JP6753601B2 - Glass substrate divider - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス基板分割装置、特に、ガラスロールからガラス基板を分割して取り出す装置に関する。 The present invention relates to a glass substrate dividing device, particularly a device for dividing and taking out a glass substrate from a glass roll.

フィルムの表面に機能性膜を形成した基板は、例えば、表示デバイスに用いられる。機能性膜付き基板の材料としては、熱的安定性が高いことを考慮して、ガラスが主に用いられている。
ガラスを使用する場合には、ガラスパネルに機能性膜を形成することで、それをそのまま１つの部材として使用する。または、ガラスパネルを複数個に分割することで、複数個の機能性膜付きガラス基板を得る。
また、ガラスロールを用いてロール・ツー・ロール法で長尺のガラスフィルムを巻出し、そこから基板を分割する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。 A substrate having a functional film formed on the surface of a film is used, for example, in a display device. As a material for a substrate with a functional film, glass is mainly used in consideration of its high thermal stability.
When glass is used, by forming a functional film on the glass panel, it is used as it is as one member. Alternatively, by dividing the glass panel into a plurality of pieces, a plurality of glass substrates with a functional film can be obtained.
Further, a method is known in which a long glass film is unwound by a roll-to-roll method using a glass roll, and a substrate is divided from the long glass film (see, for example, Patent Document 1).

特開２００７−１１９３２２号公報JP-A-2007-119322

しかし、特許文献１に記載の方法では、ガラスロールのガラスフィルムはスクライブラインが形成された状態であるので、ガラスロールにおいてスクライブラインで破断が生じやすく、そのためガラスロールの管理が困難である。 However, in the method described in Patent Document 1, since the glass film of the glass roll is in a state where the scribe line is formed, the glass roll is liable to break at the scribe line, and therefore it is difficult to manage the glass roll.

本発明の目的は、ガラスロールから複数の基板を分割するガラス基板分割装置において、簡単かつ確実にガラス基板を分割できるようにすることにある。 An object of the present invention is to make it possible to easily and surely divide a glass substrate in a glass substrate dividing device that divides a plurality of substrates from a glass roll.

以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。 Hereinafter, a plurality of aspects will be described as means for solving the problem. These aspects can be arbitrarily combined as needed.

本発明の一見地に係るガラス基板分割装置は、巻出し装置と、スクライブライン形成装置と、分割装置とを備えている。
巻出し装置は、帯状のガラスシートを巻回したガラスロール及び帯状の樹脂シートを巻回した樹脂ロールから、ガラスシート及び樹脂シートをそれぞれ平面状に巻き出し、ガラスシートが樹脂シートの上側に重なった状態でスクライブライン形成装置に搬送する。
スクライブライン形成装置は、平面状に巻き出されて樹脂シートの上にあるガラスシートに、幅方向に延びるスクライブラインを形成する。
分割装置は、樹脂シートの上にあるガラスシートのスクライブラインを分割して、樹脂シートの上にガラス基板を形成する。 The glass substrate dividing device according to the seemingly present invention includes an unwinding device, a scribe line forming device, and a dividing device.
The unwinding device unwinds the glass sheet and the resin sheet in a plane from the glass roll wound with the strip-shaped glass sheet and the resin roll wound with the strip-shaped resin sheet, and the glass sheet overlaps the upper side of the resin sheet. In the state of being transferred to the scribing line forming apparatus.
The scribe line forming apparatus forms a scribe line extending in the width direction on a glass sheet that is unwound in a plane and is placed on a resin sheet.
The dividing device divides the scribe line of the glass sheet on the resin sheet to form a glass substrate on the resin sheet.

この基板分割装置では、ガラスシートにスクライブラインが形成されるのは、ガラスシートがガラスロールから巻出されて平面状になっているときである。つまり、ガラスロールにおけるガラスシートには、スクライブラインは形成されていない。したがって、ガラスロールにおけるスクライブラインの問題が生じない。その結果、ガラス基板の分割が簡単かつ確実になる。 In this substrate dividing device, a scribe line is formed on the glass sheet when the glass sheet is unwound from the glass roll and becomes flat. That is, no scribe line is formed on the glass sheet in the glass roll. Therefore, the problem of scribe line in the glass roll does not occur. As a result, the division of the glass substrate becomes easy and reliable.

ガラス基板分割装置は、ガラス基板を樹脂シートから離して、巻出し装置から搬出する搬出装置をさらに備えていてもよい。
この基板分割装置では、ガラス基板は搬出装置によって巻出し装置から搬出されるので、ガラス基板の管理が容易になる。 The glass substrate dividing device may further include an unloading device that separates the glass substrate from the resin sheet and unloads the glass substrate from the unwinding device.
In this substrate dividing device, since the glass substrate is unwound from the unwinding device by the unloading device, the management of the glass substrate becomes easy.

巻出し装置は、樹脂シートにのみ引っ張り力を付与する引っ張り機構を有していてもよい。
この基板分割装置では、引っ張り機構が引っ張り力を付与するのは樹脂シートのみである。つまり、ガラスシートには引っ張り力は作用しない。したがって、ガラスシートの破損が生じにくい。 The unwinding device may have a pulling mechanism that applies a pulling force only to the resin sheet.
In this substrate dividing device, the pulling mechanism applies a pulling force only to the resin sheet. That is, no tensile force acts on the glass sheet. Therefore, the glass sheet is less likely to be damaged.

引っ張り機構は、樹脂シートへの引っ張り力を調整することで、樹脂シートのテンションを調整してもよい。
この基板分割装置では、樹脂シートの引っ張り力が調整されるので、ガラスシートの搬送が正確に行われる。 The pulling mechanism may adjust the tension of the resin sheet by adjusting the pulling force on the resin sheet.
In this substrate dividing device, the tensile force of the resin sheet is adjusted, so that the glass sheet is accurately conveyed.

本発明に係るガラス基板分割装置では、簡単かつ確実にガラス基板を分割できるようになる。 The glass substrate dividing device according to the present invention can easily and surely divide a glass substrate.

本発明の一実施形態としてのガラス基板分割装置の概略正面図。The schematic front view of the glass substrate dividing apparatus as one Embodiment of this invention. ガラス基板分割装置の平面図。Top view of the glass substrate dividing device. ガラス基板分割装置の側面図。Side view of the glass substrate dividing device. ガラス基板分割装置の側面図。Side view of the glass substrate dividing device. ガラスシート及び樹脂シートの巻出し、スクライブライン形成、ガラスシートの分割、ガラス基板の搬出を説明するための模式的斜視図。The schematic perspective view for demonstrating the unwinding of a glass sheet and a resin sheet, the formation of a scribe line, the division of a glass sheet, and the carrying out of a glass substrate. ガラス基板分割装置の制御構成を示すブロック図。The block diagram which shows the control structure of the glass substrate dividing apparatus. ガラス基板分割装置の基本制御動作を示すフローチャート。The flowchart which shows the basic control operation of a glass substrate dividing apparatus.

１．第１実施形態
（１）ガラス基板分割装置の構成
図１〜図５を用いて、ガラス基板分割装置１を説明する。図１は、本発明の一実施形態としてのガラス基板分割装置の概略正面図である。図２は、ガラス基板分割装置の平面図である。図３は、ガラス基板分割装置の側面図である。図４は、ガラス基板分割装置の側面図である。図５は、ガラスシート及び樹脂シートの巻出し、スクライブライン形成、ガラスシートの分割、ガラス基板の搬出を説明するための模式的斜視図である。
なお、図１の左右方向がＸ方向であり、紙面直交方向がＹ方向である。 1. First Embodiment (1) Configuration of Glass Substrate Dividing Device 1 The glass substrate dividing device 1 will be described with reference to FIGS. 1 to 5. FIG. 1 is a schematic front view of a glass substrate dividing device as an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the glass substrate dividing device. FIG. 3 is a side view of the glass substrate dividing device. FIG. 4 is a side view of the glass substrate dividing device. FIG. 5 is a schematic perspective view for explaining unwinding of a glass sheet and a resin sheet, formation of a scribe line, division of a glass sheet, and carrying out of a glass substrate.
The left-right direction in FIG. 1 is the X direction, and the paper surface orthogonal direction is the Y direction.

ガラス基板分割装置１は、図５に示すように、ガラスロール３のガラスシート７を分割してガラス基板９を作成する装置である。ガラス基板分割装置１では、基本動作として、ガラスロール３及び樹脂ロール４からそれぞれ巻き出されたガラスシート７及び樹脂シート８が積層されて水平方向に搬送され、搬送中にガラス基板９が分割によって取り出され、さらに搬出される。そして、樹脂シート８はそのまま回収される。
ガラス基板分割装置１は、ロール・ツー・ロール装置１１（巻き出し装置の一例）を有している。ロール・ツー・ロール装置１１は、巻出部１３と巻取部１５とを備えている。ロール・ツー・ロール装置１１は、ガラスロール３及び樹脂ロールからガラスシート７及び樹脂シート８を巻き出し、ガラスシート７が樹脂シート８の上側に重なった状態で平面状に（つまり、正面視では直線状に）巻出部１３から巻取部１５に搬送する。 As shown in FIG. 5, the glass substrate dividing device 1 is a device that divides the glass sheet 7 of the glass roll 3 to create the glass substrate 9. In the glass substrate dividing device 1, as a basic operation, the glass sheet 7 and the resin sheet 8 unwound from the glass roll 3 and the resin roll 4, respectively, are laminated and conveyed in the horizontal direction, and the glass substrate 9 is divided during the transfer. It is taken out and then carried out. Then, the resin sheet 8 is collected as it is.
The glass substrate dividing device 1 has a roll-to-roll device 11 (an example of an unwinding device). The roll-to-roll device 11 includes a winding unit 13 and a winding unit 15. The roll-to-roll device 11 unwinds the glass sheet 7 and the resin sheet 8 from the glass roll 3 and the resin roll, and the glass sheet 7 is overlapped on the upper side of the resin sheet 8 in a flat state (that is, in front view). (In a straight line) It is conveyed from the unwinding portion 13 to the winding portion 15.

巻出部１３は、搬送方向（Ｘ方向）の上流端（図左側端）に配置されている。巻出部１３は、第１巻出しエアシャフト４１と、第１送り出しローラ４３と、第２送り出しローラ４５と、第２巻き出しエアシャフト４７とを備えている。第１送り出しローラ４３は、第１巻出しエアシャフト４１のＸ方向片側に配置され、第２送り出しローラ４５は第１送り出しローラ４３の上方に配置されている。樹脂ロール４は、第１巻出しエアシャフト４１に装着されている。樹脂シート８は、第１送り出しローラ４３に巻回され、さらに第２送り出しローラ４５に巻回されている。第２送り出しローラ４５は図示しないモータによって回転駆動される。これにより、樹脂シート８は、搬送方向（Ｘ方向）に平面状に延びて搬送される。なお、第１巻出しエアシャフト４１は、樹脂シート８に搬出方向と反対側に張力を付与することで、それらのたるみを防止している。 The unwinding portion 13 is arranged at the upstream end (left end in the drawing) in the transport direction (X direction). The unwinding portion 13 includes a first unwinding air shaft 41, a first feeding roller 43, a second feeding roller 45, and a second unwinding air shaft 47. The first feeding roller 43 is arranged on one side of the first unwinding air shaft 41 in the X direction, and the second feeding roller 45 is arranged above the first feeding roller 43. The resin roll 4 is attached to the first unwinding air shaft 41. The resin sheet 8 is wound around the first feeding roller 43, and further wound around the second feeding roller 45. The second delivery roller 45 is rotationally driven by a motor (not shown). As a result, the resin sheet 8 extends in a plane in the transport direction (X direction) and is transported. The first unwinding air shaft 41 applies tension to the resin sheet 8 on the side opposite to the carrying-out direction to prevent the resin sheet 8 from sagging.

巻出部１３は、第２巻出しエアシャフト４７を有している。第２巻出しエアシャフト４７は、第２送り出しローラ４５からＸ方向に離れかつ同じ程度の高さに配置されている。ガラスロール３は第２エアシャフト４７に装着されている。ガラスロール３から巻き出されたガラスシート７は、第２エアシャフト４７と第２送り出しローラ４５の間で垂れ下がった状態になり、第１送り出しローラ４３と第２送り出しローラ４５の間で樹脂シート８に積層され、第２送り出しローラ４５に巻回される。なお、第２巻き出しエアシャフト４７は、図示しないモータによって回転駆動されており、ガラスシート７の垂下がった部分の高さが一定になるようにガラスシート７を巻き出している。これにより、ガラスシート７及び樹脂シート８は、搬送方向（Ｘ方向）に平面状に延びて搬送される。
巻出部１３は、タッチローラ４９を有している。タッチローラ４９は、樹脂シート８を第２送り出しローラ４５に挟む位置に設けられている。さらに詳細には、タッチローラ４９は、図５に示すように、樹脂シート８のみに当接する位置に設けられている。タッチローラ４９は、例えば樹脂製である。なお、図示していないが、ガラスシート７に当接してガラスシート７及び樹脂シート８を第２送り出しローラ４５に挟む位置に設けられたタッチローラがあってもよい。このタッチローラは、低剛性の材料からなることが好ましい。 The unwinding portion 13 has a second unwinding air shaft 47. The second unwinding air shaft 47 is arranged away from the second feeding roller 45 in the X direction and at the same height. The glass roll 3 is attached to the second air shaft 47. The glass sheet 7 unwound from the glass roll 3 is in a state of hanging between the second air shaft 47 and the second feeding roller 45, and the resin sheet 8 is placed between the first feeding roller 43 and the second feeding roller 45. It is laminated on the second feeding roller 45 and wound around the second feeding roller 45. The second unwinding air shaft 47 is rotationally driven by a motor (not shown), and unwinds the glass sheet 7 so that the height of the hanging portion of the glass sheet 7 becomes constant. As a result, the glass sheet 7 and the resin sheet 8 extend in a plane in the transport direction (X direction) and are transported.
The unwinding portion 13 has a touch roller 49. The touch roller 49 is provided at a position where the resin sheet 8 is sandwiched between the second feeding rollers 45. More specifically, as shown in FIG. 5, the touch roller 49 is provided at a position where it abuts only on the resin sheet 8. The touch roller 49 is made of resin, for example. Although not shown, there may be a touch roller provided at a position where the glass sheet 7 and the resin sheet 8 are sandwiched between the second feeding rollers 45 in contact with the glass sheet 7. The touch roller is preferably made of a low-rigidity material.

巻取部１５は、搬送方向（Ｘ方向）の下流端（図右側端）に配置されている。
巻取部１５は、引っ張りローラ５１及び回転モータ（図示せず）（引っ張り機構の一例）を有している。引っ張りローラ５１が引っ張り力を付与する対象は樹脂シート８のみである。したがって、ガラスシート７に大きな荷重が作用しない。
樹脂シート８は、巻出部１３と巻取部１５との間で張力が作用した状態で搬送される。これにより樹脂シート８はガラスシート７を安定して搬送できる。そして、回転モータ（図示せず）の動作を制御して樹脂シート８への引っ張り力を調整することで、樹脂シート８のテンションが調整される。したがって、ガラスシート７の搬送が正確に行われる。 The take-up portion 15 is arranged at the downstream end (right end in the drawing) in the transport direction (X direction).
The winding unit 15 has a pulling roller 51 and a rotary motor (not shown) (an example of a pulling mechanism). The target to which the tension roller 51 applies a tensile force is only the resin sheet 8. Therefore, a large load does not act on the glass sheet 7.
The resin sheet 8 is conveyed in a state where tension is applied between the unwinding portion 13 and the winding portion 15. As a result, the resin sheet 8 can stably convey the glass sheet 7. Then, the tension of the resin sheet 8 is adjusted by controlling the operation of the rotary motor (not shown) to adjust the pulling force on the resin sheet 8. Therefore, the glass sheet 7 is accurately transported.

引っ張りローラ５１は、ガラスシート７及び樹脂シート８の搬送面（後述）より低い位置に設けられている。樹脂シート８は引っ張りローラ５１に巻回されている。これにより、樹脂シート８は下方に搬送される。
巻取部１５は、タッチローラ５３を有している。タッチローラ５３は、タッチローラ４９は、樹脂シート８を引っ張りローラ５１との間に挟む位置に設けられている。
巻取部１５は、回収箱５５を有している。回収箱５５は、引っ張りローラ５１の下方に配置され樹脂シート８を回収する。 The tension roller 51 is provided at a position lower than the transport surface (described later) of the glass sheet 7 and the resin sheet 8. The resin sheet 8 is wound around a pulling roller 51. As a result, the resin sheet 8 is conveyed downward.
The take-up unit 15 has a touch roller 53. The touch roller 53 is provided at a position where the touch roller 49 sandwiches the resin sheet 8 with the pulling roller 51.
The winding unit 15 has a collection box 55. The collection box 55 is arranged below the pulling roller 51 and collects the resin sheet 8.

ロール・ツー・ロール装置１１は、搬送面構成部１９を有している。搬送面構成部１９は、巻出部１３と巻取部１５との間で、ガラスシート７と樹脂シート８を平面状に水平に維持することで搬送面を構成するための装置である。具体的には、搬送面構成部１９は、Ｘ方向に延びる複数の支持台に設けられた複数のローラである。
搬送面構成部１９は平坦な上面を有する部材であってもよい。その場合は、ガラスシート７及び樹脂シート８に対する負担が少なくなる。 The roll-to-roll device 11 has a transport surface component 19. The transport surface component 19 is a device for forming a transport surface by maintaining the glass sheet 7 and the resin sheet 8 horizontally and horizontally between the unwinding section 13 and the winding section 15. Specifically, the transport surface component 19 is a plurality of rollers provided on a plurality of support bases extending in the X direction.
The transport surface component 19 may be a member having a flat upper surface. In that case, the burden on the glass sheet 7 and the resin sheet 8 is reduced.

ガラスシート７は、長尺つまり帯状に長く延びるシートである。ガラスシート７は、適度な可撓性と強度を付与することができる厚みを有しており、０．０３〜０．１０ｍｍであり、０．０４〜０．０６ｍｍであることが好ましい。
ガラスシート７の幅は、１００〜１１００ｍｍであり、３００〜５００ｍｍであることが好ましい。
ガラスシート７のガラス組成としては、シリカガラスやホウケイ酸ガラスなどのケイ酸塩ガラスなどの種々のガラス組成を使用できる。 The glass sheet 7 is a long sheet, that is, a sheet extending long in a strip shape. The glass sheet 7 has a thickness capable of imparting appropriate flexibility and strength, and is 0.03 to 0.10 mm, preferably 0.04 to 0.06 mm.
The width of the glass sheet 7 is 100 to 1100 mm, preferably 300 to 500 mm.
As the glass composition of the glass sheet 7, various glass compositions such as silica glass and silicate glass such as borosilicate glass can be used.

樹脂シート８の厚みは、０．０３〜０．１０μｍであり、０．０４〜０．０６μｍであることが好ましい。樹脂シート８は、ガラスシート７と概ね同じ幅及び同じ長さを有している。ただし、樹脂シート８の幅は、ガラスシート７の幅よりわずかに大きい。
樹脂シート８は、ガラスシート７の下側に配置された状態で搬送される。したがって、ガラスシート７の下側面は樹脂シート８によって保護された状態でガラスシート７は搬送される。このとき、樹脂シート８の幅方向両側部分は、ガラスシート７の幅方向両側部分からはみ出た状態になっており、前述したようにタッチローラ４９が当接している。
樹脂シート８は、例えば、ポリエチレンテレフタラート製シートなどの樹脂フィルムである。 The thickness of the resin sheet 8 is 0.03 to 0.10 μm, preferably 0.04 to 0.06 μm. The resin sheet 8 has substantially the same width and length as the glass sheet 7. However, the width of the resin sheet 8 is slightly larger than the width of the glass sheet 7.
The resin sheet 8 is conveyed in a state of being arranged under the glass sheet 7. Therefore, the glass sheet 7 is conveyed while the lower side surface of the glass sheet 7 is protected by the resin sheet 8. At this time, both side portions in the width direction of the resin sheet 8 are in a state of protruding from both side portions in the width direction of the glass sheet 7, and the touch rollers 49 are in contact with each other as described above.
The resin sheet 8 is, for example, a resin film such as a polyethylene terephthalate sheet.

ガラス基板分割装置１は、スクライブライン形成装置３１を有している。スクライブライン形成装置３１は、平面状に巻き出されたガラスシート７に、幅方向に延びるスクライブラインＳを形成する。スクライブラインＳは、ガラスシート７の幅方向と平行な方向に延びるように、ガラスシート７の幅全体に亘って形成される。スクライブラインＳはガラスシート７の長手方向における間隔は、ガラス基板９が得られるように設定されている。
スクライブライン形成装置３１は、公知の技術であってよく、例えば、スクライブカッタ（図示せず）及び駆動装置（図示せず）と有している。駆動装置は、スクライブカッタをガラスシート７に押し付けるための押圧機構と、スクライブカッタをガラスシート７の幅方向に移動させるための水平方向移動機構とを有している。スクライブライン形成装置３１は、ホイールカッタ（図示せず）を有していてもよい。
スクライブライン形成装置３１は、ガラスシート７の端面位置を検出するセンサ（図示せず）を有している。これにより、ガラスシート７の位置がずれた場合であっても、正確にスクライブラインＳを形成できる。
また、スクライブライン形成装置３１は、スクライブラインＳが形成される部分の搬送方向下流側を押さえる押さえローラ（図示せず）を有している。 The glass substrate dividing device 1 has a scribe line forming device 31. The scribe line forming device 31 forms a scribe line S extending in the width direction on the glass sheet 7 unwound in a plane. The scribe line S is formed over the entire width of the glass sheet 7 so as to extend in a direction parallel to the width direction of the glass sheet 7. The distance between the scribe lines S in the longitudinal direction of the glass sheet 7 is set so that the glass substrate 9 can be obtained.
The scribe line forming device 31 may be a known technique, and has, for example, a scribe cutter (not shown) and a driving device (not shown). The drive device has a pressing mechanism for pressing the scribe cutter against the glass sheet 7 and a horizontal moving mechanism for moving the scribe cutter in the width direction of the glass sheet 7. The scribe line forming device 31 may have a wheel cutter (not shown).
The scribe line forming device 31 has a sensor (not shown) for detecting the position of the end face of the glass sheet 7. As a result, the scribe line S can be accurately formed even when the position of the glass sheet 7 is displaced.
Further, the scribe line forming device 31 has a pressing roller (not shown) that presses the downstream side in the transport direction of the portion where the scribe line S is formed.

スクライブライン形成装置３１は、図５に示すように、テーブル３４を有している。テーブル３４は、ガラスシート７及び樹脂シート８を受ける上面を有している。
以上に述べた構成によって、ガラスシート７にスクライブラインＳが形成されるのは、ガラスシート７がガラスロール３から巻出されて平面状になっているときである。したがって、スクライブラインＳの管理が簡易になる。その結果、簡単かつ確実にガラス基板９を分割できるようになる。 The scribe line forming apparatus 31 has a table 34 as shown in FIG. The table 34 has an upper surface that receives the glass sheet 7 and the resin sheet 8.
According to the configuration described above, the scribe line S is formed on the glass sheet 7 when the glass sheet 7 is unwound from the glass roll 3 and becomes flat. Therefore, the management of the scribe line S becomes simple. As a result, the glass substrate 9 can be easily and surely divided.

ガラス基板分割装置１は、分割装置３３を有している。分割装置３３は、スクライブラインＳを分割して、ガラス基板９を形成する。分割装置３３は、巻出部１３と巻取部１５との間で、ガラスシート７のスクライブラインＳ付近に曲げモーメントを付与することで、ガラスシート７を分割する。
具体的には、分割装置３３は、図５に示すように、ガラスシート７及び樹脂シート８の上側に配置される２本の固定ローラ３３ａと、それらの下側に配置される１本の下側可動ローラ３３ｂを有している。下側可動ローラ３３ｂは、Ｘ方向位置が固定ローラ３３ａの中間あり、図示しない昇降装置によって昇降可能である。曲げモーメント発生動作としては、例えば、下側可動ローラ３３ｂが上昇することで、樹脂シート８及びガラスシート７を固定ローラ３３ａと下側可動ローラ３３ｂとの間に挟み付ける。この結果、スクライブラインＳが切断されて、ガラスシート７からガラス基板９が切り離される。 The glass substrate dividing device 1 has a dividing device 33. The dividing device 33 divides the scribe line S to form the glass substrate 9. The dividing device 33 divides the glass sheet 7 by applying a bending moment in the vicinity of the scribe line S of the glass sheet 7 between the unwinding portion 13 and the winding portion 15.
Specifically, as shown in FIG. 5, the dividing device 33 includes two fixing rollers 33a arranged on the upper side of the glass sheet 7 and the resin sheet 8, and one lower portion arranged on the lower side thereof. It has a side movable roller 33b. The lower movable roller 33b has an X-direction position in the middle of the fixed roller 33a and can be raised and lowered by an elevating device (not shown). As the bending moment generation operation, for example, the lower movable roller 33b is raised to sandwich the resin sheet 8 and the glass sheet 7 between the fixed roller 33a and the lower movable roller 33b. As a result, the scribe line S is cut, and the glass substrate 9 is separated from the glass sheet 7.

以上に述べたように、ガラスシート７の分割（つまり、ガラス基板９の形成）を樹脂シート８の上で行うことができるので、得られたガラス基板９を樹脂シート８の上で保持でき、次のピックアップ位置一まで搬送できる。また、ガラスシートが破損等した場合であっても、破損したかけらが樹脂シート８によって保持されることで飛散しにくい。特に、ガラスシート７が薄板で割れやすい場合は、上記の効果が重要視される。
ガラス基板分割装置１は、搬出装置３５を有している。搬出装置３５は、ガラス基板９を樹脂シート８から離して、ロール・ツー・ロール装置１１から搬出する。これにより、ガラス基板９の管理が容易になる。
搬出装置３５は、公知の技術であり、例えば、移動可能な吸着装置を有している。 As described above, since the glass sheet 7 can be divided (that is, the glass substrate 9 is formed) on the resin sheet 8, the obtained glass substrate 9 can be held on the resin sheet 8. It can be transported to the next pickup position 1. Further, even if the glass sheet is damaged, the damaged pieces are held by the resin sheet 8 and are less likely to scatter. In particular, when the glass sheet 7 is a thin plate and is easily broken, the above effect is emphasized.
The glass substrate dividing device 1 has a unloading device 35. The unloading device 35 separates the glass substrate 9 from the resin sheet 8 and unloads it from the roll-to-roll device 11. This facilitates the management of the glass substrate 9.
The unloading device 35 is a known technique, and has, for example, a movable suction device.

図６を用いて、ガラス基板分割装置１の制御構成を説明する。図６は、ガラス基板分割装置の制御構成を示すブロック図である。
制御部６１は、プロセッサ（例えば、ＣＰＵ）と、記憶装置（例えば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、ＳＳＤなど）と、各種インターフェース（例えば、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ、通信インターフェースなど）を有するコンピュータシステムである。制御部６１は、記憶部（記憶装置の記憶領域の一部又は全部に対応）に保存されたプログラムを実行することで、各種制御動作を行う。 The control configuration of the glass substrate dividing device 1 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a block diagram showing a control configuration of the glass substrate dividing device.
The control unit 61 has a processor (for example, CPU), a storage device (for example, ROM, RAM, HDD, SSD, etc.), and various interfaces (for example, A / D converter, D / A converter, communication interface, etc.). It is a computer system. The control unit 61 performs various control operations by executing a program stored in the storage unit (corresponding to a part or all of the storage area of the storage device).

制御部６１は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
制御部６１の各要素の機能は、一部又は全てが、制御部６１を構成するコンピュータシステムにて実行可能なプログラムとして実現されてもよい。その他、制御部の各要素の機能の一部は、カスタムＩＣにより構成されていてもよい。 The control unit 61 may be composed of a single processor, or may be composed of a plurality of independent processors for each control.
Some or all of the functions of each element of the control unit 61 may be realized as a program that can be executed by the computer system constituting the control unit 61. In addition, a part of the function of each element of the control unit may be configured by a custom IC.

制御部６１には、巻出部１３が接続されている。具体的には、制御部６１は第２送り出しローラ４５を駆動するモータ（図示せず）の動作を制御する。
制御部６１には、巻取部１５が接続されている。具体的には、制御部６１は引っ張りローラ５１を駆動するモータ（図示せず）の動作を制御する。 The unwinding unit 13 is connected to the control unit 61. Specifically, the control unit 61 controls the operation of a motor (not shown) that drives the second delivery roller 45.
A winding unit 15 is connected to the control unit 61. Specifically, the control unit 61 controls the operation of a motor (not shown) that drives the tension roller 51.

制御部６１には、スクライブライン形成装置３１が接続されている。具体的には、制御部６１は、スクライブカッタを駆動する駆動装置（図示せず）の動作を制御する。
制御部６１には、分割装置３３が接続されている。具体的には、制御部６１は、昇降装置（図示せず）の動作を制御する。
制御部６１には、搬出装置３５が接続されている。具体的には、制御部６１は、吸着装置及びそれを移動する移動装置（図示せず）の動作を制御する。
制御部６１には、高さセンサ３６が接続されている。高さセンサ３６は、図１に示すように、第２巻出しエアシャフト４７に装着されたガラスロール３からガラスシート７が繰り出される場合に、垂れ下がった部分の高さを検出する。 A scribe line forming device 31 is connected to the control unit 61. Specifically, the control unit 61 controls the operation of a drive device (not shown) that drives the scribe cutter.
A dividing device 33 is connected to the control unit 61. Specifically, the control unit 61 controls the operation of the elevating device (not shown).
A unloading device 35 is connected to the control unit 61. Specifically, the control unit 61 controls the operation of the suction device and the moving device (not shown) that moves the suction device.
A height sensor 36 is connected to the control unit 61. As shown in FIG. 1, the height sensor 36 detects the height of the hanging portion when the glass sheet 7 is unwound from the glass roll 3 mounted on the second unwinding air shaft 47.

制御部６１には、蛇行センサ３７が接続されている。蛇行センサ３７は、第１巻出しエアシャフト４１から第１送り出しローラ４３へ巻出されるガラスシート７及び樹脂シート８の蛇行量を検出する。なお、図示しない直線方向駆動装置によって、第１送り出しローラ４３がＹ方向に移動されることで蛇行は修正される。
制御部６１には、移動量センサ３８が接続されている。移動量センサ３８は、ガラスシート７及び樹脂シート８の搬送面構成部１９における移動量を検出する。 A meandering sensor 37 is connected to the control unit 61. The meandering sensor 37 detects the meandering amount of the glass sheet 7 and the resin sheet 8 unwound from the first unwinding air shaft 41 to the first feeding roller 43. The meandering is corrected by moving the first feeding roller 43 in the Y direction by a linear driving device (not shown).
A movement amount sensor 38 is connected to the control unit 61. The movement amount sensor 38 detects the movement amount of the glass sheet 7 and the resin sheet 8 in the transport surface component 19.

制御部６１には、張力センサ３９が接続されている。張力センサ３９は、樹脂シート８の搬送面構成部１９における張力を検出する。
制御部６１には、図示しないセンサ及び入力スイッチが接続されているセンサが設けられている。 A tension sensor 39 is connected to the control unit 61. The tension sensor 39 detects the tension in the transport surface component 19 of the resin sheet 8.
The control unit 61 is provided with a sensor (not shown) and a sensor to which an input switch is connected.

（２）動作
図７を用いて、ガラス基板分割装置１の制御動作を説明する。図７は、ガラス基板分割装置の基本制御動作を示すフローチャートである。
以下に説明する制御フローチャートは例示であって、各ステップは必要に応じて省略及び入れ替え可能である。また、複数のステップが同時に実行されたり、一部又は全てが重なって実行されたりしてもよい。 (2) Operation The control operation of the glass substrate dividing device 1 will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is a flowchart showing a basic control operation of the glass substrate dividing device.
The control flowchart described below is an example, and each step can be omitted or replaced as necessary. In addition, a plurality of steps may be executed at the same time, or some or all of them may be executed in an overlapping manner.

最初に、巻出部１３にガラスロール３をセットする。そして、ガラスロール３からガラスシート７及び樹脂シート８を巻き出す。樹脂シート８は巻取部１５まで延ばされる。なお、初期状態において、ガラスシート７の先端は、スクライブライン形成装置３１の搬送方向上流側に位置している。
図７のステップＳ１では、第２送り出しローラ４５、引っ張りローラ５１によって、巻出部１３にセットされたガラスロール３から巻き出されたガラスシート７及び樹脂シートを搬送方向下流側に搬送する。具体的には、制御部６１が、第２送り出しローラ４５を駆動するモータと引っ張りローラ５１を駆動するモータを駆動する。このとき、前述したように、樹脂シート８への引っ張り力を調整することで、樹脂シート８のテンションが調整される。
ステップＳ２では、ガラスシート７及び樹脂シート８の搬送を停止する。具体的には、制御部６１が、第２送り出しローラ４５を駆動するモータと引っ張りローラ５１を駆動するモータを停止する。 First, the glass roll 3 is set in the unwinding portion 13. Then, the glass sheet 7 and the resin sheet 8 are unwound from the glass roll 3. The resin sheet 8 is extended to the winding portion 15. In the initial state, the tip of the glass sheet 7 is located on the upstream side in the transport direction of the scribe line forming device 31.
In step S1 of FIG. 7, the glass sheet 7 and the resin sheet unwound from the glass roll 3 set in the unwinding portion 13 are conveyed downstream in the conveying direction by the second feeding roller 45 and the pulling roller 51. Specifically, the control unit 61 drives a motor that drives the second delivery roller 45 and a motor that drives the pull roller 51. At this time, as described above, the tension of the resin sheet 8 is adjusted by adjusting the pulling force on the resin sheet 8.
In step S2, the transfer of the glass sheet 7 and the resin sheet 8 is stopped. Specifically, the control unit 61 stops the motor that drives the second delivery roller 45 and the motor that drives the pull roller 51.

ステップＳ３では、スクライブラインＳを形成する。具体的には、制御部６１が、スクライブライン形成装置３１を駆動する。スクライブライン形成装置３１では、駆動装置がスクライブカッタを駆動する。
ステップＳ４では、基板分割を行う。具体的には、制御部６１が、分割装置３３を駆動する。分割装置３３では、下側可動ローラ３３ｂを上方に移動させる。なお、この動作は、スクライブラインＳが分割装置３３に到達していない場合には、実行されない。 In step S3, the scribe line S is formed. Specifically, the control unit 61 drives the scribe line forming device 31. In the scribe line forming device 31, the driving device drives the scribe cutter.
In step S4, the substrate is divided. Specifically, the control unit 61 drives the dividing device 33. In the dividing device 33, the lower movable roller 33b is moved upward. Note that this operation is not executed when the scribe line S has not reached the dividing device 33.

ステップＳ５では、基板搬出を行う。具体的には、制御部６１が、搬出装置３５を駆動する。搬出装置３５では、移動装置が吸着装置をガラス基板９に移動し、吸着装置がガラス基板９を吸着し、移動装置が吸着装置及びガラス基板９を搬出する。なお、この動作は、ガラス基板９が搬出位置に到達していない場合は、実行されない。
これにより、ガラスシート７を順次搬送しながら、分割及び搬出を連続的に実行し、巻取部１５で樹脂シート８を順次巻き取る。 In step S5, the substrate is carried out. Specifically, the control unit 61 drives the unloading device 35. In the unloading device 35, the moving device moves the suction device to the glass substrate 9, the suction device sucks the glass substrate 9, and the moving device carries out the suction device and the glass substrate 9. Note that this operation is not executed if the glass substrate 9 has not reached the carry-out position.
As a result, while the glass sheet 7 is sequentially conveyed, the division and the unloading are continuously executed, and the resin sheet 8 is sequentially wound by the winding unit 15.

停止状態でスクライブライン形成装置３１、分割装置３３、搬出装置３５が動作を行う順番及びタイミングは前記実施形態に限定されない。例えば、これらの動作は同時に又は一部重複して行われてもよいし、一度の搬送及び停止ごとに１つの動作のみ行われてもよい。
スクライブライン形成装置３１、分割装置３３、搬出装置３５の位置は前記実施形態に限定されない。例えば、装置間には複数のガラス基板９が配置されるように、装置間が離れていてもよい。 The order and timing in which the scribe line forming device 31, the dividing device 33, and the unloading device 35 operate in the stopped state are not limited to the above-described embodiment. For example, these operations may be performed simultaneously or partially overlapping, or only one operation may be performed for each transport and stop.
The positions of the scribe line forming device 31, the dividing device 33, and the unloading device 35 are not limited to the above-described embodiment. For example, the devices may be separated so that a plurality of glass substrates 9 are arranged between the devices.

２．他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
前記実施形態ではガラスロール３から巻き出されたガラスシート７が一旦垂れ下がって第２送り出しローラに巻回される構成としたが、第２巻き出しエアシャフトを駆動して一定の張力を付与する構成としてもよい。
前記実施形態では搬出装置が設けられていたが、搬出装置は省略されたり他の機構で実現されていてもよい。 2. Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. In particular, the plurality of embodiments and modifications described herein can be arbitrarily combined as needed.
In the above embodiment, the glass sheet 7 unwound from the glass roll 3 is once hung down and wound around the second feeding roller, but the second unwinding air shaft is driven to apply a constant tension. May be.
In the above-described embodiment, the unloading device is provided, but the unloading device may be omitted or realized by another mechanism.

本発明は、ガラスロールからガラス基板を分割する装置に広く適用できる。 The present invention can be widely applied to an apparatus for dividing a glass substrate from a glass roll.

１ ：ガラス基板分割装置
３ ：ガラスロール
４ ：樹脂ロール
７ ：ガラスシート
８ ：樹脂シート
９ ：ガラス基板
１１ ：ロール・ツー・ロール装置
１３ ：巻出部
１５ ：巻取部
１９ ：搬送面構成部
３１ ：スクライブライン形成装置
３３ ：分割装置
３４ ：テーブル
３５ ：搬出装置
４１ ：第１巻出しエアシャフト
４３ ：第１送り出しローラ
４５ ：第２送り出しローラ
４７ ：第２巻き出しエアシャフト
５１ ：引っ張りローラ
６１ ：制御部
Ｓ ：スクライブライン 1: Glass substrate dividing device 3: Glass roll 4: Resin roll 7: Glass sheet 8: Resin sheet 9: Glass substrate 11: Roll-to-roll device 13: Unwinding unit 15: Winding unit 19: Conveying surface component 31: Scrivener line forming device 33: Dividing device 34: Table 35: Carrying out device 41: First unwinding air shaft 43: First feeding roller 45: Second feeding roller 47: Second unwinding air shaft 51: Pulling roller 61 : Control unit S: Scrivener line

Claims (4)

帯状のガラスシートを巻回したガラスロール及び帯状の樹脂シートを巻回した樹脂ロールから、前記ガラスシート及び前記樹脂シートをそれぞれ平面状に巻き出し、前記ガラスシートが前記樹脂シートの上側に重なった状態で搬送する巻出し装置と、
平面状に巻き出されて前記樹脂シートの上にある前記ガラスシートに、幅方向に延びるスクライブラインを形成するスクライブライン形成装置と、
前記樹脂シートの上にある前記ガラスシートの前記スクライブラインを分割して、前記樹脂シートの上にガラス基板を形成する分割装置と、
を備え、
前記巻出し装置は、回転駆動され前記ガラスシート及び前記樹脂シートを巻き出して搬送する送り出しローラと、回転駆動され搬送方向下流端に配置された引っ張りローラと、前記送り出しローラと前記引っ張りローラとの間に配置された搬送面構成部とを有し、
前記送り出しローラには、前記樹脂ロールから巻き出された前記樹脂シートに前記ガラスロールから巻き出された前記ガラスシートが積層された前記ガラスシート及び前記樹脂シートが、前記樹脂シートが接するように巻回され、
前記引っ張りローラには、前記巻き出しローラから搬送された前記樹脂シートが巻回され、
前記搬送面構成部では、前記ガラスシート及び前記樹脂シートが平面状に維持される、
ガラス基板分割装置。 The glass sheet and the resin sheet were each unwound in a plane from a glass roll wound with a strip-shaped glass sheet and a resin roll wound with a strip-shaped resin sheet, and the glass sheet was overlapped on the upper side of the resin sheet. Unwinding device that transports in the state and
A scribe line forming device that forms a scribe line extending in the width direction on the glass sheet that is unwound in a plane and is placed on the resin sheet.
A dividing device that divides the scribe line of the glass sheet on the resin sheet to form a glass substrate on the resin sheet.
Equipped with a,
The unwinding device includes a feeding roller that is rotationally driven to unwind and transport the glass sheet and the resin sheet, a pulling roller that is rotationally driven and arranged at the downstream end in the transport direction, and the feeding roller and the pulling roller. It has a transport surface component arranged between them,
The glass sheet and the resin sheet in which the glass sheet unwound from the glass roll is laminated on the resin sheet unwound from the resin roll are wound around the feeding roller so that the resin sheet is in contact with the glass sheet. Turned
The resin sheet conveyed from the unwinding roller is wound around the pulling roller.
In the transport surface component, the glass sheet and the resin sheet are maintained flat.
Glass substrate splitting device. 前記ガラス基板を前記樹脂シートから離して、前記巻出し装置から搬出する搬出装置をさらに備えている、請求項１に記載のガラス基板分割装置。 The glass substrate dividing device according to claim 1, further comprising a unloading device that separates the glass substrate from the resin sheet and unloads the glass substrate from the unwinding device. 前記引っ張りローラは、前記樹脂シートにのみ引っ張り力を付与する、請求項１又は２に記載のガラス基板分割装置。 The tension roller is to grant only tensile force to the resin sheet, a glass substrate dividing apparatus according to claim 1 or 2. 前記引っ張りローラは、前記樹脂シートへの引っ張り力を調整することで、前記樹脂シートのテンションを調整する、請求項３に記載のガラス基板分割装置。 The glass substrate dividing device according to claim 3, wherein the tension roller adjusts the tension of the resin sheet by adjusting the pulling force on the resin sheet.
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