JP6696851B2 - チャックテーブル機構 - Google Patents

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Description

本発明は、加工装置において被加工物を保持するチャックテーブル機構に関する。
半導体ウェーハ等の被加工物の表面は格子状のストリート（切断ライン）によって複数の領域に区画されており、このストリートで区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。デバイス製造工程においては、ストリートに沿って被加工物を切断することで個々のデバイスチップが製造される。被加工物の分割は切削装置やレーザー加工装置等の加工装置によって実施されている。各加工装置には、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを固定基台上に回転可能に配設したチャックテーブル機構が設けられている（例えば、特許文献１参照）。
チャックテーブル機構は、固定基台に対してチャックテーブルを回転可能に構成すると共に、チャックテーブルの保持面に負圧を作用させる必要がある。このため、チャックテーブル機構にロータリージョイント構造を採用したものが提案されている。チャックテーブルと回転基台のジョイント箇所には複数のチューブが設置されたマルチ継手が設けられ、マルチ継手から固定基台内を通ってチューブが吸引源に接続される。チャックテーブルの保持面にはチューブを通じて吸引力が付与され、チャックテーブの回転はチューブに阻害されることがない。
特開２０１５−０３６１７９号公報
ところで、加工動作中にチャックテーブルが回転駆動すると、チャックテーブルの回転に伴って各チューブに捻じれが生じる。加工動作が重ねられて各チューブの捻じれが繰り返されると、各チューブに疲労が蓄積されて劣化し、さらにチューブの継手部分が破損してチャックテーブル機構内に破片が堆積してしまう。このため、オペレータにとってチューブの交換作業や清掃作業が煩わしく、長時間のメンテナンスが必要になるという問題があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、チューブを使用することなくチャックテーブルを回転可能かつ吸引可能に支持すると共に、メンテナンス時間を短縮することができることができるチャックテーブル機構を提供することを目的の１つとする。
本発明の一態様のチャックテーブル機構は、被加工物を上面に吸引保持するチャックテーブルを上部に装着し回転可能に支持するチャックテーブル機構であって、外部吸引源に連通する連通経路が内部に形成された固定基台と、該固定基台の上方に回転可能に配設され上部にチャックテーブルを装着する回転手段と、を備え、該回転手段は、該固定基台上方に回転可能に配設された回転基台と、回転中心に該回転基台に対して着脱自在に固定され且つ該固定基台に挿入可能に構成された挿入部と、を備え、該挿入部は、該チャックテーブル上面に吸引力を伝達する吸引経路が内部に形成され、該固定基台の係合凹部に係合する係合端部を備え、該係合端部が該係合凹部に係合すると、該係合端部の外周壁と該固定基台の該係合凹部の内壁との間でシールリングでシールされると共に、該連通経路と該吸引経路とが連結されること、を特徴とする。
この構成によれば、固定基台に回転手段が回転可能に配設されると共に、回転手段に設けられた挿入部が固定基台に挿入されて、挿入部の吸引経路と固定基台の連通経路とが連通される。これにより、固定基台の連通経路及び挿入部の吸引経路を通じて、外部吸引源からの吸引力がチャックテーブルに付与される。また、挿入部の係合端部が固定基台の係合凹部に係合され、係合端部の外周壁と係合凹部の内壁の間がシールリングで気密にシールされる。よって、エアーリークを発生させることなく、チャックテーブルを回転可能かつ吸引可能に支持することができる。また、挿入部の吸引経路と固定基台の連通経路によって１本の経路が形成されるため、経路内での圧力損失を少なくして吸引力の向上が図られる。さらに、回転手段の回転基台から挿入部を取り外して、固定基台の係合凹部から挿入部の係合端部を引き抜くという簡易な作業で、シールリングを上方から容易に交換可能であり、メンテナンス時間を大幅に短縮することができる。
また、本発明の一態様のチャックテーブル機構において、該回転手段は該固定基台に軸受けで保持されており、該固定基台には、該回転手段を回転させる回転モータを備える。
本発明によれば、チューブを使用することなく、チャックテーブルを回転可能かつ吸引可能に支持することができる。また、挿入部を取り外すという簡易な作業で、シールリングを上方から容易に交換できるため、シールリングの交換作業に要するメンテナンス時間を大幅に短縮することができる。
本実施の形態の切削装置の斜視図である。 比較例のチャックテーブル機構の断面模式図である。 本実施の形態のチャックテーブル機構の断面模式図である。 本実施の形態のシールリングの交換作業の説明図である。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態のチャックテーブル機構を備えた切削装置について説明する。図１は、本実施の形態の切削装置の斜視図である。図２は、比較例のチャックテーブル機構の断面模式図である。なお、以下の説明では、切削装置にチャックテーブル機構を備える構成を例示して説明するが、この構成に限定されない。チャックテーブル機構は、例えば、レーザー加工装置や研削装置等の他の加工装置に備えられてもよい。
図１に示すように、切削装置１は、チャックテーブル４０上の被加工物Ｗを切削ブレード２６で切削して、個々のデバイスチップに分割するように構成されている。被加工物Ｗは長方形状のパッケージ基板であり、基板表面は格子状のストリートで区画され、ストリートで区画された各領域に各種デバイスが形成されている。なお、被加工物Ｗは、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ウェーハレベルＣＳＰ（Wafer Level Chip Size Package）基板等の小型のパッケージ基板に限らず、ＣＳＰ基板等よりもサイズが大きなパッケージ基板でもよい。
切削装置１のハウジング１０の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口が形成されており、この開口はチャックテーブル４０と共に移動可能な移動板１１及び蛇腹状の防水カバー１２により被覆されている。防水カバー１２の下方には、チャックテーブル４０をＸ軸方向に移動させる不図示のボールねじ式の移動機構が設けられている。チャックテーブル４０の表面には、多数の吸引口により被加工物Ｗを吸引保持する保持面４１が形成されている。保持面４１は、チャックテーブル４０内の流体経路を通じて吸引源に接続され、保持面４１に生じる負圧によって被加工物Ｗが吸引保持される。
チャックテーブル４０は、装置中央の受け渡し位置と切削手段２４に臨む加工位置との間で往復移動される。図１は、チャックテーブル４０が受け渡し位置に待機した状態を示している。ハウジング１０において、この受け渡し位置に隣接した一の角部が一段下がっており、下がった箇所に載置テーブル１４が昇降可能に設けられている。載置テーブル１４には、被加工物Ｗを収容したカセットＣが載置される。カセットＣが載置された状態で載置テーブル１４が昇降することによって、高さ方向において被加工物Ｗの引出位置及び押込位置が調整される。
載置テーブル１４の後方には、Ｙ軸方向に平行な一対のセンタリングガイド１５と、一対のセンタリングガイド１５とカセットＣとの間で被加工物Ｗを出し入れするプッシュプル機構１６が設けられている。一対のセンタリングガイド１５によって、プッシュプル機構１６による被加工物Ｗの出し入れがガイドされると共に被加工物ＷのＸ軸方向が位置決めされる。また、プッシュプル機構１６によって、カセットＣから一対のセンタリングガイド１５に加工前の被加工物Ｗが引き出される他、一対のセンタリングガイド１５からカセットＣに加工済みの被加工物Ｗが押し込まれる。
一対のセンタリングガイド１５の近傍には、センタリングガイド１５とチャックテーブル４０との間で被加工物Ｗを搬送する第１の搬送アーム１７が設けられている。第１の搬送アーム１７の旋回によって、Ｌ字状のアーム部１８の先端の搬送パッド１９で被加工物Ｗが搬送される。また、受け渡し位置のチャックテーブル４０の後方には、スピンナー洗浄機構２１が設けられている。スピンナー洗浄機構２１では、回転中のスピンナーテーブル２２に向けて洗浄水が噴射されて被加工物Ｗが洗浄された後、洗浄水の代わりに乾燥エアーが吹き付けられて被加工物Ｗが乾燥される。
ハウジング１０上には、切削ブレード２６を備えた切削手段２４を支持する支持台２８が設けられている。切削手段２４は、支持台２８に支持されたスピンドルの先端に切削ブレード２６を装着して構成される。切削ブレード２６は、例えば、ダイアモンド砥粒をボンド剤で固めて円板状に成形されている。また、切削手段２４には、切削ブレード２６をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる不図示の移動機構が連結されている。切削手段２４では、複数の噴射ノズルから洗浄液が噴射され、高速回転させた切削ブレード２６がチャックテーブル４０に対して相対移動されることで被加工物Ｗが切削される。
支持台２８の側面２９には、チャックテーブル４０とスピンナー洗浄機構２１との間で被加工物Ｗを搬送する第２の搬送アーム３１が設けられている。第２の搬送アーム３１の進退移動によって、支持台２８の側面２９から斜め前方に延びたアーム部３２の先端の搬送パッド３３で被加工物Ｗが搬送される。また、支持台２８には、チャックテーブル４０の移動経路の上方を横切る片持支持部３５が設けられ、片持支持部３５には被加工物Ｗを撮像する撮像部３６が支持されている。撮像部３６による撮像画像は、切削手段２４とチャックテーブル４０とのアライメントに利用される。また、支持台２８上には、加工条件等を表示するモニタ３７が載せられている。
ハウジング１０内には、チャックテーブル４０だけをハウジング１０上に露出させたチャックテーブル機構５０（図３参照）が収容されている。チャックテーブル機構５０は、チャックテーブル４０を回転させることで直交するストリートに切削ブレード２６を位置付けると共に、チャックテーブル４０の保持面４１に被加工物Ｗを保持するための負圧を作用させている。このため、チャックテーブル機構５０には、流体経路が形成された固定基台に対して、エアーのリークを抑えつつチャックテーブル４０を回転可能にジョイントするロータリージョイント構造が採用されている。
ところで、図２の比較例に示すように、一般的なチャックテーブル機構１００は、複数のチューブ１０５を利用してロータリージョイント構造を実現している。比較例のチャックテーブル機構１００のロータリージョイント構造は、チャックテーブル１０１を支持した回転基台１０２が円筒形状の固定基台１０３を囲むように配設されている。回転基台１０２の中央部分には、複数のチューブ１０５が連結されたマルチ継手１０４が設置されており、各チューブ１０５はマルチ継手１０４から固定基台１０３の内部を通って外部吸引源（不図示）に接続されている。そして、チューブ１０５を通じて外部吸引源からの吸引力がチャックテーブル１０１の保持面１０７に付与されている。
しかしながら、このチャックテーブル機構１００では、チャックテーブル１０１の回転に伴ってチューブ１０５が捩じれるため、経年劣化によってチューブ１０５が破損すると共に、マルチ継手１０４とチューブ１０５の連結部分が破損する恐れがある。このチューブ１０５やマルチ継手１０４の破損による破片は固定基台１０３内部に堆積して、チューブ１０５やマルチ継手１０４の交換作業及び固定基台１０３内の清掃作業が煩わしくなり、長時間のメンテナンスが必要になるという問題があった。また、外部吸引力からの吸引力が複数のチューブ１０５を通じてチャックテーブル１０１の保持面１０７に付与されるため、チューブ１０５での圧力損失が大きくなって吸引力が低下していた。
そこで、本実施の形態では、上記比較例のロータリージョイント構造を変更して、複数のチューブ１０５を使用することなく、回転可能かつ吸引可能にチャックテーブル４０を支持するようにしている。また、チャックテーブル機構５０の一部の部品に対する簡単な取り外し作業によって、機構内部のシールリング８４（図３参照）等の消耗部材を容易に交換することができ、メンテナンス時間を大幅に短縮することができる。さらに、チャックテーブル４０と外部吸引源９４（図３参照）を１本の経路で繋げることで、流路内の圧力損失を少なくして吸引力を向上している。
以下、本実施の形態のチャックテーブル機構について説明する。図３は、本実施の形態のチャックテーブル機構の断面模式図である。なお、チャックテーブル機構は、挿入部の着脱によって、シールリングを上方から交換可能な構成であればよく、図３に示す例に限定されるものではない。例えば、以下の説明ではパッケージ基板用のチャックテーブル機構を例示しているが、半導体ウェーハや光デバイスウェーハ用のチャックテーブル機構についても同様な構成にすることができる。
図３に示すように、チャックテーブル機構５０は、被加工物Ｗを上面に吸引保持するチャックテーブル４０を上部に装着して回転可能に支持し、チャックテーブル４０を上部に装着した回転手段５１を固定基台５２の上方に回転可能に配設して構成されている。チャックテーブル４０は、テーブルベース４２の上面にテーブル本体４３を着脱自在に取り付けた上下割構造になっている。テーブル本体４３は、多数の吸引口４４が形成された上段部分の周囲に、テーブルベース４２に固定される下段部分がフランジ状に形成されている。テーブル本体４３の上段部分には多数の吸引口４４によって保持面４１が形成されており、テーブル本体４３の下段部分にはボルト４５用の取付穴４６（図４Ａ参照）が形成されている。
また、テーブルベース４２は、中央が開口したリング板状に形成されており、テーブル本体４３の取付穴４６（図４Ａ参照）に対応した箇所にネジ穴４７（図４Ａ参照）が形成されている。テーブルベース４２のネジ穴４７に対して、テーブル本体４３の取付穴４６から突出したボルト４５の先端が螺合されることで、テーブルベース４２にテーブル本体４３が着脱自在に取り付けられる。テーブルベース４２にテーブル本体４３が取り付けられることで、複数の吸引口４４を回転手段５１の吸引経路９５に連通させる連通室９６が形成される。また、テーブルベース４２のネジ穴４７（図４Ａ参照）よりも径方向内側には、ボルト４８用の取付穴４９（図４Ｂ参照）が形成されている。
回転手段５１は、固定基台５２の上方に回転可能に配設された回転基台５４に、固定基台５２に挿入可能な挿入部５５をフランジプレート５６で連結して構成されている。回転基台５４は、固定基台５２の上方部分を覆うように大筒状に形成されており、回転基台５４と固定基台５２の対向面に設けた軸受５７を介して固定基台５２に連結されている。また、回転基台５４の上面にはチャックテーブル４０が装着されるテーブル装着面６１が形成されており、テーブル装着面６１にはテーブルベース４２の取付穴４９（図４Ｂ参照）に対応した箇所にネジ穴６２（図４Ｂ参照）が形成されている。回転基台５４のネジ穴６２に対してテーブルベース４２の取付穴４９から突出したボルト４８の先端が螺合されることで、回転基台５４の上部にテーブルベース４２が着脱自在に取り付けられる。
回転基台５４の上面の径方向内側では、テーブル装着面６１よりも１段低く形成されたプレート装着面６３にリング板状のフランジプレート５６が装着されている。フランジプレート５６の径方向外側がプレート装着面６３に連結され、フランジプレート５６の径方向内側が円筒形状の挿入部５５の上端面に連結されている。フランジプレート５６の厚みはテーブル装着面６１とプレート装着面６３の段差に一致しており、テーブル装着面６１とフランジプレート５６の上面とが面一になっている。すなわち、フランジプレート５６の上面もチャックテーブル４０が装着されるテーブル装着面の一部になっている。
フランジプレート５６の径方向外側にはボルト６４用の取付穴６５（図４Ｃ参照）が形成されており、プレート装着面６３には取付穴６５に対応した箇所にネジ穴６９（図４Ｃ参照）が形成されている。プレート装着面６３のネジ穴６９に対して、フランジプレート５６の取付穴６５から突出したボルト６４の先端が螺合されることで、プレート装着面６３にフランジプレート５６が着脱自在に取り付けられる。また、フランジプレート５６の径方向内側はテーブルベース４２の中央の開口から露出しており、このテーブルベース４２の露出部分にボルト６７用の取付穴６８が形成されている。
挿入部５５は、フランジプレート５６から固定基台５２の連通経路９７に向かって延びる円筒形状に形成されている。挿入部５５の内部には、固定基台５２の連通経路９７からの吸引力をチャックテーブル４０の上面に伝達する吸引経路９５が形成されている。挿入部５５の上端面にはフランジプレート５６の取付穴６８（図４Ｃ参照）に対応した箇所にネジ穴（不図示）が形成されている。挿入部５５のネジ穴に対して、フランジプレート５６の取付穴６８から突出したボルト６７の先端が螺合されることで、フランジプレート５６に挿入部５５が着脱自在に取り付けられる。このようにフランジプレート５６を介して回転基台５４の回転中心に挿入部５５が着脱自在に固定されている。
フランジプレート５６の上面、回転基台５４のプレート装着面６３、挿入部５５の上端面には、それぞれ環状溝７５、７６、７７（図４Ｃ参照）が形成されており、各環状溝７５、７６、７７にはシールリング８１、８２、８３が装着されている。テーブルベース４２がテーブル装着面６１にシールリング８１を介してシールされ、フランジプレート５６がシールリング８２を介してプレート装着面６３にシールされ、挿入部５５の上端面がシールリング８３を介してフランジプレート５６にシールされる。これにより、部材同士の合せ面からエアーがリークすることなく、チャックテーブル４０の吸引力の低下が抑えられている。
挿入部５５の下端には固定基台５２の連通経路９７内に入り込む係合端部７２が形成されている。係合端部７２は、挿入部５５の下端側の外周面を縮径することで形成されており、固定基台５２の連通経路９７の上端側を拡径した係合凹部７３内に係合されている。係合端部７２の外周面には環状溝７８が形成されており、環状溝７８にはシールリング８４が装着されている。係合端部７２が係合凹部７３に係合すると、係合端部７２の外周壁と係合凹部７３の内周壁との間がシールリング８４でシールされる。これにより、係合端部７２と係合凹部７３の合せ面からエアーがリークすることなく、連通経路９７と吸引経路９５とが気密に連結される。
また、チャックテーブル４０を回転基台５４から取り外し、フランジプレート５６を回転基台５４及び挿入部５５から取り外すことで、シールリング８１、８２、８３が外部に露出される。さらに、フランジプレート５６と共に挿入部５５を回転基台５４から取り外すことで、シールリング８４が外部に露出される。このため、固定基台５２から回転手段５１全体を取り外すことなく、消耗品のシールリング８１、８２、８３、８４だけを容易に交換することが可能になっている。なお、シールリング８１、８２、８３には固定用シールが使用され、シールリング８４には運動用シールが使用されるが、いずれもＯリングが使用されてもよい。
固定基台５２は、下部基台８６上に上部基台８７を設置して構成されており、上部基台８７及び下部基台８６の内部に外部吸引源９４に連通に連通する連通経路９７が形成されている。また、固定基台５２の連通経路９７は挿入部５５の吸引経路９５に連通しており、吸引経路９５はチャックテーブル４０内の連通室９６に連通している。連通経路９７と吸引経路９５によって１本の経路が形成されるため、流路内の圧力損失が生じることがなくチャックテーブル４０の保持面４１に外部吸引源９４からの吸引力を付与させることができる。上部基台８７には軸受５７が設けられており、軸受５７によって固定基台５２に回転基台５４が回転可能に保持されている。
また、回転基台５４及び固定基台５２には、回転手段５１を回転させる回転モータ９１が設けられている。回転モータ９１は、固定基台５２に固定されたステータ９２の周囲を、回転基台５４に連結されたロータ９３が回転するように構成されている。ステータ９２にはコイル巻線等が取り付けられ、ロータ９３にはステータ９２に僅かな隙間を空けて対向するように複数の磁石が設けられている。ステータ９２のコイル巻線が通電されることによって、固定基台５２を中心としてロータ９３が回転し、ロータ９３に連結された回転基台５４及びチャックテーブル４０が一体回転される。
このように、チャックテーブル機構５０のロータリージョイントは、チャックテーブル４０を回転可能に支持すると共に、エアーをリークさせることなく、チャックテーブル４０の保持面４１に外部吸引源９４からの吸引力を付与することが可能になっている。また、挿入部５５の係合端部７２と固定基台５２の係合凹部７３がシールリング８４を介して摺動するため、この摺動箇所のシールリング８４が特に劣化し易くなっている。しかしながら、挿入部５５が着脱自在に回転基台５４に取り付けられているため、回転基台５４から挿入部５５を取り外すことで、シールリング８４を容易に交換することが可能になっている。
図４を参照して、シールリングの交換作業について説明する。図４は、本実施の形態のシールリングの交換作業の説明図である。なお、図４Ａはテーブル本体の取り外し作業、図４Ｂはテーブルベースの取り外し作業、図４Ｃはフランジプレート及び挿入部の取り外し作業をそれぞれ示している。なお、以下の説明では、回転手段の係合端部と固定基台の係合凹部の間に設けられたシールリングの交換作業について説明する。
図４Ａに示すように、シールリング８４（図４Ｃ参照）の交換作業では、先ずオペレータによってテーブル本体４３の外周部分の各ボルト４５が緩められ、テーブルベース４２の上面からテーブル本体４３が取り外される。これにより、テーブル本体４３の内側に隠れていたテーブルベース４２用のボルト４８が外部に露出される。次に、図４Ｂに示すように、オペレータによってテーブルベース４２の各ボルト４８が緩められ、回転基台５４のテーブル装着面６１からテーブルベース４２が取り外される。これにより、テーブルベース４２の裏面側に隠れていたフランジプレート５６用のボルト６４が外部に露出されると共に、フランジプレート５６の上面の環状溝７５に装着されたシールリング８１が外部に露出される。
次に、図４Ｃに示すように、オペレータによってフランジプレート５６の径方向外側の各ボルト６４が緩められ、回転基台５４のプレート装着面６３からフランジプレート５６が取り外されて、フランジプレート５６に固定された挿入部５５が固定基台５２から引き抜かれる。これにより、プレート装着面６３の環状溝７６に装着されたシールリング８２が外部に露出され、挿入部５５の係合端部７２の環状溝７８に装着されたシールリング８４が外部に露出される。そして、環状溝７８内の劣化したシールリング８４が取り外されて、新たなシールリング８４が装着された後に、上記の取り外し動作と逆の順序で、フランジプレート５６、テーブルベース４２、テーブル本体４３が取り付けられる。
なお、シールリング８４の交換作業時には、フランジプレート５６の上面の環状溝７５のシールリング８１、プレート装着面６３の環状溝７６のシールリング８２が交換されてもよい。また、図４ではフランジプレート５６に挿入部５５が固定されているが、フランジプレート５６から挿入部５５を取り外して、挿入部５５の上端面の環状溝７７に装着されたシールリング８３が交換されてもよい。
以上のように、本実施の形態のチャックテーブル機構５０は、固定基台５２に回転手段５１が回転可能に配設されると共に、回転手段５１に設けられた挿入部５５が固定基台５２に挿入されて、挿入部５５の吸引経路９５と固定基台５２の連通経路９７とが連通される。これにより、固定基台５２の連通経路９７及び挿入部５５の吸引経路９５を通じて、外部吸引源９４からの吸引力がチャックテーブル４０に付与される。また、挿入部５５の係合端部７２が固定基台５２の係合凹部７３に係合され、係合端部７２の外周壁と係合凹部７３の内壁の間がシールリング８４で気密にシールされる。よって、エアーリークを発生させることなく、チャックテーブル４０を回転可能かつ吸引可能に支持することができる。また、挿入部５５の吸引経路９５と固定基台５２の連通経路９７によって１本の経路が形成されるため、経路内での圧力損失を少なくして吸引力の向上が図られている。さらに、回転手段５１の回転基台５４から挿入部５５を取り外して、固定基台５２の係合凹部７３から挿入部５５の係合端部７２を引き抜くという簡易な作業で、シールリング８４を上方から容易に交換可能であり、メンテナンス時間を大幅に短縮することができる。
なお、上記した実施の形態において、チャックテーブル４０の保持面４１に多数の吸引口４４が形成されたが、この構成に限定されない。チャックテーブル４０の保持面４１はポーラスセラミックスで多孔質に形成されていてもよい。また、チャックテーブル４０がテーブルベース４２にテーブル本体４３を着脱自在に取り付けられる構成したが、テーブルベース４２とテーブル本体４３は一体に形成されていてもよい。
また、上記した実施の形態において、回転モータ９１として電磁式モータを例示して説明したが、この構成に限定されない。回転モータ９１として、静電式モータや超音波式モータが用いられてもよい。
また、上記した実施の形態において、回転基台５４にフランジプレート５６がネジ止めされ、フランジプレート５６に挿入部５５がネジ止めされることで、フランジプレート５６を介して回転基台５４に挿入部５５が固定される構成にしたが、この構成に限定されない。挿入部５５は、回転基台５４に対して着脱自在に固定されていればよく、回転基台５４に対してどのように固定されていてもよい。
また、上記した実施の形態において、外部吸引源９４は、固定基台５２の連通経路９７を通じてチャックテーブル４０の保持面４１に吸引力を付与可能であればよく、例えば、吸引ポンプやエジェクタで構成されてもよい。
また、上記した実施の形態において、被加工物Ｗとしてパッケージ基板を例示したが、被加工物Ｗは加工対象となるワークであればよく、半導体ウェーハや光デバイスウェーハでもよい。
また、上記した実施の形態において、挿入部５５の係合端部７２の外側面に形成された環状溝７８にシールリング８４が装着される構成にしたが、この構成に限定されない。シールリング８４は係合凹部７３の内周壁と係合端部７２の外周壁の間をシール可能であればよい。図３に示すように、係合凹部７３の上側の開口端が窪んで段状となり、この段状の窪み７３ａに係合端部７２の段部７２ａが入り込んでいるが、係合凹部７３の段状の窪み７３ａと係合端部７２の段部７２ａとの間がシールリングでシールされてもよい。この場合、係合凹部７３の段状の窪み７３ａの底面にシールリングが装着される環状溝を形成し、シールリングを係合凹部７３と係合端部７２で上下方向から挟み込むようにしてもよい。このような構成であっても、挿入部５５を回転基台５４から取り外すことで、シールリングを外部に露出させることができる。
また、本発明の実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらに、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
また、本発明の実施の形態では、本発明をチャックテーブル機構に適用した構成について説明したが、チャックテーブルを回転可能かつ吸引可能なロータリージョイント構造に適用することも可能である。
以上説明したように、本発明は、チューブを使用することなくチャックテーブルを回転可能かつ吸引可能に支持すると共に、メンテナンス時間を短縮できることができるという効果を有し、特にパッケージ基板用のチャックテーブル機構に有用である。
４０ チャックテーブル
４１ 保持面
５０ チャックテーブル機構
５１ 回転手段
５２ 固定基台
５４ 回転基台
５５ 挿入部
５７ 軸受
７２ 挿入部の係合端部
７３ 固定基台の係合凹部
７８ 環状溝
８４ シールリング
９１ 回転モータ
９４ 外部吸引源
９５ 吸引経路
９７ 連通経路
Ｗ 被加工物

Claims (2)

  1. 被加工物を上面に吸引保持するチャックテーブルを上部に装着し回転可能に支持するチャックテーブル機構であって、
    外部吸引源に連通する連通経路が内部に形成された固定基台と、該固定基台の上方に回転可能に配設され上部にチャックテーブルを装着する回転手段と、を備え、
    該回転手段は、該固定基台上方に回転可能に配設された回転基台と、回転中心に該回転基台に対して着脱自在に固定され且つ該固定基台に挿入可能に構成された挿入部と、を備え、
    該挿入部は、該チャックテーブル上面に吸引力を伝達する吸引経路が内部に形成され、該固定基台の係合凹部に係合する係合端部を備え、
    該係合端部が該係合凹部に係合すると、該係合端部の外周壁と該固定基台の該係合凹部の内壁との間でシールリングでシールされると共に、該連通経路と該吸引経路とが連結されること、を特徴とするチャックテーブル機構。
  2. 該回転手段は該固定基台に軸受けで保持されており、該固定基台には、該回転手段を回転させる回転モータを備えること、を特徴とする請求項１記載のチャックテーブル機構。
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