実施の形態1.
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、マスク基板101に形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得機構150、及び制御系回路160(制御部)を備えている。
光学画像取得機構150は、光源103、透過照明光学系170、照明形状切替機構171、移動可能に配置されたXYθテーブル102、対物レンズ104、反射照明光学系172、開口絞り180、結像光学系178、フォトダイオードアレイ105(センサの一例)、センサ回路106、ストライプパターンメモリ123、及びレーザ測長システム122を有している。XYθテーブル102上には、マスク基板101が載置される。マスク基板101として、例えば、ウェハにパターンを転写する露光用のフォトマスクが含まれる。また、このフォトマスクには、検査対象となる複数の図形パターンによって構成されたパターンが形成されている。マスク基板101は、例えば、パターン形成面を下側に向けてXYθテーブル102に配置される。
制御系回路160では、コンピュータとなる制御計算機110が、バス120を介して、位置回路107、比較回路108、展開回路111、参照回路112、オートローダ制御回路113、テーブル制御回路114、オートフォーカス(AF)制御回路140、検査モード切替制御回路144、低NA検査回路146、磁気ディスク装置109、磁気テープ装置115、フレシキブルディスク装置(FD)116、CRT117、パターンモニタ118、及びプリンタ119に接続されている。また、センサ回路106は、ストライプパターンメモリ123に接続され、ストライプパターンメモリ123は、比較回路108に接続されている。また、XYθテーブル102は、X軸モータ、Y軸モータ、θ軸モータにより駆動される。また、反射照明光学系172には、対物レンズ104と偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)が含まれる。偏光ビームスプリッタ174は、駆動機構176によって光路内外に移動させられる。
検査装置100では、光源103、XYθテーブル102、透過照明光学系170、対物レンズ104、フォトダイオードアレイ105、及びセンサ回路106により高倍率の検査光学系が構成されている。例えば、200〜300倍の倍率の検査光学系が構成されている。また、XYθテーブル102は、制御計算機110の制御の下にテーブル制御回路114により駆動される。X方向、Y方向、θ方向に駆動する3軸(X−Y−θ)モータの様な駆動系によって移動可能となっている。これらの、Xモータ、Yモータ、θモータは、例えばリニアモータを用いることができる。XYθテーブル102は、XYθ各軸のモータによって水平方向及び回転方向に移動可能である。そして、XYθテーブル102は、制御計算機110の制御の下にAF制御回路140により動的にマスク基板101のパターン形成面に焦点位置(光軸方向:Z軸方向)が調整される。例えば、XYθテーブル102は、ピエゾ素子142によって光軸方向(Z軸方向)に移動させられることにより、焦点位置が調整される。XYθテーブル102上に配置されたマスク基板101の移動位置は、レーザ測長システム122により測定され、位置回路107に供給される。
マスク基板101のパターン形成の基となる設計パターンデータ(描画データ)が検査装置100の外部から入力され、磁気ディスク装置109に格納される。
ここで、図1では、実施の形態1を説明する上で必要な構成部分について記載している。検査装置100にとって、通常、必要なその他の構成が含まれても構わないことは言うまでもない。
図2は、実施の形態1における検査装置での開口数と露光装置での開口数とを比較するための概念図である。図2(a)では、露光装置の光学系の一部を示している。露光装置では、図示しない照明光がマスク基板300に照明され、マスク基板300からの透過光301は、対物レンズ302に入射され、対物レンズ302を通過した光305が半導体基板304(ウェハ)へ結像する。なお、図2(a)では、1つの対物レンズ302を示しているが、複数のレンズによる組み合わせであっても構わないことは言うまでもない。ここで、現状の露光装置では、マスク基板300に形成されたパターンを、例えば、1/4に縮小して半導体基板304に露光転写する。その際の露光装置の半導体基板304に対する開口数NAi(イメージi側の開口数)は、例えば、NAi=1.2に設定される。言い換えれば、対物レンズ302を通過可能な対物レンズ302の開口数NAiは、例えば、NAi=1.2に設定される。露光装置では、マスク基板300からの透過光像を1/4に縮小しているので、対物レンズ302のマスク基板300に対する感度は1/4となる。言い換えれば、マスク基板300から対物レンズ302へ透過光が入射する場合の入射可能な対物レンズ302の開口数NAo(物体o側の開口数)は、NAiの1/4となり、NAo=0.3となる。よって、露光装置では、開口数NAo=0.3の光束のマスク基板300からの透過光像を半導体基板304に露光転写していることになる。
これに対して、実施の形態1における検査装置100では、図2(b)に示すように、図示しない照明光がマスク基板101に照明され、マスク基板101からの透過光190は、対物レンズ104に入射され、対物レンズ104を通過した光192がフォトダイオードアレイ105(センサ)へ結像する。その際、マスク基板101から対物レンズ104へ透過光190が入射する場合の入射可能な対物レンズ104の開口数NAo(物体o側の開口数)は、例えばNAo=0.9に設定される。よって、検査装置100では、開口数NAo=0.9の光束のマスク基板101からの透過光像をフォトダイオードアレイ105が受光していることになる。よって、検査装置100では、露光装置で半導体基板304に露光転写する光よりも高分解能の光を用いて、欠陥検査することになる。かかる高分解能の光を用いることにより、例えばナノメータオーダーの微細な欠陥を検出可能な高精度な検査が可能となる。なお、図2(b)では、対物レンズ104しか記載していないが、対物レンズ104とフォトダイオードアレイ105との間には図示しない複数のレンズが配置されている。
しかしながら、上述したように、検査装置100では、露光装置で半導体基板304に露光転写する光よりも高分解能の光をフォトダイオードアレイ105が受光するので、露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と同じ像を検査装置100で再現することは困難である。そこで、実施の形態1では、開口絞り180を配置してマスク基板101からの透過光の光束を絞ることで透過光の光束径を調整し、露光装置で半導体基板304に露光転写する光と同様な開口数NAo(物体o側の開口数)(同様な分解能)の光を検査装置100で生成可能とする。
その他、露光装置では、マスク基板300からの透過光を半導体基板304に転写するが、反射光は使用しない。よって、マスク基板300から半導体基板304までの光路上に偏光素子を配置していない。一方、検査装置100では、マスク基板101からの透過光を用いた検査の他に、マスク基板101からの反射光を用いた検査も行うことが可能である。よって、かかる透過光検査のための検査光(第1の検査光、或いは第1の照明光)の他に、かかる反射光検査のための検査光(第2の検査光、或いは第2の照明光)が必要となる。そのため、検査装置100では、かかる反射光検査のための検査光をマスク基板300に照明するための光路上に偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)を配置している。よって、フォトダイオードアレイ105は、かかる偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)を通過した光を受光することになる。その結果、検査装置100でフォトダイオードアレイ105が受光する光は、露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に結像する光とは偏光成分が異なることになる。かかる点でも露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と同じ像を検査装置100で再現することは困難である。そこで、実施の形態1では、偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)を光路上から排除可能な構成にする。
また、検査装置100と露光装置では、照明光の形状をパターンの解像特性が良くなる様、ダイポール、4極照明、輪帯照明、その他、計算機シミュレーションで最適化した任意の開口条件、つまりさまざまな形状にして露光する。さらに照明光の偏光の条件を直性偏光、Azimuth偏光、Radial偏光、もしくは偏光なし等の設定にして露光する。その結果、検査装置100でフォトダイオードアレイ105が受光する光は、露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に結像する光とは照明形状や偏光条件が異なることになる。かかる点でも露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と同じ像を検査装置100で再現することは困難である。そこで、実施の形態1では、照明形状と偏光条件を変更可能な構成とする。
以上の露光装置で半導体基板304に露光転写する光と同様な開口数NAo(物体o側の開口数)(同様な分解能)の光を生成する点、偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)を光路上から排除する点、及び照明形状と偏光条件を露光装置と同様な形状に変更する点を検査装置100で実施することで、検査装置100によって、露光装置で半導体基板等上にマスク基板のパターンが露光転写される場合の像と実質的に同一の像或いは近い像を再現できる。そのため、実施の形態1では、通常の欠陥検査を行う高NA検査モードと露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と実質的に同一の像或いは近い像を再現して検査する低NA検査モードとを切り替え可能に構成する。
図3は、実施の形態1における検査方法の要部工程の一部を示すフローチャート図である。
図4は、実施の形態1における検査方法の要部工程の残部を示すフローチャート図である。図3及び図4において、実施の形態1における検査方法は、高NA検査モード設定工程(S102)と、高NA走査(スキャン)工程(S104)と、オートフォーカス(AF)データ作成工程(S105)と、参照画像(1)作成工程(S106)と、比較工程(S108)と、欠陥領域特定工程(S110)と、低NA検査モード切り替え工程(S112)と、低NA走査(スキャン)工程(S120)と、AF制御工程(S122)と、参照画像(2)作成工程(S124)と、正常部の測定画像エッジペア検出工程(S130)と、正常部の参照画像エッジペア検出工程(S132)と、参照画像閾値レベル測定工程(S134)と、欠陥部の測定画像エッジペア検出工程(S136)と、欠陥部の参照画像エッジペア検出工程(S138)と、欠陥部の参照画像パターン寸法測定工程(S140)と、欠陥部の測定画像パターン寸法測定工程(S142)と、比較工程(S144)と、いう一連の工程を実施する。
また、低NA検査モード切り替え工程(S112)は、内部工程として、偏光素子退避工程(S114)と、NAしぼり工程(S116)と、照明形状変更工程(S118)と、を実施する。
高NA検査モード設定工程(S102)として、検査モード切替制御回路144は、通常の高NAの欠陥検査を行うための高NA検査モードに各構成を設定する。具体的には、以下のように動作する。検査モード切替制御回路144からの制御信号を受信して、照明形状切替機構171は、照明光(検査光)の形状を通常の検査用の照明形状に設定する。また、検査モード切替制御回路144は、マスク基板101から対物レンズ104へ透過光190が入射する場合の入射可能な対物レンズ104の開口数NAo(物体o側の開口数)が例えばNAo=0.9になるように開口絞り180のしぼり値を制御する。或いは、開口絞り180を全開にしてもよい。また、検査モード切替制御回路144は、駆動機構176を制御して、偏光ビームスプリッタ174を光路上へと配置する。偏光ビームスプリッタ174が光路外に位置する場合には光路上へ移動させる。偏光ビームスプリッタ174が光路上にあれば、その位置を維持すればよい。
高NA走査(スキャン)工程(S104)として、パターンが形成されたマスク基板101からの透過光或いは反射光を拡大する対物レンズ104へのマスク基板101からの入射可能な開口数(NA)が高NAの状態の透過光或いは反射光をフォトダイオードアレイ105(センサ)が受光可能な状態で、マスク基板101上を走査することによって、フォトダイオードアレイ105を用いてマスク基板101に形成されたパターンの透過光像或いは反射光像を撮像する。実施の形態1では、後述するように、低NAスキャンを実施する。ここでは、低NAスキャンを実施する前に、光学画像取得機構150が、後述する低NA光学画像に使用される光束がマスク基板101から対物レンズ104へ入射する場合の開口数(NA)よりも高開口数の状態の光束を用いてマスク基板101の光学画像(高NA光学画像:第2の光学画像)を取得する。具体的には以下のように動作する。
図5は、実施の形態1における高NA検査モード時における光学系の構成の一例を示す図である。図5において、光源103から検査光となる紫外域以下の波長のレーザ光(例えば、DUV光)が発生する。発生された光は、偏光板60を通って偏光され、透過光検査を行う場合には、透過検査照明用の光(p波とs波の一方)を通過させる。そして、偏光ビームスプリッタ61によって、透過検査照明用の光(p波とs波の一方)が反射される。一方、反射光検査を行う場合には、反射検査照明用の光(p波とs波の他方)を通過させる。そして、偏光ビームスプリッタ61を反射検査照明用の光(p波とs波の他方)が通過する。例えば、偏光板60を回転させることで、通過させる光を制限できる。これにより、透過光検査と反射光検査を選択できる。
透過光検査を行う場合、透過検査照明用の光(第1の検査光)は、透過照明光学系170によってマスク基板101に照明される。以下、図5の例を元に、具体例を説明する。透過照明光学系170内では、偏光ビームスプリッタ61によって分岐された透過検査照明用の光がミラー63で反射され、レンズ64,65,66を通り、ミラー67で反射される。そして、ミラー67で反射された光は、コンデンサレンズ68によってマスク基板101のパターン形成面とは反対の裏面側からマスク基板101のパターン形成面に結像される。マスク基板101を透過した透過光は対物レンズ104、及び偏光ビームスプリッタ174を介して、結像光学系178に入射する。そして、結像光学系178によって、フォトダイオードアレイ105(センサの一例)に結像され、フォトダイオードアレイ105に光学像として入射する。偏光ビームスプリッタ174を通過した光は、結像光学系178内では、レンズ69,70を通り、開口絞り180を通って、レンズ72によってフォトダイオードアレイ105に結像される。フォトダイオードアレイ105として、例えば、TDI(タイム・ディレイ・インテグレーション)センサ等を用いると好適である。フォトダイオードアレイ105(センサ)は、マスク基板101が載置されたXYθテーブル102が移動している状態で、マスク基板101に形成されたパターンの光学画像を撮像する。
一方、反射光検査を行う場合、反射検査照明用の光(第2の検査光)は、反射照明光学系172によってマスク基板101に照明される。反射照明光学系172は、対物レンズ104と偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)を有し、対物レンズ104と偏光ビームスプリッタ174を用いてマスク基板101に反射検査照明用の光を照明し、マスク基板101からの反射光を通過させる。以下、図5の例を元に、具体例を説明する。反射照明光学系172内では、偏光ビームスプリッタ61を通過した反射検査照明用の光がレンズ80,81,82,83を通り、偏光ビームスプリッタ174で反射される。偏光ビームスプリッタ174によって反射された光は、対物レンズ104に入射し、対物レンズ104によってマスク基板101のパターン形成面側からマスク基板101のパターン形成面に結像される。マスク基板101から反射された反射光は対物レンズ104及び偏光ビームスプリッタ174を通過して、結像光学系178に入射する。そして、結像光学系178によって、フォトダイオードアレイ105(センサの一例)に結像され、フォトダイオードアレイ105に光学像として入射する。フォトダイオードアレイ105(センサ)は、マスク基板101が載置されたXYθテーブル102が移動している状態で、マスク基板101に形成されたパターンの光学画像を撮像する。
その際、レンズ69,70間に配置されたミラー73によって、反射光の一部が分岐され、分岐された光はAF光学系173によってAF用センサ76に結像される。なお、AF用センサ76の受光面はビームスプリッタ73に対して、フォトダイオードアレイ105の受光面と共焦点の関係になるように配置されている。AF用センサ76からの出力信号は、AF制御回路140に送信される。AF制御回路140は、開口数が高開口数の状態での反射光をフォトダイオードアレイ105が受光する際、反射光を用いてマスク基板101上の各位置の焦点位置を測定する。そして、AF制御回路140は、かかる信号に基づいて、ピエゾ素子142を制御してXYθテーブル102を光軸方向(Z軸方向)にリアルタイムで移動させることにより、動的にマスク基板101のパターン形成面に対物レンズ104の焦点位置(光軸方向:Z軸方向)を調整する。なお、透過光検査を行う場合においても反射照明の一部を反射照明光学系172によってマスク基板101にAF用として照明する。そして、ミラー73によって、かかる反射照明の一部に対応する反射光が反射されAF用センサ76に結像される。これにより、透過のみの検査においても、動的にマスク基板101のパターン形成面に対物レンズ104の焦点位置(光軸方向:Z軸方向)を調整できる。
検査装置100では、かかる透過光のスキャンと反射光のスキャンとの一方或いは両方を行うことができる。なお、マスク基板101から反射された反射光には、マスク基板101からの透過光では得られにくいパターンの高さ情報が含まれる。よって、AF制御回路140は、マスク基板101からの透過光ではなく、マスク基板101からの反射光を使ってAF制御を実施する。透過光のスキャンと反射光のスキャンとの両方を行う場合、どちらを先に行っても構わない。或いは、フォトダイオードアレイ105をもう1つ配置し、透過光のスキャンと反射光のスキャンとでマスク基板101を照明する位置をずらして、透過光を一方のフォトダイオードアレイ105で受光し、反射光をミラー73で反射した後に他方のフォトダイオードアレイ105で受光することにより、透過光のスキャンと反射光のスキャンとの両方を同時に行ってもよい。
図6は、実施の形態1における検査領域を説明するための概念図である。マスク基板101の検査領域10(検査領域全体)は、図6に示すように、例えばy方向に向かって、スキャン幅Wの短冊状の複数の検査ストライプ20に仮想的に分割される。そして、検査装置100では、検査ストライプ20毎に画像(ストライプ領域画像)を取得していく。検査ストライプ20の各々に対して、レーザ光(DUV光)を用いて、当該ストライプ領域の長手方向(x方向)に向かって当該ストライプ領域内に配置される図形パターンの画像を撮像する。XYθテーブル102の移動によって、マスク基板101が移動させられ、その結果、フォトダイオードアレイ105が相対的にx方向に連続移動しながら光学画像が取得される。フォトダイオードアレイ105では、図6に示されるようなスキャン幅Wの光学画像を連続的に撮像する。言い換えれば、センサの一例となるフォトダイオードアレイ105は、XYθテーブル102と相対移動しながら、検査光を用いてマスク基板101に形成されたパターンの光学画像(測定画像)を撮像する。実施の形態1では、1つの検査ストライプ20における光学画像を撮像した後、y方向に次の検査ストライプ20の位置まで移動して今度は逆方向に移動しながら同様にスキャン幅Wの光学画像を連続的に撮像する。すなわち、往路と復路で逆方向に向かうフォワード(FWD)−バックフォワード(BWD)の方向で撮像を繰り返す。
ここで、撮像の方向は、フォワード(FWD)−バックフォワード(BWD)の繰り返しに限るものではない。一方の方向から撮像してもよい。例えば、FWD−FWDの繰り返しでもよい。或いは、BWD−BWDの繰り返しでもよい。
フォトダイオードアレイ105上に結像されたパターンの像は、フォトダイオードアレイ105の各受光素子によって光電変換され、更にセンサ回路106によってA/D(アナログ・デジタル)変換される。そして、ストライプパターンメモリ123に、測定対象の検査ストライプ20の画素データが格納される。かかる画素データ(ストライプ領域画像)を撮像する際、フォトダイオードアレイ105のダイナミックレンジは、例えば、照明光の光量が60%入射する場合を最大階調とするダイナミックレンジを用いる。また、検査ストライプ20の光学画像を取得する際、レーザ測長システム122は、XYθテーブル102の位置を測長する。測長された位置情報は、位置回路107に出力される。位置回路107(演算部)は、測長された位置情報を用いて、マスク基板101の位置を演算する。
その後、ストライプ領域画像は、位置回路107から出力されたXYθテーブル102上におけるフォトマスク101の位置を示すデータと共に比較回路108に送られる。測定データ(画素データ)は例えば8ビットの符号なしデータであり、各画素の明るさの階調(光量)を表現している。比較回路108内に出力されたストライプ領域画像は、図示しない記憶装置に格納される。
比較回路108内では、検査ストライプ20のストライプ領域画像(光学画像)の中から対象フレーム領域30のフレーム画像を切り出すように、x方向に所定のサイズ(例えば、スキャン幅Wと同じ幅)でストライプ領域画像が分割される。例えば、512×512画素のフレーム画像に分割する。言い換えれば、検査ストライプ20毎のストライプ領域画像をそれぞれ検査ストライプ20の幅と同様の幅、例えば、スキャン幅Wで複数のフレーム画像(光学画像)に分割する。かかる処理により、複数のフレーム領域30に応じた複数のフレーム画像(光学画像)が取得される。複数のフレーム画像は、以上により、検査のために比較される一方の画像(測定画像:光学画像)データが生成される。
オートフォーカス(AF)データ作成工程(S105)として、AF制御回路140は、上述した反射光或いは透過光によるスキャンの際、同時に、AF制御に使用したマスク基板101面の高さ位置に依存した焦点位置情報を磁気ディスク装置109に記憶する。よって、磁気ディスク装置109(記憶装置)は、偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)が光路上に移動させられた状態で反射照明光学系172を介した光が照明されたマスク基板101からの反射光を用いて測定された、マスク基板101上の各位置の焦点位置の情報を記憶する。
なお、上述した高NAスキャン工程(S104)において透過光のスキャンしか行わない場合には、反射光を用いて予めマスク基板101面の高さ位置に依存した焦点位置情報を取得しておけばよい。上述した高NAスキャン工程(S104)において透過光のスキャンを行う場合、その際得られた焦点位置情報を用いてAF制御を行えばよい。
参照画像(1)作成工程(S106)として、参照画像作成部は、高NA光学画像(第2の光学画像)に対応する参照画像(第2の参照画像)を作成する。まず、展開回路111(参照画像作成部の一部)は、マスク基板101のパターン形成の基となる設計パターンデータに基づいて画像展開して設計画像を作成する。具体的には、磁気ディスク装置109から制御計算機110を通して設計データを読み出し、読み出された設計データに定義された対象フレーム30の領域の各図形パターンを2値ないしは多値のイメージデータに変換(画像展開)して設計画像を作成する。
ここで、設計パターンデータに定義される図形は、例えば長方形や三角形を基本図形としたもので、例えば、図形の基準位置における座標(x、y)、及び辺の長さ、長方形や三角形等の図形種を区別する識別子となる図形コードといった情報で各パターン図形の形、大きさ、位置等を定義した図形データ(ベクトルデータ)が格納されている。
かかる図形データとなる設計パターンの情報が展開回路111に入力されると図形ごとのデータにまで展開し、その図形データの図形形状を示す図形コード、図形寸法などを解釈する。そして、所定の量子化寸法のグリッドを単位とするマス目内に配置されるパターンとして2値ないしは多値の設計画像データを展開し、出力する。言い換えれば、設計データを読み込み、検査領域を所定の寸法を単位とするマス目として仮想分割してできたマス目毎に設計パターンにおける図形が占める占有率を演算し、nビットの占有率データを出力する。例えば、1つのマス目を1画素として設定すると好適である。そして、1画素に1/28(=1/256)の分解能を持たせるとすると、画素内に配置されている図形の領域分だけ1/256の小領域を割り付けて画素内の占有率を演算する。そして、画素毎に8ビットの占有率データの設計画像を作成する。設計画像のデータは参照回路112に出力される。
参照回路112(参照画像作成部の他の一部)は、設計画像をフィルタ処理して参照画像(高NA用)を作成する。
図7は、実施の形態1におけるフィルタ処理を説明するための図である。センサ回路106から得られた光学画像としての測定データは、対物レンズ104の解像特性やフォトダイオードアレイ105のアパーチャ効果等によってフィルタが作用した状態、言い換えれば連続変化するアナログ状態にあるため、画像強度(濃淡値)がデジタル値の設計側のイメージデータである基準設計画像データにもフィルタ処理を施すことにより、測定データに合わせることができる。このようにしてフレーム画像(光学画像)と比較する参照画像を作成する。作成された参照画像(高NA用)は比較回路108に出力され、比較回路108内に出力された参照画像は、図示しない記憶装置に格納される。以上により、検査のために比較される他方の画像(参照画像)データが生成される。
比較工程(S108)として、比較回路108は、撮像されたマスク基板101のパターンの透過光像或いは反射光像の光学画像を用いて、パターンの欠陥を検査する。比較回路101(比較部)は、画素毎にフレーム画像(光学画像:第2の光学画像)と参照画像(高NA用:第2の参照画像)とを比較する。具体的には、まず、比較対象となるフレーム画像(光学画像)と、比較対象となる参照画像とについて、所定のアルゴリズムで位置合わせを行う。例えば、最小2乗法を用いて位置合わせを行う。そして、比較回路108は、所定の判定条件に従って画素毎に両者を比較し、例えば形状欠陥といった欠陥の有無を判定する。判定条件としては、例えば、所定のアルゴリズムに従って画素毎に両者を比較し、欠陥の有無を判定する。例えば、両画像の画素値の差分が判定閾値(第3の閾値)より大きいかどうかを判定する。そして、フレーム画像(光学画像)内の画素と参照画像(高NA用)内の対応画素とにおける階調差が判定閾値(第3の閾値)を超える画素を欠陥画素と判定する。そして、比較結果が出力される。比較結果は、磁気ディスク装置109、磁気テープ装置115、フレキシブルディスク装置(FD)116、CRT117、パターンモニタ118、或いはプリンタ119より出力されればよい。
以上の高NAスキャン検査(通常検査)により、形状欠陥が生じている欠陥位置の画素を特定できる。次に、かかる欠陥に起因する寸法誤差が、実際の使用に耐えられるかどうかを確認するために、欠陥個所のパターン寸法を測定する。
図8は、実施の形態1における低NA検査回路の内部構成を示すブロック図である。図8において、低NA検査回路146内には、磁気ディスク装置等の記憶装置50,52,59、領域特定部51、位置合わせ部56、測定画像エッジペア検出部56、参照画像エッジペア検出部58、閾値レベル測定部40、測定画像パターン寸法測定部42、参照画像パターン寸法測定部44、及び比較部46が配置される。ここで「〜部」と記載したものは、処理回路を有し、その処理回路として、電気回路、コンピュータ、プロセッサ、回路基板、量子回路、或いは、半導体装置等を用いることができる。また、各「〜部」は、共通する処理回路(同じ処理回路)を用いてもよい。或いは、異なる処理回路(別々の処理回路)を用いても良い。
欠陥領域特定工程(S110)として、領域特定部51は、フレーム画像(光学画像:第2の光学画像)と参照画像(高NA用:第2の参照画像)とを比較した結果、欠陥と判定された欠陥画素を用いて、フレーム画像(光学画像:第2の光学画像)内のパターン異常個所の領域を特定する。具体的には、比較回路108から検査結果の情報(例えば、欠陥位置の座標情報)を入力し、検査結果情報に基づいて、欠陥が検出された領域(以下、欠陥領域)を特定する。欠陥領域として、例えば、欠陥位置が含まれるフレーム領域30が挙げられる。但し、これに限るものではなく、領域サイズは様々に選択可能である。特定された欠陥領域の情報は、記憶装置59に記憶される。
低NA検査モード切り替え工程(S112)として、検査モード切替制御回路144は、上述した高NA検査モードから低NAの欠陥検査を行うための低NA検査モードに各構成の設定を切り替える。これにより、露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と実質的に同様の像或いは近づけた像をフォトダイオードアレイ105で受光できる。そのために、以下の内部工程を実施する。
偏光素子退避工程(S114)として、検査モード切替制御回路144は、駆動機構176を制御して、偏光ビームスプリッタ174を光路上から光路外に移動させる。このように、駆動機構176は、偏光素子を光路外から光路上に移動させることが可能であると共に偏光素子を光路上から光路外に移動させることができる。また、偏光ビームスプリッタ174の退避によって反射照明光は使用されなくなるので、検査モード切替制御回路144は、透過検査照明用の光(p波とs波の一方)のみ通過させるように偏光板60を回転させる。
NAしぼり工程(S116)として、検査モード切替制御回路144は、開口数NAを高開口数の状態から低開口数の状態に切り替える。具体的には、マスク基板101から対物レンズ104へ透過光190が入射する場合の入射可能な対物レンズ104の開口数NAo(物体o側の開口数)が露光装置と同様の特性になるように制御する。例えばNAo=0.3になるように開口絞り180のしぼり値を制御する。実施の形態1では、高開口数の状態から低開口数の状態にするので、開口絞り180の開口部が小さくなるように絞る。このように、開口絞り180は、マスク基板101から対物レンズ104へ透過光が入射可能な開口数(NA)が高開口数の状態と低開口数の状態との間で切り替え可能になるように透過光或いは/及び反射光の光束径を調整する。図5の例では、開口絞り180は、結像光学系178内のレンズ70,72間に配置されているがこれに限るものではない。対物レンズ104へ入射する光、或いは対物レンズ104を通過してフォトダイオードアレイ105へ入射する光の光束を絞り、光束径を調整できればよい。よって、開口絞り180は、マスク基板101とフォトダイオードアレイ105との間に配置されればよい。なお、より好適では、開口絞り180は、瞳位置に配置すると良い。
照明形状変更工程(S118)として、検査モード切替制御回路144からの制御信号を受信して、照明形状切替機構171は、照明光(検査光)の形状を露光装置で使用する照明形状と同様の照明形状に変更する。照明形状切替機構171は、ガラス板にCrを蒸着するなどして予め製作した照明形状の開口絞りを複数設定できる機構と、それらをメカニカルに切り替える機構で構成される。また、照明光の偏光条件を露光装置の偏光条件になるよう、照明光の偏光条件を設定する。
低NA走査(スキャン)工程(S120)として、開口数が低開口数の状態に対応する光をフォトダイオードアレイ105が受光可能な状態で、かつ、マスク基板101とフォトダイオードアレイ105との間の光路上に偏光素子が無い状態で、所定の照明光を用いてマスク基板101の特定された欠陥領域を走査することによって、フォトダイオードアレイ105を用いてマスク基板101に形成されたパターンの透過光像を撮像する。具体的には以下のように動作する。
図9は、実施の形態1における低NA検査モードにおける光学系の構成の一例を示す図である。図9において、光源103から発生された光は、偏光板60を通って偏光され、透過検査照明用の光(p波とs波の一方)のみ通過させる。そして、偏光ビームスプリッタ61によって、透過検査照明用の光(p波とs波の一方)が反射される。透過検査照明用の光(第1の検査光)は、透過照明光学系170によってマスク基板101に照明される。その際、照明形状切替機構171は、透過照明光学系170の構成を変更して、透過検査照明用の光(第1の検査光)の照明形状を変更する。このように、透過照明光学系170は、透過検査照明用の光(第1の検査光)の照明形状を変更可能に構成される。図9の例では、偏光ビームスプリッタ61によって反射された透過検査照明用の光が、レンズ65まで到達した後、レンズ65,66間で照明形状を変更させている。照明形状が変更させられた透過検査照明用の光は、ミラー67で反射される。そして、ミラー67で反射された光は、コンデンサレンズ68によってマスク基板101のパターン形成面とは反対の裏面側からマスク基板101のパターン形成面に結像される。これにより、露光装置で使用する照明形状と同様の照明形状の光をマスク基板101に照射できる。マスク基板101を透過した透過光は対物レンズ104を介して、結像光学系178に入射する。そして、結像光学系178によって、フォトダイオードアレイ105(センサの一例)に結像され、フォトダイオードアレイ105に光学像として入射する。その際、開口絞り180によって開口数が制限されているので、低NAの光の光学像がフォトダイオードアレイ105に入射する。図9の例では、対物レンズ104を通過した光は、結像光学系178内では、レンズ69,70を通り、開口絞り180を通って、レンズ72によってフォトダイオードアレイ105に結像される。このようにフォトダイオードアレイ105は、XYθテーブル102が移動中に、透過検査照明用の光(第1の検査光)が照明されたマスク基板101からの透過光を受光する。
一方、図9に示すように、偏光板60によって、反射検査照明用の光を遮断しているので、反射照明光学系172に反射検査照明用の光が入射することはない。仮に、反射検査照明用の光が反射照明光学系172に入射する場合でも、反射照明光学系172では、偏光ビームスプリッタ174(偏光素子)が光路から退避させられているので、マスク基板101に反射検査照明用の光を照明することはない。
以上により、フォトダイオードアレイ105は、露光装置で半導体基板304にパターンを露光転写する場合に半導体基板304に形成されるパターン像と実質的に同様の像或いは近づけた像をフォトダイオードアレイ105で受光できる。
フォトダイオードアレイ105上に結像されたパターンの像は、フォトダイオードアレイ105の各受光素子によって光電変換され、更にセンサ回路106によってA/D(アナログ・デジタル)変換される。そして、ストライプパターンメモリ123に、測定対象の欠陥領域の画素データが格納される。かかる画素データ(欠陥領域画像)を撮像する際、フォトダイオードアレイ105のダイナミックレンジは、例えば、照明光の光量が60%入射する場合を最大階調とするダイナミックレンジを用いる。また、欠陥領域の光学画像を取得する際、レーザ測長システム122は、XYθテーブル102の位置を測長する。測長された位置情報は、位置回路107に出力される。位置回路107(演算部)は、測長された位置情報を用いて、マスク基板101の位置を演算する。
その後、欠陥領域画像は、位置回路107から出力されたXYθテーブル102上におけるフォトマスク101の位置を示すデータと共に低NA検査回路146に送られる。測定データ(欠陥領域画像:画素データ)は例えば8ビットの符号なしデータであり、各画素の明るさの階調(光量)を表現している。低NA検査回路146内に出力された欠陥領域画像は、記憶装置52に格納される。以上により、低NA検査のために比較される一方の画像(測定された画像)データが生成される。
ここで、低NA検査モードでは、上述したように、偏光ビームスプリッタ174を光路上から光路外に移動させているので、反射照明光学系172を介した光がマスク基板101に照明されない。そのため、マスク基板101からの反射光が得られない。よって、マスク基板101からの反射光をAF制御に用いることができない。よって、以下のように構成する。
AF制御工程(S122)として、AF制御回路140(合焦機構の一部)は、偏光ビームスプリッタ174が光路外に移動させられた状態で、XYθテーブル102が移動中にフォトダイオードアレイ105が低開口数に対応する透過光を受光する間、磁気ディスク装置109に記憶された焦点位置の情報を用いて動的にかかる透過光の焦点を合わせる。具体的には、AF制御回路140は、磁気ディスク装置109に記憶された、既に測定された焦点位置の情報に基づいて、ピエゾ素子142(合焦機構の一部)を制御してXYθテーブル102を光軸方向(Z軸方向)にリアルタイムで移動させることにより、XYθテーブル102の進行に追従させて動的にマスク基板101のパターン形成面に対物レンズ104の焦点位置(光軸方向:Z軸方向)を調整する。
参照画像(2)作成工程(S124)として、参照回路112(参照画像作成部の一例)は、欠陥領域画像(低NA光学画像)に合わせるべく、設計画像をフィルタ処理して参照画像(低NA用)を作成する。ここでは、高NAスキャン(通常検査モードでのスキャン)で得られた光学画像に合わせ込むフィルタ演算とは異なる低NAの照明形状、偏光条件、また結像光学条件を再現するフィルタ演算を用いる必要があり、部分コヒーレント結像理論に基づく光学的なフィルタ演算を用いて行う。作成された参照画像(低NA用)は、低NA検査回路146に送られる。低NA検査回路146内に出力された参照画像(2)は、記憶装置50に格納される。なお、参照画像(1)作成工程(S106)において作成された各フレーム領域30の参照画像(高NA用)のうち、欠陥領域画像(低NA光学画像)に対応する参照画像(高NA用)をフィルタ処理で平滑化することで、簡易的な参照画像(低NA用)として流用してもよい。
図10は、実施の形態1における光学画像内のパターンと参照画像内のパターンとの画像階調値プロファイルの一例を示す図である。マスク基板101上に形成されたパターンのパターン寸法(CD)は、マスク基板101のパターン形成領域を撮像した光学画像内のパターンの階調値プロファイルと、かかるパターンに対応する設計データから作成される参照画像内のパターンの階調値プロファイルとを比較することで得られる。図10において、参照画像内のパターンの階調値プロファイルにおいて、図10のEF間寸法が所望する設計幅寸法になる検出閾値Th0(第1の閾値レベル)で、光学画像内のパターンの階調値プロファイルからAB間寸法(例えばスペースパターンの幅)を測定することで、本来、マスク基板101に形成されたパターンの幅寸法CDを得ることができるはずであった。
ここで、高NAスキャン(通常検査モードでのスキャン)で得られた光学画像では、欠陥位置ではない正常部であれば、光学画像内のパターンの階調値プロファイルと、参照画像内のパターンの階調値プロファイルは実質的に一致する様、フィルタ演算の係数が設定される。よって、参照画像内のパターンのEF間寸法と光学画像内のパターンのAB間寸法は一致する。しかしながら、低NAスキャンで得られた光学画像では、光学理論に基づくフィルタ演算で参照画像を生成する為、光学画像内のパターンの階調値プロファイルの形状と、参照画像(低NA用)内のパターンの階調値プロファイルの形状とが図10に示すように一致しない場合がある。そのため、参照画像(低NA用)内のパターンのEF間寸法と光学画像内のパターンのAB間寸法は一致しない。高NAスキャン(通常検査モードでのスキャン)で得られた光学画像に合わせ込むように平滑化フィルタ処理された参照画像(高NA用)では勿論、別途、低NAスキャンで得られた光学画像に合わせ込むように作成された参照画像(低NA用)でも階調値プロファイルが一致させることが難しい。この理由は、低NAスキャンで得られた光学画像に合わせ込むように参照画像を作成しようとしても、フィルタ処理の精度がまだ十分ではない為で、その結果、階調値プロファイルを一致させることが困難となっている。具体的には、露光イメージに近づけるための照明条件やその他の条件の複雑さから、低NAスキャンで得られた光学画像にフィルタ処理で生成した参照画像には一定の差、つまり誤差が残ることになる。そのため、このままでは、低NAスキャンで得られた光学画像内のパターン寸法を正確に得ることができない。そこで、実施の形態1では、参照画像内のパターンの階調値プロファイルにおいて、所望する設計幅寸法になる検出閾値Th0(閾値レベル)を変更する。具体的には、欠陥位置ではない正常部のパターンを用いて、本来の検出閾値Th0(第1の閾値レベル)で、低NAスキャンで得られた光学画像内のパターンの階調値プロファイルから得られるAB間寸法に一致する、参照画像(低NA用)内のパターンの階調値プロファイルの検出閾値Th’(第2の閾値レベル)を測定する。そして、検出閾値Th’で参照画像内のパターンの階調値プロファイルからE’F’間寸法を測定する。一方、本来の検出閾値Th0で、低NAスキャンで得られた光学画像内のパターンの階調値プロファイルからAB間寸法を測定する。E’F’間寸法が所望する設計幅寸法に相当するはずなので、マスク基板101に形成されたパターンの幅寸法Lは、L=(E’F’間寸法)/(AB間寸法)×(設計幅寸法)で近似することができる。
正常部の測定画像エッジペア検出工程(S130)として、まず、位置合わせ部56は、比較対象となるフレーム領域30のサイズの欠陥領域画像(低NA光学画像)と、比較対象となる参照画像とについて、所定のアルゴリズムで位置合わせを行う。例えば、最小2乗法を用いて位置合わせを行う。
次に、測定画像エッジペア検出部56は、欠陥領域画像(低NA光学画像)のうち、記憶装置59に記憶された欠陥位置ではない正常部におけるパターンについて、エッジペアを検出する。
図11は、実施の形態1における欠陥領域画像とエッジペアの一例とを示す図である。図11の例において、欠陥領域画像(低NA光学画像)内には、x方向に並ぶ、y方向に延びるラインパターン12a,12b,12c,12dと、x方向に延びるラインパターン13と、が示されている。ラインパターン12a,12b間には、スペースパターン14aが構成される。ラインパターン12b,12c間には、スペースパターン14bが構成される。ラインパターン12c,12c,13間には、スペースパターン15が構成される。欠陥領域画像(低NA光学画像)は、図11に示すように欠陥個所(A部)と判定された画素36を含むフレーム領域30のサイズの画像で構成される。そのため、欠陥領域画像(低NA光学画像)内には、欠陥個所(A部)ではない正常部のパターンも存在する。測定画像エッジペア検出部56は、欠陥領域画像(低NA光学画像)内の正常部のパターンについて、パターンのエッジ部(外周辺)の位置を認識して、パターンの幅寸法(CD)を構成する両端(両外周辺)のエッジで構成されるエッジペアを検出する。図11の例では、隣り合うパターン12a,12b同士間のスペース部分(白部)のCDを構成する両端(両外周辺)のエッジa,bを検出する場合を示している。正常部のパターンにおいて検出するエッジペアは、1組でも構わないが、複数のエッジペアの組を検出すると好適である。かかる場合、例えば、画素単位で検出される。例えば、x方向ラインアンドスペースパターンのフレーム領域については、y方向に外周辺が延びるラインパターンの外周辺上の各画素についてペアが検出される。y方向ラインアンドスペースパターンのフレーム領域については、x方向に外周辺が延びるラインパターンの外周辺上の各画素についてペアが検出される。複数の矩形パターンのフレーム領域については、各矩形パターンのy方向に延びる外周辺上の各画素についてペアが検出される。複数の矩形パターンのフレーム領域については、各矩形パターンのx方向に延びる外周辺上の各画素についてペアが検出される。
図12は、実施の形態1におけるパターンのエッジ認識の手法について説明するための図である。図12の例では、図11に示す欠陥領域画像(低NA光学画像)の一部を示している。例えば、y方向に延びるラインパターン12cの線幅方向のエッジ部では、x方向の階調値プロファイルが急峻に変化するのに対して、y方向の階調値プロファイルは一定値を維持することになる。同様に、y方向に延びるラインパターン12dの延びる方向のエッジ部では、y方向の階調値プロファイルが急峻に変化するのに対して、x方向の階調値プロファイルは一定値を維持することになる。このように、階調値プロファイルの傾斜が最大となる位置に傾斜が最大となる方向のエッジ部が存在する。かかる位置をエッジ部として認識すればよい。
なお、図11の例では、隣り合うパターン12a,12b同士間のスペース部分(白部)のCDについて示しているが、これに限るものではない。パターンが存在する黒部のCDについてもエッジペアが検出されても好適である。
正常部の参照画像エッジペア検出工程(S132)として、参照画像エッジペア検出部58は、欠陥領域画像(低NA光学画像)に対応する参照画像(低NA用)を用いて、欠陥領域画像(低NA光学画像)から検出されたエッジペアに対応する参照画像内のエッジペアを検出する。
参照画像閾値レベル測定工程(S134)として、閾値レベル測定部40は、画像階調値プロファイルの検出閾値Th0(第1の閾値レベル)を用いて特定される欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン正常個所のエッジペア間のパターン寸法(例えば、AB間寸法)と参照画像(低NA用)内の対応個所のエッジペア間のパターン寸法とが同じ寸法(E’F’間寸法)になる参照画像(低NA用)に用いる検出閾値Th’(第2の閾値レベル)を測定する。複数のエッジペアの組が検出されている場合には、各組で得られる検出閾値Th’(第2の閾値レベル)の統計値(例えば、平均値、中央値、最大値、或いは最小値)を演算すると好適である。例えば、平均値或いは中央値を用いれば、検出閾値Th’(第2の閾値レベル)の測定誤差を平均化できる。なお、検出閾値Th’(第2の閾値レベル)は、方向によって最適値が異なる場合が想定されるので、寸法方向毎に求めると良い。例えば、x方向寸法用の検出閾値Th’とy方向寸法用の検出閾値Th’とを求めると好適である。
欠陥部の測定画像エッジペア検出工程(S136)として、測定画像エッジペア検出部56は、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所の領域におけるパターンのエッジペアを検出する。高NA検査(通常検査)によって、欠陥画素が特定できたとしても、パターン異常個所のパターン寸法の最大値がただちにわかるわけではない。そこで、実施の形態1では、欠陥画素にエッジが位置するパターン寸法だけではなく、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所の領域として、欠陥画素36と欠陥画素36の周囲の複数の画素とにより構成される画素群38のパターン寸法を測定する。例えば、欠陥画素36を中心画素とする3×3個の画素群38内のパターン寸法を測定する。そのため、測定画像エッジペア検出部56は、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターンの同じ方向の複数のエッジペアを検出する。具体的には、画素群38内に少なくとも一方のエッジが含まれる複数のエッジペアを検出する。図11の例では、欠陥領域画像(低NA光学画像)内の画素群38内の同じ方向の3組のエッジペアが示されている。寸法方向が異なれば、求めたい欠陥個所の寸法とは異なる方向の寸法も含まれてしまう。よって、画素群38内の同じ方向の複数のエッジペアを検出する。
欠陥部の参照画像エッジペア検出工程(S138)として、参照画像エッジペア検出部58は、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所の領域において検出されたパターンのエッジペアに対応する参照画像(低NA用)内のパターンのエッジペアを検出する。具体的には、参照画像エッジペア検出部58は、欠陥領域画像(低NA光学画像)内の画素群38内に少なくとも一方のエッジが含まれる同じ方向の複数のエッジペアに対応する複数のエッジペアを検出する。図11の例では、参照画像(低NA用)内の画素群38内の同じ方向の3組のエッジペアが示されている。
欠陥部の参照画像パターン寸法測定工程(S140)として、参照画像パターン寸法測定部44(第1のパターン寸法測定部)は、検出閾値Th’(第2の閾値レベル)を用いて、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所に対応する、参照画像(低NA用)内の対応個所のパターン寸法を測定する。具体的には、画素群38内に少なくとも一方のエッジが含まれる検出された同じ方向の複数のエッジペアについてそれぞれエッジペア間寸法(E’F’間寸法)を測定する。かかるエッジペア間寸法(E’F’間寸法)がパターンの設計寸法に対応することになる。設計寸法は、画像展開前の設計データ(描画データ)から得ることができる。このように、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所に対応する、参照画像(低NA用)内の対応個所のパターン寸法を測定する際、画素群38内の複数のエッジペアに対応する複数のエッジペア間の寸法が測定される。
欠陥部の測定画像パターン寸法測定工程(S142)として、測定画像パターン寸法測定部42(第2のパターン寸法測定部)は、本来の検出閾値Th0(第1の閾値レベル)を用いて、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所のパターン寸法を測定する。具体的には、画素群38内に少なくとも一方のエッジが含まれる検出された同じ方向の複数のエッジペアについてそれぞれエッジペア間寸法(AB間寸法)を測定する。そして、エッジペア毎に、パターン寸法L(=(E’F’間寸法)/(AB間寸法)×設計寸法)を演算することにより、パターン寸法を測定(近似)する。このように、欠陥領域画像(低NA光学画像)内のパターン異常個所のパターン寸法を測定する際、画素群38内の複数のエッジペア間の寸法が測定される。
比較工程(S144)として、比較部46は、パターン異常個所について、参照画像(低NA用)から測定されたパターン寸法と欠陥領域画像(低NA光学画像)から測定されたパターン寸法とを比較する。具体的には、比較部46は、欠陥領域画像(低NA光学画像)から測定されたパターン寸法と参照画像(低NA用)から測定されたパターン寸法とを比較する際、画素群38内の複数のエッジペア間のパターン寸法のうち、欠陥領域画像(低NA光学画像)と参照画像(低NA用)との差が最大となるエッジペア間のパターン寸法をパターン異常個所のパターン寸法と判定する。そして、比較結果(判定結果)が出力される。比較結果は、磁気ディスク装置109、磁気テープ装置115、フレキシブルディスク装置(FD)116、CRT117、パターンモニタ118、或いはプリンタ119より出力されればよい。欠陥領域画像(低NA光学画像)内で測定されたパターン寸法が、例えば、参照画像のパターン寸法に対して、数%を超えるずれを生じていた場合には、使用不可な欠陥パターンと判定できる。例えば、5〜10%を超えるずれを生じていた場合には、使用不可な欠陥パターンと判定できる。
以上のように、実施の形態1では、設計データを基に作成される参照画像と比較することによって欠陥個所のパターン寸法を評価する。例えば、ロジック回路のように、マスク基板101内に同一パターンが繰り返し形成されない場合が多い回路ではダイ−ダイ検査が困難であるので、参照画像と比較する実施の形態1の手法はかかるロジック回路を検査する場合等に特に有効である。
図13は、実施の形態1における照明形状を変更する機構の一例を示す図である。図13において、照明形状切替機構171は偏光素子90をレンズ65,66の間に移動させる。これにより、透過照明光学系170の構成を変更し、透過照明光学系170が照明形状を変更可能にできる。偏光素子90を透過検査照明用の光が、通過することで透過検査照明用の光の照明形状を、偏光方向を操作した偏光照明に変更できる。なお、偏光素子90を回折素子に置き換えることで、2極照明或いは4極照明等のN極照明、若しくは輪帯照明等に照明形状を変更しても良い。図13の例では、偏光素子90をレンズ65,66の間に配置するが、これに限るものではない。マスク基板101に光が到達する前に偏光できればよい。よって、偏光板60からコンデンサレンズ68までの光路上のいずれかに偏光素子90を配置すればよい。
図14は、実施の形態1における照明形状を変更する機構の他の一例を示す図である。図14において、照明形状切替機構171は、光源103と偏光板60の間に絞り91を配置するように移動させても良い。これにより、透過照明光学系170の構成を変更し、透過照明光学系170が照明形状を変更可能にできる。かかる絞り91を絞ることで、小シグマ照明に照明形状を変更できる。図14の例では、光源103と偏光板60の間に絞り91を配置するが、これに限るものではない。マスク基板101に光が到達する前に絞れればよい。よって、偏光板60からマスク基板101までの光路上のいずれかに絞り91を配置すればよい。
図15は、実施の形態1における照明形状を変更する機構の他の一例を示す図である。図15において、照明形状切替機構171は、光源103と偏光板60の間にレンズ92,93による縮小光学系を配置するように移動させても良い。これにより、透過照明光学系170の構成を変更し、透過照明光学系170が照明形状を変更可能にできる。かかる縮小光学系で光を縮小することで、照明倍率が異なる照明光に照明形状を変更できる。図11の例では、光源103と偏光板60の間にレンズ92,93による縮小光学系を配置するが、これに限るものではない。マスク基板101に光が到達する前に光を縮小できればよい。よって、偏光板60からコンデンサレンズ68までの光路上のいずれかにレンズ92,93による縮小光学系を配置すればよい。
照明形状切替機構171は、図13、図140及び図15に示した機構の1つ、或いはいずれか2つの組み合わせ、或いは全部の組み合わせを配置可能に構成してもよい。或いは他の機構で構成されても良い。露光装置の仕様に合わせて必要な光学素子を配置すればよい。
以上のように、実施の形態1によれば、露光装置で転写される場合のパターン像に近づけるべく撮像された光学画像(低NA光学画像)から欠陥個所の線幅測定精度を向上させることができる。よって、欠陥個所のパターン寸法を検査できる。その結果、マスクパターンを半導体基板等に転写する場合の転写性の影響具合をより正確に評価できる。
以上の説明において、「〜回路」と記載したものは、処理回路を有し、その処理回路として、電気回路、コンピュータ、プロセッサ、回路基板、量子回路、或いは、半導体装置等を用いることができる。また、各「〜回路」は、共通する処理回路(同じ処理回路)を用いてもよい。或いは、異なる処理回路(別々の処理回路)を用いても良い。また、プロセッサ等により構成される場合、プログラムは、磁気ディスク装置、磁気テープ装置、FD、或いはROM(リードオンリメモリ)等の記録媒体に記録される。
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、欠陥画素36がフレーム領域30の端部付近に位置する場合等、欠陥画素36の周辺画素を含めた画素群38の階調値が1つの画像から得られない場合には、隣接するフレーム領域30の低NAスキャンも行い、隣接する低NA光学画像を作成すればよい。
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、検査装置100を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全てのパターン検査装置、及びパターン検査方法は、本発明の範囲に包含される。