JP6734655B2 - エッチング装置 - Google Patents
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Description
2:導電層(被エッチング層)
3:レジスト膜
10,40:エッチング装置
12:装置本体
13:搬送経路
16:搬送ローラ(搬送手段)
17,17A,17B,17C:遮蔽板(噴射範囲制限手段)
18:搬送方向
20:スプレーノズル
32:液噴射範囲
50A,50B:吸引ユニット(噴射範囲制限手段、吸引手段)
L:液噴射有効範囲の前後長さ
Claims (5)
- エッチング対象面を有するエッチング対象物を、前記エッチング対象面が鉛直方向と交叉する姿勢で所定の搬送方向へ移動するように、装置本体の搬送経路に沿って上流側から下流側へ搬送する搬送手段と、
前記搬送経路の上方又は下方で前記装置本体側に固定されて前記搬送方向に並び、前記搬送方向へ搬送される前記エッチング対象物の前記エッチング対象面へ向けてエッチング液を噴射する複数のスプレーノズルと、
前記複数のスプレーノズルに含まれる1つの遮蔽対象ノズルの上流側で且つ前記遮蔽対象ノズルと前記搬送経路との間で前記遮蔽対象ノズルから離間して前記装置本体側に固定され、前記遮蔽対象ノズルから噴射されるエッチング液の前記エッチング対象面における液噴射範囲を前記上流側で部分的に遮蔽して制限する上流側の噴射範囲制限手段と、
前記遮蔽対象ノズルの下流側で且つ前記遮蔽対象ノズルと前記搬送経路との間で前記装置本体側に固定され、前記遮蔽対象ノズルから噴射されるエッチング液の前記エッチング対象面における前記液噴射範囲を前記下流側で部分的に遮蔽して制限する下流側の噴射範囲制限手段と、を備え、
前記上流側及び前記下流側の噴射範囲制限手段は、前記搬送方向に沿った長さが非遮蔽状態よりも短縮された液噴射有効範囲に前記液噴射範囲を制限する
ことを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1に記載のエッチング装置であって、
前記液噴射有効範囲の前記搬送方向に沿った長さは、10mm以上60mm以下である
ことを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のエッチング装置であって、
前記遮蔽対象ノズルは、前記搬送経路の上方に配置され、
前記上流側及び前記下流側の噴射範囲制限手段の少なくとも一方は、前記エッチング対象面からエッチング液を吸引して除去する吸引手段を有する
ことを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載のエッチング装置であって、
前記遮蔽対象ノズルは、前記搬送方向と交叉する所定方向に沿って直線状に並んで複数設けられ、
前記上流側の噴射範囲制限手段は、前記所定方向に沿って延び、前記複数の遮蔽対象ノズルに対応する複数の前記液噴射範囲の各々を前記上流側で部分的に遮蔽して制限し、
前記下流側の噴射範囲制限手段は、前記上流側の噴射範囲制限手段の前記下流側で前記上流側の噴射範囲制限手段から離間して前記所定方向に沿って延び、前記複数の前記液噴射範囲の各々を前記下流側で部分的に遮蔽して制限する
ことを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1〜請求項4の何れか1項に記載のエッチング装置であって、
前記複数のスプレーノズルは、前記遮蔽対象ノズルとして、前記搬送方向に並ぶ上流側の第1遮蔽対象ノズルと下流側の第2遮蔽対象ノズルとを含み、
前記上流側の噴射範囲制限手段と前記下流側の噴射範囲制限手段とは、前記第1遮蔽対象ノズルと前記第2遮蔽対象ノズルとに対応してそれぞれ設けられ、
前記第1遮蔽対象ノズルに対応して設けられる前記下流側の噴射範囲制限手段は、前記第2遮蔽対象ノズルに対応して設けられる前記上流側の噴射範囲制限手段としても機能する
ことを特徴とするエッチング装置。
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