JP6714346B2 - ノズル待機装置および基板処理装置 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の待機ポットの内部には、現像ノズルの両側に対向するように2個(複数個)の洗浄ノズルが配置されている。2個の洗浄ノズルの吐出口は各々、待機ポットに待機中の現像ノズルの外周面に向けられている。そして、この2個の洗浄ノズルからノズル洗浄液を吐出することで、現像ノズルの洗浄が行われる。しかしながら、2個の洗浄ノズルから吐出されたノズル洗浄液は、現像ノズルの所定位置にしか当たらず、現像ノズルの全周を洗浄できない。そのため、洗い残しが発生する。
すなわち、本発明に係るノズル待機装置は、上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されており、前記ノズル洗浄液供給部は、リング状の扁平な水平流路と、前記水平流路の外周端に連通するリング状の扁平なリング状流路とを備え、前記水平流路の内周端の開口が前記ノズル洗浄液吐出口を構成しており、前記水平流路の厚みは、前記リング状流路の厚みよりも小さく、前記リング状流路の底面は、前記水平流路の底面と同一平面上にあることを特徴とするものである。
また、水平流路では、外周端から内周端のノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れる。この際、水平流路は、リング状の扁平な流路であるので、外周端から内周端に向かうほど、水平流路は絞られる。これにより、ノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れにくくなり、ノズル洗浄液が水平流路の周方向に沿って回り込む。そのため、ノズル洗浄液吐出口からノズルに向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。また、ノズル洗浄液吐出口がスリット状であるので、勢いのある洗浄液をノズルに均一に供給することができる。
また、リング状の扁平なリング状流路は、水平流路と同様に、流路を絞ることができる。そのため、水平流路に向けて均等にノズル洗浄液を送ることができる。また、リング状流路と水平流路との連通部の流路を絞ることができる。
本発明に係るノズル待機装置によれば、ノズル収容部は、上面の開口部から挿入されたノズルを収容する。ノズル洗浄液供給部は、ノズル収納部に収容されたノズルに向けて、ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給する。ここで、そのノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、ノズルの全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、ノズルの洗い残しを低減できる。
また、水平流路では、外周端から内周端のノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れる。この際、水平流路は、リング状の扁平な流路であるので、外周端から内周端に向かうほど、水平流路は絞られる。これにより、ノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れにくくなり、ノズル洗浄液が水平流路の周方向に沿って回り込む。そのため、ノズル洗浄液吐出口からノズルに向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。また、ノズル洗浄液吐出口がスリット状であるので、勢いのある洗浄液をノズルに均一に供給することができる。
また、ノズル洗浄液は、リング状流路の下から上に向けて充填するように流れる。下から上に向けて流れながら、リング状流路に沿って周方向に回り込む。そのため、水平流路に均等にノズル洗浄液を送ることができる。また、ノズル洗浄液を下から上に流すような構成とすることで、リング状流路の横方向の面積を抑制できる。そのため、例えばノズル収容部を複数備える場合に、複数のノズル収容部の間を詰めることができる。
また、気体吹き出し口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されているので、ノズルの全周に気体を均一に吹き出すことができる。ノズル洗浄液でノズルを洗浄した後に、ノズル洗浄液の液残りが生じていたとする。この場合であっても、満遍なく吹き付けられた気体により、液残りを低減できる。また、気体吹き出し口は、ノズル洗浄液吐出口よりも上に設けられているので、ノズル洗浄液の液残りをノズル収容部の底面に向けて吹き飛ばすことができる。
また、上側排気口を有する上側排気部からノズル収容部内を排気するので、気体を吹き付ける際に発生したノズル洗浄液のミストがノズル収容部から溢れ出すことを抑制できる。
また、制御部は、ノズル洗浄液を供給している際に、ノズル移動機構により、ノズルをノズル収容部内で上下方向に移動させる。これにより、ノズル洗浄液が当たるノズル位置が変わるので、効果的にノズルを洗浄することができる。
図1を参照する。現像装置1は、略水平姿勢で基板Wを保持して回転させる保持回転部2と、基板Wに対して現像液を吐出する現像ノズル3と、基板Wに対してリンス液を吐出する2つのリンスノズル4,5と、現像ノズル3および2つのリンスノズル4,5を移動させるノズル移動機構6とを備えている。なお、現像液は、ポジトーン現像用またはネガトーン現像用のものが用いられる。リンス液は、例えば、脱イオン水(DIW)等の純水が用いられる。現像液およびリンス液は、本発明の処理液に相当する。
待機ポット31は、現像ノズル3および2つのリンスノズル4,5を使用しない場合に、それらを待機させるものである。待機ポット31は、図2のように、カップ11の側方に配置されている。待機ポット31は、図3(a)のように、現像ノズル3を収容する現像ノズル収容部33と、2つのリンスノズル4,5を個別に収容する2つのリンスノズル収容部35とを備えている。
次に、現像装置1の動作について説明する。まず、現像工程を説明し、その後で、待機ポット31における現像ノズル3等の洗浄工程を説明する。
まず、現像工程を説明する。図2において、ノズル移動機構6により、現像ノズル3が基板Wの中心の上方に配置されるように、現像ノズル3と2つのリンスノズル4,5を待機ポット31から基板Wの上方に移動させる。移動後、保持回転部2により回転された基板W上に現像ノズル3から現像液を吐出させる。現像液の吐出が終了すると、ノズル移動機構6により、例えばリンスノズル4が基板Wの中心の上方に配置されるように、現像ノズル3等を移動させる。移動後、回転された基板W上にリンスノズル4からリンス液を吐出させる。そして、回転によりリンス液を基板Wの外に飛ばして基板Wを乾燥させる。基板Wの乾燥後、ノズル移動機構6により、現像ノズル3等を基板Wの上方から待機ポット31に移動させる。
次に、図4の現像ノズル3の洗浄工程を説明する。洗浄工程は、ノズル洗浄液を供給し、供給後に乾燥するように構成されている。制御部110は、ノズル洗浄液供給部37の開閉弁V4を開くことにより、ノズル洗浄液吐出口39からノズル洗浄液を供給させる。ノズル洗浄液吐出口39は、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、図6(a)、図6(b)のように、現像ノズル収容部33に収容された現像ノズル3の全周に向けてノズル洗浄液L2を均一に供給でき、洗い残しを低減できる。
次に、図5のリンスノズル4の洗浄工程を説明する。なお、リンスノズル5の洗浄工程は、リンスノズル4と同様であるので説明を省略する。
3 … 現像ノズル
3b … 分割ノズル
4,5 … リンスノズル
6 … ノズル移動機構
31 … 待機ポット
33 … 現像ノズル収容部
35 … リンスノズル収容部
33a,35a… 開口部
37,91… ノズル洗浄液供給部
39,93… ノズル洗浄液吐出口
41 … 気体吹き出し部
43 … 気体吹き出し口
45 … 第1水平流路
46 … 第1リング状流路
47 … 第2水平流路
48 … 第2リング状流路
49,95… 廃液回収部
51 … 下側排気部
53 … 下側排気口
57 … 上側排気部
59 … 上側排気口
61 … 上側リング状排気流路
97 … 第3水平流路
98 … 第3リング状流路
110 … 制御部
120 … 排出口
122 … ノズル洗浄液貯留部
Claims (8)
- 上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、
前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されており、
前記ノズル洗浄液供給部は、リング状の扁平な水平流路と、前記水平流路の外周端に連通するリング状の扁平なリング状流路とを備え、
前記水平流路の内周端の開口が前記ノズル洗浄液吐出口を構成しており、
前記水平流路の厚みは、前記リング状流路の厚みよりも小さく、
前記リング状流路の底面は、前記水平流路の底面と同一平面上にあることを特徴とするノズル待機装置。 - 上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、
前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されており、
前記ノズル洗浄液供給部は、リング状の扁平な水平流路と、前記水平流路の外周端に連通するリング状のリング状流路とを備え、
前記水平流路の内周端の開口が前記ノズル洗浄液吐出口を構成しており、
前記リング状流路は、前記水平流路との連通部よりも下から前記ノズル洗浄液を流入させるように構成されていることを特徴とするノズル待機装置。 - 上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部と、
前記ノズル収容部内の側面でかつ前記ノズル洗浄液吐出口よりも上に設けられた気体吹き出し口を有し、前記気体吹き出し口から気体を吹き出させる気体吹き出し部と、
前記ノズル収容部内の側面でかつ前記気体吹き出し口よりも上に設けられた上側排気口を有し、前記上側排気口から前記ノズル収容部内を排気する上側排気部とを備え、
前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されており、
前記気体吹き出し口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするノズル待機装置。 - 請求項3に記載のノズル待機装置において、
前記ノズル収容部の底面に設けられ、前記ノズル収容部と連通し、前記ノズル洗浄液および前記ノズルから吐出された処理液を回収するための廃液回収部と、
前記廃液回収部を通じて前記ノズル収容部内を排気する下側排気部とを更に備えていることを特徴とするノズル待機装置。 - 請求項3に記載のノズル待機装置において、
前記上側排気口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするノズル待機装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載のノズル待機装置において、
前記ノズル収容部の底面には、前記開口部の直径よりも小さく、前記開口部と同心である排出口と、前記ノズル洗浄液を貯留するノズル洗浄液貯留部とが設けられていることを特徴とするノズル待機装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載のノズル待機装置において、
前記ノズル収容部は、複数のノズルを収容するように構成されていることを特徴とするノズル待機装置。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
前記ノズルを待機させるノズル待機装置とを備え、
前記ノズル待機装置は、
上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部と、
前記ノズルを上下方向および水平方向に移動させるノズル移動機構と、
前記ノズル移動機構を制御する制御部と、を備え、
前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されており、
前記制御部は、前記ノズル洗浄液を供給している際に、前記ノズル移動機構により、前記ノズルを前記ノズル収容部内で上下方向に移動させることを特徴とする基板処理装置。
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