JP2020136498A - ウェハ加工異常検出装置と方法及び平面加工システム - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
2 ・・・インデックステーブル
3 ・・・チャック
4 ・・・ウェハアライメントユニット
5 ・・・第1の搬送アーム
6 ・・・第2の搬送アーム
7 ・・・ロードポート
8 ・・・粗研削砥石送り機構
9 ・・・精研削砥石送り機構
10 ・・・研磨ヘッド送り機構
11 ・・・ウェハ加工異常検出装置
12 ・・・1次洗浄ユニット
13 ・・・2次洗浄ユニット
14 ・・・第3の搬送アーム
15 ・・・制御装置
16 ・・・検出装置
17 ・・・カメラ(撮像手段)
20 ・・・測定器
21 ・・・支持アーム
W ・・・ウェハ
Claims (9)
- ウェハに対する平面加工の異常を検出するウェハ加工異常検出装置であって、
前記ウェハの被加工面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した被加工面の画像である比較対象画像と予め記憶された正常な被加工面の画像である基準画像とを比較して、前記比較対象画像にウェハ加工状態の異常に伴う特徴的な差異が含まれているか否かの判定を介して平面加工が正常に行われたか否かを判定する判定手段と、
を備えていることを特徴とするウェハ加工異常検出装置。 - 前記判定手段は、前記比較対象画像において、前記基準画像に表れていない切れ込みがウェハ周縁に存在する場合には、平面加工が正常に行われていないと判定することを特徴とする請求項1記載のウェハ加工異常検出装置。
- 前記判定手段は、前記比較対象画像において、前記基準画像に表れていない割れ又は欠けが被加工面に存在する場合には、平面加工が正常に行われていないと判定することを特徴とする請求項1記載のウェハ加工異常検出装置。
- 前記判定手段は、前記比較対象画像及び前記基準画像の色について同一の閾値を用いて白黒に2値化し、前記基準画像の色が前記閾値以下であり、前記比較対象画像の色が前記閾値を上回る場合には、平面加工が正常に行われていないと判定することを特徴とする請求項1記載のウェハ加工異常検出装置。
- ウェハに対する平面加工の異常を検出するウェハ加工異常検出装置であって、
前記ウェハの被加工面の表面粗さを非接触測定する粗さ測定器と、
前記粗さ測定器が測定した被加工面の表面粗さが、予め設定された表面粗さの目標範囲を超えた場合には、平面加工が正常に行われていないと判定する判定手段と、
を備えていることを特徴とするウェハ加工異常検出装置。 - 請求項1から5の何れか1項記載のウェハ加工異常検出装置と、
前記ウェハを平面加工する平面加工装置と、
前記ウェハを吸着保持するチャックを備え、前記ウェハ加工異常検出装置と前記平面加工装置との間で前記ウェハを移送するインデックステーブルと、
を備えていることを特徴とする平面加工システム。 - 前記判定手段は、前記ウェハが前記チャックに吸着保持された状態で平面加工が正常に行われたか否かを判定し、
前記平面加工装置は、異常と判定された前記ウェハを再び平面加工することを特徴とする請求項6記載の平面加工システム。 - ウェハに対する平面加工の異常を検出するウェハ加工異常検出方法であって、
前記ウェハの被加工面を撮像手段で撮像する工程と、
前記撮像手段が撮像した被加工面の画像である比較対象画像と予め記憶された正常な被加工面の画像である基準画像とを比較して、前記比較対象画像にウェハ加工状態の異常に伴う特徴的な差異が含まれているか否かの判定を介して平面加工が正常に行われたか否かを判定する工程と、
を含むことを特徴とするウェハ加工異常検出方法。 - ウェハに対する平面加工の異常を検出するウェハ加工異常検出方法であって、
前記ウェハの被加工面の表面粗さを粗さ測定器で非接触測定する工程と、
前記粗さ測定器が測定した被加工面の表面粗さが、予め設定された表面粗さの目標範囲を外れた場合には、平面加工が正常に行われていないと判定する工程と、
を含むことを特徴とするウェハ加工異常検出方法。
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