JP6838954B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る光電式エンコーダ100の斜視図である。図1で例示するように、光電式エンコーダ100は、コリメート光源10、メインスケール20、インデックス格子30、および受光素子40を備える。以下の説明において、メインスケール20に形成された各格子21の配列方向をX軸とする。X軸と直交し、コリメート光源10からメインスケール20に入射するコリメート光の光軸方向をZ軸とする。X軸およびZ軸と直交し、メインスケール20の各格子21が延びる方向をY軸とする。
20 メインスケール
30 インデックス格子
31 第1領域
32 第2領域
33,34 格子
40 受光素子
41 受光領域
42 フォトダイオード
100 光電式エンコーダ
Claims (4)
- 光を出射する光源と、
前記光源からの光が入射され、前記光源からの光の光軸と交差する軸に沿って複数の格子が形成されたメインスケールと、
前記メインスケールからの回折光が入射され、前記メインスケールの格子の長さ方向に中心軸を有して、前記回折光の光軸と垂直をなす平面において当該中心軸に対称に、当該中心軸に対して第1角度で傾斜して所定間隔で形成された複数の第1格子が形成された第1領域と、当該中心軸に対して前記第1角度と対称な第2角度で傾斜して所定間隔で形成された複数の第2格子が形成された第2領域とを備えるインデックス格子と、
前記インデックス格子を透過した回折光を受光する受光素子と、を備え、
前記第1領域に形成されている格子は前記第1格子のみであり、前記第2領域に形成されている格子は第2格子のみであることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記メインスケールの複数の格子の配列方向は、前記光源から前記メインスケールに入射する光の光軸と直交し、
前記中心軸は、前記光源から前記メインスケールに入射する光の光軸を通ることを特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。 - 前記受光素子は、前記インデックス格子を透過する±1次回折光が集光する箇所に配置され、
前記受光素子のフォトダイオードは、前記インデックス格子を透過する±2次回折光が集光する箇所と0次回折光が集光する箇所との間隔よりも短いことを特徴とする請求項1または2に記載の光電式エンコーダ。 - 前記受光素子において、複数のフォトダイオードが前記メインスケールの複数の格子の配列方向と平行に配列されており、
前記インデックス格子を透過する±1次回折光が集光する箇所における干渉縞のピッチをΛとした場合に、前記複数のフォトダイオードのピッチは、Λ、Λ/4または3Λ/4であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光電式エンコーダ。
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