JP6777475B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
変動係数P=(溝ピッチの標準偏差)/(溝ピッチの平均値)[数式1]
変動係数L=(ランド幅の標準偏差)/(ランド幅の平均値)[数式2]
変動係数G=(溝幅の標準偏差)/(溝幅の平均値)[数式3]
図1は、本実施形態に係る研磨パッド100を示す斜視図である。同図に示すように、研磨パッド100は、研磨層101、接着層102及びクッション層103を具備する。以下、各図において、相互に直交する三方向をX方向、Y方向及びZ方向とする。
図2は研磨層101の平面図であり、図3は、研磨層101の模式的な拡大平面図である。図4は研磨層101の断面図であり、図5は研磨層101の模式的断面図である。
変動係数L=(ランド幅の標準偏差)/(ランド幅の平均値)[数式2]
変動係数G=(溝幅の標準偏差)/(溝幅の平均値)[数式3]
溝101bの形状は、上述のようなストライプ溝に限られない。図6乃至図8は、溝101bの各種形状を示す、研磨層101の平面図である。
研磨層101に溝101bを形成する方法は特に限定されないが、刃が並列に配列された切削具によって研磨層101を切削することによって溝101bを形成することができる。刃の幅等によって溝101bの幅を調整することができ、刃の間に配置されるスペーサーの厚さや枚数及び組合せなどによって刃の間隔を調整することができ、変動係数を上記範囲とすることが可能である。または、エンボス加工によって溝101bを形成しても良い。
加工圧力:80g/cm2
研磨スラリー:酸化セリウムスラリー
研磨パッド:フジボウ愛媛株式会社製 POLYPAS FX-7L
被研磨物:ガラス板(400mm×400mm)
研磨時間:30min
枚数:1枚×3バッチ
101…研磨層
101a…研磨面
101b…溝
101c…ランド
102…接着層
103…クッション層
Claims (7)
- 研磨面に同一方向に延伸する複数の溝が形成された研磨パッドであって、
前記複数の溝の深さは均一であり、
前記複数の溝の間の前記研磨面であるランドの、溝の延伸方向に直交する方向の幅であるランド幅と隣接する溝の幅の和から算出される溝ピッチ、ランド幅及び溝幅について、次の[数式1][数式2][数式3]で算出される変動係数がいずれも0.05以上0.30以下である
研磨パッド。
変動係数P=(溝ピッチの標準偏差)/(溝ピッチの平均値)[数式1]
変動係数L=(ランド幅の標準偏差)/(ランド幅の平均値)[数式2]
変動係数G=(溝幅の標準偏差)/(溝幅の平均値)[数式3] - 請求項1に記載の研磨パッドであって、
前記複数の溝は、前記研磨面において互いに平行に延伸するストライプ溝である
研磨パッド。 - 請求項2に記載の研磨パッドであって、
前記研磨面において、前記ストライプ溝が2種類重ね合された格子溝パターンが設けられた
研磨パッド。 - 請求項1に記載の研磨パッドであって、
前記複数の溝は、前記研磨面において同心円状である同心円溝である
研磨パッド。 - 請求項1に記載の研磨パッドであって
前記研磨面において、前記複数の溝が互いに平行に延伸するストライプ溝から構成された溝パターンが複数設けられた
研磨パッド。 - 請求項1に記載の研磨パッドであって
前記複数の溝の幅と隣接する前記ランド幅の比が一定である
研磨パッド。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の研磨パッドであって
前記研磨面において、10本以上の前記複数の溝から構成された溝切削パターンが2回以上反復して設けられた
研磨パッド。
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Family Applications (1)
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