JP6788406B2 - 貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
図8(B):貼付ユニット位置調整・昇降手段13を作動させることにより、第2ステージ20(3,5)および貼付ローラー10を含む貼付ユニット21全体を、離間距離Dが0.5mmとなるまで上昇させること。
図8(C):第2部材200の一部が他の部分よりも第1部材100に近接した状態ではなく、第2部材200の姿勢が真っ直ぐな状態で位置合わせを行うこと。
図9(A):貼始側ステージ昇降手段6,7を作動させることにより、貼始側ステージ5のみを上昇させると、第2部材200の貼始端200aを含む端部が他の部分に先行して第1部材100に貼り付けられること。
図9(C),図10(A):貼始側ステージ5で支持されていた部分を貼付ローラー10で押圧する前に、貼終側ステージ3を傾動させること。
2 第1ステージ
2a 保持面
3 貼終側ステージ
3a 支持面
4 貼終側ステージ傾動手段
5 貼始側ステージ
5a 支持面
6 貼始側ステージ支持部(貼始側ステージ昇降手段)
7 ガイド(貼始側ステージ昇降手段)
8 貼始側ステージ退避手段
9 ガイド
10 貼付ローラー
11 貼付ローラー昇降手段
12 ユニット基台
13 貼付ユニット位置調整・昇降手段
14 貼付ユニット走行手段
15 ガイド
16a,17a 貼始側カメラ
16b,17b 貼終側カメラ
18 基台
20 第2ステージ
21 貼付ユニット
22 光学カメラユニット
Claims (10)
- 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
を含み、
前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
前記第3工程および前記第4工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第4工程において、前記第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させる
ことを特徴とする貼付方法。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
を含み、
前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
前記第2工程および前記第3工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第4工程において、前記第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させる
ことを特徴とする貼付方法。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
を含み、
前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
前記第2工程および前記第3工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第3工程を実行することにより、前記第4工程が実行される
ことを特徴とする貼付方法。 - 前記第1部材が透光性を有し、
前記第1部材の上方に配置された光学カメラで、前記第1部材に付された第1アライメントマークの位置を認識するとともに、前記第1部材越しに前記第2部材に付された第2アライメントマークの位置を認識し、前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの位置関係に基づいて前記第1部材または前記第2部材の位置を調整することにより前記位置合わせ工程が実行される
ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の貼付方法。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
を含み、
前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
前記第2工程を実行した後の、前記第1部材および前記第2部材の上下方向の離間距離が0.5mm〜1.0mmである
ことを特徴とする貼付方法。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第1部材に近接させ、その後、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、さらにその後、前記第2ステージの全体を上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、その後、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第1部材に近接させ、さらにその後、前記第2ステージの全体を上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。 - 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、その後、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。 - 前記第1部材は透光性を有し、
前記第1ステージの上方に配置された光学カメラをさらに備え、
前記光学カメラは、透光性を有する前記第1ステージ越しに前記第1部材に付された第1アライメントマークを撮影するとともに、透光性を有する前記第1ステージおよび前記第1部材越しに前記第2部材に付された第2アライメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記光学カメラによって撮影された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの位置関係に基づいて前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整する
ことを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか一項に記載の貼付装置。 - 前記第2ステージは、前記第1部材の0.5mm〜1.0mm下方において、前記第1部材に対向するように前記第2部材を支持する
ことを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれか一項に記載の貼付装置。
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