JP6837290B2 - エアアクチュエータ - Google Patents

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Description

本発明は、シリンダ本体のシリンダ室内に対する給排気によりシリンダ室内に配置されたピストンを移動させるエアアクチュエータに関する。
従来、化学工場、半導体分野、食品分野、医薬分野などの各種産業分野の配管ラインでは、シリンダ本体のシリンダ室内に対する給排気によりシリンダ室内に配置されたピストンを移動させ、ピストンの運動をそのまま往復運動として又は回転運動に変換して外部へ伝達するエア式リニアアクチュエータやエア式ロータリアクチュエータなどのエアアクチュエータがバルブの開閉などの駆動源として使用されている(特許文献1及び特許文献2を参照)。
エアアクチュエータでは、シリンダ本体のシリンダ室内にピストンによって仕切られて第1の気室と第2の気室が形成されており、第1の気室及び第2の気室にそれぞれ連通する第1のポート及び第2のポートがシリンダ本体に設けられている。これら第1のポート及び第2のポートを通じて第1の気室及び第2の気室に対する給排気を行うことによりシリンダ室内でピストンを往復動させる。また、一方の気室に付勢バネを設けて他方の気室のみに給排気を行う場合もある。
実公平4−39450号公報 実公平2−47326号公報
上述のようなエアアクチュエータでは、シリンダ室におけるピストンの摺動を円滑にするためにシリンダ室の周壁にグリスなどの潤滑剤が塗布されている。この潤滑剤はシリンダ室の周壁に対するピストンの摺動により周壁の内周面に沿って各気室に連通するポート近傍に掻き寄せられてきてしまうため、排気時にエアと共にポートから吸い出され、給排気のための配管の詰まりや気体供給源の故障などの原因となることがある。特に、縦型に配置されたエアアクチュエータでは、潤滑剤が周壁に沿って流れ落ちやすいため、下側に配置されたポートで、このような問題が発生しやすくなる。
よって、本発明の目的は、従来技術に存する問題を解決して、シリンダ室の周壁に塗布された潤滑剤が排気時にポートに吸い込まれることを抑制することができるエアアクチュエータを提供することにある。
上記目的に鑑み、本発明は、上端部下端部との間に上下方向に延びるシリンダ軸線に沿って延びるシリンダ室を内部に有したシリンダ本体と、前記シリンダ室内を前記シリンダ軸線に沿って摺動するピストンとを備え、前記シリンダ室内において前記ピストンの前記上端部側及び前記下端部側にそれぞれ第1の気室及び第2の気室が形成されており、該第1の気室及び該第2の気室にそれぞれ連通する第1のポート及び第2のポートが前記シリンダ本体に設けられているエアアクチュエータであって、前記シリンダ室に、前記シリンダ軸線に沿った移動範囲の前記第2の気室側の下側極端位置で前記ピストンを停止させる段部を設け、前記シリンダ軸線に沿って前記第2の気室側の下側極端位置まで前記ピストンが移動して前記段部によって停止させられたときに残存する前記第2の気室の前記段部の周壁に前記第2のポートが形成され、前記第2の気室内へ突出するリード管が前記第2のポートに接続されているエアアクチュエータを提供する。
上記エアアクチュエータでは、リード管がシリンダ室の周壁に設けられた第2のポートに接続され、第2のポートへのエアの吸込み口がシリンダ室の周壁から突出しているため、シリンダ室内の周壁の内周面に塗布されている潤滑剤が第2のポートに吸い込まれにくくなる。また、第2のポートは、ピストンが第2の気室側の極端位置まで移動したときに残存する第2の気室の部分の周壁に設けられているので、リード管が第2の気室側の極端位置まで移動したピストンと干渉しないようにリード管を第2のポートに接続することが可能となる。
滑剤はシリンダ室の周壁に沿って垂下しやすく、下端側のポートには潤滑剤が吸い込まれやすいので、リード管を第2のポートに接続することが特に有効となる。
また、前記リード管は、一方の端部が残余の部分よりも細く形成されていることが好ましい。この場合、第2のポートからシリンダ室内に延びる連通孔などに外側からリード管を圧入することによって第2のポートにリード管を接続する場合に、連通孔などへのリード管の挿入が容易となる。
上記エアアクチュエータでは、前記シリンダ軸線に沿って前記第1の気室側の極端位置まで前記ピストンが移動したときに残存する前記第1の気室の部分の周壁に前記第1のポートが形成され、前記第1の気室へ突出するリード管が前記第1のポートに接続されているようにしてもよい。
また、前記シリンダ室の前記第2の気室側に前記上端部へ向かって前記ピストンを付勢する付勢バネが配置され、前記リード管が前記付勢バネに干渉しないように配置されるようにしてもよい。
本発明のエアアクチュエータによれば、ポートへの吸込み口がポートに接続されたリード管によりシリンダ室の内壁から突出した状態となり、リード管が堰として機能するので、シリンダ室の内壁に付着している潤滑剤が排気時にポートに吸い込まれて排出されることが抑制される。したがって、ポートから排出される潤滑剤による配管の詰まりや気体供給源の故障などを低減させることができる。
本発明の一実施形態のエアアクチュエータの全体構成を示す断面図であり、ピストンが上極端位置に移動した状態となっている。 図1に示されているエアクチュエータにおいてピストンが下極端位置に移動した状態を示す断面図である。 図1に示されているエアアクチュエータのポートの近傍を示す部分拡大断面図である。 図1に示されているエアアクチュエータのリード管の拡大断面図である。 図1に示されているエアアクチュエータの変形形態を示す断面図である。 図1に示されているエアアクチュエータの他の変形形態を示す断面図である。 従来のエアアクチュエータのポートの近傍を示す部分拡大断面図である。
以下、図面を参照して、本発明によるエアアクチュエータの実施の形態を説明する。
最初に、図1及び図2を参照して、本発明の一実施形態のエアアクチュエータの全体構成を説明する。
エアアクチュエータ1は、シリンダ本体2と、ピストン3とを備える。本実施形態のエアアクチュエータ1は、バルブの上に取り付けられる空気圧式の駆動装置である。
シリンダ本体2は、二つの端部の間にシリンダ軸線に沿って延びるシリンダ室4を内部に有している。本実施形態では、シリンダ本体2は、シリンダ軸線が鉛直方向に延びるように立設された有底円筒形状のシリンダ部材5と、シリンダ部材5の上端の開口部に取り付けられるシリンダ蓋6とによって構成されている。シリンダ本体2は、鉛直方向に対して傾けて配置されたり、水平に配置されてもよい。
ピストン3は、シリンダ本体2のシリンダ室4内に配置されており、シリンダ本体2の周壁の内周面に対して摺動してシリンダ軸線に沿って往復動できるようになっている。本実施形態では、図1及び図2に示されているように、ピストン3は中心軸線に沿った断面が概略W字形状の有底円筒形状を有しており、外側に延びる円筒状部分の外周面がシリンダ本体2の周壁の内周面に接触するようになっている。また、ピストン3には、ピストン3の上部中央から上方に延びる案内軸7とピストン3の底部中央から下方に延びる出力軸8とが連結されている。案内軸7は、シリンダ蓋6の中央部に設けられた貫通孔6aを貫通して延び、シリンダ軸線に沿ったピストン3の移動を案内する。また、出力軸8は、シリンダ本体2のシリンダ部材5の底板中央部に設けられた貫通孔5aを貫通して延び、弁体などの被駆動体(図示せず)に接続され、ピストン3の移動に伴って被駆動体を駆動させることができるようになっている。なお、シリンダ部材5の底板及びシリンダ蓋6に設けられた貫通孔5a,6aには、シール部材9,10が配置されており、シリンダ室4内の気体が貫通孔を通してシリンダ室4内から外部に漏出しないようになっている。案内軸7はピストン3の位置を外部へ知らせるインジケータの役割も果たす。
ピストン3は、ピストン3を境界としてシリンダ室4を第1の気室4aと第2の気室4bとに仕切っている。シリンダ室4の周壁の内周面と接触するピストン3の外周面には、Oリングなどの環状のシール部材11が装着されており、第1の気室4aと第2の気室4bとの間で気体の漏出が起こらないようになっている。
なお、シリンダ本体2の周壁の内周面には、ピストン3の摺動を円滑にするために、潤滑剤18(図3参照)が塗布されている。
シリンダ室4におけるシリンダ軸線に沿ったピストン3の移動は、移動範囲の両極端位置でピストン3を停止させる移動規制手段によって規制されている。本実施形態では、シリンダ室4の周壁の上端部及び下端部にそれぞれ設けられた段部12,13が移動規制手段として機能し、この段部12,13にピストン3の円筒状部分が当接することによってピストン3が両極端位置で移動を停止するようになっている。しかしながら、移動規制手段は、実施形態のような段部12,13に限定されるものではなく、例えば、ピストン3の中央上部及び底部に突出部を移動規制手段として設け、突出部をシリンダ蓋6及びシリンダ部材5の底板部に当接させることによってピストン3を停止させるようにしてもよい。
シリンダ本体2の周壁には、第1の気室4a及び第2の気室4bに連通する第1のポート14及び第2のポート15が設けられている。詳細には、第1のポート14は、ピストン3がシリンダ軸線に沿って第1の気室4a側の極端位置まで移動したときに残存する第1の気室4aの部分の周壁に形成され、第2のポート15は、ピストン3がシリンダ軸線に沿って第2の気室4b側の極端位置まで移動したときに残存する第2の気室4bの部分の周壁に形成される。このような第1のポート14及び第2のポート15を通して第1の気室4a及び第2の気室4bに対する給排気を行うことにより、シリンダ軸線に沿ってピストン3を移動させることができる。
図1に示されているエアアクチュエータ1では、図3に詳細に示されているように、シリンダ室4(詳細には、第2の気室4b)内に突出するリード管16が第2のポート15に接続されている。シリンダ室4の周壁からのリード管16の突出長は、第2の気室4b側の極端位置に移動したピストン3やピストン3の移動を補助するための付勢バネ(図示せず)などに干渉しないように定められる。第2のポート15は、ピストン3が第2の気室4b側の極端位置に移動したときに残存する第2の気室4bの部分の周壁に設けられているので、第2の気室4b側の極端位置に移動したピストン3と干渉しないようにリード管16を配置することが可能となる。
図示されている実施形態では、シリンダ本体2と別体で設けられたリード管16が第2のポート15に接続されている。また、図示されている実施形態のリード管16は、図4に示されているように、相対的に大径の圧入部16aと、圧入部16aよりも小径のガイド部16bとを含み、圧入部16aとガイド部16bとの外周面がテーパ状の傾斜面16cによって接続されており、その内部に貫通孔16dが形成されている。リード管16は、作業スペースの観点から、シリンダ本体2の外部からガイド部16b側をシリンダ本体2へ向けて、第2のポート15から第2の気室4bに連通する連通孔17(図3参照)にリード管16を挿入し、連通孔17に圧入部16aを圧入することによって第2のポートに接続されている。この場合、リード管16はシリンダ本体2(詳細には、シリンダ部材5)と同系統の材料から形成し、焼きつかせてシリンダ本体2と一体化させることが好ましい。例えば、シリンダ本体2のシリンダ部材5が鋳造用アルミから形成されている場合には、リード管16はジェラルミンから形成することが好ましい。
リード管16の形状は、上述のような形状に限定されるものではない。例えば、リード管16は、均一な外径の円筒形状、外周面一端側へ向かってテーパ状に縮径する形状とすることも可能である。また、傾斜するリード管16がシリンダ本体2と別体で形成されている場合に、リード管16をシリンダ本体2の第2のポート15に接続する方法は、上述のような圧入に限定されるものではなく、例えば、螺着、接着、溶着、焼嵌めなど他の方法でリード管16を第2のポート15に接続することも可能である。
なお、図示されている実施形態では、第2のポート15のみにリード管16が接続されているが、第1のポート14にもリード管16を接続することが可能であることはもちろんである。
図7は、従来のエアアクチュエータ50の第2のポート15の近傍を断面で示す説明図である。図7中では、図1に示されているエアアクチュエータ1と共通の構成部分に同じ参照符号を付している。エアアクチュエータ1,50では、シリンダ本体2の周壁の内周面にピストン3の摺動を円滑にするために塗布されている潤滑剤18が、ピストン3の往復動により、ピストン3の両極端位置の近傍に掻き集められ、集まった潤滑剤18が周壁の内周面に沿って下側へ流れやすくなる。このため、従来のエアアクチュエータ50のように、シリンダ本体2に設けられた第1のポート14や第2のポート15から直接給排気を行うと、第1のポート14や第2のポート15付近に掻き集められた潤滑剤18が排気時にエアと共に第1のポート14や第2のポート15に吸い込まれることがあり、特に、図7に示されているように、第2のポート15付近に掻き集められた潤滑剤18が周壁沿いに流下して第2のポート15に吸い込まれやすくなる。このようにポート14,15に吸い込まれた潤滑剤18は、給排気のための配管の詰まりやエア供給源の故障の原因になることがあった。しかしながら、本発明のエアアクチュエータ1では、リード管16を第2のポート15に接続することにより、リード管16が堰として機能し、第2のポート15への吸込み口がシリンダ本体2の周壁から突出した形態となるため、周壁の内周面に付着した潤滑剤18が吸い込まれにくくなり、第2のポート15への潤滑剤18の吸込みが抑制される。
シリンダ本体2の底部には、リード管16よりも下方に、シリンダ本体2の周壁の内周面に沿って流下した潤滑剤18を貯留するための潤滑剤溜まり部19が設けられていることが好ましい。このような潤滑剤溜まり部19が設けられていることにより、潤滑剤18がシリンダ本体2の底部に溜まってリード管16の先端から吸い込まれることを抑制することができる。
次に、エアアクチュエータ1の動作について説明する。エアアクチュエータ1を作動させる際には、第1のポート14及び第2のポート15を通して第1の気室4a及び第2の気室4bに対してエアの給排気を行う。詳細には、第1のポート14を通して第1の気室4aへエアを供給すると共に第2のポート15を通して第2の気室4bからエアを排出することにより、第2の気室4b側の極端位置までピストン3を移動させ、また、第2のポート15を通して第2の気室4bへエアを供給すると共に第1のポート14を通して第1の気室4aからエアを排出することにより、第1の気室4a側の極端位置までピストン3を移動させることができる。このような第1のポート14及び第2のポート15を通した第1の気室4a及び第2の気室4bに対するエアの給排気を繰り返すことにより、シリンダ室4内でシリンダ軸線に沿って両極端位置の間でピストン3を往復動させることができる。さらに、このようなピストン3の往復動を出力軸8などを通して外部に伝達させることにより、駆動装置として動作させることができる。
シリンダ室4内でシリンダ軸線に沿ってピストン3を往復動させると、シリンダ室4の周壁の内周面に塗布された潤滑剤18が周壁の内周面に対するピストン3の摺動によって両極端位置の近傍に掻き集められ、掻き集められた潤滑剤18がシリンダ室4の周壁の内周面に沿って流下しやすくなる。図1に示されているエアアクチュエータ1では、シリンダ本体2の下部に位置する第2のポート15にシリンダ室4内に突出して延びるリード管16が接続されているので、第2のポート15を通じた排気時でも、シリンダ室4の周壁の内周面に沿って流下する潤滑剤18がリード管16の先端開口部から入り込まれにくくなり、第2のポート15への潤滑剤18の吸込みが抑制される。したがって、第2のポート15へ吸い込まれた潤滑剤18による給排気用の配管の詰まりやエア供給源の故障などの発生も抑制される。また、シリンダ室4の周壁の内周面に沿って流下した潤滑剤18は、リード管16よりも下方に形成された潤滑剤溜まり部19に貯留されるので、シリンダ本体2の底部に溜まった潤滑剤18がリード管16に吸い込まれることを抑制することができる。
図5は、図1に示されているエアアクチュエータ1の変形形態を示している。図5では、図1に示されている実施形態と共通する部分に同じ参照符号を付している。
図5に示されている変形形態のエアアクチュエータ1’は、ピストン3が図1に示されている実施形態と天地逆向きに配置されている(すなわち、中心軸線に沿った断面が概略M字形状の有天円筒形状を有している)と共に、第2の気室4bに、第1の端部であるシリンダ蓋6側(すなわち第1の気室4a側)へ向かってピストン3を付勢する付勢バネ20が配置されている点において、図1に示されている実施形態のエアアクチュエータ1と異なっている。付勢バネ20としては、例えばコイルバネを使用することができる。その他の構造は、図1に示されている実施形態と同じであり、ここでは説明を省略する。
図1に示されている実施形態では、第1のポート14又は第2のポート15を通して、第1の気室4a及び第2の気室4bの一方に選択的にエアの供給を行い且つ第1の気室4a及び第2の気室4bの他方からエアの排出を行うことにより、シリンダ室4においてピストン3を移動させている。これに対して、変形形態では、上述のような付勢バネ20を設けることにより、ピストン3の上方への移動は付勢バネ20の付勢力によって行う一方、第1のポート14を通して第1の気室4aにエアを供給することにより、第2のポート15を通して第2の気室4b内のエアを排出させながら付勢バネ20の付勢力に抗してピストン3を下方へ移動させることができるようになっている。例えば、このような構成のエアアクチュエータ1’は、第1の気室4a側へのピストン3の移動により弁が開くように配置することで、エアの供給系が故障したときに弁が開くようにする仕様を満たすことが可能となる。逆が望ましい場合などには、図6に示されている他の変形形態のエアアクチュエータ1”のように、第1の気室4aに、第2の端部であるシリンダ部材5の底板側(すなわち第2の気室4b側)へ向かってピストン3を付勢する付勢バネ20を配置し、エアが供給されなくなったときに弁が閉じるようにしてもよい。このように、第2のポート15にエアを供給する必要がない場合でも、第2のポート15を通じた排気時に潤滑剤が第2のポート15に吸い込まれる可能性があるが、本変形形態のように、シリンダ室4内に突出するリード管16が第2のポート15に接続されていれば、シリンダ室4の周壁の内周面を流下する潤滑剤18が第2の気室4bからの排気時に第2のポート15に吸い込まれることが抑制される。
以上、図示されている実施形態を参照して、本発明のエアアクチュエータ1、1’を説明したが、本発明は図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている実施形態では、第2のポート15にのみリード管16が接続されているが、第1のポート14及び第2のポート15の両方にリード管が接続されているようにしてもよい。また、図示されている実施形態では、ピストン3の往復動がそのまま出力されるリニアアクチュエータ1,1’に本発明が適用されているが、他のタイプのエアアクチュエータに本発明を適用することも可能である。例えば、ピストンの往復動を回転に変換して出力するロータリアクチュエータに本発明を適用することも可能である。
1 エアアクチュエータ
1’ エアアクチュエータ
2 シリンダ本体
3 ピストン
4 シリンダ室
4a 第1の気室
4b 第2の気室
5 シリンダ部材
6 シリンダ蓋
14 第1のポート
15 第2のポート
16 リード管
18 潤滑剤
20 付勢バネ

Claims (4)

  1. 上端部下端部との間に上下方向に延びるシリンダ軸線に沿って延びるシリンダ室を内部に有したシリンダ本体と、前記シリンダ室内を前記シリンダ軸線に沿って摺動するピストンとを備え、前記シリンダ室内において前記ピストンの前記上端部側及び前記下端部側にそれぞれ第1の気室及び第2の気室が形成されており、該第1の気室及び該第2の気室にそれぞれ連通する第1のポート及び第2のポートが前記シリンダ本体に設けられているエアアクチュエータであって、
    前記シリンダ室に、前記シリンダ軸線に沿った移動範囲の前記第2の気室側の下側極端位置で前記ピストンを停止させる段部を設け、前記シリンダ軸線に沿って前記第2の気室側の下側極端位置まで前記ピストンが移動して前記段部によって停止させられたときに残存する前記第2の気室の前記段部部分の周壁に前記第2のポートが形成され、前記第2の気室内へ突出するリード管が前記第2のポートに接続されていることを特徴とするエアアクチュエータ。
  2. 前記リード管は、一方の端部が残余の部分よりも細く形成されている、請求項1に記載のエアアクチュエータ。
  3. 前記シリンダ軸線に沿って前記第1の気室側の極端位置まで前記ピストンが移動したときに残存する前記第1の気室の部分の周壁に前記第1のポートが形成され、前記第1の気室へ突出するリード管が前記第1のポートに接続されている、請求項1又は請求項2に記載のエアアクチュエータ。
  4. 前記シリンダ室の前記第2の気室側に前記上端部へ向かって前記ピストンを付勢する付勢バネが配置され、前記リード管が前記付勢バネに干渉しないように配置される、請求項1から請求項3の何れか一項に記載のエアアクチュエータ。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP7398977B2 (ja) * 2020-02-18 2023-12-15 株式会社ディスコ 加工装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5515941Y2 (ja) * 1976-01-28 1980-04-14
JPS56138206U (ja) * 1980-03-19 1981-10-20
JPS6136705U (ja) * 1984-08-10 1986-03-07 株式会社昭和製作所 エア−シリンダ−
JPH0247326Y2 (ja) * 1985-06-19 1990-12-12
JPS63160406U (ja) * 1987-04-08 1988-10-20
JP2001182850A (ja) * 1999-12-24 2001-07-06 Ckd Corp 高温流体用切換弁
JP3553526B2 (ja) * 2001-06-27 2004-08-11 株式会社キッツエスシーティー 可変流量バルブ
JP2003322109A (ja) * 2002-05-07 2003-11-14 Nec Kyushu Ltd エアシリンダー
JP5249310B2 (ja) * 2010-12-17 2013-07-31 Ckd株式会社 流体制御弁
JP5973197B2 (ja) * 2012-03-23 2016-08-23 旭有機材株式会社 ピストン式作動流体圧アクチュエータ、および制御弁

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