JP6791476B2 - 弾性波計測センサ - Google Patents
弾性波計測センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6791476B2 JP6791476B2 JP2016003902A JP2016003902A JP6791476B2 JP 6791476 B2 JP6791476 B2 JP 6791476B2 JP 2016003902 A JP2016003902 A JP 2016003902A JP 2016003902 A JP2016003902 A JP 2016003902A JP 6791476 B2 JP6791476 B2 JP 6791476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic wave
- cantilever
- wave measurement
- measurement sensor
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 30
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013553 LiNO Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
図1に示す弾性波計測センサ10Aは、センサ部12Aを複数、本図の場合、8個備え、被計測物としてのコンクリート構造物11に固定される。センサ部12Aは、脚体14と、脚体14上に形成されたカンチレバー16と、前記カンチレバー16と前記脚体14の間に形成されたギャップ18と、前記カンチレバー16及び前記ギャップ18を覆う液体20とを備える。本実施形態の場合、センサ部12Aは、1次元に配列されている。なおセンサ部12Aの数は、8個に限定されるものではなく、2個以上であれば適宜選択できる。
次に、センサ部12Aの製造方法について図3を参照して説明する。まず、Siからなる基板22上にSiO2からなる絶縁層24を形成し、さらに、その絶縁層24の上部にSiからなるシリコン層26を形成することにより、基板22と絶縁層24とシリコン層26からなる積層構造のSOIを形成する。SOIの各層(Si/SiO2/Si)の厚さは、例えば、それぞれ上から順に、0.3/0.4/300μmとすることができる。次いで、シリコン層26上に不純物をドーピングしてシリコン層26の一部をN型もしくはP型半導体としたピエゾ抵抗層28を形成する(図3A)。
上記のように構成された弾性波計測センサ10Aは、コンクリート構造物11表面に接着剤を介して脚体14が固定されることにより、コンクリート構造物11に設けられる。また各センサ部12Aは、図4に示す信号変換部としての検出回路21にそれぞれ電気的に接続される。検出回路21は、ブリッジ回路を有している。ブリッジ回路は抵抗R1,抵抗R2,抵抗R3を有し、さらに、抵抗R4+ΔRとしてセンサ部12Aが接続される。ここで、R4は原姿勢にあるカンチレバー16のピエゾ抵抗値(初期値)であり、ΔRはピエゾ抵抗値の初期値に対する変化分である。ブリッジ回路に対しては図示されていない電源から電圧Vsが与えられている。ブリッジ回路の出力が差動アンプから電圧ΔVoutとして出力されている。その信号がオシロスコープ(図示しない)に出力される。このようにして検出回路21により、ピエゾ抵抗値の変化分ΔRを電圧ΔVoutとして得ることができる。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
12A、12B、12C センサ部
14、48、52 脚体
16 カンチレバー
18 ギャップ
20 液体
44 膜
46 外装部
49 環状部
50、53、54 直線部
51 ケース
Claims (6)
- 被計測物で生じる弾性波を計測するセンサ部を複数備えた弾性波計測センサであって、
前記センサ部は、
前記被計測物に固定される脚体と、
前記脚体上に形成されたカンチレバーと、
前記カンチレバーと前記脚体の間に形成されたギャップと、
前記カンチレバー及び前記ギャップを覆う液体と
を備え、
前記脚体は、前記被計測物に固定される底面と、前記カンチレバーが形成される上面とを有し、前記底面から前記上面に連通する連通路が形成されており、前記被計測物を伝搬してきた弾性波を前記カンチレバーへ伝達させることを特徴とする弾性波計測センサ。 - 前記液体を覆う弾性変形可能な膜が設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性波計測センサ。
- 前記膜を覆う外装部を備えることを特徴とする請求項2記載の弾性波計測センサ。
- 前記センサ部の表面を覆うケースを備えることを特徴とする請求項2又は3記載の弾性波計測センサ。
- 前記センサ部が、1次元又は2次元に配列されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の弾性波計測センサ。
- センサ部を複数備えた弾性波計測センサであって、
前記センサ部は、
脚体と、
前記脚体上に形成されたカンチレバーと、
前記カンチレバーと前記脚体の間に形成されたギャップと、
前記カンチレバー及び前記ギャップを覆う液体と
を備え、
前記脚体が、環状部と、前記環状部の直径方向に延びる1又は2以上の直線部とを有し、
前記センサ部が、前記直線部に設けられている
ことを特徴とする弾性波計測センサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562102842P | 2015-01-13 | 2015-01-13 | |
US62/102,842 | 2015-01-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016130735A JP2016130735A (ja) | 2016-07-21 |
JP6791476B2 true JP6791476B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=56415455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016003902A Active JP6791476B2 (ja) | 2015-01-13 | 2016-01-12 | 弾性波計測センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6791476B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6996679B2 (ja) * | 2017-06-23 | 2022-01-17 | 国立大学法人 東京大学 | 光音響測定プローブ |
JP2023095699A (ja) * | 2021-12-24 | 2023-07-06 | 公立大学法人 富山県立大学 | 光音響波測定装置、及び、光音響波測定システム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09264879A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Osaka Gas Co Ltd | 薄膜式微小aeセンサ及びその製造方法 |
JP2013190362A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Kazuo Muto | Aeセンサの製造方法およびこれによって製造されたaeセンサ |
JP6021110B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2016-11-02 | 国立大学法人 東京大学 | 感圧型センサ |
US20140360890A1 (en) * | 2013-06-11 | 2014-12-11 | Drexel University | Asymmetric sensors |
-
2016
- 2016-01-12 JP JP2016003902A patent/JP6791476B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016130735A (ja) | 2016-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11800804B2 (en) | Variable thickness diaphragm for a wideband robust piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) | |
JP6552644B2 (ja) | 金属性保護構造を有する超音波トランスデューサのためのインピーダンス整合層 | |
US9073085B2 (en) | Electromechanical transducer | |
JPH09126861A (ja) | 超音波変換器 | |
US10536779B2 (en) | Electroacoustic transducer | |
Lin et al. | Encapsulation of capacitive micromachined ultrasonic transducers using viscoelastic polymer | |
JPWO2008056643A1 (ja) | 超音波探触子及びこれを用いた超音波診断装置 | |
CN108931292B (zh) | 用于校准至少一个传感器的方法 | |
US20140265720A1 (en) | Methods and devices relating to capacitive micromachined diaphragms and transducers | |
JP6791476B2 (ja) | 弾性波計測センサ | |
CN106895803A (zh) | 一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法 | |
JP2017187420A (ja) | 音振感知装置 | |
Yaacob et al. | Theoretical characterization of square piezoelectric micro ultrasonic transducer for underwater applications | |
CN109848021B (zh) | 超声波器件以及超声波测量装置 | |
JP7099267B2 (ja) | 超音波デバイスおよび超音波センサー | |
RU2504766C1 (ru) | Преобразователь акустической эмиссии | |
JP6663148B2 (ja) | 振動検出素子 | |
JP2016102773A5 (ja) | 超音波センサー | |
Kim et al. | Piezoelectric parylene-C MEMS microphone | |
RU170862U1 (ru) | Чувствительный элемент датчика удара | |
JP5364886B2 (ja) | 触覚センサ | |
Aoki et al. | Detection of high-frequency component of mechanomyogram | |
US11513102B2 (en) | Sensor including deformable part | |
Akai et al. | Sensitivity and resonance frequency with changing the diaphragm diameter of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers | |
JP6395391B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6791476 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |