JP6753764B2 - バルブユニットおよび基板処理装置 - Google Patents
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Description
<1.1 塗布装置1の全体構成>
図1は、塗布装置1の概略構成図である。図2は、ノズル移動機構の構成を示す上面図である。
図3は、バルブユニット100の構成を概略的に示す図である。図4は、開閉弁35の各構成のうちリミットスイッチ69側の部分を示す斜視図である。図5は、可動部材60が移動する様子を示す平面図である。図6は、サックバック弁47の各構成のうちリミットスイッチ79側の部分を示す斜視図である。図7は、可動部材70が移動する様子を示す平面図である。
次に、塗布装置1の動作例について説明する。以下の動作は、制御部51が塗布装置1の各部を制御することにより実行される。なお、処理の開始時には、ポンプ39の動作が停止されており、開閉弁35は閉状態になっている。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
11 ノズル
31 配管
33 送給部
35 開閉弁
43 メインフィルタ
45 2次フィルタ
47 サックバック弁
51 制御部
63、73 ダイヤフラム
64 上流側流路
65 下流側流路
66、76 電動モータ
67、68、77、78 駆動部
69、79 リミットスイッチ
74 サックバック用流路
100 バルブユニット
101 流路
Claims (5)
- 処理液を吐出するノズルに前記処理液を送給する流路と、
前記流路内の容積を変化させるサックバック弁と、
を備え、
前記サックバック弁は、
変形することで前記流路内の容積を変化させるダイヤフラムと、
直線駆動によって前記ダイヤフラムを変形させるピストンと、
ボタン部分を含み、前記ボタン部分が押圧されることによって前記ダイヤフラムの原点位置を示す信号を発信するリミットスイッチと、
前記リミットスイッチに対して当接または離間するように移動可能な可動部材と、
回転駆動力を発生させる電動モータと、
前記回転駆動力を直線駆動力に変換して前記ピストンに伝達し、前記ピストンを直線駆動させることによって前記ダイヤフラムを変形させる第1駆動部と、
前記回転駆動力を直線駆動力に変換して前記可動部材に伝達し、前記可動部材を前記リミットスイッチに対して当接または離間するように直線駆動させる第2駆動部と、
を有し、
前記可動部材の可動範囲は、前記電動モータの1回転に相当する前記可動部材の移動距離よりも大きい、バルブユニット。 - 請求項1に記載のバルブユニットであって、
前記電動モータは両軸モータであり、
前記ダイヤフラム側に位置する第1軸部分は前記第1駆動部に前記回転駆動力を伝達し、反対側に位置する第2軸部分は前記第2駆動部に前記回転駆動力を伝達する、バルブユニット。 - 請求項1または請求項2に記載のバルブユニットであって、
前記流路に沿って前記サックバック弁よりも上流側に位置し、前記流路を開状態または閉状態に切り替える開閉弁、
をさらに備える、バルブユニット。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1つの請求項に記載のバルブユニットと、
基板を保持する基板保持部と、
前記流路に前記処理液を送る送給部と、
前記流路を通じて送られた前記処理液を前記基板に吐出するノズルと、
前記可動部材が前記リミットスイッチの前記ボタン部分を押圧することで前記リミットスイッチが発信する前記ダイヤフラムの原点位置を示す信号に基づいて、前記電動モータの回転駆動を制御する制御部と、
を備える基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置であって、
前記処理液は、前記基板上に塗布膜を形成するための塗布液である、基板処理装置。
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