JP6834854B2 - ワーク検出装置、ワーク検出方法及びコンピュータプログラム - Google Patents

Description

本発明は、ワークの位置を検出するワーク検出装置、ワーク検出方法及びコンピュータプログラムに関する。

従来から、加工装置などにおいて、移動するプローブとの接触によって加工対象のワークの位置を検出する技術が知られている。

例えば、特許文献１は、接触子と、接触子が検出点と接触すると電気的な導通を検知する検知手段とを有する検出装置において、接触子が検出点に向かう第１の方向に移動して導通を検知すると、接触子は第１の方向と逆方向の第２の方向に移動する。接触子が第２の方向に所定閾値以上移動しても導通を維持する場合、斯かる検出点に導電性の液体が付着した可能性があると判定する検出方法を開示する。

特開２０１６−１４２６３８号公報

一方、プローブとワークとの接触が検知できたとしても、前記検知の際、外乱が生じた場合は前記検知結果に外乱が影響を及ぼした可能性がある。斯かる検知結果は不正確なワークの位置検出を招く。特許文献１の検出方法はこのような問題を解決できない。

本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、外乱による影響を考慮して、より正確にワークの位置を検出できるワーク検出装置及びワーク検出方法を提供することにある。

本発明に係るワーク検出装置は、所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、外乱があったか否かを検出する外乱検出部と、取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する外乱判定部と、前記外乱判定部の判定結果に基づいて、前記ワークの座標を決定する座標決定部とを備えることを特徴とする。

本発明にあっては、取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前記外乱判定部が前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する。前記外乱判定部の判定結果に基づいて、前記座標決定部が前記ワークの座標を決定する。従って、ワークの座標を決定する際、外乱影響を考慮することができる。

本発明に係るワーク検出装置は、前記プローブを駆動する駆動モータを備え、前記外乱は、前記駆動モータに係るトルクを含むことを特徴とする。

本発明にあっては、前記外乱検出部は前記プローブの駆動モータに係るトルクを含む外乱の検出を行う。前記外乱判定部は、前の所定時間内に前記駆動モータに係るトルクを含む外乱があったか否かを判定する。従って、ワークの座標を決定する際、自機の駆動モータに係るトルクによる外乱の影響を考慮することができる。

本発明に係るワーク検出装置は、外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記取得した接触信号を無効にする無効部を備えることを特徴とする。

本発明にあっては、外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記無効部が前記取得した接触信号を無効にする。従って、外乱の影響を排除し、正確にワークの座標を決定できる。

本発明に係るワーク検出装置は、外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記プローブの移動速度を変更する変速部を備え、前記プローブの移動速度が変更した場合、前記プローブは前記所定範囲での前記検知を再度行うことを特徴とする。

本発明にあっては、外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記プローブが、移動速度を変更して前記検知を再度実行する。

本発明に係るワーク検出装置は、前記プローブの移動速度が変更した場合、前記外乱判定部は前記所定時間より長い時間内に外乱があったか否かを判定することを特徴とする。

本発明にあっては、前記プローブの移動速度が変更した場合、前記プローブの検知感度にも影響があり得る。従って、前記外乱判定部の判定に係る時間範囲を、前記プローブの移動速度変更に応じて変更する。

本発明に係るワーク検出方法は、所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、前記接触信号及び外乱の検出結果を記憶する記憶部とを備えるワーク検出装置にて、前記ワークの位置を検出するワーク検出方法において、前記記憶部から取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する外乱判定ステップと、前記外乱判定ステップでの判定結果に基づいて、前記ワークの位置検出を行うステップとを含むことを特徴とする。

本発明に係るコンピュータプログラムは、所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、外乱があったか否かを検出する外乱検出部とを備えるワーク検出装置を構成するコンピューターに、ワークの位置を検出させるコンピュータプログラムにおいて、コンピューターに、前記接触信号を取得させる取得ステップと、コンピューターに、前記取得ステップで取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定させる外乱判定ステップと、コンピューターに、前記外乱判定ステップでの判定結果に基づいて、前記ワークの座標を決定させる座標決定ステップとを実行させることを特徴とする。

本発明にあっては、取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定し、斯かる判定の結果に基づいて、前記ワークの座標を決定する。従って、ワークの座標を決定する際、外乱影響を考慮することができる。

本発明によれば、プローブとワークとの接触を検出する際、外乱による影響を考慮して、より正確にワークの位置を検出できる。

実施の形態１に係るワーク検出装置の要部構成を示す構成図である。 実施の形態１に係るワーク検出装置のデータ処理部の要部構成を示す機能ブロック図である。 実施の形態１に係るワーク検出装置におけるワーク位置検出の処理を概略的に説明する説明図である。 実施の形態１に係るワーク検出装置におけるワーク位置検出の処理を概略的に説明する説明図である。 実施の形態１に係るワーク検出装置におけるワーク位置検出の処理を説明するフローチャートである。 実施の形態２に係るワーク検出装置のデータ処理部の要部構成を示す機能ブロック図である。 実施の形態４に係るワーク検出装置の要部構成を示す構成図である。

以下、本発明の実施の形態に係るワーク検出装置及びワーク検出方法を、図面に基づいて説明する。例えば、実施の形態に係るワーク検出装置は工作機械に設けており、該工作機械のテーブル上の被加工ワークの位置を検出し、加工基準点等の測定を行う。

（実施の形態１）
図１は実施の形態１に係るワーク検出装置の要部構成を示す構成図である。図１中、符号１００は、本実施の形態に係るワーク検出装置を表す。本実施の形態に係るワーク検出装置１００は、プローブ１０及び本体２０を備える。ワーク検出装置１００は、プローブ１０が所定範囲を移動し、プローブ１０とワークＷとの接触の有無を検知する接触検出を行う。ワーク検出装置１００は接触検出の結果を用いてワークＷの座標を特定する。以下、これらの処理をワーク位置検出ともいう。

プローブ１０はハウジング１、先端に接触球２を有するスタイラス３を備える。ハウジング１はスタイラス３を保持する。スタイラス３は、例えば、前記テーブルに対して垂直である。スタイラス３は、上述したように、テーブルに対して垂直な状態から、前記テーブルの上面に沿う方向への変形及び復帰が可能である。

プローブ１０は、通信部１１、センサ１２を備える。
センサ１２は、接触検出の際、スタイラス３の振動・変形等を検知する。すなわち、センサ１２は、スタイラス３の振動・変形等を検知し、接触球２がワークＷと接触したか否かを検知する。接触球２がワークＷと接触した場合、センサ１２はその旨を示すアナログの検知信号を発する。
通信部１１は、前記アナログの検知信号をデジタル信号に変換し、有線又は無線にて、本体２０に送信する。斯かるデジタル信号においては、接触球２がワークＷと接触した場合を「１」、接触球２がワークＷと接触しない場合を「０」にて表す。以降においては、斯かるデジタル信号を接触信号という。

本体２０は、通信部２１、外乱検出部２２、駆動機構２３、データ処理部２４、出力部２５、記憶部２６を備える。
通信部２１はプローブ１０から接触信号を受信する。記憶部２６は通信部２１が受信した接触信号を記憶する。

外乱検出部２２は、接触検出の際に、外乱があったか否かを検出する。前記外乱は、例えば、摩擦トルク、重力の影響によるトルク、他軸の干渉によるトルク、近位の他装置の影響によるトルクを含む。これらの値は、プローブ１０を駆動する駆動モータの速度、プローブ１０の姿勢が決まれば計算できる。更に、本実施の形態に係る外乱検出部２２は、プローブ１０を駆動する駆動モータの影響によるトルクも外乱として検出する。
外乱検出部２２は、検出した外乱の値が所定閾値以上である場合、外乱があると判定する。斯かる判定の結果に基づいて、外乱検出部２２は外乱検出の有無を表す外乱信号を発する。記憶部２６は斯かる外乱信号を記憶する。外乱信号は、外乱がある場合を「１」、外乱がない場合を「０」にて示すデジタル信号である。

駆動機構２３（駆動モータ）は、前記テーブル上において、プローブ１０がＸ軸（例えば、左右方向）、Ｙ軸（例えば、前後方向）、Ｚ軸（例えば、上下方向）に移動する為の移動機構を含む。プローブ１０は、工具と同様、ホルダにセットし、ホルダによって移動する。従って、前記移動機構は、ホルダが移動する為の、例えば、サーボモーター、該サーボモーターを制御するサーボアンプ等を含む。
出力部２５は、所定の情報をワーク検出装置１００のユーザに出力する。出力部２５は、例えば、スピーカ、ランプ、表示部等であっても良い。

記憶部２６は、例えば、フラッシュメモリ、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）、ＨＤＤ、ＭＲＡＭ（磁気抵抗メモリ）、ＦｅＲＡＭ（強誘電体メモリ）、又は、ＯＵＭ等の不揮発性の記憶媒体である。記憶部２６は、例えば、ワーク位置検出の為の制御プログラムを記憶する。また、記憶部２６は、通信部２１が受信した接触信号、外乱検出部２２による外乱検出の結果を表す外乱信号を記憶する。

データ処理部２４は、ワーク位置検出の処理において、記憶部２６が記憶した接触信号及び外乱信号と、前記サーボアンプから取得できるサーボモーターの回転位置とに基づいてワークＷの位置（Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸座標）を特定する。
プローブ１０及び外乱検出部２２は、時系列において、連続して接触信号及び外乱信号を発する。記憶部２６は接触信号及び外乱信号をその都度記憶する。一方、ワーク位置検出の処理においては、データ処理の負担を鑑み、一定時間毎に、即ち一定周期にて接触信号及び外乱信号を記憶部２６から取得してワーク位置検出を行う。
本実施の形態に係るワーク検出装置１００はこれに限るものではない。プローブ１０が接触信号を一定周期にて発する構成であっても良い。

図２は、実施の形態１に係るワーク検出装置１００のデータ処理部２４の要部構成を示す機能ブロック図である。データ処理部２４は、ＣＰＵ２４１、取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６を有する。

ＣＰＵ２４１は、ＲＯＭ（図示略）が予め格納した制御プログラムをＲＡＭ（図示略）上にロードして実行し、上述した各種ハードウェアの制御を行う。

取得部２４２は、周期的に、記憶部２６から前記接触信号を読み取って取得する。１周期は、例えば、１２５μｓである。
外乱判定部２４３は、取得部２４２が取得した取得接触信号がワークＷとの接触があったことを表す場合、取得部２４２が当該接触信号を取得する前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する。詳しくは、取得接触信号が「１」である場合、取得部２４２が当該接触信号を取得する前の所定時間内（例えば、１周期）に外乱があったか否かを判定する。外乱判定部２４３は、記憶部２６が記憶した外乱信号に基づいて斯かる判定行う。
本実施の形態に係るワーク検出装置１００はこれに限るものでない。前記所定時間は２周期であっても良く、３周期であっても良い。

座標決定部２４４は、取得接触信号と、外乱判定部２４３の判定結果と、サーボアンプから取得したサーボモーターの回転位置とに基づいてワークＷの座標を決定する。
詳しくは、座標決定部２４４は、取得接触信号が「１」である場合であって、その前の所定時間内に外乱が無かった場合、サーボモーターの回転位置に基づいてワークＷの座標を決定する。

無効部２４５は、外乱判定部２４３の判定結果に応じて、取得接触信号を無効にする。例えば、外乱判定部２４３が接触信号の取得時前の所定時間内に外乱があったと判定した場合、無効部２４５は斯かる取得接触信号を無効にする。この際、座標決定部２４４はワークＷの座標決定を行わない。

通知部２４６は、外乱判定部２４３の判定結果に基づいて、ユーザに通知を行う。例えば、外乱判定部２４３が接触信号の取得時前の所定時間内に外乱があったと判定した場合、出力部２５を介してその旨をユーザに通知する。具体的には、アラームを鳴らし、ランプを点灯し、又はエラー発生を表示する。

図３及び図４は、実施の形態１に係るワーク検出装置１００におけるワーク位置検出の処理を概略的に説明する説明図である。図３は外乱が無かった場合を示しており、図４は外乱があった場合を示す。図３及び図４において破線は接触信号を取得する周期を示す。

プローブ１０は等速に移動しながら接触検知を行い、検知結果を表す検知信号を発する。プローブ１０は、検知信号に基づいた接触信号を本体２０に送信し、記憶部２６が時系列に記憶する。ワークＷとの接触があった場合、プローブ１０は「１」の接触信号を本体２０に送信する。ワークＷとの接触が無かった場合、プローブ１０は「０」の接触信号を本体２０に送信する。また、記憶部２６は、外乱検出の有無を表す外乱信号を時系列に記憶する。

実施の形態１に係るワーク検出装置１００では、記憶部２６から周期的に接触信号を取得し、「１」であるか否かを判定する。「１」である場合、当該接触信号を取得する前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する。即ち、外乱信号において当該接触信号を取得する前の所定時間内の値が「０」か「１」かを確認する。

外乱信号の値が「０」である場合（図３のハッチング部分参照）、当該接触信号を取得する前の所定時間内に外乱が無かったことを示す。換言すれば、ワークＷとの接触を検知した際、外乱が無かったので、斯かる検知結果は正確である。従って、接触信号の取得時のサーボモーターの回転位置に基づいてワークＷの座標を決定する。

外乱信号の値が「１」である場合（図４のハッチング部分参照）、当該接触信号を取得する前の所定時間内に外乱があったことを示す。換言すれば、ワークＷとの接触を検知した際、外乱があったので、斯かる検知結果は不正確の虞がある。従って、取得した接触信号を無効にする。

図５は、実施の形態１に係るワーク検出装置１００におけるワーク位置検出の処理を説明するフローチャートである。

先ず、ＣＰＵ２４１は外乱検出部２２に外乱検出を指示し、外乱検出部２２は外乱検出を開始する（ステップＳ１０１）。次いで、ＣＰＵ２４１は接触検出を開始する（ステップＳ１０２）。即ち、ＣＰＵ２４１がプローブ１０に接触検出の開始を指示し、プローブ１０は前記テーブル上をＸ軸、Ｙ軸、又はＺ軸方向に移動しながら、ワークＷとの接触の有無を検知する。

ＣＰＵ２４１は計時部（図示略）に計時を指示し、計時部の計時結果に基づいて１周期（１２５μｓ）が経過したか否かを判定する（ステップＳ１０３）。
ＣＰＵ２４１は、１周期が経過していないと判定した場合（ステップＳ１０３：ＮＯ）、１周期が経過したと判定するまで斯かる判定を繰り返す。
１周期が経過したとＣＰＵ２４１で判定した場合（ステップＳ１０３：ＹＥＳ）、取得部２４２は記憶部２６から接触信号を読み取って取得する（ステップＳ１０４）。

ＣＰＵ２４１は、ワークＷとの接触があったか否か、即ち取得接触信号の値が「１」であるか否かを判定する（ステップＳ１０５）。
ＣＰＵ２４１は、取得接触信号の値が「１」ではないと判定した場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、処理をステップＳ１０３に戻す。
ＣＰＵ２４１は、取得接触信号の値が「１」であると判定した場合（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、接触検出を一時的に中止する（ステップＳ１０６）。よって、プローブ１０は停止する。

次いで、外乱判定部２４３は取得接触信号を取得する前の１周期内に外乱があったか否かを判定する（ステップＳ１０７）。
外乱判定部２４３が取得接触信号を取得する前の１周期内に外乱が無かったと判定した場合（ステップＳ１０７：ＮＯ）、座標決定部２４４は、サーボモーターの回転位置に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸、又はＺ軸におけるワークＷの座標を決定する（ステップＳ１０８）。

外乱判定部２４３が取得接触信号を取得する前の１周期内に外乱があったと判定した場合（ステップＳ１０７：ＹＥＳ）、無効部２４５は取得接触信号、即ちステップＳ１０４で取得した接触信号を無効にする（ステップＳ１０９）。
また、通知部２４６は、出力部２５を介して外乱があった旨をユーザに通知する（ステップＳ１１０）。

本実施の形態に係るワーク検出装置１００は以上の記載に限るものでない。ステップＳ１０９で無効部２４５が斯かる取得接触信号を無効にした場合、処理がステップＳ１０２に戻っても良い。即ち、無効部２４５が取得した接触信号を無効にした場合、接触検知を再度行っても良い。

以上のように本実施の形態に係るワーク検出装置１００においては、プローブ１０がワークＷと接触したことを検知した場合でも、その前所定時間内に外乱があった場合は、斯かる検知結果は不正確なものとして無効にする。従って、不正確の蓋然性のあるワーク位置検出を事前に防止し、ワーク位置検出の精度を高めることができる。

（実施の形態２）
図６は、実施の形態２に係るワーク検出装置１００のデータ処理部２４の要部構成を示す機能ブロック図である。実施の形態１と同様、データ処理部２４は、ＣＰＵ２４１、取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６を有する。更に、データ処理部２４は変速部２４７を有する。ＣＰＵ２４１、取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６については実施の形態１と同様であるので説明を省略する。

変速部２４７は、外乱判定部２４３が接触信号の取得時前の所定時間内に外乱があったと判定した場合、接触検出におけるプローブ１０の移動速度を変更する。すなわち、変速部２４７がプローブ１０の移動速度を変更し、プローブ１０を駆動する駆動モータによるトルクの変更を図る。駆動モータのトルクが低減した場合、外乱検出部２２による外乱有無の判定結果が変わることもあるからである。プローブ１０の移動速度の変更は、変速部２４７が駆動機構２３のサーボアンプを制御することによりできる。

前記所定範囲でワークＷとの接触を検知（接触検出）した後、変速部２４７がプローブ１０の移動速度を変更した場合、プローブ１０は前記所定範囲で接触検出を再実行する。即ち、図５の例では、ステップＳ１０９の後、変速部２４７がプローブ１０の移動速度を変更し、処理はステップＳ１０２に戻る。

以上のように本実施の形態に係るワーク検出装置１００においては、プローブ１０がワークＷと接触したことを検知した場合でも、その前所定時間内に外乱があった場合は、プローブ１０の移動速度を変えて斯かる接触検出を再度行う。従って、不正確の蓋然性のあるワーク位置検出を事前に防止し、ワーク位置検出の精度を高めることができる。

実施の形態１と同様の部分については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

（実施の形態３）
実施の形態３に係るワーク検出装置１００のデータ処理部２４は、実施の形態２と同様に、データ処理部２４が、ＣＰＵ２４１、取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６、変速部２４７を有する。ＣＰＵ２４１、取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６、変速部２４７については実施の形態１，２と同様であるので説明を省略する。

実施の形態３に係るワーク検出装置１００においては、接触検出におけるプローブ１０の移動速度が変更した場合、外乱判定部２４３が、前記所定時間より前から、外乱があったか否かの判定を行う。
例えば、外乱判定部２４３が接触信号の取得時前の所定時間内（例えば、１周期内）に外乱があったと判定した場合、変速部２４７はプローブ１０の移動速度を変更する。以降、接触検出を再度行う場合、外乱判定部２４３は、前記所定時間、即ち１周期よりも前から、外乱があったか否かの判定を行う。

具体的に、プローブ１０の移動速度が速くなった場合（例えば、５００ｍｍ／ｓｅｃ）、プローブ１０のスタイラス３の振動・変形が大きくなる。従って、外乱判定部２４３は、例えば、接触信号を取得する前の３周期内に外乱があったか否かを判定する。この場合、３周期の間、外乱信号の値が全て「１」である場合のみ、外乱判定部２４３は外乱があったと判定する。

また、プローブ１０の移動速度が遅くなった場合（例えば、５０ｍｍ／ｓｅｃ）、プローブ１０のスタイラス３の振動・変形が小さくなる。従って、外乱判定部２４３は、プローブ１０の移動速度変化前と同様、接触信号の取得時前の１周期内に外乱があったか否かを判定する構成であっても良い。

以上のように本実施の形態に係るワーク検出装置１００においては、プローブ１０がワークＷと接触したことを検知しても、その前所定時間内に外乱があった場合は、プローブ１０の移動速度を変えて斯かる接触検出を再度行う。この場合は、外乱判定部２４３は、前記所定時間よりも前から、外乱があったか否かの判定を行う。従って、不正確の蓋然性のあるワーク位置検出を事前に防止し、ワーク位置検出の精度を高めることができる。

実施の形態１と同様の部分については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

なお、上述した取得部２４２、外乱判定部２４３、座標決定部２４４、無効部２４５、通知部２４６、変速部２４７は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、ＣＰＵ２４１が所定のプログラムを実行することにより、ソフトウェア的に構築されてもよい。

（実施の形態４）
図７は実施の形態４に係るワーク検出装置の要部構成を示す構成図である。本実施の形態のワーク検出装置１００は、動作を行うためのコンピュータプログラムが、Ｉ／Ｆ２７を介してＵＳＢ(Universal Serial Bus)メモリ等の可搬型記録媒体Ａで提供することも可能である。さらに、本実施の形態のワーク検出装置１００は、前記コンピュータプログラムを、図示しない外部装置から通信部２１を介してダウンロードすることも可能である。以下、その内容を説明する。

ワーク検出装置１００は外装（又は内装）の記録媒体読み取り装置（図示せず）を備えており、該記録媒体読み取り装置に、前記接触信号を取得し、取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定し、斯かる判定の結果に基づいて、前記ワークの座標を決定させるプログラム等が記録された可搬型記録媒体Ａを挿入して、例えば、ＣＰＵ２４１がＲＯＭ（図示略）にこのプログラムをインストールする。斯かるプログラムはＲＡＭ（図示略）にロードして実行する。これにより、本実施の形態のワーク検出装置１００として機能する。

前記記録媒体としては、いわゆるプログラムメディアであっても良く、磁気テープ及びカセットテープ等のテープ系、フレキシブルディスク及びハードディスク等の磁気ディスク並びにＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ等の光ディスクのディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＲＯＭ等による半導体メモリを含めた固定的にプログラムコードを担持する媒体であっても良い。

実施の形態１と同様の部分については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。

１０ プローブ
２３ 駆動機構（駆動モータ）
２６ 記憶部
１００ ワーク検出装置
２４１ ＣＰＵ
２４３ 外乱判定部
２４５ 無効部
２４７ 変速部
Ｗ ワーク

Claims (7)

1. 所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、
   外乱があったか否かを検出する外乱検出部と、
   取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する外乱判定部と、
   前記外乱判定部の判定結果に基づいて、前記ワークの座標を決定する座標決定部と
   を備えることを特徴とするワーク検出装置。
2. 前記プローブを駆動する駆動モータを備え、
   前記外乱は、前記駆動モータに係るトルクを含むことを特徴とする請求項１に記載のワーク検出装置。
3. 外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記取得した接触信号を無効にする無効部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク検出装置。
4. 外乱があったと前記外乱判定部が判定した場合、前記プローブの移動速度を変更する変速部を備え、
   前記プローブの移動速度が変更した場合、前記プローブは前記所定範囲での前記検知を再度行うことを特徴とする請求項１から３の何れか一つに記載のワーク検出装置。
5. 前記プローブの移動速度が変更した場合、前記外乱判定部は前記所定時間より長い時間内に外乱があったか否かを判定することを特徴とする請求項４に記載のワーク検出装置。
6. 所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、前記接触信号及び外乱の検出結果を記憶する記憶部とを備えるワーク検出装置にて、前記ワークの位置を検出するワーク検出方法において、
   前記記憶部から取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定する外乱判定ステップと、
   前記外乱判定ステップでの判定結果に基づいて、前記ワークの位置検出を行うステップと
   を含むことを特徴とするワーク検出方法。
7. 所定範囲でワークとの接触有無を検知し、検知結果を表す接触信号を発するプローブと、外乱があったか否かを検出する外乱検出部とを備えるワーク検出装置を構成するコンピューターに、ワークの位置を検出させるコンピュータプログラムにおいて、
   コンピューターに、前記接触信号を取得させる取得ステップと、
   コンピューターに、前記取得ステップで取得した接触信号がワークとの接触があったことを表す場合、前の所定時間内に外乱があったか否かを判定させる外乱判定ステップと、
   コンピューターに、前記外乱判定ステップでの判定結果に基づいて、前記ワークの座標を決定させる座標決定ステップと
   を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。

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