JP6838963B2 - 真空吸着部材 - Google Patents
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Description
対象物に対向する主面を有し、内部に通気路が設けられた基体と、
前記主面に立設され、前記通気路に通じた内部空間を画定する中空の筒状部を有する複数の吸着部とを備え、
前記複数の吸着部を経て真空吸引することにより前記対象物を吸着するための真空吸着部材において、
前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ前記筒状部の端面から突出する突出部を有し、
各前記突出部の端面は、真空吸着される前記対象物を支持する第1面を構成し、
前記第1面と前記筒状部の端面である第2面との間のレベルにおいて、該筒状部の内部空間側と外部空間側との間で真空吸引用のエアが流通するための流通空間が形成され、
前記複数の吸着部は、前記主面の中心の領域とその外側の少なくとも1つの環状の領域とを有する複数の領域に立設されており、
前記吸着部毎の前記対象物を支持する支持面の面積は、前記領域毎に異なることを特徴とする。
また、半径方向の複数の領域毎に支持面の面積が異なる吸着部を配置したので、対象物に対する単位面積あたりの吸着力を、半径方向において容易に調節することができる。その結果、例えば主面の中心に近い吸着部から吸着を開始することにより、大きく撓んだ対象物を、その撓みを矯正しながら吸着することができる。
前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ複数の前記突出部を有し、
前記複数の突出部を有する各吸着部は、隣り合う該突出部の間を経て前記筒状部の内部空間側と外部空間側とが通じていることを特徴とする。
前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ前記突出部として複数のピン状凸部を有し、
前記ピン状凸部を有する吸着部は、前記筒状部の端面に、該筒状部の内部空間の開口部を囲うように立設された環状凸部を有し、
前記環状凸部の端面は、前記第1面と前記第2面の間のレベルに位置することを特徴とする。
前記吸着部毎の支持面の面積は、該吸着部が属する前記領域が前記主面の中心に近いほど大きいことを特徴とする。
Claims (4)
- 対象物に対向する主面を有し、内部に通気路が設けられた基体と、
前記主面に立設され、前記通気路に通じた内部空間を画定する中空の筒状部を有する複数の吸着部とを備え、
前記複数の吸着部を経て真空吸引することにより前記対象物を吸着するための真空吸着部材において、
前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ前記筒状部の端面から突出する突出部を有し、
各前記突出部の端面は、真空吸着される前記対象物を支持する第1面を構成し、
前記第1面と前記筒状部の端面である第2面との間のレベルにおいて、該筒状部の内部空間側と外部空間側との間で真空吸引用のエアが流通するための流通空間が形成され、
前記複数の吸着部は、前記主面の中心の領域とその外側の少なくとも1つの環状の領域とを有する複数の領域に立設されており、
前記吸着部毎の前記対象物を支持する支持面の面積は、前記領域毎に異なることを特徴とする真空吸着部材。 - 前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ複数の前記突出部を有し、
前記複数の突出部を有する各吸着部は、隣り合う該突出部の間を経て前記筒状部の内部空間側と外部空間側とが通じていることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着部材。 - 前記複数の吸着部のうちの少なくとも一部の吸着部は、それぞれ前記突出部として複数のピン状凸部を有し、
前記ピン状凸部を有する吸着部は、前記筒状部の端面に、該筒状部の内部空間の開口部を囲うように立設された環状凸部を有し、
前記環状凸部の端面は、前記第1面と前記第2面の間のレベルに位置することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空吸着部材。 - 前記吸着部毎の支持面の面積は、該吸着部が属する前記領域が前記主面の中心に近いほど大きいことを特徴とする請求項1に記載の真空吸着部材。
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