の両側に吐出口２０３が配列されて、共通流路から分岐する分岐流路を通して各記録素子基板にインクを供給する構成において、分岐流路に対応する記録素子基板の監視領域毎に圧力損失を算出した。本実施形態は、吐出口にインクを供給するための複数の開口が液体吐出ヘッドに形成された構成において、その開口単位で圧力損失を算出する。

また、本実施形態の記録装置は、図１１（ａ）のようなシリアルスキャン方式の記録装置である。液体吐出ヘッド１０２は、キャリッジ５４に搭載されて、不図示の移動機構によってキャリッジ５４と共に矢印Ｘの主走査方向に往復移動される。記録媒体１０４は、搬送ローラや搬送ベルトを用いる搬送機構部１０３によって、主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する矢印Ｙの副走査方向に搬送される。本例の搬送部１０３は、搬送ローラを用いて記録媒体１０４を搬送するように構成されている。キャリッジ５４と共に液体吐出ヘッド１０２を主走査方向に移動させつつ、液体吐出ヘッド１０２からインクを吐出する動作と、記録媒体１０４を副走査方向に搬送する搬送動作と、を交互に繰り返すことにより、記録媒体１０４上に画像を順次記録される。

（液体吐出ヘッドの構成）
図１１（ｂ）は、本実施形態における液体吐出ヘッド１０２の要部の斜視図である。本例の液体吐出ヘッド１０２は、単独の記録素子基板２０２が支持部材２０１に支持される。記録素子基板２０２における複数の吐出口２０３は、主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する方向に延在する吐出口列を形成するように配列されている。記録素子基板２０２の形態は本例のみに限定されず、例えば、複数の記録素子基板２０２が配置された形態であってもよい。

（インク供給系の構成）
図１２は、本実施形態における液体吐出ヘッド１０２にインクを供給するためのインク供給系の模式図である。液体吐出ヘッド１０２に対しては、共通流路３０３を介してメインタンク３０１からインクが供給される。共通流路３０３とメインタンク３０１は液体接続部３０２ａによって接続され、共通流路２０３と液体吐出ヘッド１０２は液体接続部３０２ｂによって接続されている。液体吐出ヘッド１０２に供給されたインクは、共通流路３０３から分岐した流入側開口１４０１（１４０１（１），１４０１（２），１４０１（３））を経由して、それらの開口１４０１に対応する吐出口に供給される。流入側開口１４０１については後述する。

（記録素子基板の構成）
図１３は、液体吐出ヘッド１０２における記録素子基板２０２の構成例の説明図である。

本例の記録素子基板２０２においては、図１３（ａ）のように、カバープレート１５０１と基板４０２が接合され、さらに、基板４０２とオリフィスプレート４０１が接合されており、オリフィスプレート４０１には複数の吐出口２０３が形成されている。複数の吐出口２０３は、矢印Ｘの主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する吐出口列４０３を形成するように配列されている。基板４０２の表面には、半導体工程により、吐出エネルギー発生素子、電気回路、電気配線、温度センサーなどの電子デバイスが配置可能であり、基板４０２の材料としては、ＭＥＭＳ加工により流路を形成できるＳｉ等の半導体基板などが望ましい。オリフィスプレート４０１の材料としては、任意のものが使用できる。例えば、レーザー加工により吐出口が形成可能な樹脂基板、ダイシングにより吐出口が形成可能な無機プレート、光硬化により吐出口および流路が形成可能な感光樹脂材料、またはＭＥＭＳ加工により吐出口および流路が形成可能な半導体基板などが使用できる。

図１３（ｂ）は、記録素子基板２０２をオリフィスプレート４０１側から見た拡大透視図である。基板４０２とオリフィスプレート４０１との間の空間に、圧力室４０４が形成されている。吐出口２０３に対向する基板４０２の位置には、吐出口２０３からインクを吐出するための吐出エネルギー発生素子４０５が配備されている。吐出エネルギー発生素子４０５としては、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などを用いることができる。圧力室４０４には、垂直供給口１５０２を通してインクが供給される。図１３（ｃ）は、図１３（ｂ）の記録素子基板２０２をＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿って断面した断面図である。垂直供給口１５０２は基板４０２を貫通し、垂直供給口１５０２に連通している流入側裏面流路１５０３は、カバープレート１５０１の流入側開口１４０１と流体的に接続している。

（インク流量の制御例）
本実施形態におけるインク流量の監視領域は、図１２のように、共通流路３０３から分岐した開口１４０１（１４０１（１），１４０１（２），１４０１（３））に対応する吐出口２０１を含む領域８０５（８０５（１），８０５（２），８０５（３））である。監視領域８０５内の吐出口２０１に対しては、主として、その監視領域８０５に対応する開口１４０１からインクが供給されることになる。

図１４は、本実施形態のインク流量の制御処理を説明するためのフローチャートである。第１の実施形態と同様に、画像データに基づいて監視領域８０５毎の圧力損失ΔＰを算出し（ステップＳ１からＳ５）、それらの圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越えるか否かを判定する（ステップＳ６）。圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越えなければ、インク流量の制御はせずに記録動作を実施する（ステップＳ７）。一方、圧力損失ΔＰが所定値ΔＴＰを越える場合には、インク流量を制御する（ステップＳ１１）。本実施形態においては、インクの吐出周波数を低下させると共に、それに対応するようにキャリッジ５４の移動速度を低下させることにより、監視領域を通過するインク流量を減少させる。さらに、記録媒体１０４の搬送速度を低下させてもよい。これにより、監視領域における圧力損失ΔＰを所定値ΔＴＰ以下に抑えることができる。その後、記録動作を実施する（ステップＳ７）。

本実施形態における液体吐出ヘッドは、図１２および図１３のような構成のみに限定されず、例えば、第１の実施形態のように複数の記録素子基板を備える液体吐出ヘッドなどであってもよく、このような液体吐出ヘッドに対しても本実施形態は適用可能である。

このように本実施形態における液体吐出ヘッドは、記録素子基板が単独もしくは複数配備されて、垂直供給口１５０２に連通している流入側裏面流路１５０３と、カバープレート１５０１の流入側開口１４０１と、が連通されている。このような液体吐出ヘッドにおいて、共通流路３０３から分岐した流入側開口１４０１に対応する監視領域８０５毎の圧力損失ΔＰを算出する。そして、監視領域８０５毎の圧力損失ΔＰが所定の閾値ΔＴＰを超えた場合には、インクの吐出周波数およびキャリッジの移動速度を低下させることにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を抑制することができる。その場合には、記録媒体の搬送速度をも低下させてもよい。

また本発明は、開口位置を境とした監視領域毎の圧力損失を算出する構成や、開口位置を境とした領域内を更に複数に分割した監視領域毎の圧力損失を算出する構成にも適用可能である。

（第３の実施形態）
第２の実施形態の構成例においては、液体吐出ヘッドにインクを供給する分岐流路に対応する監視領域の単位で圧力損失を算出した。本実施形態では、流入側開口から吐出口を通して回収側開口へインクが流れる、所謂、循環構成において、その流入側開口および回収側開口毎に対応する監視領域の単位で圧力損失を算出する。

（インク供給系の構成）
図１５は、本実施形態における液体吐出ヘッド１０２にインクを供給するためのインク供給系の模式図である。インクタンク１６０１内のインクは、インク供給流路１６０２を通して液体吐出ヘッド１０２に供給される。液体吐出ヘッド１０２に供給されたインクの一部は圧力室４０４に供給され、一部の液体は吐出口２０３から吐出され、他のインクは、インク回収流路１６０７通してインクタンク１６０１に回収される。インク供給流路１６０２に備わる負圧調整装置１６０３と、インク回収流路１６０７に備わる定流量ポンプ１６０６と、によって、インクタンク１６０１と液体吐出ヘッド１０２との間にインクの循環流を生じさせつつ、吐出口２０３におけるインクの圧力を調整する。インクの循環流を発生させる定流量ポンプ１６０６および負圧調整装置１６０３は、液体吐出ヘッド１０２と一体的に設けることができ、あるいは液体吐出ヘッド１０２の外部に取り付けて、供給チューブ等を介して液体吐出ヘッド１０２に接続さえることもできる。また、記録素子基板の内部に、マイクロポンプのようなＭＥＭＳ素子として組み込むことも可能である。

（記録素子基板の構成）
図１６は、液体吐出ヘッド１０２における記録素子基板２０２の構成例の説明図であり、記録素子基板２０２は第２の実施形態と同様に構成されている。

図１６（ｂ）は、記録素子基板２０２をオリフィスプレート４０１側から見た拡大透視図である。基板４０２とオリフィスプレート４０１との間の空間に、圧力室４０４が形成される。吐出口２０３と対向する圧力室４０４の内部には、吐出口２０３からインクを吐出するための吐出エネルギー発生素子４０５が配備されている。吐出エネルギー発生素子４０５としては、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などを用いることができる。圧力室４０４には、垂直供給口１５０２を通してインクが供給される。図１６（ｃ）は、図１６（ｂ）の記録素子基板２０２をＸＶＩｃ−ＸＶＩｃ線に沿って断面した断面図である。圧力室４０４には、流入流路１６０４と回収流路１６０５とで流体的に接続されており、それらは一連の流路を形成する。したがってインクは、流入流路１６０４から圧力室４０４を通って回収流路１６０５の方向に流れる。垂直供給口１５０２および垂直回収口１７０１は基板４０２を貫通して、それぞれ流入流路１６０４および液体回収流路１６０５に連通する。また、垂直供給口１５０２に連通している流入側裏面流路１５０３、および垂直回収口１７０１に連通している回収側裏面流路１７０２は、それぞれカバープレート１５０１の流入側開口１４０１、および回収側開口１７０３に連通している。

本実施形態においてはインクの循環経路が形成されており、流入流路１６０４から回収流路１６０５に向かうインクの流れが生じている状態において、吐出エネルギー発生素子４０５を駆動することにより、吐出口２０３からインクが吐出される。流入流路１６０４から回収流路１６０５に向かうインクの流れが生じている状態において、インクの吐出動作を行ってもインク滴の着弾精度に及ぼす影響は小さい。

（インク流量の制御例）
本実施形態における流入側開口から吐出口を通って回収側開口へインクが流れる構成において、記録素子基板の端部に位置する吐出口で供給不足が懸念される理由について、以下説明する。図２８（ａ）は、図１６（ａ）に示す記録素子基板２０２の平面図、図２８（ｂ）は、図２８（ａ）のＡ部分の拡大図、図２８（ｃ）は、図２８（ａ）の記録素子基板２０２の裏面図である。図２９は、図２８（ａ）のＸＸＩＸ−ＸＸＩＸに沿う記録素子基板１０およびカバープレート２０の断面図である。図２９に示すように、カバープレート２０の開口２１の位置から、液体供給路１８、圧力室２３、および液体回収路１９を介してインクが循環するように構成されている。吐出口１３の配列方向における端部に位置する開口２１から、その端部に位置する吐出口１３までの、液体供給路１８もしくは液体回収路１９の流路長は、長くなるため、それに応じて圧力損失が増加する。加えて、複数の吐出口１３からインクを吐出させる場合、液体供給路１８もしくは液体回収路１９内のインク流量が増加することも圧力損失を増加させる要因となる。

第２の実施形態と同様に、図１４のように監視領域毎の圧力損失に基づいてインクの流量を制御することにより、圧力損失によるインク供給不足を抑制することができる。

本実施形態においては、図１７のように、共通流路である流入側裏面流路１５０３から流入側開口１４０１（１４０１（１），１４０１（２），１４０１（３））が分岐している。また、共通流路である回収側裏面流路１７０２から回収側裏面開口１７０３（１７０３（１），１７０３（２）が分岐している。図１６で説明したように、記録素子基板２０２の裏面に設けられたカバープレート１５０１に形成された複数の流入側開口１４０１から供給されたインクは共通流路である流入側裏面流路１５０３を介して、複数の圧力室４０４へと供給される。その後、インクは共通流路である回収側裏面流路１７０２を経由して回収側裏面開口１７０３へと供給される。本実施形態における監視領域は、流入側開口１４０１と回収側裏面開口１７０３のそれぞれに対応するノズル列４０３の領域８０６（８０６（１）から８０６（５））である。

これらの監視領域８０６毎に圧力損失が算出される。その際には、吐出口２０３毎におけるインクの循環流量Ｑ′を考慮し、流量Ｑは下式（７）によって表される。ここで、監視領域における全ノズル数をｎ‘とする。
Ｑ＝（ｎ×Ｖｄ×ｆｏｐ）＋（ｎ‘×Ｑ’） ・・・ （７）

ただし、前述したように、インクの循環流量Ｑ’は、インク吐出動作時にインク滴の着弾精度に及ぼす影響は少ない。

流入側開口１４０１と回収側裏面開口１７０３のそれぞれに対応する監視領域８０６毎の圧力損出の算出方法は、第１の実施形態と同様である。液体吐出ヘッドは、インクを循環可能な形態であればよく、図１６および図１７のような構成のみに限定されない。このように本実施形態における液体吐出ヘッドは、記録素子基板が単独もしくは複数配備されて、垂直供給口１５０２に流入側裏面流路１５０３が連通し、垂直回収口１７０１に回収側裏面流路１７０２が連通している。それらの流入側裏面流路１５０３および回収側裏面流路１７０２は、それぞれカバープレート１５０１の流入側開口１４０１および回収側開口１７０３に連通することによって、インクの循環流路を形成する。このような液体吐出ヘッドにおいて、流入側開口１４０１および回収側開口１７０３に対応する監視領域８０６毎に圧力損失を算出し、その圧力損失に基づいてインク流量を制御する。これにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を抑制して、インクの正常な吐出を可能とする。

また、本発明は上述した例に限られず、例えば、開口位置を境とした監視領域毎の圧力損失を算出する構成や、開口位置を境とした領域内を更に複数に分割した監視領域毎の圧力損失を算出する構成が挙げられる。特に、開口位置を境とした領域内を更に分割した監視領域とすることで、より詳細な圧力損失の抑制が可能となる。

（第４の実施形態）
図１８から図３０は、本発明の第４の実施形態の説明図であり、第３の実施形態と同様のインクの循環経路が形成されている。第３の実施形態と同様に、監視領域を設定して、監視領域毎の圧力損失に基づいてインク流量を制御することにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を抑制することができる。

（インクジェット記録装置の説明）
図１８は、本発明の液体を吐出する液体吐出装置、特にはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置（以下、記録装置とも称す）１０００の概略構成を示した図である。記録装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備え、複数の記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。液体吐出ヘッド３は循環経路内の圧力（負圧）を制御する負圧制御ユニット２３０と、負圧制御ユニット２３０と流体連通した液体供給ユニット２２０と、液体供給ユニット２２０へのインクの供給および回収口となる液体接続部１１１と、筺体８０とを備えている。記録媒体２は、カット紙に限らず、連続したロール媒体であってもよい。液体吐出ヘッド３は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクによるフルカラー記録が可能であり、液体を液体吐出ヘッド３へ供給する供給路である液体供給手段、メインタンクおよびバッファタンク（後述する図１９参照）が流体的に接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路および電気信号経路については後述する。

記録装置１０００は、インク等の液体を後述するタンクと液体吐出ヘッド３との間で循環させる形態のインクジェット記録装置である。その循環の形態としては、液体吐出ヘッド３の下流側に配備した２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）によって循環させる第１循環形態と、液体吐出ヘッド３の上流側に配備した２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）によって循環させる第２循環形態とがある。以下、この循環の第１循環形態と第２循環形態とについて説明する。

（第１循環形態の説明）
図１９は、本実施形態の記録装置１０００に適用される循環経路の第１循環形態を示す模式図である。液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２およびバッファタンク１００３等に流体的に接続されている。なお図１９では、説明を簡略化するため、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクの内の１色のインクが流動する経路のみを示しているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３および記録装置本体に設けられる。

第１循環形態では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給され、その後、第２循環ポンプ１００４によって液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３の液体供給ユニット２２０に供給される。その後、液体供給ユニット２２０に接続された負圧制御ユニット２３０で異なる２つの負圧（高圧、低圧）に調整されたインクは、高圧側と低圧側の２つの流路に分かれて循環する。液体吐出ヘッド３内のインクは、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用により液体吐出ヘッド内を循環し、液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から回収されてバッファタンク１００３に戻る。

サブタンクであるバッファタンク１００３は、メインタンク１００６と接続され、タンク内部と外部とを連通する不図示の大気連通口を有し、インク中の気泡を外部に回収することが可能である。バッファタンク１００３とメインタンク１００６との間には、補充ポンプ１００５が設けられている。補充ポンプ１００５は、インクを吐出しての記録や吸引回復等、液体吐出ヘッド３の吐出口からインクを吐出（排出）することによって消費されたインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。

２つの第１循環ポンプ１００１、１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を引き出してバッファタンク１００３へ流す。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態であってもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２を稼働することによって、それぞれ共通供給経路２１１、共通回収流路２１２内を所定流量のインクが流れる。このようにインクを流すことで、記録時の液体吐出ヘッド３の温度を最適の温度に維持している。液体吐出ヘッド３駆動時の所定流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度に維持可能である流量以上に設定することが好ましい。もっとも、あまりに大きな流量に設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧力損失の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり画像の濃度ムラが生じてしまう。そのため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら流量を設定することが好ましい。

負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路に設けられている。この負圧制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の差等によって循環系におけるインクの流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構としては、負圧制御ユニット２３０よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心として一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、どのような機構を用いてもよい。一例としては所謂「減圧レギュレータ」と同様の機構を採用することができる。本実施形態における循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧している。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。

第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクでも適用可能である。図１９に示したように負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、相対的に高圧設定側（図１９では、Ｈと記載）、相対的に低圧側（図１９では、Ｌと記載）は、それぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給経路２１１、共通回収流路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給経路２１１、共通回収流路２１２、各記録素子基板と連通する個別流路２１５（個別供給流路２１３、個別回収流路２１４）が設けられている。共通供給流路２１１には圧力調整機構Ｈが、共通回収流路２１２には圧力調整機構Ｌが接続されており、２つの共通流路間に差圧が生じている。個別供給流路２１３および個別回収流路２１４は、共通供給経路２１１および共通回収流路２１２と連通しているので、液体の一部は、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる（図１９中の矢印）。

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１および共通回収流路２１２を流れるインクによって記録素子基板１０の外部へ回収することができる。またこのような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることができる。これによって、吐出口内で増粘したインクの粘度を低下させることで、インクの増粘を抑制することができる。また、増粘したインクやインク中の異物を共通回収流路２１２へと回収することができる。このため、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。

（第２循環形態の説明）
図２０は、本実施形態の記録装置に適用される循環経路のうち、上述した第１循環形態とは異なる循環形態である第２循環形態を示す模式図である。前述の第１循環形態との主な相違点は、負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構が共に、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を、所望の設定圧を中心として一定範囲内の変動で制御する点である。また、第１循環形態との相違点として、第２循環ポンプ１００４が負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用する点がある。更に、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置され、負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている点も相違する点である。

第２循環形態では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給される。その後インクは２つの流路に分けられ、液体吐出ヘッド３に設けられた負圧制御ユニット２３０の作用で高圧側と低圧側の２つの流路で循環する。高圧側と低圧側の２つの流路に分けられたインクは、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド３に液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３に供給される。その後、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド内を循環したインクは、負圧制御ユニット２３０を経て、液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から回収される。回収されたインクは、第２循環ポンプ１００４によってバッファタンク１００３に戻される。

第２循環形態での負圧制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の変化によって生じる流量の変動があっても、負圧制御ユニット２３０の上流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力変動を予め設定された圧力を中心として一定範囲内に安定させる。本実施形態の循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧している。このようにすると液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの選択幅を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差をもって配置された水頭タンクであっても適用可能である。第２循環形態は第１循環形態と同様に、負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、高圧設定側（図２０では、Ｈと記載）、低圧設定側（図２０では、Ｌと記載）はそれぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給経路２１１および共通回収流路２１２に接続されている。２つの負圧調整機構により、共通供給流路２１１の圧力を共通回収流路２１２の圧力より相対的に高くすることで、共通供給流路２１１から個別流路２１３および各記録素子基板１０の内部流路を介して共通回収流路２１２へと流れるインク流れが発生する。

このような第２循環形態では、液体吐出ユニット３００内には第１循環形態と同様のインク流れ状態が得られるが、第１循環形態の場合とは異なる２つの利点がある。１つ目の利点は、第２循環形態では負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されているので、負圧制御ユニット２３０から発生するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入する懸念が少ないことである。２つ目の利点は、第２循環形態では、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要流量の最大値が、第１循環形態の場合よりも少なくて済むことである。その理由は次の通りである。

記録待機時に循環している場合の、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内の流量の合計を流量Ａとする。流量Ａの値は、記録待機中に液体吐出ヘッド３の温度調整にあたり、液体吐出ユニット３００内の温度差を所望の範囲内にするために必要な最小限の流量として定義される。また液体吐出ユニット３００の全ての吐出口からインクを吐出する場合（全吐出時）の吐出流量を流量Ｆ（１吐出口当りの吐出量×単位時間当たりの吐出周波数×吐出口数）と定義する。

図２１は、第１循環形態と第２循環形態とにおける、液体吐出ヘッド３へのインクの流入量の違いを示した概略図である。図２１（ａ）は、第１循環形態における待機時を示しており、図２１（ｂ）は、第１循環形態における全吐出時を示している。図２１（ｃ）から図２１（ｆ）は第２循環形態を示しており、図２１（ｃ）、（ｄ）が流量Ｆ＜流量Ａの場合で、図２１（ｅ）、（ｆ）が流量Ｆ＞流量Ａの場合であり、それぞれ、待機時と全吐出時の流量を示している。流量Ｆ＝流量Ａの場合は、図２１（ｃ）、（ｄ）または図２１（ｅ）、（ｆ）のいずれであってもよい。

定量的な送液能力を有する第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている第１循環形態の場合（図２１（ａ）、（ｂ））、それらのポンプ１００１，１００２の合計設定流量はＡとなる。この流量Ａによって、待機時の液体吐出ユニット３００内の温度管理が可能となる。液体吐出ヘッド３で全吐出が行われる場合には、ポンプ１００１及びポンプ１００２の合計設定流量は流量Ａのままである。しかし、液体吐出ヘッド３での吐出によって生じる負圧が作用して、液体吐出ヘッド３へ供給される最大流量は、合計設定流量Ａに全吐出による消費分（流量Ｆ）が加算される。よって、液体吐出ヘッド３への供給量の最大値は、流量Ｆが流量Ａに加算されるため流量Ａ＋流量Ｆとなる（図２１（ｂ））。

一方で、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態の場合（図２１（ｃ）から図２１（ｆ））は、記録待機時に必要な液体吐出ヘッド３への供給量は、第１循環形態と同様に流量Ａである。従って、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態では、流量Ｆよりも流量Ａが多い場合（図２１（ｃ）、（ｄ））には、全吐出時でも液体吐出ヘッド３への供給量は流量Ａで十分である。その際、液体吐出ヘッド３からの回収流量は、流量Ａ−流量Ｆとなる（図２１（ｄ））。しかし、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合（図２１（ｅ）、（ｆ））には、全吐出時には液体吐出ヘッド３への供給流量を流量Ａとすると流量が足りなくなってしまう。そのため、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合には、液体吐出ヘッド３への供給量を流量Ｆとする必要がある。その際、全吐出が行われると、液体吐出ヘッド３では流量Ｆが消費されるため、液体吐出ヘッド３からの回収流量は、ほとんど回収されない状態となる（図２１（ｆ））。なお、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合で、吐出は行うが全吐出ではない場合には、流量Ｆから吐出で消費された分が引かれた量が液体吐出ヘッド３から回収される。

このように、第２循環形態の場合、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の設定流量の合計値、即ち必要供給流量の最大値は、流量Ａまたは流量Ｆの大きい方の値となる。このため、同一構成の液体吐出ユニット３００を使用する限り、第２循環形態における必要供給量の最大値（流量Ａまたは流量Ｆ）は、第１循環形態における必要供給流量の最大値（流量Ａ＋流量Ｆ）よりも小さくなる。

そのため第２循環形態の場合、適用可能な循環ポンプの自由度が高まり、例えば構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、記録装置のコストを低減できるという利点がある。この利点は、流量Ａまたは流量Ｆの値が比較的大きくなるラインヘッドであるほど大きくなり、ラインヘッドの中でも長手方向の長さが長いラインヘッドほど有益である。

しかしながら一方で、第１循環形態の方が、第２循環形態に対して有利になる点もある。すなわち第２循環形態では、記録待機時に液体吐出ユニット３００内を流れる流量が最大であるため、単位面積当たりの吐出量が少ない画像（以下、低Ｄｕｔｙ画像ともいう）であるほど、各吐出口に高い負圧が印加された状態となる。このため、流路幅が狭く高い負圧である場合、ムラの見えやすい低Ｄｕｔｙ画像で吐出口に高い負圧が印加されるため、インクの主滴に伴って吐出される所謂サテライト滴が多く発生して記録品位が低下する虞がある。

一方、第１循環形態の場合、高い負圧が吐出口に印加されるのは単位面積当たりの吐出量が多い画像（以下、高Ｄｕｔｙ画像ともいう）形成時であるため、仮にサテライト滴が発生しても視認されにくく、画像への影響は小さいという利点がある。これら２つの循環形態の選択は、液体吐出ヘッドおよび記録装置本体の仕様（吐出流量Ｆ、最小循環流量Ａ、およびヘッド内流路抵抗）に照らして好ましい選択を採ることができる。

（液体吐出ヘッド構成の説明）
本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図２２（ａ）および図２２（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド３を示した斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板３１０でシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線状に１５個配列（インラインに配置）されるライン型の液体吐出ヘッドである。図２２（ａ）に示すように液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板３１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号および吐出に必要な電力を記録素子基板３１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板３１０の数に比べて少なくすることができる。これにより、記録装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時または液体吐出ヘッドの交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。図２２（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。

図２３は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には液体接続部１１１（図２０参照）が設けられ、液体供給ユニット２２０の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図１９、図２０参照）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。図１９のような第１循環形態において、フィルタ２２１を通過した液体は、それぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は、各色別の圧力調整弁からなるユニットであり、それぞれの内部に備わる弁やバネ部材などの働きで液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧力損失変化を大幅に減衰させる。これによって負圧制御ユニット２３０は、負圧制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることが可能である。各色の負圧制御ユニット２３０内には、図１９で記述したように各色２つの圧力調整弁が内蔵されている。２つの圧力調整弁は、それぞれ異なる制御圧力に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１（図１９参照）、低圧側が共通回収流路２１２（図１９参照）と液体供給ユニット２２０を介して連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１および電気配線基板支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００および電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するためのものであり、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は、液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する役割を有し、それにより記録物におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材質としてはＳＵＳやアルミなどの金属材料、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴムを介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００、流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図２３に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０および封止材１１０（後述する図２７参照）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。

次に、液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図２３に示したように流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０および第３流路部材７０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配する。また流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材である。流路部材２１０は、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、それにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。

図２４（ａ）から（ｆ）は、第１から第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図２４（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図２４（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０と第２流路部材６０とは、夫々の流路部材の当接面である図２４（ｂ）と図２４（ｃ）が対向するように接合し、第２流路部材と第３流路部材とは、夫々の流路部材の当接面である図２４（ｄ）と図７（ｅ）が対向するように接合する。第２流路部材６０と第３流路部材７０を接合することで、各流路部材に形成される共通流路溝６２と７１とから、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が形成される。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される。共通供給流路２１１から液体吐出ヘッド３にインクが供給されて、液体吐出ヘッド３に供給されたインクは共通回収流路２１２によって回収される。第３流路部材７０の連通口７２（図２４（ｆ）参照）は、ジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０（図２３参照）と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には、連通口６１（共通供給流路２１１と連通する連通口６１−１、共通回収流路２１２と連通する連通口６１−２）が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。

第１から第３流路部材は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。材質としては例えば、アルミナや、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォンや変形ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル））を母材としてシリカ微粒子やファイバーなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）を好適に用いることができる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着してもよいし、材質として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着による接合方法を用いてもよい。

図２５は、図２４（ａ）のα部を示しており、第１から第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路を第１の流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される面側から一部を拡大して示した透視図である。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とは、両端部の流路からそれぞれ交互に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とが配置されている。ここで、流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。

流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）および共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給流路（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収流路（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することができる。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２にインクを回収することができる。

図２６は、図２５のＩＸ−ＩＸにおける断面を示した図である。それぞれの個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）は連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。図２６では個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）のみ図示しているが、別の断面においては図２５に示すように個別供給流路２１３と吐出モジュール２００とが連通している。各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０および記録素子基板１０には、第１流路部材５０からのインクを記録素子基板１０に設けられる記録素子１５に供給するための流路が形成されている。更に、支持部材３０および記録素子基板１０には、記録素子１５に供給した液体の１部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路が形成されている。

ここで、各色の共通供給流路２１１は、対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されており、また共通回収流路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図２５および図２６に示したように、各流路を接続した本実施形態の液体吐出ヘッド内では、各インク色毎に、共通供給流路２１１、個別供給流路２１３、記録素子基板１０、個別回収流路２１４、および共通回収流路２１２の順の流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図２７（ａ）は、１つの吐出モジュール２００を示した斜視図であり、図２７（ｂ）は、その分解図である。吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０およびフレキシブル配線基板４０を、予め液体連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着する。その後、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気接続し、その後にワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図２３参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に連通させる流路部材であるため、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。材質としては例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。

（記録素子基板の構造の説明）
図２８（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図を示し、図２８（ｂ）は、図２８（ａ）のＡで示した部分の拡大図を示し、図２８（ｃ）は、図２８（ａ）の裏面の平面図を示す。ここで、本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図２８（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。なお、以後、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼称する。図２８（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。そして記録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図６参照）およびフレキシブル配線基板４０（図２７参照）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させる。この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図２８（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８および液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に伸びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。

図２８（ｃ）に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状のカバープレート２０が積層されており、カバープレート２０には、後述する液体供給路１８および液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本実施形態においては、液体供給路１８の１本に対して３個、液体回収路１９の１本に対して２個の開口２１がカバープレート２０に設けられている。図２８（ｂ）に示すようにカバープレート２０の夫々の開口２１は、図２４（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。カバープレート２０は、液体に対して十分な耐食性を有している物が好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。このためカバープレート２０の材質として、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このようにカバープレート２０は、開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。

図２９は、図２８（ａ）におけるＸＸＩＸ−ＸＸＩＸにおける記録素子基板１０およびカバープレート２０の断面を示す斜視図である。ここで、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。カバープレート２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８および液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。記録素子基板１０は、Ｓｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面にはカバープレート２０が接合されている。基板１１の一方の面側には、記録素子１５が形成されており（図２８参照）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８および液体回収路１９を構成する溝が形成されている。基板１１とカバープレート２０とによって形成される液体供給路１８および液体回収路１９は、それぞれ流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口では、この差圧によって基板１１内に設けられた液体供給路１８内の液体が、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる（図２９の矢印Ｃ）。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インク、泡および異物などを液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクが増粘するのを抑制することができる。液体回収路１９へ回収された液体は、カバープレート２０の開口２１および支持部材３０の液体連通口３１（図２７（ｂ）参照）から、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収される。その後、記録装置１０００の供給経路へと回収される。つまり、記録装置本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給および回収される。

液体は、まず液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２および共通流路溝７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝６２および連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝５２および連通口５１の順に供給される。その後、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、カバープレート２０に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８および供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂおよび液体回収路１９、カバープレート２０に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１および個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１および共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１および連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして液体は、液体供給ユニット２２０に設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ流動する。

図１９に示す第１循環形態の形態においては、液体接続部１１１から流入した液体は、負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。また図２０に示す第２循環形態の形態においては、圧力室２３から回収された液体は、ジョイントゴム１００を通過した後、負圧制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流動する。また液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した全ての液体が、個別供給流路２１３を経由して圧力室２３に供給されるわけではない。つまり、共通供給流路２１１の一端から流入した液体で、個別供給流路２１３に流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本実施形態のような微細で流抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０を備える場合であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このように、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口近傍部の液体の増粘を抑制することができるので、吐出のヨレや不吐出を抑制することができ、結果として高画質な記録を行うことができる。

（記録素子基板間の位置関係の説明）
図３０は、隣り合う２つの吐出モジュールにおける、記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示した平面図である。本実施形態では略平行四辺形の記録素子基板を用いている。各記録素子基板１０における吐出口１３が配列される各吐出口列（１４ａから１４ｄ）は、記録媒体の搬送方向に対し一定角度傾くように配置されている。そして、記録素子基板１０同士の隣接部における吐出口列は、少なくとも１つの吐出口が記録媒体の搬送方向にオーバーラップするようになっている。図３０では、線Ｄ上の２つの吐出口が互いにオーバーラップする関係にある。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく、直線状（インライン）に配置した場合も、図３０のような構成により液体吐出ヘッドの記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜け対策を行うことができる。なお、本実施形態では記録素子基板の主平面は平行四辺形であるが、これに限るものではなく、例えば長方形、台形、その他形状の記録素子基板を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。

（第５の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第５の実施形態によるインクジェット記録装置２０００および液体吐出ヘッド２００３の構成を説明する。なお以降の説明においては、主として第４の実施形態と異なる部分のみを説明し、第４の実施形態と同様の部分については説明を省略する。本実施形態においても、第３の実施形態と同様のインクの循環経路が形成されており、第３の実施形態と同様に、監視領域を設定して、監視領域毎の圧力損失に基づいてインク流量を制御する。これにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を抑制することができる。

（インクジェット記録装置の説明）
図３８は、本実施形態を適用可能な、液体を吐出して記録を行うインクジェット記録装置２０００を示した図である。本実施形態の記録装置２０００は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫの各インクごとに対応した単色用の液体吐出ヘッド２００３を４つ並列配置させることで記録媒体へフルカラー記録を行う点が第１の実施形態とは異なる。第４の実施形態において１色あたりに使用できる吐出口列数が１列だったのに対し、本実施形態においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更に、不吐出になる吐出口があったとしても、その吐出口に対して記録媒体の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補間的に吐出を行うことで信頼性が向上し、商業記録などに好適である。第４の実施形態と同様に、各液体吐出ヘッド２００３に対して、記録装置２０００の供給系、バッファタンク１００３（図１９、図２０参照）およびメインタンク１００６（図１９、図２０参照）が流体的に接続されている。また、それぞれの液体吐出ヘッド２００３には、液体吐出ヘッド２００３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続されている。

（循環経路の説明）
第４の実施形態と同様に、記録装置２０００および液体吐出ヘッド２００３間の液体循環経路としては、第４の実施形態同様、図１９または図２０に示した第１および第２循環形態を用いることができる。

（液体吐出ヘッド構造の説明）
図３１（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２００３を示した斜視図である。ここで、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２００３の構造について説明する。液体吐出ヘッド２００３は、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に直線状に配列される１６個の記録素子基板２０１０を備え、１色の液体で記録が可能なインクジェット式のライン型液体吐出ヘッドである。液体吐出ヘッド２００３は、第１の実施形態と同様、液体接続部１１１、信号入力端子９１および電力供給端子９２を備える。しかしながら本実施形態の液体吐出ヘッド２００３は、第４の実施形態に比べて吐出口列が多いため、液体吐出ヘッド２００３の両側に信号出力端子９１および電力供給端子９２が配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減するためである。

図３２は、液体吐出ヘッド２００３を示した斜視分解図であり、液体吐出ヘッド２００３を構成する各部品またはユニットがその機能毎に分割して示している。各ユニットおよび部材の役割や液体吐出ヘッド内の液体流通の順は、基本的に第４の実施形態と同様であるが、液体吐出ヘッドの剛性を担保する機能が異なる。第４の実施形態では主として液体吐出ユニット支持部８１によって液体吐出ヘッド剛性を担保していたが、第５の実施形態の液体吐出ヘッド２００３では、液体吐出ユニット２３００に含まれる第２流路部材２０６０によって液体吐出ヘッドの剛性を担保している。本実施形態における液体吐出ユニット支持部８１は、第２流路部材２０６０の両端部に接続されており、この液体吐出ユニット２３００は記録装置２０００のキャリッジと機械的に結合されて、液体吐出ヘッド２００３の位置決めを行う。負圧制御ユニット２２３０を備える液体供給ユニット２２２０と、電気配線基板９０は、液体吐出ユニット支持部８１に結合される。２つの液体供給ユニット２２２０内にはそれぞれフィルタ（不図示）が内蔵されている。

２つの負圧制御ユニット２２３０は、それぞれ異なる、相対的に高低の負圧で圧力を制御するように設定されている。また、この図３１のように、液体吐出ヘッド２００３の両端部にそれぞれ、高圧側と低圧側の負圧制御ユニット２２３０を設置した場合、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延在する共通供給流路と共通回収流路における液体の流れが互いに対向する。このような構成では、共通供給流路と共通回収流路の間で熱交換が促進されて、２つの共通流路内における温度差が低減される。これによって、共通流路に沿って複数設けられる各記録素子基板２０１０における温度差が少なくなり、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。

次に、液体吐出ユニット２３００の流路部材２２１０の詳細について説明する。図３２に示すように流路部材２２１０は、第１流路部材２０５０と第２流路部材２０６０とを積層したものであり、液体供給ユニット２２２０から供給された液体を各吐出モジュール２２００へと分配する。また流路部材２２１０は、吐出モジュール２２００から環流する液体を液体供給ユニット２２２０へと戻すための流路部材として機能する。流路部材２２１０の第２流路部材２０６０は、内部に共通供給流路および共通回収流路が形成された流路部材であるとともに、液体吐出ヘッド２００３の剛性を主に担うという機能を有する。このため、第２流路部材２０６０の材質としては、液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましい。具体的にはＳＵＳやＴｉ、アルミナなど用いることができる。

図３３（ａ）は、第１流路部材２０５０の、吐出モジュール２２００がマウントされる面を示した図であり、図３３（ｂ）は、その裏面を示しており、第２流路部材２０６０と当接される面を示した図である。第４の実施形態とは異なり、本実施形態における第１流路部材２０５０は、各吐出モジュール２２００毎に対応した複数の部材を隣接して配列したものである。このように分割した構造を採ることで、複数のモジュールを配列させて、液体吐出ヘッド２００３の長さに対応することができるので、例えばＢ２サイズおよびそれ以上の長さに対応した比較的ロングスケールの液体吐出ヘッドに特に好適に適用することができる。図３３（ａ）に示すように、第１流路部材２０５０の連通口５１は、吐出モジュール２２００と流体的に連通し、図３３（ｂ）に示すように、第１流路部材２０５０の個別連通口５３は、第２流路部材２０６０の連通口６１と流体的に連通する。図３３（ｃ）は、第２流路部材６０の、第１流路部材２０５０と当接される面を示し、図３３（ｄ）は、第２流路部材６０の厚み方向中央部の断面を示し、図３３（ｅ）は、第２流路部材２０６０の、液体供給ユニット２２２０と当接する面を示す図である。第２流路部材２０６０の流路や連通口の機能は、第４の実施形態の１色分と同様である。第２流路部材２０６０の共通流路溝７１は、その一方が後述する図３４に示す共通供給流路２２１１であり、他方が共通回収流路２２１２であり、夫々、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に沿って設けられており、その一端側から他端側に液体が供給される。本実施形態は第４の実施形態と異なり、共通供給流路２２１１と共通回収流路２２１２の液体の流れは互いに反対方向となっている。

図３４は、記録素子基板２０１０と流路部材２２１０との液体の接続関係を示した透視図である。流路部材２２１０内には、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延びる一組の共通供給流路２２１１および共通回収流路２２１２が設けられている。第２流路部材２０６０の連通口６１は、各々の第１流路部材５０の個別連通口５３と位置を合わせて接続されている。これにより、第２流路部材２０６０の連通口７２から共通供給流路２２１１を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給経路が形成されている。同様に、第２流路部材２０６０の連通口７２から共通回収流路２２１２を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給経路も形成されている。

図３５は、図３４のＸＸＸＶ−ＸＸＸＶ線における断面を示した図である。共通供給流路２２１１は、連通口６１、個別連通口５３、連通口５１を介して、吐出モジュール２２００へ接続されている。図３５では不図示であるが、別の断面においては、共通回収流路２２１２が同様の経路で吐出モジュール２２００へ接続されていることは、図３４を参照すれば明らかである。第４の実施形態と同様に、各吐出モジュール２２００および記録素子基板２０１０には、各吐出口に連通する流路が形成されており、供給した液体の一部または全部が、吐出動作を休止している吐出口を通過して、環流できるようになっている。また第４の実施形態と同様に、共通供給流路２２１１は、負圧制御ユニット２２３０（高圧側）と、共通回収流路２２１２は負圧制御ユニット２２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２２０を介して接続されている。従ってその差圧によって、共通供給流路２２１１から記録素子基板２０１０の吐出口を通過して共通回収流路２２１２へと流れる流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図３６（ａ）は、１つの吐出モジュール２２００を示した斜視図であり、図３６（ｂ）は、その分解図である。第４の実施形態との差異は、記録素子基板２０１０の複数の吐出口列方向に沿った両辺部（記録素子基板２０１０の各長辺部）に複数の端子１６がそれぞれ配置されている点である。これに伴い記録素子基板２０１０と電気接続されるフレキシブル配線基板４０も、１つの記録素子基板２０１０に対して２枚配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、第４の実施形態の８列よりも大幅に増加しているためであり、端子１６から記録素子までの最大距離を短くして記録素子基板２０１０内の配線部で生じる電圧低下や信号遅れを低減するためである。また支持部材２０３０の液体連通口３１は、記録素子基板２０１０に設けられ全吐出口列を跨るように開口している。その他の点は、第４の実施形態と同様である。

（記録素子基板の構造の説明）
図３７（ａ）は、記録素子基板２０１０の吐出口１３が配される面の模式図であり、図３７（ｃ）は、図３７（ａ）の面の裏面を示す模式図である。図３７（ｂ）は図３７（ｃ）において、記録素子基板２０１０の裏面側に設けられているカバープレート２０２０を除去した場合の記録素子基板２０１０の面を示す模式図である。図３７（ｂ）に示すように、記録素子基板２０１０の裏面には吐出口列方向に沿って、液体供給路１８と液体回収路１９とが交互に設けられている。吐出口列数は、第４の実施形態よりも大幅に増加しているものの、第４の実施形態との本質的な差異は、前述のように端子１６が記録素子基板の吐出口列方向に沿った両辺部に配置されていることである。各吐出口列毎に一組の液体供給路１８と液体回収路１９が設けられていること、カバープレート２０２０に、支持部材２０３０の液体連通口３１と連通する開口２１が設けられていることなど、基本的な構成は第４の実施形態と同様である。

なお、上記実施形態の記載は本発明の範囲を限定するものではない。１例として、本実施形態では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式について説明したが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。

本実施形態は、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッドとの間で循環させる形態のインクジェット記録装置（記録装置）について説明したが、その他の形態であってもよい。その他の形態は、例えばインクを循環せずに、液体吐出ヘッド上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインクを流すことで、圧力室内のインクを流動させる形態であってもよい。

また本実施形態は、記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型ヘッドを用いる例を説明したが、記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインクを吐出する記録素子基板およびカラーインクを吐出する記録素子基板を各１つずつ搭載する構成が挙げられるが、これに限るものではない。つまり、複数個の記録素子基板を吐出口列方向に吐出口がオーバーラップするよう配置した、記録媒体の幅よりも短い短尺の液体吐出ヘッドを作成し、それを記録媒体に対してスキャンさせる形態であってもよい。

（第６の実施形態）
第３から第５の実施形態の構成例においては、流入側開口１４０１から圧力室４０４を介して回収側開口１７０３へインクが流れる構成において、流入側開口１４０１および回収側開口１７０３毎に対応する監視領域の単位で圧力損失を算出した。本実施形態では、記録素子基板内の端部側の吐出口を基準として、記録素子基板内を等分割した領域毎に対応する監視領域の単位で圧力損失を算出する。

第３から第５の実施形態と同様の部分については説明を省略する。本実施形態においても第３〜第５の実施形態と同様のインクの循環経路が形成されている。

（インク流量の制御例）
図３９は、第４の実施形態における図２８（ａ）と同様に、記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図を示している。本実施形態では、１パスで連続記録を行い、複数の記録素子基板を有するページワイド型の液体吐出ヘッドを備える記録装置における例を示す。図３９に、液体吐出ヘッドの端部側に位置する１つの記録素子基板を示す。図３９において、１つの吐出口列に対し、一端部の吐出口の位置８０７ａを基準として、他端部の吐出口である８０７ｂまでを均等に分割した領域８０７（１）〜８０７（６）を監視領域とする。この場合、第３〜第５の実施形態と同様の方法で、監視領域毎の圧力損失に基づいてインク流量を制御することにより、液体吐出ヘッドにおける局所的な圧力損失を制御することができる。

ここで本実施形態において、監視領域毎に制御するインク流量の閾値は、カバープレート２０２０（図３７）の開口２１との間隔が最も大きく、圧力損失が一番大きい領域における値とする。例えば、図３９において、記録素子基板１０の、吐出口の配列方向に関する両端部に注目すると、カバープレートの開口２１から領域の端部までの距離が最も遠いのは、監視領域８０７（１）である。この監視領域８０７（１）の圧力損失が最も大きくなるので、監視領域８０７（１）内における流量を閾値として採用する。最も圧力損失の厳しい領域を基準として閾値を設けることで、必然的に、記録素子基板内の他の監視領域内も記録デューティーが閾値以下であれば記録可能となる。

この場合、各監視領域における記録デューティーの閾値は、全ての各領域で一律の閾値を設けることも出来るし、各領域内でそれぞれ異なる閾値を設けることも出来る。また、これに限るものではなく、列ごとに閾値を変えることも出来るし、記録素子基板単位で閾値を設けることもできる。

図４０は、第４の実施形態における図３０と同様の構成とし、複数の記録素子基板１０を有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおける、最端部の記録素子基板１０ａと、それに隣接する記録素子基板１０ｂの繋ぎ部を示す。図３９に示すように、端部の吐出口位置８０７ａを含む記録素子基板１０ａを、監視領域分割の基準とする。その場合、記録素子基板１０ａ内を図３９のように等分割をする（８０７（１）〜８０７（６）の６分割）。このとき、前述したように、記録素子基板１０は略平行四辺形を用いており、記録素子基板１０ａにおける吐出口１３が配列される各吐出口列１４ａ〜１４ｄは記録媒体の搬送方向に対し一定角度傾くように配置されている。そして、記録素子基板１０ａおよび１０ｂの隣接部における吐出口列は、少なくとも１つの吐出口が記録媒体の搬送方向にオーバーラップするようになっている。そのため、例えば、記録素子基板１０ｂの吐出口列１４ｄにおける監視領域のスタートは、記録素子基板１０ａとの繋ぎ部より２ノズル目の吐出口位置８０７ｃとなる。これにより、隣り合う記録素子基板ごとに監視領域がずれていく。従って、本実施形態においては、複数の記録素子基板を有するページワイド型液体吐出ヘッドで、監視領域内にカバープレートの開口２１を含まない場所も存在するが、他の監視領域同様の閾値によって、圧力損失を制御する。

本実施形態における液体吐出ヘッドは、図３９および図４０のような構成のみに限定されず、例えば、第２の実施形態のように１つの記録素子基板のみを有する液体吐出ヘッドであってもよく、このような液体吐出ヘッドに対しても本実施形態は適用可能である。また、開口数や監視領域の分割数も本実施形態に限定されない。なお、本実施形態では記録素子基板の主平面は平行四辺形であるが、これに限るものではなく、例えば長方形、台形、その他形状の記録素子基板を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。監視領域についても、隣り合う記録素子基板の繋ぎ部で記録媒体の搬送報告にオーバーラップしない形態であってもよく、これに限られるものでもない。

（他の実施形態）
本発明は、種々の記録方式のインクジェット記録装置に対して適用することができ、その記録方式は、液体吐出ヘッドと記録媒体との相対移動を伴って画像を記録するフルライン方式およびシリアルスキャン方式等、任意である。

また本発明は、インクを吐出可能なインクジェット液体吐出ヘッドを用いて画像を記録するインクジェット記録装置の他、種々の液体を吐出可能な液体吐出ヘッドを用いる液体吐出装置に対して広く適用可能である。例えば、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。また、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途としても用いることができる。

１０１ 記録装置（液体吐出装置）
１０２ 液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）
１０４ 記録媒体（媒体）
１０５ ＣＰＵ（制御部）
２０３ 吐出口
３０３ 共通流路
３０４ 分岐流路（供給路）

Claims (4)

1. 液体を吐出する複数の吐出口が設けられたオリフィスプレートと、前記オリフィスプレートが接合された基板と、前記基板の前記オリフィスプレートが接合されている側と反対側に接合されたカバープレートと、を備える液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドから吐出される液体が付与される媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対移動させる移動手段と
   を有する液体吐出装置であって、
   前記カバープレートには流入側開口と流出側開口とが設けられており、液体は、前記流入側開口から前記基板に設けられた液体供給路へと流入し、前記基板とオリフィスプレートとの間の圧力室を通り、前記基板に設けられた液体回収路に回収され、さらに前記流出側開口から前記カバープレートの外部に流出するように流れ、
   前記流入側開口と前記流出側開口との間の、前記液体供給路および前記液体回収路を含む液体流路には、前記複数の吐出口に連通し、前記流入側開口に対応する領域と、前記流出側開口に対応する領域とを含む複数の領域があり、
   吐出データに基づいて前記液体吐出ヘッドから液体が吐出されるときに、前記複数の領域毎の液体の圧力損失のうちの少なくとも１つが所定量を越えることに基づいて、前記液体吐出ヘッドが液体を吐出する吐出周波数と前記移動手段の移動速度とを制御することで、前記液体吐出ヘッドからの単位時間当たりの液体の吐出量を制御する制御手段を有することを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記圧力室は、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子を内部に備え、
   前記液体吐出装置は、前記液体供給路、前記圧力室および前記液体回収路を介して液体を循環させる循環手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 請求項１又は２に記載の液体吐出装置を含むインクジェット記録装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、前記液体供給路を通して供給される液体のインクを前記複数の吐出口から吐出可能なインクジェット液体吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
4. 液体を吐出する複数の吐出口が設けられたオリフィスプレートと、前記オリフィスプレートが接合された基板と、前記基板の前記オリフィスプレートが接合されている側と反対側に接合されたカバープレートと、を備える液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドから吐出される液体が付与される媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対移動させる移動手段と
   を有する液体吐出装置の、前記複数の吐出口から液体を吐出させる液体吐出方法であって、
   前記カバープレートには流入側開口と流出側開口とが設けられており、液体は、前記流入側開口から前記基板に設けられた液体供給路へと流入し、前記基板とオリフィスプレートとの間の圧力室を通り、前記基板に設けられた液体回収路に回収され、さらに前記流出側開口から前記カバープレートの外部に流出するように流れ、
   前記流入側開口と前記流出側開口との間の、前記液体供給路および前記液体回収路を含む液体流路には、前記複数の吐出口に連通し、前記流入側開口に対応する領域と、前記流出側開口に対応する領域とを含む複数の領域があり、
   吐出データに基づいて前記液体吐出ヘッドから液体が吐出されるときに、前記複数の領域毎の液体の圧力損失のうちの少なくとも１つが所定量を越えることに基づいて、前記液体吐出ヘッドが液体を吐出する吐出周波数と前記移動手段の移動速度とを制御することで、前記液体吐出ヘッドからの単位時間当たりの液体の吐出量を制御する工程を含むことを特徴とする液体吐出方法。

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