JP6742713B2 - 複数の焦点面から倍率補正するための方法及びシステム - Google Patents
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Description
R=[D/2]×[1/f−1/o−1/s] (1)
から幾何学的に計算することができる。ここで、Rはぼけ半径を示し、Dは収集アパーチャの径を示し、fはレンズ106の焦点距離を示し、oはコンポーネント110までの対象物距離を示し、sはイメージャ102までの画像距離を示す。
S(x,y)=e−(x’2+y’2)/2a2×cos(2(π)/Txx’+(φ))
(2)
のx及びyにわたる局所的演算子を使用して行うことができる。ここで、x’=xcos(θ)−ysin(θ)であり、y’=−xsin(θ)+ycos(θ)であり、Tは、対象物上に投影されるパターンの主周期であり、aは等価ガウシアンフィルタの標準偏差であり、(θ)は表面垂線に対する照明の角度であり、(φ)は位相オフセットを示す。
102 イメージャ
104 画像採取デバイス
106 レンズ
108 光路チェンジャ
110 コンポーネント
112 ターゲット
113 距離
114 表面
116 コントローラ、コンピュータデバイス
118 1つ又は複数のプロセッサ
120 ユーザインタフェース
122 1つ又は複数のメモリデバイス
124 第1の焦点位置、焦点面
126 第2の焦点位置、焦点面
128 第3の焦点位置、焦点面
200 方法
202 採取する
206 決定する
208 決定する
210 決定する
212 決定する
214 レンズの点広がり情報
216 焦点距離情報
300 画像
301 コンポーネント
302 角
304 第1の画像
305 頂点
306 矢印
307 スロープ
308 第2の画像
310 矢印
312 第3の画像
314 矢印
Claims (10)
- 複数の焦点面(124、126、128)から倍率補正を使用するように構成される検査撮像システム(100)であって、当該システム(100)が、
画像採取デバイス(104)及びレンズ(106)を備えるイメージャ(102)と、
コントローラ(116)と
を備えており、前記コントローラ(116)が、
ユーザインタフェース(120)、
1つ又は複数のメモリデバイス(122)、及び
前記ユーザインタフェース(120)及び前記1つ又は複数のメモリデバイス(122)に通信可能に結合した1つ又は複数のプロセッサ(118)
を備えており、前記1つ又は複数のプロセッサ(118)が、
ターゲット(112)の複数の画像であって、複数の画像(304、308、312)の各画像(304、308、312)は前記ターゲット(112)から異なる距離(113)において採取される、前記複数の画像を採取し(202)、
前記複数の画像(304、308、312)を採取するときに使用される前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定し(206)、
採取された前記各画像(304、308、312)の倍率を決定し(208)、
既知又は計算可能な寸法を有する基準ターゲットに関する倍率補正を決定し(210)、
前記ターゲット(112)のサイズの変化を決定し(212)、
前記ターゲット(112)の前記決定されたサイズの変化を出力する
ようにプログラムされる、システム(100)。 - 前記ターゲット(112)と前記レンズ(106)との間の光の光路を変更するように構成される光路チェンジャ(108)を更に備える、請求項1記載のシステム(100)。
- 前記プロセッサが、前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定するため、前記レンズ(106)について点広がり関数情報を受信するように更にプログラムされる、請求項1記載のシステム(100)。
- 前記プロセッサが、前記レンズ(106)の焦点距離情報を使用して、採取された前記各画像(304、308、312)の倍率を決定するように更にプログラムされる、請求項1記載のシステム(100)。
- 前記プロセッサが、前記画像の焦点鮮明度を使用して、前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定するように更にプログラムされる、請求項1記載のシステム(100)。
- 前記プロセッサが、デプスフロムフォーカス関数及びデプスフロムデフォーカス関数を少なくとも一方を使用して、前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定するように更にプログラムされる、請求項1記載のシステム(100)。
- 画像測定において倍率を補正するためのコンピュータ実装式方法(200)において、ユーザインタフェース(120)及び1つ又は複数のメモリデバイス(122)に結合した1つ又は複数のプロセッサ(118)を含むコンピュータデバイス(116)を使用して実装される、方法(200)であって、
ターゲット(112)の複数の画像(304、308、312)であって、前記複数の画像の各画像は前記ターゲット(112)から異なる距離(113)において採取される、前記複数の画像(304、308、312)を採取する(202)こと、
前記複数の画像を採取するときに使用されるレンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定する(206)こと、
採取された前記各画像(304,308,312)の倍率を決定する(208)こと、
既知又は計算可能な寸法を有する基準ターゲットに関する倍率補正を決定する(210)こと、
前記ターゲット(112)のサイズの変化を決定する(212)こと、及び
前記ターゲット(112)の前記決定されたサイズの変化を出力すること
を含む、方法(200)。 - 前記複数の画像(304、308、312)を採取するときに使用される前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定する(204)ことが、前記レンズ(106)について点広がり関数を用いて前記レンズ(106)と前記ターゲット(112)との間の距離(113)を決定することを含む、請求項7記載の方法(200)。
- 採取された各画像の倍率を決定することが、前記レンズ(106)の焦点距離情報を使用して、採取された前記各画像(304、308、312)の倍率を決定することを含む、請求項7記載の方法(200)。
- 前記ターゲット(112)の前記複数の画像(304、308、312)を採取することが、コンポーネント(110)の表面(114)に結合したパターンの前記複数の画像(304、308、312)を採取することを含む、請求項7記載の方法(200)。
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