JP2017026494A - 白色干渉計による形状測定装置 - Google Patents
白色干渉計による形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017026494A JP2017026494A JP2015145969A JP2015145969A JP2017026494A JP 2017026494 A JP2017026494 A JP 2017026494A JP 2015145969 A JP2015145969 A JP 2015145969A JP 2015145969 A JP2015145969 A JP 2015145969A JP 2017026494 A JP2017026494 A JP 2017026494A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- light
- shape
- amplitude
- white interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】低コヒーレンスの光源10からの光束を参照光束Rと測定光束Mに分割して干渉させ、白色干渉計に対して対象物8を相対的に光軸方向に走査して干渉縞を測定し、対象物8の形状を測定する白色干渉計による形状測定装置において、干渉縞の明暗変化の1周期分より小さい走査量に相当する干渉縞の位相シフトによる測定と、1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定の組み合わせにより、光軸方向の座標zを変数とする振幅変化の曲線を求めて、この曲線から対象物8の形状を測定する。
【選択図】図1
Description
10、11…光源
12、16、17…ビームスプリッタ
14…対物レンズ
18…参照鏡
30…撮像部
32、32A、32B、32C…カメラ
33…集束レンズ
34…λ/4板
36…無偏光ビームスプリッタ
38A、38B、38C…偏光板
39…マイクロポラライザ
40…偏光ビームスプリッタ
40A…偏光ビームスプリッタ面
40B…無偏光ビームスプリッタ面
R…参照光束
M…測定光束
Claims (4)
- 低コヒーレンスの光源からの光束を参照光束と測定光束に分割して干渉させ、白色干渉計に対して対象物を相対的に光軸方向に走査して干渉縞を測定し、対象物の形状を測定する白色干渉計による形状測定装置において、
干渉縞の明暗変化の1周期分より小さい走査量に相当する干渉縞の位相シフトによる測定と、1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定の組み合わせにより、光軸方向の座標を変数とする振幅変化の曲線を求めて、この曲線から対象物の形状を測定することを特徴とする、白色干渉計による形状測定装置。 - 前記1周期分よりも大きな走査量に相当する離散的な振幅測定により得られた測定値より、予め特定された対象物の光軸方向の位置に対する振幅変化の曲線にフィッティングをかけて、振幅が最大となる光軸方向の座標上の点を、対象物面上の各点において算出し、対象物の形状を測定することを特徴とする、請求項1に記載の白色干渉計による形状測定装置。
- 前記低コヒーレンスの光源は特定の偏光成分を有する光源であり、前記参照光束に対して異なる偏光面で測定光束を発生させて、前記参照光束と前記測定光束からなる二つの光束を複数の光束又は領域に分割し、分割した各々の前記参照光束と前記測定光束からなる二つの光束に対して、位相をシフトさせて干渉縞を発生させ、各々の干渉縞を複数の異なるカメラ又は同じカメラの異なる領域で測定することを特徴とする、請求項1又は2に記載の白色干渉計による形状測定装置。
- 前記複数の領域が、マイクロポラライザによって区分された、単位セル内の微小領域であることを特徴とする、請求項3に記載の白色干渉計による形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015145969A JP2017026494A (ja) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 白色干渉計による形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015145969A JP2017026494A (ja) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 白色干渉計による形状測定装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020075580A Division JP2020153992A (ja) | 2020-04-21 | 2020-04-21 | 白色干渉計による形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017026494A true JP2017026494A (ja) | 2017-02-02 |
Family
ID=57946381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015145969A Pending JP2017026494A (ja) | 2015-07-23 | 2015-07-23 | 白色干渉計による形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017026494A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111537198A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-08-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种星敏感器镜头干涉检测*** |
CN112781520A (zh) * | 2019-11-06 | 2021-05-11 | 奇景光电股份有限公司 | 结构光成像装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5133601A (en) * | 1991-06-12 | 1992-07-28 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
JPH0921842A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-21 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 容量形計器用変圧器の内部部分放電検出装置および容量形計器用変圧器の内部部分放電検出方法 |
JP2005084019A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Akifumi Ito | 基板の温度測定方法 |
JP2006208174A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面形状計測方法及び計測装置 |
JP2006349382A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Mitsutoyo Corp | 位相シフト干渉計 |
JP2009250709A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Nikon Corp | 波形解析装置、波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 |
-
2015
- 2015-07-23 JP JP2015145969A patent/JP2017026494A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5133601A (en) * | 1991-06-12 | 1992-07-28 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
JPH0921842A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-21 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 容量形計器用変圧器の内部部分放電検出装置および容量形計器用変圧器の内部部分放電検出方法 |
JP2005084019A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Akifumi Ito | 基板の温度測定方法 |
JP2006208174A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面形状計測方法及び計測装置 |
JP2006349382A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Mitsutoyo Corp | 位相シフト干渉計 |
JP2009250709A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Nikon Corp | 波形解析装置、波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112781520A (zh) * | 2019-11-06 | 2021-05-11 | 奇景光电股份有限公司 | 结构光成像装置 |
CN111537198A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-08-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种星敏感器镜头干涉检测*** |
CN111537198B (zh) * | 2020-04-09 | 2021-04-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种星敏感器镜头干涉检测*** |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3118571B1 (en) | Instantaneous phase-shift interferometer and measurement method | |
KR102345277B1 (ko) | 삼차원 계측장치 | |
JP2006349657A (ja) | 干渉計、形状測定方法 | |
CN110914634B (zh) | 全息干涉度量的方法及*** | |
CN109564089B (zh) | 测量装置 | |
JP7233536B2 (ja) | 各々入力光フィールドの入力位相及び/又は入力振幅を測定する方法、干渉計及び信号処理装置 | |
JP2018077140A (ja) | 位相シフト干渉計 | |
TW201824420A (zh) | 晶圓之三維映射 | |
US11892292B2 (en) | Methods and systems of holographic interferometry | |
KR102007004B1 (ko) | 3차원 형상 측정장치 | |
JP5282929B2 (ja) | 多波長干渉計 | |
JP2017026494A (ja) | 白色干渉計による形状測定装置 | |
JP2016148569A (ja) | 画像測定方法、及び画像測定装置 | |
JP2020153992A (ja) | 白色干渉計による形状測定装置 | |
JP5412959B2 (ja) | 光応用計測装置 | |
JP7505961B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
JP2004053307A (ja) | 微細構造計測方法及びその計測装置 | |
JPWO2011135698A1 (ja) | 変形計測方法 | |
Chen et al. | Multichannel micropolarizer camera as a three-dimensional imager for fast and high dynamic range objects | |
KR20230096032A (ko) | 3차원 계측 장치 | |
JP2003232617A (ja) | 厚み分布測定装置およびその方法 | |
JP2005024248A (ja) | 干渉測定方法 | |
JP2014145711A (ja) | 形状測定方法、プログラムおよび装置 | |
JP2004226075A (ja) | 位相シフト干渉縞同時撮像装置における分枝撮像機構の調整方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190524 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190917 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191118 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200128 |