JP6860416B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
図1に示す加工装置1は、被加工物に乾式の研磨加工(ドライポリッシュ)を施す加工装置の一例であり、Y軸方向に延在する装置ベース1aと、装置ベース1aのY軸方向後部側に立設されたコラム1bとを有している。装置ベース1aの上面には、被加工物を保持する保持テーブル2が配設されている。保持テーブル2の上面は、被加工物を吸引保持する保持面2aとなっている。保持テーブル2の下方には、保持テーブル2を水平方向(Y軸方向)に加工送りする図示しない加工送り手段が配設されている。
また、加工装置1では、切換手段14によって第1の照明12を選択して加工面37aを照らしながら撮像手段10で加工面37aを撮像することができるため、明視野による撮像画を撮像することができ、加工面37aに異物がどの程度付着しているかどうかを検出することができる。このように、本発明によれば、セグメント研磨パッド37の加工面37aの面状態を測定して、過度なドレッシングの実施を防止でき、研磨パッド35の消耗を小さくすることができるため、研磨パッド35の寿命が長くなり、研磨パッド35の交換頻度を少なくすることが可能となる。
図8に示す加工装置5は、被加工物に研削加工を施す加工装置の一例であり、Y軸方向に延在する装置ベース5aと、装置ベース5aのY軸方向後部側に立設されたコラム5bとを有している。装置ベース5aの上面には、被加工物を保持する保持テーブル6が配設されている。保持テーブル6の上面は、被加工物を吸引保持する保持面6aとなっている。保持テーブル6の下方には、保持テーブル6を水平方向(Y軸方向)に加工送りする図示しない加工送り手段が配設されている。
また、第2例の加工装置5においても、切換手段14によって第2の照明13を選択して加工面76aを照らしながら撮像手段10Aで加工面76aを撮像することができるため、第1例と同様の暗視野による撮像画を撮像することができ、記憶部150に記憶された画像と、暗視野によって撮像された撮像画とを比較して、セグメント砥石76に欠けが発生しているかどうかを確認できる。したがって、研削ホイール75の適切な交換時期を判断でき、被加工物の加工不良を防止することができる。
3:加工手段 30:スピンドル 31:スピンドルハウジング 32:モータ
33:ホルダ 34:マウンタ 35:研磨パッド 36:基台
37:セグメント研磨パッド 37a:加工面 38:ボルト 39:欠け
4:移動手段 40:ボールネジ 41:モータ 42:ガイドレール 43:昇降板
5:加工装置 5a:装置ベース 5b:コラム 6:保持テーブル
7:加工手段 70:スピンドル 71:スピンドルハウジング 72:モータ
73:ホルダ 74:マウンタ 75:研削ホイール 76:セグメント砥石
76a:加工面 77:付着物
8:移動手段 80:ボールネジ 81:モータ 82:ガイドレール 83:昇降板
10,10A:撮像手段 11:ラインセンサ 12:第1の照明 13:第2の照明
14:切換手段 15,15A:判断手段 150:記憶部 151:第1の判断部
152:第2の判断部
20,20A:進退手段 21:軸部材 22:アーム 23:モータ
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した被加工物を研削または研磨する加工具を装着して回転する回転手段を有する加工手段と、該加工手段を該保持テーブルに対して接近および離間する方向に移動させる移動手段と、を備えた加工装置であって、
該加工具の加工面に対して垂直方向から該加工面を撮像する撮像手段と、
該撮像手段が該加工面を撮像可能な撮像位置に進入または該撮像手段を該撮像位置から離れた退避位置に退避させる進退手段と、を備え、
該加工具は、複数のセグメント砥石が環状に配設された研削ホイールまたは複数のセグメント研磨パッドが環状に配設された研磨パッドを備え、
該撮像手段は、環状に配設された該セグメント砥石または環状に配設された該セグメント研磨パッドの該加工面の半径において径方向に延在し該加工面に対して垂直方向から撮像するラインセンサと、
該ラインセンサと平行に延在して該ラインセンサの近傍に配設され該加工面に対して該ラインセンサの近傍の位置から光を照射する第1の照明と、
該加工面の外周接線方向で該ラインセンサの位置から遠ざけて配設され該加工面に対して斜めから光を照射する第2の照明と、
該第1の照明と該第2の照明とを切り換える切換手段と、
該第1の照明と該第2の照明とを切り換えて該撮像手段によって該加工面を撮像した撮像画を用いて、該加工面が加工続行可能か否かを判断する判断手段と、を備える加工装置。 - 前記加工具を回転させながら前記切換手段により切り換えた前記第1の照明で前記加工面を照らしながら前記撮像手段で該加工面を撮像し、
前記判断手段は、被加工物を加工した後の該加工具の加工面を撮像した撮像画を用いて、前記セグメント砥石または前記セグメント研磨パッド毎に明るく光る部分の数が予め設定した数以上または該セグメント砥石または該セグメント研磨パッド毎に明るく光る部分の面積を合計した面積が予め設定した面積以上であったら該加工面が異常であると判断し、
該セグメント砥石または該セグメント研磨パッド毎に明るく光る部分の数が予め設定した数より少ないか、または明るく光る部分の面積を合計した面積が予め設定した面積より小さかったら該加工面が正常であると判断する第2の判断部を備える請求項1記載の加工装置。 - 前記加工具を回転させながら前記切換手段により切り換えた前記第2の照明で前記加工面を照らしながら前記撮像手段で該加工面を撮像し、
前記判断手段は、欠けが発生していない前記セグメント砥石または前記セグメント研磨パッドの該加工面を撮像した画像を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された該画像と被加工物を該加工具で加工した後の該加工面を撮像した撮像画とを比較して、形状が一致したら加工を続行し、形状が一致しなかったら前記研削ホイールまたは前記研磨パッドの交換を要求する第1の判断部とを備える請求項1記載の加工装置。
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