JP6770426B2 - 成形金型、樹脂成形装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る成形金型10について、図1〜図6を参照して説明する。図1は樹脂成形装置50が備える成形金型10の要部模式的断面図(図2に示すI−I線に対応したもの)である。図2は成形金型10の上型11の金型面11aの要部模式的平面図である。図3は成形金型10の上型11の模式的斜視図である。図4は成形金型10が有する成形キャビティ20の角部26の模式的断面図である。図5は成形金型10が有する成形キャビティ20の辺部27の模式的断面図である。図6は成形キャビティ20の角部側面20baに接する底面20aの変形例の模式的平面図であり、図6AがR面取り、図6BがC面取り、図6Cが多角面取りの状態を示す。
本発明の実施形態に係る成形金型10Aについて、図9を参照して説明する。図9は樹脂成形装置50が備える成形金型10Aの要部模式的断面図である。前記実施形態1ではトランスファ成形に適用した場合について説明したが、本実施形態では圧縮成形に適用した場合について説明する。
本発明の実施形態に係る成形金型10Bについて、図10を参照して説明する。図10は樹脂成形装置50が備える成形金型10Bの要部模式的平面図である。前記実施形態1では金型面視(平面視)で矩形状に開口する成形キャビティ20(金型凹部)について説明した。本実施形態では、Vノッチ32を有する平面視円形状のワークW(例えば、ウェハやテンポラリキャリアなど)に対応して、ワークWの形状に沿うような金型面視(平面視)で円形状に開口し、底面20aおよび側面20bで規定される成形キャビティ20について説明する。なお、図10は、成形金型10Bの金型面視(平面視)を示すが、説明を容易にするために、ワークWも合わせて示している。
本発明の実施形態に係る成形金型10Cについて、図11を参照して説明する。図11は樹脂成形装置50が備える成形金型10Cの要部模式的平面図である。前記実施形態1では金型面11aで開口して底面20aおよび側面20bを有する成形キャビティ20(金型凹部)について説明した。本実施形態では、成形キャビティ20と連通するオーバーフローキャビティ40(金型凹部)について説明する。同図に一部を示すようなオーバーフローキャビティ40は、図2に示す成形キャビティ20のような長方形になることは多くなく、全体として長細い長方形や長丸形であったり折れ曲がった形状であったりする。
11 上型
11a 金型面
20 成形キャビティ
20a 底面
20b 側面
20ba 角部側面
20bb 側部側面
Claims (6)
- 金型面で凹んで開口し、底面および側面で規定される金型凹部を備える成形金型であって、
前記金型凹部の前記側面は、所定の形状で延在する辺部側面と、前記辺部側面よりも曲がった状態で前記辺部側面と接続される角部側面とを有し、
前記金型凹部内における前記底面と前記側面とのなす角度が、前記辺部側面より前記角部側面で大きく構成され、
前記角部側面に接する前記底面が当該角部側面に接する前記金型面よりも大きく面取りされた形状であり、
リリースフィルムを前記金型面に吸着させる複数の吸引路が前記金型凹部の辺部に設けられていることを特徴とする成形金型。 - 前記金型凹部が、成形キャビティであることを特徴とする請求項1記載の成形金型。
- 前記成形キャビティは、円形状に開口して、ワークが有するVノッチに対応して形成された一対の前記角部側面と円弧状の前記辺部側面を有することを特徴とする請求項2記載の成形金型。
- 前記金型凹部が、オーバーフローキャビティであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の成形金型。
- 前記底面および前記側面を含んで前記金型面に張り付けられる前記リリースフィルムを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の成形金型。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の成形金型を備えることを特徴とする樹脂成形装置。
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