JP6746376B2 - 測定システム及び調整用設定値の切替方法 - Google Patents
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Description
例えば、下記の特許文献1には、ワークの可視観察(可視測定)を行う可視観察部及びワークの特殊観察(特殊測定)を行う特殊観察部の両方を有する光学式測定装置が開示されている。
図1を参照しながら、本発明の一の実施形態に係る測定システム1の構成について説明する。
図1は、一の実施形態に係る測定システム1の構成の一例を示す図である。
以下では、図2〜図6を参照しながら第1測定部15の内部構成について説明した後に、図7を参照しながら第2測定部16の内部構成について説明する。
図2は、第1測定部15の内部構成の一例を説明するための模式図である。
図2に示すように、第1測定部15は、光源151と、ミラー152と、着脱部153a〜153cと、パワーターレット154と、対物レンズ155と、チューブレンズ156a〜156cと、撮像部157と、検出部158a〜158cとを有する。
ビームスプリッタ52は、近赤外透過フィルタ51を透過した赤外光を、対物レンズ155へ反射させる。また、ビームスプリッタ52は、ワークWからの戻り光を透過させる。
接続部54は、フィルタモジュール50から外部に露出した部分である。接続部54は、内部に所定の抵抗値を有する抵抗を含む。接続部54は、フィルタモジュール50が着脱部153aに装着された際に、検出部158aと接続される。そして、検出部158aが抵抗値を検出することで、フィルタモジュール50を特定できる。
接続部64は、可視光モジュール60から外部に露出した部分である。接続部64は、内部に所定の抵抗値を有する抵抗を含む。接続部64の抵抗の抵抗値は、フィルタモジュール50の接続部54の抵抗の抵抗値とは異なる。接続部64は、可視光モジュール60が着脱部154bに装着された際に、検出部158bと接続される。
図7は、第2測定部16の内部構成の一例を説明するための模式図である。
図7に示すように、第2測定部16は、光源161と、着脱部162と、対物レンズ163と、チューブレンズ164と、撮像部165と、検出部166とを有する。
ビームスプリッタ72は、励起フィルタ71を透過した励起光を、対物レンズ163へ反射させる。また、ビームスプリッタ72は、ワークWからの戻り光を透過させる。
接続部74は、フィルタモジュール70から外部に露出した部分である。接続部74は、内部に所定の抵抗値を有する抵抗を含む。接続部74は、フィルタモジュール70が着脱部162に装着された際に、検出部166と接続される。
前述したように、第1測定部15の着脱部153a〜153c及び第2測定部16の着脱部162には、様々な特殊光用のフィルタモジュール50、70が着脱可能に装着される。画像測定機10がワークWの画像を取得する際のオフセットキャリブレーション等の設定値(調整用設定値)は、フィルタモジュールのフィルタ毎に適した値が異なる。
そこで、本実施形態では、フィルタモジュールが装着されると、測定時の調整用設定値がフィルタモジュールに応じた設定値に自動で切り替えられる。このような調整用設定値の切り替えは、制御装置20によって実行される。
図9を参照しながら、調整用設定値を切り替える際の測定システム1の動作例を説明する。
検出部158aは、着脱部153aに装着されたフィルタモジュール50の抵抗値を検出する(ステップS102)。例えば、検出部158aは、フィルタモジュール50の接続部54の抵抗の抵抗値を検出する。
上述した測定システム1は、着脱部(着脱部153a〜153cと着脱部162)に装着されたフィルタモジュールのフィルタを特定する。これにより、様々な特殊光用のフィルタモジュールが着脱部153a〜153cや着脱部162に装着されても、各着脱部に装着されたフィルタモジュールを特定できる。
また、測定システム1は、特定したフィルタに応じて、前記フィルタを用いての測定時の調整用設定値を切り替える。これにより、着脱部153a〜153c及び着脱部162のうちのいずれかに装着されたフィルタモジュールを用いて特殊光による測定を行う際に、前記フィルタモジュールのフィルタに適した調整用設定値で行うことができる。この結果、最適な測定を行うことができる。
50 フィルタモジュール
60 可視光モジュール
70 フィルタモジュール
151 光源
153a〜153c 着脱部
154 パワーターレット
162 着脱部
222 特定部
224 設定値切替部
W ワーク
Claims (9)
- それぞれ異なる特殊光を透過させるフィルタを有する複数のフィルタモジュールのうちの一のフィルタモジュールが着脱可能に装着される着脱部と、
前記一のフィルタモジュールが前記着脱部に装着された際に、前記一のフィルタモジュールを識別して前記一のフィルタモジュールの前記フィルタを特定する特定部と、
前記フィルタモジュールの各フィルタと、測定機のキャリブレーションの設定値との対応関係を記憶している記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記対応関係を参照し、前記特定部が特定した前記フィルタに対応した前記キャリブレーションの設定値に切り替える設定値切替部と、
を備える、測定システム。 - 前記着脱部は、複数設けられており、
前記複数の着脱部には、それぞれ異なる前記フィルタモジュールが着脱可能に装着され、
前記設定値切替部は、各着脱部に装着された前記フィルタモジュール毎に、前記キャリブレーションの設定値を切り替える、
請求項1に記載の測定システム。 - 前記複数の着脱部を回転させる回転部と、
前記特殊光を発する光源と、
を更に備え、
前記回転部は、前記複数の着脱部のうちの一の着脱部に装着された前記フィルタモジュールを、前記光源からの特殊光が前記フィルタモジュールの前記フィルタを通過する通過位置へ位置させる、
請求項2に記載の測定システム。 - 前記複数の着脱部には、可視光が通過する光学部材を含む可視光モジュールが着脱可能に装着され、
前記特定部は、前記着脱部に装着された前記フィルタモジュールと前記可視光モジュールとを識別する、
請求項2又は3に記載の測定システム。 - 前記設定値切替部は、前記特定部が特定した前記フィルタに応じて、複数の前記キャリブレーションの設定値を切り替える、
請求項1から4のいずれか1項に記載の測定システム。 - 前記フィルタモジュールは、前記フィルタとして、測定対象物へ向かう前記特殊光を透過させる第1フィルタ、及び前記測定対象物からの戻り光を透過させる第2フィルタを有し、
前記特定部は、前記第1フィルタ及び前記第2フィルタを特定する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の測定システム。 - 前記特定部は、前記フィルタモジュールに設けられた抵抗の抵抗値に基づいて、前記フィルタを特定する、
請求項1から6のいずれか1項に記載の測定システム。 - 前記特殊光は、赤外光及び励起光を含む、
請求項1から7のいずれか1項に記載の測定システム。 - それぞれ異なる特殊光を透過させるフィルタを有する複数のフィルタモジュールのうちの一のフィルタモジュールが着脱可能に装着される着脱部を有する測定システムの調整用設定値の切替方法であって、
前記一のフィルタモジュールが前記着脱部に装着された際に、前記一のフィルタモジュールを識別して前記一のフィルタモジュールの前記フィルタを特定するステップと、
前記フィルタモジュールの各フィルタと測定機のキャリブレーションの設定値との対応関係を記憶している記憶部の前記対応関係を参照し、特定した前記フィルタに対応した前記キャリブレーションの設定値に切り替えるステップと、
を有する、調整用設定値の切替方法。
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