JP6825821B2 - 流量センサ - Google Patents
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Description
まず、実験では、以下に示す実施例及び比較例の流量センサを用い、流量センサの各部位の温度を測定し、流量検知用抵抗素子と温度補償用抵抗素子との端子温度差を比較した。
図9は、実験に使用した実施例の平面図(図9A)と、裏面図(図9B)である。図9Aに示すように、素子設置部2cの表面には、1個の流量検知用抵抗素子3を配置し、図9Bに示すように、素子設置部2cの裏面には、2個の温度補償用抵抗素子4を配置した。なお、図9に示す絶縁基板の形態は、図1に示す絶縁基板2の形態と同じである。
図10は、実験に使用した比較例の平面図(図10A)と、裏面図(図10B)である。図10に示すように、絶縁基板を、図9とは異なる形態とした。すなわち、図10に示すように、絶縁基板は、中央部29aと、周囲部29bと、支持部29cとを夫々、スリット30、31を介して分離し、中央部29aと、周囲部29bとの間を幅の細い接続部32にて、周囲部29bと、支持部29cとの間を幅の細い接続部33にて、夫々接続した構成とした。
図9Aに示す表面側のa点〜d点の各部位と、図9Bに示す裏面側のe点の部位の温度を、赤外線サーモグラフィにて測定した。a点(表)は、流量検知用抵抗素子3の中央に位置する。b点(表)は、流量検知用抵抗素子の端子位置である。c点(表)及び、d点(表)は、絶縁基板における分岐部に位置する。また、e点(裏)は、温度補償用抵抗素子の端子位置である。
・測定環境
室温:25℃(24時間温度管理)
・測定方法
試料表面処理:風量センサ(風速センサ)全体に放射率0.98のスプレー塗料を塗布した。
測定条件:風量センサに対して、周囲の風が当たらない環境下で測定した。
測定装置:日本アビオニクス製 赤外線サーモグラフィ TH9260(2007年製)、
使用レンズ:TH92−486
(最小分解能:100μm×100μm、焦点距離:195mm、標準レンズに連結して使用)を使用した。
続いて、上記に挙げた実施例及び比較例の各流量センサを用いて、応答性について実験を行った。
2、26 絶縁基板
2a、26a 表面
2b、26b 裏面
2c、26c 素子設置部
2d、26d 支持部
2e、26e 接続部
3 流量検知用抵抗素子
4 温度補償用抵抗素子
5 スリット
6、9 セラミック基板
8、11 端子
7、10 抵抗層
13、28 ランド
15 配線パターン
16、17 抵抗器
18 ブリッジ回路
19、20 直列回路
21、22 出力部
23 差動増幅器
24 フィードバック回路
25 蓋体
25a 凹部
27 断熱層
Claims (6)
- 絶縁基板と、流量検知用抵抗素子と、温度補償用抵抗素子と、を有し、
前記温度補償用抵抗素子の端子温度を前記流量検知用抵抗素子の端子温度に近づけるように、前記流量検知用抵抗素子及び前記温度補償用抵抗素子が夫々、前記絶縁基板に配置され、
前記絶縁基板は、素子設置部と、前記素子設置部と分離した支持部と、前記素子設置部と前記支持部との間を接続し、前記素子設置部よりも幅が細い接続部と、を有して構成され、
前記流量検知用抵抗素子及び前記温度補償用抵抗素子は、夫々、前記素子設置部内に配置されることを特徴とする流量センサ。 - 絶縁基板と、流量検知用抵抗素子と、温度補償用抵抗素子と、を有し、
前記流量検知用抵抗素子は、前記絶縁基板の表面側に配置され、前記温度補償用抵抗素子は、前記絶縁基板の裏面側に配置され、前記絶縁基板を介して前記流量検知用抵抗素子と対向配置され、
前記絶縁基板は、素子設置部と、前記素子設置部と分離した支持部と、前記素子設置部と前記支持部との間を接続し、前記素子設置部よりも幅が細い接続部と、を有して構成され、
前記流量検知用抵抗素子及び前記温度補償用抵抗素子は、夫々、前記素子設置部内に配置されることを特徴とする流量センサ。 - 前記温度補償用抵抗素子は、流体との接触が前記流量検知用抵抗素子に比べて妨げられるように配置されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の流量センサ。
- 前記支持部は、スリットを介して前記素子設置部の周囲を囲んでおり、前記素子設置部と前記支持部との間は、複数の前記接続部により接続されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の流量センサ。
- 前記素子設置部の裏面には、凹部を有する蓋体が設置されており、前記温度補償用抵抗素子は、前記素子設置部の裏面であって前記凹部内に配置されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の流量センサ。
- 前記流量検知用抵抗素子及び前記温度補償用抵抗素子は、セラミック基板と、前記セラミック基板の表面に設けられた抵抗層と、前記抵抗層と電気的に接続し、前記セラミック基板の表面に設けられた端子と、を有して構成されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の流量センサ。
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