JP6801134B1 - 減圧複層ガラスパネル - Google Patents
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- 230000006837 decompression Effects 0.000 title claims abstract description 40
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 391
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 29
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000505 Al2TiO5 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012700 ceramic precursor Substances 0.000 description 1
- -1 etc.) Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N propan-2-yl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OC(C)C AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02A30/00—Adapting or protecting infrastructure or their operation
- Y02A30/24—Structural elements or technologies for improving thermal insulation
- Y02A30/249—Glazing, e.g. vacuum glazing
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B80/00—Architectural or constructional elements improving the thermal performance of buildings
- Y02B80/22—Glazing, e.g. vaccum glazing
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Abstract
Description
また、本構成によれば、第1ガラス板または第2ガラス板の対向面と、非当接面との間に形成される勾配角度が、変形した第1ガラス板または第2ガラス板に非当接面の少なくとも一部が当接可能な角度に設定されるので、柱体の非当接面に変形したガラス板を適正に当接させることができる。
第1ガラス板または第2ガラス板が第1の外力を受けて変形する場合には、変形するガラス板の部位は、柱体に支持されつつガラス板における変形前の対向面から鋭角の範囲内で変形することになる。したがって、本構成のように、柱体において、第1ガラス板または第2ガラス板の対向面と、非当接面との間に形成される勾配角度を65度未満にすることで、柱体の非当接面に変形したガラス板を当接させることができる。
柱体において、第1ガラス板または第2ガラス板の対向面と、非当接面との間に形成される勾配角度の最小角度は、第1ガラス板または第2ガラス板に対して大気圧のみが印加された際に、柱体に当接したガラス板の対向面と、柱体の周囲のガラス板の対向面との間に形成される通常静止状態での勾配角度に基づいて設定される。初期勾配角度は、ガラス板の材質や厚み、柱体の材質、大きさ、形状等に影響されるが、概して0.4度よりも小さくなる。そこで、本構成では、第1ガラス板または第2ガラス板の対向面と、非当接面との間に形成される勾配角度を0.4度以上に設定している。これにより、第1ガラス板または第2ガラス板は、第1の外力を受けて変形した際に非当接面に当接させることができる。
また、本構成のように、柱体の圧縮強度が200MPa以上であることで、柱体は圧縮変形することなく第1ガラス板と第2ガラス板との間隔を確実に保持することができる。
その結果、減圧複層ガラスパネルは、衝撃強度を高めることができ、ガラス板の破損を抑制することができる。
以下、本発明に係わる減圧複層ガラスパネルについて図面を参照しながら説明する。
ガラスパネル10の第2実施形態について、図8及び図9に基づいて説明する。第1実施形態と同様の部材については同じ番号を付しており、ここでの説明は省略する。
本実施形態では非当接部23が非当接面22によって構成されている。図9に示すように、ガラスパネル10において、柱体16は、第1ガラス板11と第2ガラス板12との間に配置される。
以下に示す実施例1,2及び比較例1,2のガラスパネルについて、以下の落球試験を行い、衝撃強度について確認した。落球試験は、第1ガラス板11及び第2ガラス板12(いずれも350mm×350mm、板厚3.1mm)の間に、高さ0.2mmの柱体16´を20mm間隔で点在させ、第1ガラス板11及び第2ガラス板12を図10に示す位置関係にして、第1ガラス板11の上方から第1ガラス板11の中央位置、且つ、隣接する柱体16´間の中央位置S(図11参照)に1kgの球を落下させる方法で行った。
実施例1,2と比較例1,2とは、ガラス板11、12は共通であり、柱体のみが異なる。なお、図10及び図11では、落球試験の概要を説明するための図であって、柱体の一例として円柱状の柱体16´が示されている。ちなみに、以下に示す比較例1の柱体の形状は、図10及び図11に示される柱体16´と同じである。
実施例1のガラスパネルは、上記の第1ガラス板11及び第2ガラス板12の間に以下の柱体16が配置される。実施例に用いられる柱体16は、図3及び図4に示す柱体16と同じ形状であり、全体の直径(最大径W1)が0.5mm、当接面21の直径(最大径W2)0.2mm、非当接面22が当接面21の周囲に0.15mmの幅で存在する。また、柱体16の高さH1は0.2mm、柱体16の外周縁19の高さ(厚み)H2は0.
16mmである。当接面21及び非当接面22の曲率半径は1.2mm、勾配角度α1は5度である。
実施例2のガラスパネルは、上記の第1ガラス板11及び第2ガラス板12の間に以下の柱体16が配置される。実施例2に用いられる柱体16は、図8に示す柱体16と同じ形状であり、全体の直径(最大径W1)が0.5mm、当接面21の直径(最大径W2)0.42mmである。また、柱体16の高さ(厚み)H1は0.2mmである。実施例2の柱体において、第1ガラス板11または第2ガラス板12の対向面17、18と、非当接面22との間に形成される、勾配角度α2は、52度である。
比較例1のガラスパネルは、上記の第1ガラス板11及び第2ガラス板12の間に以下の柱体が配置される。比較例1に用いられる柱体(柱体16´)は、直径0.2mmの円柱であり、厚み(高さ)が0.2mmである。すなわち、比較例1の柱体は、第1ガラス板11及び第2ガラス板12に当接する当接面が実施例1と同じ大きさである。
比較例2のガラスパネルは、上記の第1ガラス板11及び第2ガラス板12の間に以下の柱体が配置される。比較例2に用いられる柱体は、図8に示される柱体16と同様の形状であり、実施例2の柱体とは勾配角度が異なる。比較例2の柱体において、勾配角度α2は、68度である。したがって、比較例2の柱体の当接面の直径は実施例2と同じく0.42mmであり、全体の直径も実施例2の柱体の直径とほぼ(約0.5mm)である。
また、柱体16の高さ(厚み)は0.2mmである。
落球試験において、第1ガラス板11が破損しない球の上限の高さを落球クリア高さと定義する。当接面の直径が共に0.2mmである、実施例1及び比較例1について、落球クリア高さを比較する。実施例1では、落球クリア高さは152mmであった。一方、比較例1では、落球クリア高さは44mmであった。
当接面の直径が共に0.42mmである、実施例2及び比較例2について、落球クリア高さを比較する。実施例2では、落球クリア高さは230mmであった。一方、比較例2では、落球クリア高さは203mmであった。
ガラスパネル10において、柱体16は、上記の実施形態に示される形状に限定されず、以下の形状であってもよい。
(1)図12〜図16に示すように、柱体16は、非当接面22上に凸状の非当接部23が設けられていてもよい。図13に示すように、凸状の非当接部23は、非当接面22において中心軸X周りの全周に亘って設けられてもよい。図14〜図16に示すように、複数の凸状の非当接部23が、非当接面22の中心軸X周りにおいて分散配置されてもよい。図14では、4つの凸状の非当接部23が四方に配置され、図15及び図16では、8つの凸状の非当接部23が八方に配置されている。非当接面22上に配置される凸状の非当接部23の数は特に限定されず、1つでも2つ以上でもよい。凸状の非当接部23は、図14及び図15に示すように、柱体16の平面視において円状でもよいし、図16に示すように、放射線状に延びる直線状等の形状でもよい。このように、非当接部23を非当接面22上の一部に設けることで、柱体16は全体の体積を減少させることができる。柱体16における熱貫流率(U値)は、柱体16の体積に比例する、したがって、柱体16を図12〜図16に示す形状にすることで、柱体16は熱貫流率(U値)を抑制することができる。また、柱体16の体積の減少することで、柱体16の材料コストを抑えることもできる。
これにより、柱体16は熱貫流率(U値)を抑制することができ、柱体16の材料コストを抑えることもできる。図19に示すように、柱体16において、非当接部23が、非当接面22において、ガラス板11,12の対向面17、18に沿う平坦面で構成されていてもよい。非当接部23が平坦面であると、変形したガラス板11,12は非当接部23の平坦面によって支持されるため、ガラスパネル10の衝撃強度を高めることができる。
また、図20に示すように、柱体16において、非当接部23が、非当接面22の外周側に配置され、且つ、ガラス板11,12の対向面17、18に向けて突出する突起によって構成されてもよい。
11 :第1ガラス板
12 :第2ガラス板
13 :空隙部
14 :密閉部
16 :柱体
17,18:対向面
19 :外周縁
21 :当接面
22 :非当接面
22A1 :内側面
22A2 :外側面
23 :非当接部
W1 :柱体の最大径
W2 :当接面の最大径
H1 :全体高さ
H2 :外周縁高さ
X :中心軸
α,α1,α2 :勾配角度
Claims (16)
- 第1ガラス板と、
前記第1ガラス板と対向配置される第2ガラス板と、
前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板の外縁全周に設けられ、前記第1ガラス板と前記第2ガラス板との間に減圧状態に密閉された空隙部を形成する密閉部と、
前記第1ガラス板と前記第2ガラス板との間に配置される複数の柱体と、を備え、前記柱体は、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板の対向面に当接する当接面と、前記当接面の周囲に設けられ、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板の前記対向面から離間する非当接部とを有し、
前記非当接部は、対向する前記第1ガラス板または前記第2ガラス板が第1の外力を受けて変形した際に変形した前記第1ガラス板または前記第2ガラス板に少なくとも一部が当接可能に構成されており、
前記柱体は、前記当接面の周縁から連続して外方に延出し外周縁に向かうにつれて前記第1ガラス板または前記第2ガラス板の前記対向面から漸次離間し、前記非当接部を少なくとも一部に含む非当接面を有し、
前記柱体において、前記第1ガラス板または前記第2ガラス板の前記対向面と、前記非当接面との間に形成される勾配角度が、前記第1ガラス板または前記第2ガラス板が前記第1の外力を受けて変形した際に変形した前記第1ガラス板または前記第2ガラス板に前記非当接面の少なくとも一部が当接可能な角度である、0.4度以上65度未満に設定されており、
前記柱体の圧縮強度は、200MPa以上である、減圧複層ガラスパネル。 - 前記当接可能に構成とは、前記第1ガラス板または前記第2ガラス板が第2の外力を受けて変形した際に、変形した前記第1ガラス板または前記第2ガラス板が、対向する前記第1ガラス板または前記第2ガラス板に接触する前に、前記非当接部に当接する構成である、請求項1に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記非当接部は、前記非当接面上にある、請求項1または2に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記非当接部は、前記非当接面の一部である、請求項1または2に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記当接面が球冠状に形成されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記当接面が平面状に形成されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記非当接部が外周縁に向けて直線状に形成されている、請求項1から6のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記当接面及び前記非当接部が全体として同一半径の球冠状に形成されている、請求項1から5のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記当接面及び前記非当接部の曲率半径が0.3mm以上20mm以下である、請求項8に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記第1の外力とは、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板(いずれも350mm×350mm、板厚3.1mm)の間に、前記当接面の直径0.2mm、高さ0.2mmの前記柱体を20mm間隔で点在させ、前記第1ガラス板の上方から前記第1ガラス板の中央位置、且つ、隣接する前記柱体間の中央位置に1kgの球を落下させる落球試験において、前記第1ガラス板が破損しない前記球の上限高さが100mmのときの力である、請求項1から9のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 熱貫流率が1.5W/m2K以下である、請求項1から10のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板に対向する領域の最大径が100マイクロメートル以上1000マイクロメートル以下である、請求項1から11のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記当接面の最大径が100マイクロメートルよりも大きい、請求項1から12のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板の板面に垂直となる方向の長さが、50マイクロメートル以上500マイクロメートル以下である、請求項1から13のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体はジルコニアを含んでいる、請求項1から14のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
- 前記柱体は、前記第1ガラス板及び前記第2ガラス板の板面に垂直な方向視における形状が、楕円及び長円を含む円形状、矩形状、三角形状、五角以上の多角形状のいずれかである、請求項1から15のいずれか一項に記載の減圧複層ガラスパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020067476A JP6801134B1 (ja) | 2020-03-13 | 2020-04-03 | 減圧複層ガラスパネル |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020044766 | 2020-03-13 | ||
JP2020067476A JP6801134B1 (ja) | 2020-03-13 | 2020-04-03 | 減圧複層ガラスパネル |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020044766 Division | 2020-03-13 | 2020-03-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6801134B1 true JP6801134B1 (ja) | 2020-12-16 |
JP2021147300A JP2021147300A (ja) | 2021-09-27 |
Family
ID=73740959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020067476A Active JP6801134B1 (ja) | 2020-03-13 | 2020-04-03 | 減圧複層ガラスパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6801134B1 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11270242A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 複層ガラス |
JP2000054744A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-02-22 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラスパネル用間隙保持部材 |
JPH11315668A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-11-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラスパネル |
JPH11343151A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラスパネルの間隔保持部材 |
WO2013132869A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | パナソニック株式会社 | 複層ガラスの製造方法 |
US9878954B2 (en) * | 2013-09-13 | 2018-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Vacuum glazing pillars for insulated glass units |
JP6463036B2 (ja) * | 2014-08-21 | 2019-01-30 | 日本板硝子株式会社 | 間隔保持部材 |
US9366071B1 (en) * | 2014-12-03 | 2016-06-14 | Peter Petit | Low-friction spacer system for vacuum insulated glass |
CN107429537A (zh) * | 2015-03-12 | 2017-12-01 | 3M创新有限公司 | 用于隔热玻璃单元的真空窗用玻璃支柱以及由其形成的隔热玻璃单元 |
-
2020
- 2020-04-03 JP JP2020067476A patent/JP6801134B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021147300A (ja) | 2021-09-27 |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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