JP6753384B2 - 製品洗浄方法 - Google Patents
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Description
即ち、本発明は以下を要旨とする。
従って、このような本発明の金属汚染防止剤を用いる本発明の金属汚染防止膜、金属汚染防止方法によれば、超純水中の微量金属による製品の金属汚染を効果的に防止することができ、また、本発明の製品洗浄方法によれば、超純水による製品の洗浄に際して、製品の金属汚染を防止して効率的な洗浄を行える。
<実験条件>
図1に示す洗浄実験装置により、超純水に金属を10ng/L(混合標準液、各濃度)、および薬剤を30μg/Lとなるように添加した後(ただし、比較例I−1では薬剤添加せず)、ラインミキサー1で混合したものを洗浄水として洗浄バス2に供給し、洗浄バス2中のウェハ3を洗浄する実験を行った。
実施例I−2:ポリスチレン4級アンモニウム塩(PSQ)
比較例I−1:薬剤無添加
比較例I−2:クラウンエーテル(18−クラウン−6)
比較例I−3:エチレンジアミン四酢酸(EDTA)
比較例I−4:エチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸(EDTMP)
比較例I−5:グルコン酸
実施例I−1,2及び比較例I−1〜5のウェハ上の金属付着量を図2に示す。
図2より明らかなように、PSAは多価金属全般に対し付着抑制効果を示したのに対し、その他の薬剤では金属種により選択性があり、PSAが最も汎用的に付着を抑制することが確認された。PSAに次いでは、PSQの適用範囲が広く、EDTA、EDTMPなどのキレート剤やその他の薬剤では一部の金属にしか抑制効果が得られなかった。
<実験条件>
図3に示すUF膜実験装置により、超純水に金属を100ng/L(混合標準液、各濃度)、およびPSA(分子量100万)を30μg/L(イオン交換反応当量比の約10倍)となるように添加した水(ただし、比較例II−1ではPSA添加せず)を給水としてUF膜モジュール(分画分子量:PEG換算12000)4に通水し、給水、処理水(膜透過水)、ブライン(濃縮水)中の金属濃度を誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS)法で測定した。
給水、処理水、ブライン中の金属濃度を図4、図5に示す。
図4より明らかなように、PSAを添加しない場合は、いずれの金属も給水、処理水、ブラインでの濃度変動はない。図5より明らかなように、PSAを添加すると、2価以上の多価金属は、給水に対し、処理水では95%程度減少している。別途試験でUF膜でのPSA除去率が94%であったことから、水中の金属を捕捉したPSAがUF膜で阻止されることで、処理水中の金属濃度が低減しているものと推定される。
<実験条件>
実施例II−1で使用したUFモジュールを超純水で7日間通水洗浄した後、金属とPSAを高濃度で負荷してから、再度UF膜に超純水、硝酸(通水量に対して0.001%)を通水して洗浄した。負荷前、および各洗浄工程後に、各金属を約10ng/Lとなるように添加した水を通水し、処理水の金属濃度をICP−MS法で分析し、金属の透過率を求めた(実施例III−1)。
各工程後のUF膜での金属透過率を図5に示す。
図6より明らかなように、PSA負荷前の多価金属の透過率は5〜10%であり、実施例II−1の実験で負荷したPSAが残存して金属を除去できていることが示唆される。負荷後は80〜100%の透過率でほぼ金属がUF膜を透過していたが、硝酸洗浄を繰返すごとに透過率が下がる傾向が確認された。このことから、UF膜の一次側にはPSAが残存しており、金属負荷を続けると金属除去効果が落ちるが、酸で洗浄することで金属除去効果が回復するという再生効果が確認された。
2 洗浄バス
3 ウェハ
4 UF膜モジュール
Claims (2)
- 超純水中の微量金属による汚染性を低減するための金属汚染防止剤を添加した超純水(pH5以下のものを除く)で製品を洗浄する製品洗浄方法であって、
該金属汚染防止剤が、イオン交換基を有するポリマーを含有し、該ポリマーが、重量平均分子量が10万以上のポリスチレンスルホン酸であり、
該金属汚染防止剤を添加した超純水を膜処理することなく、該製品の洗浄に用いることを特徴とする製品洗浄方法。 - 請求項1に記載の製品洗浄方法において、前記超純水への金属汚染防止剤の添加量が、前記イオン交換基を有するポリマーと超純水中の微量金属量とのイオン交換反応当量の1〜20倍であることを特徴とする製品洗浄方法。
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