JP6804409B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 260
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 260
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims description 126
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 162
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 81
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 61
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 41
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 40
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 claims description 37
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 31
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 19
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 241000269800 Percidae Species 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
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- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/50—Removing moulded articles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/52—Heating or cooling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/56—Compression moulding under special conditions, e.g. vacuum
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/565—Moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/16—Cooling
- B29C2035/1608—Cooling using Peltier-effect
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
- B29C2043/181—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles encapsulated
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
- B29C2043/181—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles encapsulated
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Description
a) キャビティが設けられた第1の型と、成形対象物を装着する成形対象物装着部を備える第2の型から成る成形型を有する圧縮成形装置と、
b) 前記成形型を、前記熱硬化性樹脂が硬化する温度範囲内の温度に加熱する成形型加熱機構と、
c) 前記圧縮成形装置で作製される、成形対象物及び完全には硬化していない前記熱硬化性樹脂から成る中間成形品を複数個収容し、該中間成形品を硬化させるために前記温度範囲内の温度に維持する温度維持室と、
d) 前記中間成形品を、該中間成形品が冷却されることを抑制するように室温よりも高く且つ前記温度範囲の上限以下の温度に維持しつつ前記圧縮成形装置から前記温度維持室に搬送する中間成形品搬送機構と、
e) 前記温度維持室で前記温度範囲内の温度に維持されることで作製された樹脂成形品を冷却する冷却機構と、
f) 前記冷却機構に設けられた、前記樹脂成形品の冷却中に該樹脂成形品を加圧する加圧機構と
を備えることを特徴とする。
圧縮成形装置が有する成形型を用いて、前記熱硬化性樹脂が硬化する温度範囲内の温度に加熱しつつ圧縮成形を行うことにより、成形対象物及び完全には硬化していない前記熱硬化性樹脂から成る中間成形品を作製する中間成形品作製工程と、
前記中間成形品を、該中間成形品が冷却されることを抑制するように室温よりも高く且つ前記温度範囲の上限以下の温度に維持しつつ前記圧縮成形装置から温度維持室に搬送する中間成形品搬送工程と、
前記中間成形品を前記温度維持室に複数個収容し、該温度維持室で前記温度範囲内の温度に維持することで前記熱硬化性樹脂を完全に硬化させることにより樹脂成形品を作製する樹脂硬化工程と、
前記樹脂硬化工程において作製された樹脂成形品を加圧しながら冷却する冷却工程と
を有することを特徴とする。
図1に、本発明の一実施形態である樹脂成形装置10の全体構成を平面図で示す。この樹脂成形装置10は、後述の成形型111及びヒータ(成形型加熱機構)112を備える圧縮成形装置11と、第1搬送機構(前記中間成形品搬送機構に該当)12と、温度維持室13と、第2搬送機構14と、冷却機構15と、第3搬送機構16と、冷却加圧機構(前記加圧機構を備える前記冷却機構に該当)17と、完成品収容部18とを備える。その他、図1では図示を省略するが、樹脂成形装置10は、成形型111に樹脂材料を供給するための樹脂材料供給トレイに樹脂材料を投入する樹脂材料投入部、樹脂材料が投入された樹脂材料供給トレイや成形対象物である基板を成形型111に搬送する材料搬送機構、基板を保持する基板保持部等を有する。
図4〜図6を用いて、本実施形態の樹脂成形装置の動作、及び本実施形態の樹脂成形品製造方法を説明する。図4は、本実施形態の樹脂成形装置の動作樹脂成形品製造方法を示すフローチャート、図5は圧縮成形装置11の動作を示す概略図、図6は冷却加圧機構17の動作を示す概略図である。
次に、図7を用いて、樹脂成形装置10の変形例である樹脂成形ユニット30を説明する。本変形例の樹脂成形ユニット30は、材料受入モジュール31、成形モジュール32、及び払出モジュール33を有する。材料受入モジュール31は、樹脂材料P及び基板Sを外部から受け入れて成形モジュール32に送出するための装置であって、基板受入部311と、樹脂材料移送トレイT(図5(b)参照)に樹脂材料Pを供給する樹脂材料供給装置312を有する。成形モジュール32は、1組の樹脂成形ユニット30に1個又は複数個設けられており、1個の成形モジュール32には前述の圧縮成形装置11が1台設けられている。図7には成形モジュール32が3台示されているが、樹脂成形ユニット30には成形モジュール32を任意の台数設けることができる。また、樹脂成形ユニット30を組み上げて使用を開始した後であっても、成形モジュール32を増減することができる。払出モジュール33は、前述の温度維持室13、第2搬送機構14、冷却機構15、第3搬送機構16、冷却加圧機構17及び完成品収容部18を収容したモジュールである。
11…圧縮成形装置
111…成形型
1111…下型
11111…底面部材
11112…周壁部材
1112…上型
112…成形型ヒータ
113…断熱材
114…弾性部材
1151…基盤
1152…下可動プラテン
1153…上可動プラテン
1154…固定プラテン
116…タイバー
117…トグルリンク
12…第1搬送機構
121…搬送機構ヒータ
13…温度維持室
14…第2搬送機構
15…冷却機構
151…冷却機構の載置台
152…冷却水循環機構
16…第3搬送機構
161…第3搬送機構の腕
17…冷却加圧機構
171…冷却加圧機構の載置台
172…下部プレート
173…上部プレート
174…ペルチェ素子
175…気体吸引孔
18…完成品収容部
30…樹脂成形ユニット
31…材料受入モジュール
311…基板受入部
312…樹脂材料供給装置
32…成形モジュール
33…払出モジュール
36…主搬送経路
37…副搬送経路
38…非加熱型搬送装置
F…離型フィルム
M…中間成形品
P…樹脂材料
PM…樹脂成形品
S…基板
T…樹脂材料移送トレイ
Claims (6)
- 成形対象物を熱硬化性樹脂で封止することにより樹脂成形を行う装置であって、
a) キャビティが設けられた第1の型と、成形対象物を装着する成形対象物装着部を備える第2の型から成る成形型を有する圧縮成形装置と、
b) 前記成形型を、前記熱硬化性樹脂が硬化する温度範囲内の温度に加熱する成形型加熱機構と、
c) 前記圧縮成形装置で作製される、成形対象物及び完全には硬化していない前記熱硬化性樹脂から成る中間成形品を複数個収容し、該中間成形品を硬化させるために前記温度範囲内の温度に維持する温度維持室と、
d) 前記中間成形品を、該中間成形品が冷却されることを抑制するように室温よりも高く且つ前記温度範囲の上限以下の温度に維持しつつ前記圧縮成形装置から前記温度維持室に搬送する中間成形品搬送機構と、
e) 前記温度維持室で前記温度範囲内の温度に維持されることで作製された樹脂成形品を冷却する冷却機構と、
f) 前記冷却機構に設けられた、前記樹脂成形品の冷却中に該樹脂成形品を加圧する加圧機構と
を備えることを特徴とする樹脂成形装置。 - 前記中間成形品搬送機構において維持する前記温度が前記温度範囲内の温度であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂成形装置。
- 前記冷却機構が冷却水循環機構を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂成形装置。
- 前記冷却機構がペルチェ素子を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の樹脂成形装置。
- 成形対象物を熱硬化性樹脂で封止することにより樹脂成形品を製造する方法であって、
圧縮成形装置が有する成形型を用いて、前記熱硬化性樹脂が硬化する温度範囲内の温度に加熱しつつ圧縮成形を行うことにより、成形対象物及び完全には硬化していない前記熱硬化性樹脂から成る中間成形品を作製する中間成形品作製工程と、
前記中間成形品を、該中間成形品が冷却されることを抑制するように室温よりも高く且つ前記温度範囲の上限以下の温度に維持しつつ前記圧縮成形装置から温度維持室に搬送する中間成形品搬送工程と、
前記中間成形品を前記温度維持室に複数個収容し、該温度維持室で前記温度範囲内の温度に維持することで前記熱硬化性樹脂を完全に硬化させることにより樹脂成形品を作製する樹脂硬化工程と、
前記樹脂硬化工程において作製された樹脂成形品を加圧しながら冷却する冷却工程と
を有することを特徴とする樹脂成形品製造方法。 - 前記中間成形品作製工程において維持する前記温度が前記温度範囲内の温度であることを特徴とする請求項5に記載の樹脂成形品製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017151509A JP6804409B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 |
CN201810643182.2A CN109382959B (zh) | 2017-08-04 | 2018-06-21 | 树脂成形装置及树脂成形品制造方法 |
KR1020180073285A KR102266607B1 (ko) | 2017-08-04 | 2018-06-26 | 수지 성형 장치 및 수지 성형품 제조 방법 |
TW107122200A TWI753181B (zh) | 2017-08-04 | 2018-06-28 | 樹脂成形裝置及樹脂成形品製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017151509A JP6804409B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019030971A JP2019030971A (ja) | 2019-02-28 |
JP6804409B2 true JP6804409B2 (ja) | 2020-12-23 |
Family
ID=65366611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017151509A Active JP6804409B2 (ja) | 2017-08-04 | 2017-08-04 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6804409B2 (ja) |
KR (1) | KR102266607B1 (ja) |
CN (1) | CN109382959B (ja) |
TW (1) | TWI753181B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3928615A4 (en) | 2019-02-22 | 2022-12-28 | Bio Palette Co., Ltd. | NUCLEIC ACID FOR EDITING GENOME OF A PLANT CELL AND ITS USE |
JP2020185754A (ja) * | 2019-05-17 | 2020-11-19 | Towa株式会社 | 成形型、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
JP7417429B2 (ja) * | 2020-01-17 | 2024-01-18 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置、樹脂成形品の製造方法 |
KR102200513B1 (ko) * | 2020-03-16 | 2021-01-07 | 정경남 | 사출 성형 시스템 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH0639849A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-02-15 | Nippon Sanso Kk | ポストキュア装置 |
JPH06151491A (ja) * | 1992-11-09 | 1994-05-31 | Toshiba Corp | 樹脂封止型半導体装置の製造方法及びその製造装置 |
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JP6440599B2 (ja) * | 2015-08-28 | 2018-12-19 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形方法 |
-
2017
- 2017-08-04 JP JP2017151509A patent/JP6804409B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-21 CN CN201810643182.2A patent/CN109382959B/zh active Active
- 2018-06-26 KR KR1020180073285A patent/KR102266607B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-28 TW TW107122200A patent/TWI753181B/zh active
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR102266607B1 (ko) | 2021-06-18 |
CN109382959A (zh) | 2019-02-26 |
CN109382959B (zh) | 2021-07-20 |
TWI753181B (zh) | 2022-01-21 |
KR20190015091A (ko) | 2019-02-13 |
TW201910090A (zh) | 2019-03-16 |
JP2019030971A (ja) | 2019-02-28 |
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