JP6835061B2 - ヘキサフルオロブタジエンの精製方法 - Google Patents
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Description
ヘキサフルオロブタジエンの精製方法であって、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させる工程を含む、精製方法。
前記工程は、ヘキサフルオロブタジエン以外の不純物を前記ゼオライトに吸着させて、前記組成物から前記不純物を除去する、前記項1に記載の精製方法。
前記工程は、精製後の組成物において、ヘキサフルオロブタジエンの純度を99.99体積%以上とする、前記項1又は2に記載の精製方法。
前記ゼオライトは、5Å〜9Åの平均細孔径を有するゼオライトである、前記項1〜3のいずれかに記載の精製方法。
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物の製造方法であって、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させる工程を含み、
前記ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.99体積%以上である、製造方法。
前記工程は、ヘキサフルオロブタジエン以外の不純物を前記ゼオライトに吸着させて、前記ゼオライトに接触させる前の組成物から前記不純物を除去する、前記項5に記載の製造方法。
前記ゼオライトは、5Å〜9Åの平均細孔径を有するゼオライトである、前記項5又は6に記載の製造方法。
ヘキサフルオロブタジエンを純度99.99体積%以上で含む組成物。
エッチングガス又は有機合成用ビルディングブロックとして用いられる、前記項8に記載の組成物。
本開示のヘキサフルオロブタジエンの精製方法は、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させる工程を含む。
ヘキサフルオロブタジエンは、半導体の製造において酸化ケイ素及び関連材料の為のエッチングガス等として使用される。半導体産業で使用されるヘキサフルオロブタジエンは、極めて高純度であることが要求される。
ゼオライト(Zeolite)は、粘土鉱物の一種であり、規則的なチャンネル(管状細孔)とキャビティ(空洞)を有する剛直な陰イオン性の骨格からなるアルカリ又はアルカリ土類金属を含む含水アルミノケイ酸塩である。
(MI,MII 1/2)m(AlmSinO2(m+n))・xH2O, (n≧m)
(MI:Li+、Na+、K+等、MII:Ca2+、Mg2+、Ba2+等)
の組成で表され、陽イオンが、アルミノケイ酸塩の骨格の負電荷を補償する。
本開示では、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させる工程を有する。本開示では、前記組成物を前記ゼオライトに接触させることとは、前記組成物を、前記ゼオライトを充填したカラム等に通過させること、若しくは、前記組成物を、前記ゼオライトを充填した容器に充填することを意味する。
本開示のヘキサフルオロブタジエンを含む組成物の製造方法は、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させる工程を含み、
前記ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.99体積%以上である。
本開示の組成物は、ヘキサフルオロブタジエンを純度99.99体積%以上で含む。本開示では、前記組成物中、特に、ヘキサフルオロブタジエンを純度99.995体積%以上で含むことが好ましい。
下記の測定装置及び測定条件により、純度を測定した。
測定条件:カラム/GS-GasPro、カラム温度/40℃
純度の計算:ヘキサフルオロブタジエンの標準ガスを用いた検量線により定量。
ヘキサフルオロブタジエン(ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン)を含む組成物(ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.875体積%)を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0のゼオライトに接触させた。
SiO2/Al2O3比が6.1で、平均細孔径が5Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.997体積%であった。ヘキサフルオロブタジエンの異性体の濃度は検出限界以下であった為、0体積%であると判断した。
SiO2/Al2O3比が5.5で、平均細孔径が9Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.995体積%であった。ヘキサフルオロブタジエンの異性体の濃度は検出限界以下であった為、0体積%であると判断した。
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物(ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.875体積%)を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0から外れるゼオライトに接触させた。
SiO2/Al2O3比が9.2で、平均細孔径が4Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.151体積%であり、ヘキサフルオロブタジエンの異性体が濃度0.724体積%で検出された。
SiO2/Al2O3比が1.9で、平均細孔径が3Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.864体積%であり、ヘキサフルオロブタジエンの異性体が濃度0.011体積%で検出された。
SiO2/Al2O3比が2.6で、平均細孔径が3Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.782体積%であり、ヘキサフルオロブタジエンの異性体が濃度0.093体積%で検出された。
SiO2/Al2O3比が2.1で、平均細孔径が5Åのゼオライト10gを充填した容量100mLのステンレス製シリンダーに、ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物50gを充填し、-18℃にて20時間保持した。ガスクロマトグラフィーで分析したところ、ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.868体積%であり、ヘキサフルオロブタジエンの異性体が濃度0.007体積%で検出された。
半導体集積回路デバイスは、その高速化・高集積化に伴い、回路パターンの微細化が進んでいる。ヘキサフルオロブタジエンは最も微細なコンタクトホールをエッチングするのに必須のガスである。
Claims (7)
- ヘキサフルオロブタジエンの精製方法であって、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0であり、5Å〜9Åの平均細孔径を有するゼオライトに接触させる工程を含む、精製方法。 - 前記工程は、ヘキサフルオロブタジエン以外の不純物を前記ゼオライトに吸着させて、前記組成物から前記不純物を除去する、請求項1に記載の精製方法。
- 前記工程は、精製後の組成物において、ヘキサフルオロブタジエンの純度を99.99体積%以上とする、請求項1又は2に記載の精製方法。
- 前記工程は、精製後の組成物において、ヘキサフルオロブタジエンの純度を99.995体積%以上とする、請求項1又は2に記載の精製方法。
- ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物の製造方法であって、
ヘキサフルオロブタジエンを含む組成物を、SiO2/Al2O3比が4.0〜8.0であり、5Å〜9Åの平均細孔径を有するゼオライトに接触させる工程を含み、
前記ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.99体積%以上である、製造方法。 - 前記工程は、ヘキサフルオロブタジエン以外の不純物を前記ゼオライトに吸着させて、前記ゼオライトに接触させる前の組成物から前記不純物を除去する、請求項5に記載の製造方法。
- 前記ゼオライトに接触させた後の組成物中、ヘキサフルオロブタジエンの純度は99.995体積%以上ある、請求項5又は6に記載の製造方法。
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