JP6780542B2 - 電力変換装置の製造方法 - Google Patents

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Description

本明細書が開示する技術は、電力変換装置の製造方法に関する。
電力変換装置は、大電流が流れる半導体素子(電力変換用の半導体素子)を多数用いている。一つ当たりの半導体素子の負荷を低減すべく、同じ仕様の半導体素子を並列に接続し、その並列接続をあたかも一つの半導体素子として使うことがある(例えば特許文献1)。
特開2016−163396号公報
同じ仕様の半導体素子であっても、製造誤差によりわずかながら電圧特性(抵抗特性)が相違する。電圧特性とは、例えば、半導体素子がダイオードであれば電圧降下であり、半導体素子がトランジスタの場合はオン電圧である。2個の半導体素子を並列に接続したとき、電圧特性がわずかでも相違すれば、一方の半導体素子に多くの電流が流れてしまう。それゆえ、2個の半導体素子を並列に接続しても全ての半導体素子の負荷が単純に半減するものではない。並列に接続された2個の半導体素子の電圧特性の相違が大きいと、2個の半導体素子に流れる電流の偏りが大きくなり、一方の半導体素子の負荷が期待したほどには小さくならない。2個の半導体素子の並列接続を備える電力変換装置において並列に接続された2個の半導体素子を流れる電流の偏りを小さくする技術が望まれている。
本明細書は、2個の半導体素子の並列接続を複数セット備える電力変換装置の製造方法を開示する。その製造方法は、仕分工程と抽出工程と接続工程を備える。仕分工程では、電力変換用の複数の半導体素子を、半導体素子の電圧特性が設計値を含む所定範囲内に収まっている第1グループと、電圧特性が所定範囲より大きい第2グループと、電圧特性が所定範囲よりも小さい第3グループに仕分けする。抽出工程では、少なくも1個の半導体素子を第1グループから抽出し、残りを第2グループと第3グループの中から抽出して合計で所定の偶数個の半導体素子を集める。電力変換用の半導体素子の総数は、1個の電力変換装置に必要とされる半導体素子の総数である。別言すれば、2個1組であたかも1個の素子のように用いる半導体素子の総数である。接続工程は、抽出工程で集められた半導体素子を2個1組で並列接続する工程である。より具体的には、接続工程では、第2グループの半導体素子は第2グループの別の半導体素子又は第1グループの半導体素子と並列に接続する。第3グループの半導体素子は第3グループの別の半導体素子又は第1グループの半導体素子と並列に接続する。上記の製造方法によれば、電圧特性の最も大きいグループ(第2グループ)に属する半導体素子と、電圧特性の最も小さいグループ(第3グループ)に属する半導体素子が並列に接続されることがない。よって、並列に接続された2個の半導体素子において電流の偏りを小さくすることができる。なお、抽出工程において、「残りを第2グループと第3グループの中から抽出して合計で所定の偶数個の半導体素子を集める」とは、残りの半導体素子の全てを第2グループから(あるいは第3グループから)抽出してもよい。
本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。
電力変換装置の一例の回路図である。 半導体モジュールの斜視図である。 電力変換装置の平面図である。 仕分工程を説明する模式図である。 抽出工程を説明する図である。 接続工程を説明する図である。 半導体モジュールの別の組み合わせの例を説明する平面図である。 別の組み合わせの半導体モジュールで構成した電力変換装置の平面図である。 半導体モジュールのさらに別の組み合わせの例を説明する平面図である。
図面を参照して実施例の製造方法を説明する。まず、実施例の製造方法の対象となる電力変換装置について説明する。図1に、電力変換装置2の回路図を示す。電力変換装置2は、バッテリ80の直流電力をモータ83の駆動に適した三相交流電力に変換するインバータである。インバータは、合計12個のトランジスタ6と、12個のダイオード7を備える。トランジスタ6は例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)であり、電力変換用の半導体である。12個のトランジスタ6は、同じ仕様である。12個のダイオード7も同じ仕様である。電力変換装置2は、図示したトランジスタ6とダイオード7のほか、トランジスタ6の駆動信号を生成する制御回路を備えるが、その図示は省略している。
複数のトランジスタ6は、2個1組で各組の2個のトランジスタ6が並列に接続されている。また、各トランジスタ6にダイオード7が逆並列に接続されている。並列に接続された2個のトランジスタ6のゲートには、同じ駆動信号が供給され、2個のトランジスタ6は同じタイミングでオンオフする。並列接続された2個のトランジスタ6は、あたかも1個のトランジスタのように動作する。あたかも1個のトランジスタのように動作する2個のトランジスタ6の並列接続を、説明の便宜上、以下では「並列回路」と称する。
電力変換装置2では、2組の並列回路が直列に接続されている。並列回路の直列接続が3組、並列に接続されている。3組の直列接続は、正極線81と負極線82の間で並列に接続されている。正極線81がバッテリ80の正極端に接続され、負極線82がバッテリ80の負極端子に接続される。正極線81の側のトランジスタ(並列回路)は上アームと呼ばれ、負極線82の側のトランジスタ(並列回路)は下アームと呼ばれる。3組の直列接続の夫々の中点から交流が出力される。3組の直列接続の中点からは、位相が120度ずれた交流が出力される。即ち、3組の直列接続の中点から三相交流が出力される。生成された三相交流がモータ83に供給される。
1個のトランジスタ6とこれに逆並列に接続されている1個のダイオード7は一つの半導体モジュール3に収容されている。電力変換装置2は、12個の半導体モジュール3で構成される。12個の半導体モジュールの夫々を区別するときには、符号3にa−nの英字を添えて表す。図2に半導体モジュール3の斜視図を示す。半導体モジュール3は、樹脂製のパッケージ14に2個の半導体素子(トランジスタ素子16とダイオード素子17)を封止したデバイスである。トランジスタ素子16が図1のトランジスタ6に対応し、ダイオード素子17が図1のダイオード7に対応する。即ち、トランジスタ素子16は、電力変換用の半導体素子である。
パッケージ14は直方体である。説明の都合上、図中の座標系のZ軸正方向を上と称する。パッケージ14の上面に2個のパワー端子(正極端子12と負極端子13)が備えられており、パッケージ14の下面に複数の制御端子85が備えられている。トランジスタ素子16とダイオード素子17はパッケージ14の内部で逆並列に接続されており、正極端子12が逆並列接続の高電位側と導通しており、負極端子13が逆並列接続の低電位側と導通している。制御端子85は、トランジスタ素子16のゲートとつながっているゲート端子と、トランジスタ素子16の温度を計測する温度センサ(不図示)とつながっているセンサ信号端子である。図示を省略しているが、パッケージ14は扁平であり、両側の幅広面に、トランジスタ素子16とダイオード素子17の熱を外部へ放出する放熱板が露出している。
電力変換装置2は12個の半導体モジュール3a−3nを備えている。図3に、電力変換装置2の平面図を示す。図3は、電力変換装置2の筐体90のカバーを外した図である。筐体90の一部(図3の左側に相当する部分)は図示を省略した。筐体90には、積層ユニット10が収容されている。積層ユニット10は、複数の半導体モジュール3と複数の冷却器4を積層したデバイスである。図を見やすくするため、図3では半導体モジュール3をグレーで塗りつぶしてある。
冷却器4は扁平であり、複数の冷却器4は、その幅広面が対向するように平行に並べられている。隣り合う冷却器4の間に2個の半導体モジュール3が挟まれている。7個の冷却器4によって6個の冷却器間空間が形成され、夫々の冷却器空間に2個の半導体モジュール3が挟まれている。2個の半導体モジュール3は、放熱板が露出した夫々の幅広面が冷却器4と接するように挟まれている。複数の冷却器4には2個の冷媒パイプ92、93が通っている。冷却器4の内部は空洞であり、その空洞を液体の冷媒が流れる。冷媒パイプ92、93の一端は筐体90の外に延びている。冷媒パイプ92、93の一端には、不図示の冷媒循環装置が接続されている。一方の冷媒パイプ92を通じて各冷却器4に冷媒が分配される。冷媒は冷却器4を通過する間に冷却器4に隣接する半導体モジュール3から熱を吸収する。熱を吸収した冷媒は他方の冷媒パイプ93を通じて外部へ排出される。外部へ排出された冷媒は冷媒循環装置に戻り、冷却された後に再び積層ユニット10へ送られる。
積層ユニット10の一端と筐体90の側壁の間にバネ91が挿入されており、バネ91が、積層ユニット10を、冷却器4と半導体モジュール3の積層方向に荷重する。バネ91の荷重により冷却器4と半導体モジュール3が密着し、伝熱特性を高めている。
隣り合う冷却器4に挟まれた2個の半導体モジュール3は正極バスバ8a−8fと負極バスバ9a−9fで接続されている。半導体モジュール3aと3bが正極バスバ8aと負極バスバ9aによって並列に接続される。半導体モジュール3bと3c、3dと3e、3eと3f、3gと3h、3jと3k、3mと3nも夫々、対応する正極バスバ8と負極バスバ9によって並列に接続される。
2個の半導体モジュール3の並列接続が、先に述べた並列回路に相当する。各並列接続(並列回路)に含まれる2個の半導体モジュール3のトランジスタ素子16には同じ駆動信号が供給される。並列回路に含まれる2個の半導体モジュール3のトランジスタ素子16は、同じタイミングでオンオフし、あたかもひとつのトランジスタ素子のように動作する。
全てのトランジスタ素子16は同じ仕様である。ただし、製造誤差により、複数のトランジスタ素子16はわずかながら性能が異なる。例えば、複数のトランジスタ素子16はオン電圧が所定の範囲で分布している。オン電圧の分布は、例えば、設計値を中心とする正規分布となる。並列に接続された2個のトランジスタ素子16を同じタイミングでオンオフするとき、オン電圧が異なると、2個のトランジスタ素子16を流れる電流に偏りが生じる。電力変換装置2の許容電流は、その偏りを考慮して定められる。電流の偏りが小さいほど、電力変換装置2の許容電流を大きくすることができる。以下では、2個の半導体モジュール3(2個のトランジスタ素子16)の並列回路を複数備える電力変換装置2の製造方法を説明する。その製造方法は、並列回路における2個のトランジスタ素子16に流れる電流の偏りを小さくすることができる。
なお、1個の半導体モジュール3に1個のトランジスタ素子16(及び1個のダイオード素子17)が収容されている。以下の製造方法では、複数の半導体モジュール3を3個のグループに仕分けるが、半導体モジュール3を仕分けすることは、トランジスタ素子16を仕分けすることと等価である。
まず、複数の半導体モジュール3を製造する。複数の半導体モジュール3は、既知の方法で製造されるので、説明は割愛する。電力変換装置2の製造方法の主な工程は、仕分工程、抽出工程、接続工程である。
(仕分工程)この工程では、複数の半導体モジュール3を、トランジスタ素子16のオン電圧が設計値を含む所定範囲内に収まっている第1グループと、オン電圧が所定範囲より大きい第2グループと、オン電圧が所定範囲よりも小さい第3グループに仕分けする。所定範囲は、オン電圧が正規分布の標準偏差(通称シグマ)の範囲に設定される。図4に仕分工程を説明する模式図を示す。図4の上側の図は、複数の半導体モジュール3の全体グループを表している。この全体グループの一つひとつの半導体モジュール3(トランジスタ素子16)のオン電圧を計測し、各半導体モジュール3(トランジスタ素子16)をオン電圧の大きさによって対応するグループに分ける。図4の下側が、仕分後の半導体モジュールを示している。図4と以降の図では、第1グループに属する半導体モジュールを符号31で表すとともに、半導体モジュールの図形に中濃度グレーのハッチングを施して他のグループと区別する。また、第2グループに属する半導体モジュールを符号32で表すとともに、半導体モジュールの図形に薄いグレーのハッチングを施して他のグループと区別する。また、第3グループに属する半導体モジュールを符号33で表すとともに、半導体モジュールの図形に濃いグレーのハッチングを施して他のグループと区別する。第1グループの複数の半導体モジュール31の夫々を区別する場合には符号31に英字a、b等を付す。第2グループの複数の半導体モジュール32の夫々を区別する場合には符号32に英字a、b等を付す。第3グループの複数の半導体モジュール33の夫々を区別する場合には符号33の英字a、b等を付す。また、第1−第3グループの半導体モジュールを区別なく表すときには従前の通り「半導体モジュール3」と表記する。
(抽出工程)この工程では、一つの電力変換装置に必要な数の半導体モジュール3を、第1−第3グループの中から抽出する。ここで、少なくも1個の半導体モジュール3(トランジスタ素子16)を第1グループから抽出し、残りを第2グループと第3グループの中から抽出して合計で12個の半導体モジュール3(トランジスタ素子16)を集める。本実施例では、第1グループから1個の半導体モジュール31を抽出する。第2グループから5個の半導体モジュール32a−32eを抽出する。第3グループから6個の半導体モジュール33a−33fを抽出する。集めた合計12個の半導体モジュール3で積層ユニット10を組み立てる。図5に、抽出工程で集められた半導体モジュール3が組み込まれた積層ユニット10の平面図を示す。積層ユニット10を組み立てる際、第2グループに属する半導体モジュール32a−32eを積層方向(図中のX方向)の一方の端に集中して配置する。第3グループに属する半導体モジュール33a−33fを積層方向の他方の端に集中して配置する。第1グループに属する半導体モジュール31を第1グループと第2グループの間に配置する。また、隣り合う2個の冷却器4の間に2個の半導体モジュール3が挟まれる。
(接続工程)この工程では、抽出工程で集められた半導体モジュール3を2個1組にして並列に接続する。このとき、第2グループの半導体モジュール32a−32eは第2グループの別の半導体モジュール又は第1グループの半導体モジュール31と並列に接続する。第3グループの半導体モジュール33a−33fは第3グループの別の半導体モジュール又は第1グループの半導体モジュール31と並列に接続する。説明の便宜上、この接続関係を、「偏り低減接続関係」と称する。
図6に、正極バスバ8a−8f、負極バスバ9a−9fで2個ずつ並列に接続された積層ユニット10を示す。図6は、バスバ8、9を接続した積層ユニット10が筐体90に収容されている状態の平面図である。
先に述べたように、第2グループに属する半導体モジュール32a−32eを積層方向の一端側に集中させ、第3グループに属する半導体モジュール33a−33fを積層方向の他端側に集中させ、それらの間に第1グループに属する半導体モジュール31を配置する。そのような配置により、隣り合う冷却器4の間に並ぶ2個の半導体モジュール3を並列に接続することで、上記した偏り低減接続関係が実現する。
第2グループに属する半導体モジュール32aと32bは正極バスバ8aと負極バスバ9aで並列に接続される。第2グループに属する半導体モジュール32cと32dは正極バスバ8bと負極バスバ9bで並列に接続される。第2グループに属する半導体モジュール32eは、第1グループに属する半導体モジュール31と正極バスバ8cと負極バスバ9cで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33aと33bは正極バスバ8dと負極バスバ9dで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33cと33dは正極バスバ8eと負極バスバ9eで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33eと33fは正極バスバ8fと負極バスバ9fで並列に接続される。半導体モジュール32aと32bが先に述べた並列回路を構成する。半導体モジュール32cと32d、32eと31、33aと33b、33cと33d、33eと33fも、夫々、並列回路を構成する。
第2グループの半導体モジュール32は、オン電圧が設計値を含む所定範囲よりも大きく、第3グループの半導体モジュール33は、オン電圧が所定範囲よりも小さい。従って第2グループに属する半導体モジュール32と第3グループに属する半導体モジュール33を並列に接続すると、電流の偏りが大きくなる。上記した接続工程では、第2グループに属する半導体モジュール32と第3グループに属する半導体モジュール33が並列に接続されることがない。よって、半導体モジュールをランダムに選んで並列回路を作る場合と比較して、並列回路における電流の偏りを小さくすることができる。
(変形例)先の抽出工程では、第1グループから1個の半導体モジュール(トランジスタ素子)を抽出した。第1グループから抽出する半導体モジュール(トランジスタ素子)の数は、いくつでもよい。第1グループから2個の半導体モジュール31a、31bを抽出するケースを説明する。この変形例では、第2グループから5個の半導体モジュール32a−32eを抽出し、第3グループからも5個の半導体モジュール33a−33eを抽出し、合計12個の半導体モジュール3を集めたとする。図7に、12個の半導体モジュール3を使って組み立てた積層ユニット10aの平面図を示す。図7、図8でも、薄いグレー(半導体モジュール32a−32e)が第2グループに属する半導体モジュールであることを示している。濃いグレー(半導体モジュール33a−33e)が第3グループに属する半導体モジュールであることを示している。中間のグレー(半導体モジュール31a、31b)が第1グループに属する半導体モジュールであることを示している。
この例では、積層ユニット10aを組み立てる際、第2グループに属する半導体モジュール32a−32eを積層方向(図中のX方向)の一方の端に集中して配置する。第3グループに属する半導体モジュール33a−33eを積層方向の他方の端に集中して配置する。第1グループに属する半導体モジュール31a、31bを第1グループと第2グループの間に配置する。そのように配置することで、前述の偏り低減接続関係を満たすバスバの配索が容易となる。
接続工程では、第2グループの半導体モジュール32a−32eは第2グループの別の半導体モジュール又は第1グループの半導体モジュール31a、31bと並列に接続する。第3グループの半導体モジュール33a−33eは第3グループの別の半導体モジュール又は第1グループの半導体モジュール31a、31bと並列に接続する。図8に正極バスバ8a−8f、負極バスバ9a−9fで2個ずつ並列に接続された積層ユニット10aの平面図を示す。
積層ユニット10aにおける半導体モジュール3の接続関係は以下の通りである。第2グループに属する半導体モジュール32aと32bは正極バスバ8aと負極バスバ9aで並列に接続される。第2グループに属する半導体モジュール32cと32dは正極バスバ8bと負極バスバ9bで並列に接続される。第2グループに属する半導体モジュール32eは、第1グループに属する半導体モジュール31aと正極バスバ8cと負極バスバ9cで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33aは、第1グループに属する半導体モジュール31bと正極バスバ8dと負極バスバ9dで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33bと33cは正極バスバ8eと負極バスバ9eで並列に接続される。第3グループに属する半導体モジュール33dと33eは正極バスバ8fと負極バスバ9fで並列に接続される。
図7、図8の例でも、オン電圧が大きい第2グループの半導体モジュール32とオン電圧が小さい第3グループの半導体モジュール33が並列に接続されることがない。よって、2個の半導体モジュール3(トランジスタ素子)の並列回路において電流の偏りが小さくなる。
図7、図8の例では、第1グループから2個の半導体モジュール31a、31bを抽出し、第2グループと第3グループからはそれぞれ5個(即ち奇数個ずつ)の半導体モジュール3を抽出した。第2グループと第3グループから夫々偶数個ずつ抽出してもよい。例えば、第1グループから2個の半導体モジュール31a、31bを抽出し、第2グループから4個の半導体モジュール32a−32dを抽出し、第3グループから6個の半導体モジュール33a−33fを抽出した場合を想定する。図9に、抽出した12個の半導体モジュール3で構成した積層ユニット10bの平面図を示す。図9でも、薄いグレー(半導体モジュール32a−32d)が第2グループに属する半導体モジュールであることを示している。濃いグレー(半導体モジュール33a−33f)が第3グループに属する半導体モジュールであることを示している。中間のグレー(半導体モジュール31a、31b)が第1グループに属する半導体モジュールであることを示している。
第2グループの4個の半導体モジュール32a−32dは、隣り合う冷却器4の間に2個ずつ挟まれるとともに夫々の両面が冷却器4に接するように配置される。第3グループの6個の半導体モジュール33a−33fも隣り合う冷却器4の間に2個ずつ挟まれるとともに夫々の両面が冷却器4に接するように配置される。第1グループの2個の半導体モジュール31a、31bも、隣り合う冷却器4の間で夫々の両面が冷却器4に接するように配置される。この場合も、図8に示した正極バスバ8a−8fと負極バスバ9a−9fで接続することによって、第2グループの半導体モジュール32は同じ第2グループの別の半導体モジュール32と並列に接続される。第3グループの半導体モジュール33は同じ第3グループの別の半導体モジュール32と並列に接続される。第1グループの半導体モジュール31aは同じグループの別の半導体モジュール31bと並列に接続される。この例でも、オン電圧が大きい第2グループの半導体モジュール32とオン電圧が小さい第3グループの半導体モジュール33が並列に接続されることがない。よって、2個の半導体モジュール3の並列回路において電流の偏りが小さくなる。
1個の電力変換装置を製造する際、第1グループから少なくとも1個の半導体モジュールを抽出し、残りは第2グループと第3グループから抽出すれば、同様の効果が得られる。残りは全て第2グループから抽出してもよいし、全て第3グループから抽出してもよい。
実施例で説明した技術に関する留意点を述べる。実施例では、1個の半導体モジュール3に1個のトランジスタ素子16が収容されている。従って、特定のグループの半導体モジュール3を抽出することは、その特定のグループのトランジスタ素子16を抽出することと等価である。1個の半導体モジュールに複数個のトランジスタ素子が収容されていてもよい。1個の半導体モジュールのパッケージから、収容されている複数のトランジスタ素子の夫々の電極端子が延びていればよい。その場合、各トランジスタ素子のオン電圧を計測し、夫々を、前述した第1、第2、第3グループのいずれかに仕分ける。ここでの仕分けは、例えば、各トランジスタ素子の端子に、その属するグループを示す色を付す。物理的に1個のパッケージに収容されている複数のトランジスタ素子であっても、夫々を別々のグループに仕分けることができる。そして、1個の電力変換装置に必要な所定の偶数個のトランジスタ素子を抽出する際、少なくとも1個の半導体モジュールは第1グループに属するトランジスタ素子を含むように半導体モジュールを選択すればよい。
実施例と変形例では、積層ユニットを組み立てる際、第2グループに属する半導体モジュール32を積層方向(図中のX方向)の一方の端に集中して配置した。第3グループに属する半導体モジュール33を積層方向の他方の端に集中して配置した。そして、第1グループに属する半導体モジュール31を第1グループと第2グループの間に配置した。そのように配置することで、2個ずつを並列に接続するときのバスバの配索を簡素化できる。しかし、複数の半導体モジュールの配置は上記に限られない。夫々のグループに属する半導体モジュール(トランジスタ素子)は、積層ユニットの中でランダムに配置されてもよい。
実施例のトランジスタ素子16が半導体素子の一例に相当する。オン電圧が電圧特性の一例に相当する。半導体素子としてダイオードを選定する場合、着目する電圧特性は順電圧であってよい。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
2:電力変換装置
3、3a−3n:半導体モジュール
4:冷却器
6:トランジスタ
7:ダイオード
8a−8f:正極バスバ
9a−9f:負極バスバ
10、10a、10b:積層ユニット
12:正極端子
13:負極端子
14:パッケージ
16:トランジスタ素子(半導体素子)
17:ダイオード素子
20:積層ユニット
31、31a、31b:半導体モジュール(第1グループ)
32、32a−32e:半導体モジュール(第2グループ)
33、33a−33f:半導体モジュール(第3グループ)
80:バッテリ
81:正極線
82:負極線
83:モータ
85:制御端子
90:筐体
91:バネ
92、93:冷媒パイプ

Claims (1)

  1. 電力変換用の複数の半導体素子を、前記半導体素子の電圧特性が設計値を含む所定範囲内に収まっている第1グループと、前記電圧特性が前記所定範囲より大きい第2グループと、前記電圧特性が前記所定範囲よりも小さい第3グループに仕分けする仕分工程と、
    少なくとも1個の前記半導体素子を前記第1グループから抽出し、残りを前記第2グループと前記第3グループの中から抽出して合計で所定の偶数個の前記半導体素子を集める抽出工程と、
    前記抽出工程で集められた前記半導体素子を2個1組で並列接続する工程であって、前記第2グループの半導体素子は前記第2グループの別の半導体素子又は前記第1グループの半導体素子と並列に接続し、前記第3グループの半導体素子は前記第3グループの別の半導体素子又は前記第1グループの半導体素子と並列に接続する接続工程と、
    を備える電力変換装置の製造方法。
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