JP6819697B2 - セラミックグリーンシート製造用離型フィルム - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 107
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 135
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 93
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 63
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 47
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 35
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 33
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 claims description 33
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 claims description 27
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 24
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 23
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 20
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 20
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 18
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims description 17
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N diiodomethane Chemical compound ICI NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 11
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 11
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 9
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical group C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 claims description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 45
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 34
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 29
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 26
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 26
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 26
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 22
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 21
- 239000000047 product Substances 0.000 description 21
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 20
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 15
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 11
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 11
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 10
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 8
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 5
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 5
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 5
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 150000004010 onium ions Chemical class 0.000 description 4
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 230000000269 nucleophilic effect Effects 0.000 description 3
- 239000011146 organic particle Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LMIOYAVXLAOXJI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[[4-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]phenyl]methoxymethyl]oxetane Chemical compound C=1C=C(COCC2(CC)COC2)C=CC=1COCC1(CC)COC1 LMIOYAVXLAOXJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N Acrylic acid Chemical compound OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VKJLWXGJGDEGSO-UHFFFAOYSA-N barium(2+);oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Ba+2] VKJLWXGJGDEGSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 150000004292 cyclic ethers Chemical group 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical group 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000009878 intermolecular interaction Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 2
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229940024463 silicone emollient and protective product Drugs 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N trimethyl phosphate Chemical compound COP(=O)(OC)OC WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LWNGJAHMBMVCJR-UHFFFAOYSA-N (2,3,4,5,6-pentafluorophenoxy)boronic acid Chemical compound OB(O)OC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F LWNGJAHMBMVCJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GGAUUQHSCNMCAU-ZXZARUISSA-N (2s,3r)-butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C[C@H](C(O)=O)[C@H](C(O)=O)CC(O)=O GGAUUQHSCNMCAU-ZXZARUISSA-N 0.000 description 1
- UNMJLQGKEDTEKJ-UHFFFAOYSA-N (3-ethyloxetan-3-yl)methanol Chemical compound CCC1(CO)COC1 UNMJLQGKEDTEKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DLKQHBOKULLWDQ-UHFFFAOYSA-N 1-bromonaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(Br)=CC=CC2=C1 DLKQHBOKULLWDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical group C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 1
- XBNGYFFABRKICK-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,5,6-pentafluorophenol Chemical compound OC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F XBNGYFFABRKICK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJWZDTGRJUXOCE-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethylhexyl)oxetane Chemical compound CCCCC(CC)CC1CCO1 LJWZDTGRJUXOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 2-(butoxymethyl)oxirane Chemical compound CCCCOCC1CO1 YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNAHKQUHXJHBIV-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylthiophen-2-yl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound CC1=CSC(C(=O)C(C)(C)N2CCOCC2)=C1 NNAHKQUHXJHBIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNYWFRSQRHGKJT-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCC1(CC)COC1 FNYWFRSQRHGKJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLLVZDVNHNWSDS-UHFFFAOYSA-N 4-methylidene-3,5-dioxabicyclo[5.2.2]undeca-1(9),7,10-triene-2,6-dione Chemical compound C1(C2=CC=C(C(=O)OC(=C)O1)C=C2)=O LLLVZDVNHNWSDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTHZUSWLNCPZLX-UHFFFAOYSA-N 6-fluoro-3-methyl-2h-indazole Chemical compound FC1=CC=C2C(C)=NNC2=C1 JTHZUSWLNCPZLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 101100029848 Arabidopsis thaliana PIP1-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIYNIOYNNFXGFN-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol;7-oxabicyclo[4.1.0]heptane-4-carboxylic acid Chemical compound OCC1CCC(CO)CC1.C1C(C(=O)O)CCC2OC21.C1C(C(=O)O)CCC2OC21 NIYNIOYNNFXGFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 150000001334 alicyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000007824 aliphatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- OJOSABWCUVCSTQ-UHFFFAOYSA-N cyclohepta-2,4,6-trienylium Chemical compound C1=CC=C[CH+]=C[CH]1 OJOSABWCUVCSTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N gallium(3+) Chemical compound [Ga+3] CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229910052588 hydroxylapatite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229940097364 magnesium acetate tetrahydrate Drugs 0.000 description 1
- XKPKPGCRSHFTKM-UHFFFAOYSA-L magnesium;diacetate;tetrahydrate Chemical compound O.O.O.O.[Mg+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O XKPKPGCRSHFTKM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 1
- YCWSUKQGVSGXJO-NTUHNPAUSA-N nifuroxazide Chemical group C1=CC(O)=CC=C1C(=O)N\N=C\C1=CC=C([N+]([O-])=O)O1 YCWSUKQGVSGXJO-NTUHNPAUSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 150000002921 oxetanes Chemical class 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical group FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYJRXVWERLGGKC-UHFFFAOYSA-D pentacalcium;hydroxide;triphosphate Chemical compound [OH-].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O XYJRXVWERLGGKC-UHFFFAOYSA-D 0.000 description 1
- IZUPBVBPLAPZRR-UHFFFAOYSA-N pentachloro-phenol Natural products OC1=C(Cl)C(Cl)=C(Cl)C(Cl)=C1Cl IZUPBVBPLAPZRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000538 pentafluorophenyl group Chemical group FC1=C(F)C(F)=C(*)C(F)=C1F 0.000 description 1
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical group 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920006294 polydialkylsiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002215 polytrimethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium Chemical compound [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical group O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
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Description
離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する時にかかる力を低く、かつ均一にすることで、厚みが1μm以下の超薄層品でも剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。
1. 無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含む組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 離型層表面のジヨードメタン接触角θ1とトルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角θ2の差が絶対値として3.0°以下である上記第1に記載セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 少なくとも1種類の離型剤bが、シリコーン骨格を含む化合物である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが離型層の全固形分中80質量%以上含む上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. カチオン硬化性物質を含むバインダーaが、分子内に脂環式エポキシ基を有する化合物及びオキセタン環を有する化合物から選ばれる少なくとも1つの化合物を含有する上記第1〜第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. 離型剤bの少なくとも1種類が、脂環式エポキシ基を含有するシリコーンである上記第1〜第5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
7. 離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ最大突起高さ(P)が100nm以下である上記第1〜第6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
8. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法。
9. 上記第8に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
本発明において基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム形成したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明の離型フィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
本発明における離型層には、少なくともカチオン硬化性物質を含有するバインダーaと1種類以上の離型剤b(剥離性を付与させるための添加剤)を含有する組成物が硬化されてなることが好ましい。カチオン硬化性物質を含有するバインダーaは、架橋し高弾性率な塗膜を形成することができる。離型層の弾性率を高めることで、剥離する際に離型層が変形し追随することがなくなり、セラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがないため好ましい。
本発明における離型層にはカチオン重合反応を進行させるために、酸発生剤を用いることが好ましい。用いる酸発生剤としては、特に限定されず一般的なものが使われるが、活性エネルギー線照射下で酸が発生する光酸発生剤を用いることで、加工時の熱量を抑えることができるため好ましい。スルホン酸系やカルボン酸系のような一般的な酸を用いることでも、有機溶剤の浸食を抑えられる架橋密度の高い離型層を得ることができるが、高い加工温度が必要になるために、原反の熱収縮や平滑性の低下によって、離型層表面が荒れてしまうおそれがある。その他、金属塩系、リン酸エステル系、酸部位がブロックされたブロックタイプの酸発生剤も使用することができるが、前述の理由で光酸発生剤を用いることが、加工時の熱量の観点から最も好ましい。
本発明における離型層に用いる離型剤b(離型性を付与するための添加剤)としては、シリコーン系添加剤や、長鎖アルキル系、フッ素系などの非シリコーン系添加剤などを用いることができるが、剥離性の観点からシリコーン系添加剤を用いることが好ましい。
(離型層の特徴)
(離型層の形成方法)
JIS K 7367−5に準拠し、溶媒としてフェノール(60質量%)と1,1,2,2-テトラクロロエタン(40質量%)の混合溶媒を用い、30℃で測定した。
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切
り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
離型フィルムを任意の大きさに切り取った時のフィルム断面を、透過電子顕微鏡で観察し算出した値を離型層厚みとした。
非接触表面形状計測システム(菱化システム社製、VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製、全自動接触角計 DM−701)を用いて、静置した離型フィルムの離型面上にジヨードメタン(液滴量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は離型フィルム上に滴下後30秒後の接触角を採用し、5回測定した値の平均値を採用した。
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムを前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ1、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ2とした時の、θ1−θ2の絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で接触角変化の評価を行った。
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0°
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散質とするビーズミルを用いて30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール 3.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cm2の範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回実施し、その平均値を採用した。
◎:ピンホールの発生なし
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散質とするビーズミルを用いて60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが10μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に、高速剥離試験機(テスター産業社製、TE−701)を用いて、30mmの幅で剥離角度90度、剥離速度10m/minで剥離した。剥離はセラミックグリーンシート面を固定し、離型フィルム面を引っ張る方向で剥離した。この時の剥離時にかかる応力を測定し剥離力とした。
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで100℃15分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いた。この時のガラス板から各角頂点部までの高さを測定し、以下の判断基準でカール性の評価を行った。
◎:各角部の総和が1mm以下
○:各角部の総和が1mmよりも大きく、3mm以下。
△:各角部の総和が3mmよりも大きく、10mm以下。
×:各角部の総和カールが10mmよりも大きい。
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm2)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の無機粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/PET(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
積層フィルムX3としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に無機粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX3の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が50nmになるように塗工し、90℃で15秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cm2の紫外線を紫外線照射機(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を用いて照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し、離型層表面粗さ、剥離性、トルエン浸漬後の接触角変化、ピンホール、カール、などを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:3',4'-エポキシシクロヘキシルメチル3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート 0.90質量部
(製品名:セロキサイド(登録商標)2021P、ダイセル社製、固形分100質量%、2官能)
離型剤b:脂環式エポキシ基含有ポリジメチルシロキサン
0.10質量部
(製品名、UV Poly215、荒川化学工業社製、固形分100%)
酸発生剤:ホウ素系カチオン硬化UV触媒 0.26質量部
(製品名:UV CATA211、有効成分19質量%、荒川化学工業社製)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.86質量部
ブタンテトラカルボン酸 テトラ(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル修飾
ε−カプロラクトン 0.04質量部
(製品名:エポリード(登録商標)GT401、ダイセル社製、固形分100%、4官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(塗布液3)
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.63質量部
エポリード(登録商標)GT401 0.27質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.45質量部
エポリード(登録商標)GT401 0.45質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.86質量部
2−エチルヘキシルオキセタン 0.04質量部
(製品名:アロンオキセタン(登録商標)OXT−221、東亜合成社製、固形分100質量%、2官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
エポリード(登録商標)GT401 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
多官能脂環式エポキシ基含有ポリマー 0.90質量部
(製品名:EHPE(登録商標)3150、ダイセル社製、固形分100質量%、多官能)
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
光酸発生剤:ヘキサフルオロアンチモネートトリアリールスルフォニウム塩
0.10質量部
(製品名:CPI(登録商標)101A、有効成分50質量%、サンアプロ社製)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.10質量部
光酸発生剤:ヘキサフルオロアンチモネートトリアリールスルフォニウム塩
0.10質量部
(製品名:CPI(登録商標)101A、有効成分50質量%、サンアプロ社製)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:UV Poly215 0.05質量部
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン
0.05質量部
(製品名:BYK−UV3500、ビックケミー・ジャパン社製、固形分100%)
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
実施例1の離型剤bを下記のように調製して得た長鎖アルキル基含有離型剤に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(長鎖アルキル基含有離型剤の調製方法)
ステアリルアクリレート95モル%とヒドロキシエチル(メタ)アクリレート5モル%の比になるように混合し、固形分濃度が40質量%になるようにトルエンで希釈し、窒素気流下でアゾビスイソブチロニトリルを0.5モル%添加し共重合させ、離型剤Aを得た。このとき得られたポリマーの重量平均分子量は30000であった。
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:片末端エポキシ変性ポリジメチルシロキサン
0.10質量部
(製品名:X22−173DX、信越化学工業社製、固形分100%)
酸発生剤:UV CATA211 0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.90質量部
離型剤b:パーフルオロ系離型剤 0.10質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.95質量部
離型剤b:UV Poly215 0.05質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 0.80質量部
離型剤b:UV Poly215 0.20質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
実施例1のフィルム厚みが25μmの積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
離型層膜厚が30nmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
離型層膜厚が200nmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
離型層膜厚が0.8μmになるように塗工した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 49.43質量部
トルエン 49.43質量部
カチオン硬化性物質からなるバインダーa:
セロキサイド(登録商標)2021P 1.00質量部
酸発生剤:UV CATA211(有効成分19質量%)
0.26質量部
積層フィルムX1の代わりに、積層フィルムX3(E5101−25μm、東洋紡製)に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。E5101は、表面層A、表面層Bともに無機粒子を含有しており、表面層A、表面層Bの両層のSaがともに24nmであった。
下記に示した組成である塗布液に変更し、離型層の膜厚が0.8μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 44.75質量部
トルエン 44.75質量部
光ラジカル硬化性物質からなるバインダー:
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
9.90質量部
(製品名:A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
離型剤b:BYK−UV3500 0.10質量部
光ラジカル重合開始剤:
メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン
0.50質量部
(製品名:IRGACURE(登録商標)907、BASF社製、有効成分100質量%)
Claims (12)
- 無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層がカチオン硬化性物質を含むバインダーaおよび1種類以上の離型剤bを含む組成物が硬化されてなり、
前記バインダーaは、脂環式エポキシ基を有する化合物及びオキセタン環を有する化合物から選ばれる少なくとも1つの前記カチオン硬化性物質(ただし、シロキサン骨格を有する化合物を除く)を含み、前記カチオン硬化性物質のカチオン硬化性官能基数は2つ以上であり、
前記離型剤bは、ポリジメチルシロキサン、長鎖アルキル系添加剤、フッ素系添加剤からなる群から選択される少なくとも1種を含む、
セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 - 離型層表面のジヨードメタン接触角θ1とトルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角θ2の差が絶対値として3.0°以下である請求項1に記載セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 少なくとも1種類の離型剤bが、シリコーン骨格を含む化合物である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- カチオン硬化性物質を含むバインダーaが離型層の全固形分中80質量%以上含む請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 離型剤bの少なくとも1種類が、グリシジルエーテル基、脂環式エポキシ基、オキセタン環からなる群から選択される少なくとも1種のカチオン硬化性官能基を含有するポリジメチルシロキサンである、請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ最大突起高さ(P)が100nm以下である請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 前記バインダーaは、更に、光酸発生剤を含有する、請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 前記離型層の厚みが0.01〜1.0μmである、請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 前記ポリエステルフィルムの表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下である、請求項1〜8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 前記ポリエステルフィルムの表面層Aの厚み比率は、前記ポリエステルフィルムの全層厚みの20%以上50%以下である、請求項1〜9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1〜10のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法。
- 請求項11に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020009055A JP6950760B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009057A JP6950761B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017198375 | 2017-10-12 | ||
JP2017198375 | 2017-10-12 | ||
PCT/JP2018/037011 WO2019073875A1 (ja) | 2017-10-12 | 2018-10-03 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
Related Child Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020009057A Division JP6950761B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009056A Division JP7006710B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009055A Division JP6950760B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019073875A1 JPWO2019073875A1 (ja) | 2019-11-14 |
JP6819697B2 true JP6819697B2 (ja) | 2021-01-27 |
Family
ID=66100705
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018555786A Active JP6819697B2 (ja) | 2017-10-12 | 2018-10-03 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009055A Active JP6950760B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009056A Active JP7006710B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009057A Active JP6950761B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020009055A Active JP6950760B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009056A Active JP7006710B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JP2020009057A Active JP6950761B2 (ja) | 2017-10-12 | 2020-01-23 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP6819697B2 (ja) |
KR (1) | KR102453649B1 (ja) |
CN (1) | CN111201119B (ja) |
PH (1) | PH12020550236A1 (ja) |
SG (1) | SG11202003115YA (ja) |
WO (1) | WO2019073875A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6852720B2 (ja) * | 2017-10-12 | 2021-03-31 | 東洋紡株式会社 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
JPWO2022138484A1 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | ||
WO2024117155A1 (ja) * | 2022-11-30 | 2024-06-06 | 三井化学Ictマテリア株式会社 | セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11293188A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-26 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 硬化性樹脂組成物およびそのワニスならびに硬化物 |
JP2000117899A (ja) | 1998-10-15 | 2000-04-25 | Teijin Ltd | 離形フィルム |
JP4294214B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2009-07-08 | 帝人株式会社 | 離形フィルム |
CN100557736C (zh) * | 2004-07-27 | 2009-11-04 | Tdk株式会社 | 叠层型电子部件的制造方法 |
JP5251315B2 (ja) * | 2008-07-10 | 2013-07-31 | 東洋紡株式会社 | 離型フィルムの製造方法 |
US20150037536A1 (en) * | 2012-03-28 | 2015-02-05 | Lintec Corporation | Release film for ceramic green sheet production process |
JP5451951B1 (ja) * | 2012-04-23 | 2014-03-26 | リンテック株式会社 | グリーンシート製造用剥離フィルム |
JP6400430B2 (ja) * | 2014-10-21 | 2018-10-03 | リンテック株式会社 | シリコーンコート層用硬化性組成物およびシリコーンコートシート |
JP6790420B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2020-11-25 | 東洋紡株式会社 | 離型積層フィルム |
-
2018
- 2018-10-03 KR KR1020207013048A patent/KR102453649B1/ko active IP Right Grant
- 2018-10-03 CN CN201880065897.2A patent/CN111201119B/zh active Active
- 2018-10-03 WO PCT/JP2018/037011 patent/WO2019073875A1/ja active Application Filing
- 2018-10-03 SG SG11202003115YA patent/SG11202003115YA/en unknown
- 2018-10-03 JP JP2018555786A patent/JP6819697B2/ja active Active
-
2020
- 2020-01-23 JP JP2020009055A patent/JP6950760B2/ja active Active
- 2020-01-23 JP JP2020009056A patent/JP7006710B2/ja active Active
- 2020-01-23 JP JP2020009057A patent/JP6950761B2/ja active Active
- 2020-04-08 PH PH12020550236A patent/PH12020550236A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6950761B2 (ja) | 2021-10-13 |
KR102453649B1 (ko) | 2022-10-12 |
WO2019073875A1 (ja) | 2019-04-18 |
KR20200066680A (ko) | 2020-06-10 |
JP6950760B2 (ja) | 2021-10-13 |
JPWO2019073875A1 (ja) | 2019-11-14 |
JP2020075510A (ja) | 2020-05-21 |
PH12020550236A1 (en) | 2021-03-01 |
SG11202003115YA (en) | 2020-05-28 |
JP2020073335A (ja) | 2020-05-14 |
CN111201119B (zh) | 2022-03-22 |
CN111201119A (zh) | 2020-05-26 |
JP2020073336A (ja) | 2020-05-14 |
JP7006710B2 (ja) | 2022-02-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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