JP6695040B2 - Electronic component mounting device and component suction nozzle - Google Patents

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Description

本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置および電子部品実装装置において電子部品を吸着保持する部品吸着ノズルに関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus that mounts an electronic component on a substrate and a component suction nozzle that suction-holds an electronic component in the electronic component mounting apparatus.

基板に電子部品を実装する電子部品実装装置における部品保持手段として、負圧発生源で発生した吸引力を利用して電子部品を保持する部品吸着ノズル（以下、単に「ノズル」と略記する。）が広く用いられている。部品実装動作において、ノズルを電子部品に当接させて吸着保持する部品吸着時や、電子部品を保持したノズルを基板に対して下降させて部品を基板に着地させる部品搭載時には、電子部品にはノズルの動作に伴う衝撃力が作用する。   As a component holding unit in an electronic component mounting apparatus that mounts electronic components on a substrate, a component suction nozzle (hereinafter simply referred to as “nozzle”) that holds an electronic component by using a suction force generated by a negative pressure generation source. Is widely used. In the component mounting operation, when the component is picked up by adhering the nozzle to the electronic component and sucking and holding it, or when mounting the component that lowers the nozzle holding the electronic component with respect to the substrate and lands the component on the substrate, the electronic component An impact force is applied along with the operation of the nozzle.

このような衝撃力は電子部品の破損や実装位置ずれなどの要因となるため、ノズルにはこのような衝撃を緩和するための緩衝機構として、電子部品に当接して吸着するノズル本体を上下に可動としコイルスプリングなどの弾性体によってノズル本体を下方に付勢する構成が用いられる。この緩衝機構において、ノズル本体自体に負圧が作用することによって弾性体の緩衝効果に影響が及ぶことを避けるため、ノズル本体の上部を真空給引経路から遮断して大気圧とする構成が知られている（例えば特許文献１、２参照）。   Since such impact force may cause damage to electronic components or displacement of mounting position, the nozzle main body, which is abutting against electronic components and adsorbed, is vertically arranged as a buffer mechanism for absorbing such impacts. A structure is used in which the nozzle body is movable and biases the nozzle body downward by an elastic body such as a coil spring. In this buffer mechanism, in order to avoid the negative pressure acting on the nozzle body itself from affecting the buffering effect of the elastic body, there is known a configuration in which the upper portion of the nozzle body is cut off from the vacuum supply route to atmospheric pressure. (For example, see Patent Documents 1 and 2).

特許文献１に示す先行技術では、弾性体としてのダンパスプリングを収納する収納空間と遮断された真空吸引経路を介してノズル本体の吸引孔を真空給引するようにしている。これにより、真空給引による負圧の影響がダンパスプリングの緩衝効果へ及ぶのを防止している。また特許文献２に示す先行技術では、ノズル本体を保持するノズル本体保持部において、ノズル本体の基端側の空間を大気と連通させて真空給引のための吸気通路と遮断するとともに、弾性体としてのコイルスプリングをノズル本体保持部の外側に配置するようにしている。これにより、同様に真空給引による負圧の緩衝効果への影響を防止している。   In the prior art disclosed in Patent Document 1, the suction hole of the nozzle body is vacuum-pumped through a vacuum suction path that is cut off from a storage space that stores a damper spring as an elastic body. This prevents the negative pressure due to the vacuum supply from exerting a buffering effect on the damper spring. Further, in the prior art shown in Patent Document 2, in the nozzle body holding portion that holds the nozzle body, the space on the base end side of the nozzle body is communicated with the atmosphere to cut off from the intake passage for vacuum supply, and the elastic body is used. The coil spring is arranged outside the nozzle body holding portion. This also prevents the negative pressure from exerting a negative pressure on the buffering effect.

特開平２−１７４２９９号公報JP-A-2-174299 特開２０１３−２７９６１号公報JP, 2013-27961, A

電子機器の小型化の進展に伴って実装対象となる部品は更に微細化が進み、部品実装動作における部品へのダメージを防止するために、部品吸着ノズルによる衝撃の更なる低減が求められるようになっている。しかしながら上述の特許文献例を含め、従来技術では衝撃の低減を実現する上で以下のような課題があった。まず特許文献１では、ノズル本体の軸廻りの回転を規制する機構とノズル本体から真空吸引するための真空導入部とを直列して設ける構成であることから、可動部分であるノズル本体を短くして軽量化することが困難であった。また特許文献２では、コイルスプリングをノズル本体保持部の外側に配置する構成に起因して、可動部分であるノズル本体のサイズ増大が避けられず、同様に軽量化が困難であった。このように、いずれの先行技術においても部品吸着ノズルの可動部分を小型軽量化することには限界があり、部品実装動作における衝撃のさらなる低減の実現が困難であった。   With the progress of miniaturization of electronic devices, the components to be mounted have become more miniaturized, and in order to prevent damage to the components during the component mounting operation, further reduction of impact by the component suction nozzle is required. Is becoming However, the conventional techniques including the above-mentioned patent documents have the following problems in realizing the reduction of impact. First, in Patent Document 1, since a mechanism for restricting the rotation of the nozzle body around its axis and a vacuum introducing section for vacuum suction from the nozzle body are provided in series, the nozzle body, which is a movable part, is shortened. It was difficult to reduce the weight. Further, in Patent Document 2, due to the configuration in which the coil spring is arranged outside the nozzle body holding portion, it is inevitable that the size of the nozzle body, which is a movable portion, is increased, and it is similarly difficult to reduce the weight. As described above, in any of the prior arts, there is a limit to reducing the size and weight of the movable portion of the component suction nozzle, and it is difficult to further reduce the impact in the component mounting operation.

そこで本発明は、部品実装動作における部品に対する衝撃を低減することができる電子部品実装装置および部品吸着ノズルを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and a component suction nozzle that can reduce the impact on the component during the component mounting operation.

本発明の電子部品実装装置は、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、前記部品吸着ノズルが、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部内に位置し、前記弾性体保持部は、前記ノズル本体保持部の内部に形成された弾性体収納室であり、前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周面から突出する突出部であり、前記ノズル本体保持部側の回転防止構造が前記突出部に接触して前記軸線方向に延びるスリットであり、前記弾性体収納室は前記スリットを通じて大気開放されている。
また、本発明の電子部品実装装置は、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、前記部品吸着ノズルが、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、前記ノズル本体部の直径よりも大きな直径を有する弾性体受部を前記ノズル本体部の上端に設け、さらに前記弾性体は前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングである。
また、本発明の電子部品実装装置は、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、前記部品吸着ノズルが、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周方向へ突出する突出部であり、さらに前記弾性体が前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングであり、前記突出部を通じて前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する。
また、本発明の電子部品実装装置は、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、前記部品吸着ノズルが、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記弾性体保持部は前記ノズル本体保持部の外側に設けた弾性体装着部であり、前記ノズル本体保持部に前記ノズル本体収納孔から前記ノズル本体保持部の外周に至るスリットが形成され、前記ノズル本体部には前記スリットを貫通して前記弾性体装着部まで到達するピン部材が前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部に備えられ、前記スリットと前記ピン部材が前記回転防止構造を構成している。 An electronic component mounting apparatus of the present invention is an electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, the component suction nozzle contacting the component. Nozzle body portion having a first suction passage opened inside at a tip portion which is one end, an elastic body for urging the nozzle body portion in a direction of contacting a component, and an outer circumference of the nozzle body portion. A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the surface, and one end connected to the negative pressure source and the other end on the inner peripheral surface of the nozzle body accommodating hole. Nozzle body holding provided with a second suction passage that opens and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion provided above the nozzle body housing hole for holding the elastic body And a rotation prevention structure which is provided in the nozzle body and the nozzle body holding portion and prevents relative rotation around the axis of the nozzle body and the nozzle body holding portion. Of the nozzle body is located inside the elastic body holding portion, and the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is at least partially overlapped with the elastic body holding portion in the axial direction. And the rotation preventing structure on the side of the nozzle body is provided at the opposite end of the nozzle body and is located inside the elastic body holding portion, and the elastic body holding portion is configured to hold the nozzle body holding portion. Is an elastic body storage chamber formed inside the portion, the rotation preventing structure on the side of the nozzle body is a protrusion protruding from the outer peripheral surface of the nozzle body, and the rotation preventing structure on the side of the nozzle body holding portion is The slit is a slit that is in contact with the protrusion and extends in the axial direction, and the elastic body storage chamber is open to the atmosphere through the slit.
The electronic component mounting apparatus of the present invention is an electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, wherein the component suction nozzle is the component A nozzle main body having a first suction passage opened inside at a tip end which is an end of the nozzle main body, an elastic body for urging the nozzle main body in a direction of contacting a component, and the nozzle main body A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end being an inner periphery of the nozzle body accommodating hole Nozzle provided with a second suction passage opened to a surface and communicating with the first suction passage, and an elastic body holding portion for holding the elastic body provided above the nozzle body accommodating hole A nozzle for holding the nozzle body, and a rotation prevention structure for preventing relative rotation around the axis of the nozzle body and the nozzle body holding portion, which is provided in the nozzle body and the nozzle body holding portion. An end of the main body opposite to the tip is located in the elastic body holding portion, and the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side has at least a part of the elastic body holding portion in the axial direction. The nozzle body portion-side anti-rotation structure is provided at an overlapping position, is provided at the opposite end portion of the nozzle body portion, is located at the elastic body holding portion, and is larger than the diameter of the nozzle body portion. An elastic body receiving portion having a diameter is provided at an upper end of the nozzle body portion, and the elastic body is a coil spring having a diameter larger than that of the nozzle body portion.
The electronic component mounting apparatus of the present invention is an electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, wherein the component suction nozzle is the component A nozzle main body having a first suction passage opened inside at a tip end which is an end of the nozzle main body, an elastic body for urging the nozzle main body in a direction of contacting a component, and the nozzle main body A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end being an inner periphery of the nozzle body accommodating hole Nozzle provided with a second suction passage opened to a surface and communicating with the first suction passage, and an elastic body holding portion for holding the elastic body provided above the nozzle body accommodating hole A nozzle for holding the nozzle body, and a rotation prevention structure for preventing relative rotation around the axis of the nozzle body and the nozzle body holding portion, which is provided in the nozzle body and the nozzle body holding portion. An end of the main body opposite to the tip is located in the elastic body holding portion, and the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side has at least a part of the elastic body holding portion in the axial direction. The rotation preventing structure on the nozzle body portion side is provided at an overlapping position, and the rotation preventing structure on the nozzle body portion side is provided on the opposite end of the nozzle body portion and is located on the elastic body holding portion. Is a projecting portion that projects in the outer peripheral direction of the nozzle body portion, and the elastic body is a coil spring that is larger than the diameter of the nozzle body portion. Energize .
The electronic component mounting apparatus of the present invention is an electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, wherein the component suction nozzle is the component A nozzle main body having a first suction passage opened inside at a tip end which is an end of the nozzle main body, an elastic body for urging the nozzle main body in a direction of contacting a component, and the nozzle main body A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end being an inner periphery of the nozzle body accommodating hole A nozzle main body holding portion provided with a second suction passage opening to a surface and communicating with the first suction passage, and an elastic body holding portion for holding the elastic body; the nozzle main body portion; A rotation preventing structure that is provided in the nozzle body holding portion and prevents relative rotation around the axis of the nozzle body portion and the nozzle body holding portion, and the rotation prevention structure on the nozzle body holding portion side, At least a portion of the elastic body holding portion is provided at a position overlapping in the axial direction, the elastic body holding portion is an elastic body mounting portion provided outside the nozzle body holding portion, and the nozzle body holding portion is provided with the elastic body mounting portion. A slit extending from the nozzle body accommodating hole to the outer periphery of the nozzle body holding portion is formed, and a pin member that penetrates the slit and reaches the elastic body mounting portion is provided at the tip portion of the nozzle body portion. The slit and the pin member are provided at an end portion on the opposite side to and constitute the rotation preventing structure.

本発明の部品吸着ノズルは、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、前記弾性体保持部は、前記ノズル本体保持部の内部に形成された弾性体収納室であり、前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周面から突出する突出部であり、前記ノズル本体保持部側の回転防止構造が前記突出部に接触して前記軸線方向に延びるスリットであり、前記弾性体収納室は前記スリットを通じて大気開放されている。
また、本発明の部品吸着ノズルは、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、前記ノズル本体部の直径よりも大きな直径を有する弾性体受部を前記ノズル本体部の上端に設け、さらに前記弾性体は前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングである。
また、本発明の部品吸着ノズルは、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周方向へ突出する突出部であり、さらに前記弾性体が前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングであり、前記突出部を通じて前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する。
また、本発明の部品吸着ノズルは、部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、前記弾性体保持部は前記ノズル本体保持部の外側に設けた弾性体装着部であり、前記ノズル本体保持部に前記ノズル本体収納孔から前記ノズル本体保持部の外周に至るスリットが形成され、前記ノズル本体部には前記スリットを貫通して前記弾性体装着部まで到達するピン部材が前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部に備えられ、前記スリットと前記ピン部材が前記回転防止構造を構成している。
A component suction nozzle of the present invention is a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, and has a first opening that is a tip end that is the end that contacts the component. A nozzle main body portion having a suction passage formed therein, an elastic body for urging the nozzle main body portion in a direction in which the nozzle main body portion is in contact with the nozzle main body portion, and the nozzle main body portion in the axial direction in contact with the outer peripheral surface of the nozzle main body portion. A nozzle main body accommodating hole slidably held in the second main body, one end of which is connected to the negative pressure generating source and the other end of which is open to the inner peripheral surface of the nozzle main body accommodating hole and which communicates with the first suction passage. A suction passage, and a nozzle body holding portion provided with an elastic body holding portion provided above the nozzle body housing hole for holding the elastic body, the nozzle body portion, and the nozzle body holding portion. And a rotation prevention structure for preventing relative rotation of the nozzle body portion and the nozzle body holding portion around the axis, and the end portion of the nozzle body portion opposite to the tip portion is elastic. The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side, which is located inside the body holding portion, is provided at a position where at least a part of the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side overlaps the elastic body holding portion in the axial direction. Is provided at the opposite end of the nozzle body and is located in the elastic body holding portion, and the elastic body holding portion is an elastic body storage chamber formed inside the nozzle body holding portion, The rotation preventing structure on the side of the nozzle body is a protrusion protruding from the outer peripheral surface of the nozzle body, and the rotation preventing structure on the side of the nozzle body holding portion is a slit extending in the axial direction in contact with the protrusion. The elastic body storage chamber is open to the atmosphere through the slit.
The component suction nozzle of the present invention is a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, and has a first end that is an end portion that is in contact with the component. No. 1 suction passage is formed inside the nozzle body, an elastic body for urging the nozzle body in the direction of contacting the component, and the nozzle body in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body. A nozzle body accommodating hole that is slidably held in the axial direction, one end of which is connected to the negative pressure generating source and the other end of which opens into the inner peripheral surface of the nozzle body accommodating hole and communicates with the first suction passage. Nozzle body holding portion provided with a second suction passage and an elastic body holding portion provided above the nozzle body housing hole for holding the elastic body, the nozzle body portion, and the nozzle body holding portion And a rotation prevention structure for preventing relative rotation of the nozzle main body and the nozzle main body holding portion around the axis line, the end of the nozzle main body on the opposite side to the front end. The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side, which is located inside the elastic body holding portion, is provided at a position where at least a part of the rotation preventing structure on the elastic body holding portion overlaps in the axial direction, and the rotation on the nozzle body portion side is performed. The prevention structure is provided at the end on the opposite side of the nozzle body and is located in the elastic body holding portion. Further, the elastic body is a coil spring having a diameter larger than that of the nozzle body.
The component suction nozzle of the present invention is a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, and has a first end that is an end portion that is in contact with the component. No. 1 suction passage is formed inside the nozzle body, an elastic body for urging the nozzle body in the direction of contacting the component, and the nozzle body in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body. A nozzle body accommodating hole that is slidably held in the axial direction, one end of which is connected to the negative pressure generating source and the other end of which opens into the inner peripheral surface of the nozzle body accommodating hole and communicates with the first suction passage. Nozzle body holding portion provided with a second suction passage and an elastic body holding portion provided above the nozzle body housing hole for holding the elastic body, the nozzle body portion, and the nozzle body holding portion And a rotation prevention structure for preventing relative rotation of the nozzle main body and the nozzle main body holding portion around the axis line, the end of the nozzle main body on the opposite side to the front end. The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side, which is located inside the elastic body holding portion, is provided at a position where at least a part of the rotation preventing structure on the elastic body holding portion overlaps in the axial direction, and the rotation on the nozzle body portion side is performed. The prevention structure is provided at the opposite end of the nozzle body, is located in the elastic body holding portion, and the rotation prevention structure on the nozzle body side is a protrusion that protrudes in the outer peripheral direction of the nozzle body. Further, the elastic body is a coil spring having a diameter larger than the diameter of the nozzle body portion, and urges the nozzle body portion in a direction in which the nozzle body portion contacts the component through the projecting portion .
The component suction nozzle of the present invention is a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure generation source, and has a first end that is an end portion that is in contact with the component. No. 1 suction passage is formed inside the nozzle body, an elastic body for urging the nozzle body in the direction of contacting the component, and the nozzle body in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body. A nozzle body accommodating hole that is slidably held in the axial direction, one end of which is connected to the negative pressure generating source and the other end of which opens into the inner peripheral surface of the nozzle body accommodating hole and communicates with the first suction passage. A nozzle body holding portion provided with a second suction path and an elastic body holding portion for holding the elastic body, the nozzle body portion and the nozzle body portion provided in the nozzle body holding portion, and the nozzle body holding portion. A rotation prevention structure for preventing relative rotation around the axis with respect to the nozzle body holding portion, wherein the rotation prevention structure on the nozzle body holding portion side has at least a part of the elastic body holding portion in the axial direction. The elastic body holding portion is provided at an overlapping position and is an elastic body mounting portion provided outside the nozzle body holding portion, and extends from the nozzle body housing hole to the outer periphery of the nozzle body holding portion in the nozzle body holding portion. A slit is formed, a pin member that penetrates the slit and reaches the elastic body mounting portion is provided in the nozzle main body portion at an end portion of the nozzle main body portion opposite to the tip end portion, and The pin member constitutes the rotation prevention structure.

本発明によれば、部品実装動作における部品に対する衝撃を低減することができる。   According to the present invention, it is possible to reduce the impact on the component during the component mounting operation.

本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図Plan view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に備えられた実装ヘッドの斜視図1 is a perspective view of a mounting head included in an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品吸着ノズルのノズルホルダへの脱着の説明図Explanatory drawing of attachment / detachment of a component suction nozzle to a nozzle holder according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品吸着ノズルの外形を示す３面図FIG. 3 is a three-side view showing the outer shape of the component suction nozzle according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第１実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 1st Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第１実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 1st Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第１実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 1st Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第１実施例における部品吸着ノズルの機能説明図Functional explanatory drawing of the component suction nozzle in the 1st Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第２実施例における部品吸着ノズルの部分断面図Partial sectional view of a component suction nozzle according to a second example of an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第２実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 2nd Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第２実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 2nd Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第３実施例における部品吸着ノズルの部分断面図Partial sectional view of a component suction nozzle according to a third example of an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第３実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 3rd Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第３実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 3rd Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第３実施例における部品吸着ノズルの部分断面図Partial sectional view of a component suction nozzle according to a third example of an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第４実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 4th Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第４実施例における部品吸着ノズルの断面図Sectional drawing of the component suction nozzle in 4th Example of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の第４実施例における部品吸着ノズルの部分断面図Partial sectional view of a component suction nozzle according to a fourth example of an embodiment of the present invention.

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して、電子部品実装装置１の構成を説明する。図１において、基台１ａには基板搬送機構２がＸ方向（基板搬送方向）に配設されている。基板搬送機構２は上流側装置から受け渡された基板３を搬送し、実装作業位置に位置決めして保持する。基板搬送機構２の両側にはそれぞれ部品供給部４が配置されており、部品供給部４には複数のテープフィーダ５が並設されている。テープフィーダ５は基板３に実装される電子部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する実装ヘッド８による部品取り出し位置に電子部品を供給する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration of the electronic component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a substrate transfer mechanism 2 is arranged on a base 1a in the X direction (substrate transfer direction). The board transfer mechanism 2 transfers the board 3 delivered from the upstream side device, and positions and holds the board 3 at the mounting work position. A component supply unit 4 is arranged on each side of the substrate transport mechanism 2, and a plurality of tape feeders 5 are arranged side by side in the component supply unit 4. The tape feeder 5 feeds the electronic components to the component take-out position by the mounting head 8 described below by pitch-feeding the carrier tape holding the electronic components mounted on the substrate 3.

基台１ａのＸ方向の両端部にはＹ軸移動テーブル６がＹ方向に配設されており、Ｙ軸移動テーブル６には２基のＸ軸移動テーブル７が架設されている。それぞれのＸ軸移動テーブル７には、実装ヘッド８がＸ方向に移動自在に装着されている。実装ヘッド８は複数（ここでは６基×２列）のノズルユニット９を備えた多連型ヘッドである。Ｙ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル７を駆動することにより実装ヘッド８は水平方向に移動し、部品供給部４のテープフィーダ５から電子部品を取り出して基板搬送機構２に位置決めされた基板３に実装する。   Y-axis moving tables 6 are arranged in the Y-direction at both ends of the base 1a in the X-direction, and two X-axis moving tables 7 are installed on the Y-axis moving table 6. A mounting head 8 is mounted on each X-axis moving table 7 so as to be movable in the X direction. The mounting head 8 is a multiple head having a plurality (here, 6 units × 2 rows) of nozzle units 9. By driving the Y-axis moving table 6 and the X-axis moving table 7, the mounting head 8 moves in the horizontal direction, the electronic component is taken out from the tape feeder 5 of the component supply unit 4, and the substrate 3 is positioned by the substrate transport mechanism 2. To implement.

Ｘ軸移動テーブル７には実装ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ１０が撮像方向を下向きにして配設されている。実装ヘッド８を基板３の上方に移動させることにより、基板認識カメラ１０は基板３に形成された認識マークを撮像する。基板搬送機構２と部品供給部４との間の実装ヘッド８の移動経路には、部品認識カメラ１１が撮像方向を上向きにして配設されている。ノズルユニット９によって電子部品を保持した実装ヘッド８が部品認識カメラ１１の上方を移動することにより、部品認識カメラ１１はノズルユニット９に保持された状態の電子部品を撮像する。基板認識カメラ１０、部品認識カメラ１１による撮像結果を認識処理することにより、基板３の位置およびノズルユニット９に保持された電子部品の位置が検出される。実装ヘッド８による部品実装時には、これらの位置検出結果に基づいて部品搭載位置が補正される。   A board recognition camera 10 that moves integrally with the mounting head 8 is arranged on the X-axis moving table 7 with its imaging direction facing downward. By moving the mounting head 8 above the substrate 3, the substrate recognition camera 10 images the recognition mark formed on the substrate 3. A component recognition camera 11 is arranged on the movement path of the mounting head 8 between the substrate transport mechanism 2 and the component supply unit 4 with the image pickup direction facing upward. The mounting head 8 holding the electronic component by the nozzle unit 9 moves above the component recognition camera 11, so that the component recognition camera 11 images the electronic component held by the nozzle unit 9. The position of the substrate 3 and the position of the electronic component held by the nozzle unit 9 are detected by recognizing the image pickup results of the substrate recognition camera 10 and the component recognition camera 11. When the component is mounted by the mounting head 8, the component mounting position is corrected based on these position detection results.

次に図２を参照して、実装ヘッド８の構成を説明する。実装ヘッド８は基板認識カメラ１０とともに結合プレート８ａを介してＸ軸移動テーブル７に装着される。実装ヘッド８は複数のノズルユニット９を並設した構成となっている。それぞれのノズルユニット９は、機構部９ａから回転接手１２ａを介してノズル軸１２を下方に延出させた構成となっており、ノズル軸１２の下端部に結合されたノズル保持部１３には、部品吸着ノズル２０が着脱自在に装着されている。部品吸着ノズル２０は、部品を負圧発生源（図３（ａ）参照）で発生した吸引力を利用して保持する機能を有するものである。   Next, the configuration of the mounting head 8 will be described with reference to FIG. The mounting head 8 is mounted on the X-axis moving table 7 together with the board recognition camera 10 via the coupling plate 8a. The mounting head 8 has a configuration in which a plurality of nozzle units 9 are arranged in parallel. Each of the nozzle units 9 has a structure in which the nozzle shaft 12 extends downward from the mechanism portion 9a via the rotary joint 12a, and the nozzle holding portion 13 coupled to the lower end portion of the nozzle shaft 12 includes: The component suction nozzle 20 is detachably mounted. The component suction nozzle 20 has a function of holding the component by utilizing the suction force generated by the negative pressure generation source (see FIG. 3A).

それぞれの機構部９ａにはノズル軸１２と回転接手１２ａを介して結合された昇降軸（図示省略）をリニアモータにより昇降させる昇降機構が内蔵されており、この昇降機構を駆動することにより、ノズル保持部１３に装着された部品吸着ノズル２０は個別に昇降する。複数列のノズルユニット９の側方にはθ軸モータ１４が駆動軸を下向きにして配設されている。駆動軸に結合された駆動プーリ１４ａとそれぞれのノズル軸１２に装着された従動プーリ１２ｂには、ベルト１５が調帯されている。θ軸モータ１４を駆動することにより、ノズル軸１２は部品吸着ノズル２０とともにθ回転し、これにより部品吸着ノズル２０に保持された電子部品のθ方向の位置合わせが行われる。   Each mechanism 9a has a built-in lifting mechanism that lifts a lifting shaft (not shown) coupled to the nozzle shaft 12 via a rotary joint 12a by a linear motor. The component suction nozzles 20 mounted on the holder 13 are individually moved up and down. A θ-axis motor 14 is disposed laterally of the nozzle units 9 in a plurality of rows with the drive shaft facing downward. A belt 15 is attached to a drive pulley 14a connected to the drive shaft and a driven pulley 12b attached to each nozzle shaft 12. By driving the θ-axis motor 14, the nozzle shaft 12 rotates by θ together with the component suction nozzle 20, whereby the electronic components held by the component suction nozzle 20 are aligned in the θ direction.

次に図３を参照して、ノズル保持部１３、部品吸着ノズル２０の構成および機能を説明する。前述のように各ノズルユニット９毎にノズル軸１２の下端部に結合されたノズル保持部１３には、部品吸着ノズル２０が着脱自在に装着される。図３（ａ）は、ノズル保持部１３に部品吸着ノズル２０を装着した状態を、また図３（ｂ）は、ノズル保持部１３から部品吸着ノズル２０を取り外した状態を、それぞれ示している。   Next, the configurations and functions of the nozzle holder 13 and the component suction nozzle 20 will be described with reference to FIG. As described above, the component suction nozzle 20 is detachably attached to the nozzle holding portion 13 connected to the lower end of the nozzle shaft 12 for each nozzle unit 9. 3A shows a state in which the component suction nozzle 20 is attached to the nozzle holding unit 13, and FIG. 3B shows a state in which the component suction nozzle 20 is removed from the nozzle holding unit 13.

図３（ａ）に示すように、ノズル軸１２内の真空給引路は負圧発生源１９に接続されている。負圧発生源１９によってノズル軸１２内の真空給引路を排気することにより発生した吸引力を利用し、部品吸着ノズル２０に保持されたノズル本体部２１によって部品Ｐを吸着保持することができる。なお負圧発生源１９としては、工場設備として設けられた真空給引源を用いてもよく、また電子部品実装装置１に組み込まれたエジェクタ装置などの真空発生装置を用いてもよい。   As shown in FIG. 3A, the vacuum supply passage in the nozzle shaft 12 is connected to the negative pressure generation source 19. By using the suction force generated by exhausting the vacuum supply passage in the nozzle shaft 12 by the negative pressure generation source 19, the component P can be suction-held by the nozzle body 21 held by the component suction nozzle 20. As the negative pressure generation source 19, a vacuum supply source provided as factory equipment may be used, or a vacuum generation device such as an ejector device incorporated in the electronic component mounting apparatus 1 may be used.

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、部品吸着ノズル２０は、ノズル本体保持部２２を円板状の鍔部２３の下面側に設け、さらに被クランプ部２４を鍔部２３の上面側に突設した構成となっている。ノズル本体保持部２２は、下方に軸線ＡＸ方向に延出するノズル本体部２１を保持する。被クランプ部２４は、部品吸着ノズル２０をノズル保持部１３に設けられたクランプ部材１８によってクランプして保持する。   As shown in FIGS. 3A and 3B, in the component suction nozzle 20, the nozzle body holding portion 22 is provided on the lower surface side of the disk-shaped collar portion 23, and the clamped portion 24 is the upper surface of the collar portion 23. It has a structure projecting to the side. The nozzle body holding portion 22 holds the nozzle body portion 21 extending downward in the axis AX direction. The clamped portion 24 clamps and holds the component suction nozzle 20 by the clamp member 18 provided in the nozzle holding portion 13.

ノズル保持部１３を構成する本体部１６には、上下に貫通する摺動孔１６ａが設けられており、摺動孔１６ａには、ノズル軸１２の下端部が摺動自在に嵌合する。本体部１６には下方に突出する嵌合部１６ｂが設けられており、被クランプ部２４を形成するテーパ形状のガイド部２４ａには、嵌合部１６ｂが嵌合する形状の嵌入部２４ｂが設けられている。さらにガイド部２４ａには、嵌合部１６ｂに回転方向の位置合わせのために水平方向に突接された突部１６ｄが係合する係合部２４ｃが形成されている。   The main body 16 that constitutes the nozzle holding portion 13 is provided with a sliding hole 16a that penetrates vertically, and the lower end of the nozzle shaft 12 is slidably fitted into the sliding hole 16a. The body portion 16 is provided with a fitting portion 16b protruding downward, and the tapered guide portion 24a forming the clamped portion 24 is provided with a fitting portion 24b having a shape to which the fitting portion 16b is fitted. Has been. Further, the guide portion 24a is formed with an engaging portion 24c with which the protruding portion 16d which is brought into contact with the fitting portion 16b in the horizontal direction for alignment in the rotational direction is engaged.

部品吸着ノズル２０をノズル保持部１３に保持させる際には、突部１６ｄを係合部２４ｃに位置合わせした状態で嵌合部１６ｂを被クランプ部２４に設けられた嵌入部２４ｂに嵌入させ、部品吸着ノズル２０をノズル保持部１３に対して上方に押しつける。このとき、クランプ部材１８の下端部がガイド部２４ａのテーパ面に沿って押し広げられ、クランプ部材１８はノズル保持部１３および部品吸着ノズル２０を両側から挟み込んで、引張りバネ部材１７の弾性力によってクランプする。   When the component suction nozzle 20 is held by the nozzle holding portion 13, the fitting portion 16b is fitted into the fitting portion 24b provided in the clamped portion 24 with the protrusion 16d aligned with the engaging portion 24c. The component suction nozzle 20 is pressed upward against the nozzle holder 13. At this time, the lower end portion of the clamp member 18 is spread out along the tapered surface of the guide portion 24a, the clamp member 18 sandwiches the nozzle holding portion 13 and the component suction nozzle 20 from both sides, and the elastic force of the tension spring member 17 causes To clamp.

すなわちクランプ部材１８の上端部には、本体部１６の係止用凹部１６ｃに嵌入する係止用突部１８ａが内側方向に突出して設けられ、下端部には被クランプ部２４に設けられたクランプ用凹部２４ｄに嵌入するクランプ用突部１８ｂが内側方向に突出して設けられている。また係止用突部１８ａとクランプ用突部１８ｂとの中間には、引張りバネ部材１７を周回させて装着するためのバネ装着用凹部１８ｃが形成されている。図３（ａ）に示す部品吸着ノズル２０の装着状態では、係止用突部１８ａ、クランプ用突部１８ｂが引張りバネ部材１７の弾性力によってそれぞれ係止用凹部１６ｃ、クランプ用凹部２４ｄに嵌入して内側方向に押しつけられる。これにより部品吸着ノズル２０は、ノズル保持部１３にクランプ保持される。   That is, the upper end of the clamp member 18 is provided with a locking projection 18a that fits in the locking recess 16c of the main body 16 and projects inward, and the lower end of the clamp provided on the clamped part 24. A clamping projection 18b that fits into the recess 24d is provided so as to project inward. A spring mounting recess 18c is formed in the middle of the locking projection 18a and the clamping projection 18b to allow the tension spring member 17 to circulate and be mounted. In the mounted state of the component suction nozzle 20 shown in FIG. 3A, the locking projection 18a and the clamping projection 18b are fitted into the locking recess 16c and the clamping recess 24d, respectively, by the elastic force of the tension spring member 17. Then it is pressed inward. As a result, the component suction nozzle 20 is clamped and held by the nozzle holder 13.

以下、各図を参照して、本実施の形態の各実施例における部品吸着ノズルの詳細構成を説明する。まず、図４〜図７を参照して、実施例１における部品吸着ノズル２０について説明する。図４は、部品吸着ノズル２０の３面図を示している。図４（ａ）、（ｂ）は、部品吸着ノズル２０の正面および側面をそれぞれ示しており、図４（ｃ）は、図４（ａ）に示す部品吸着ノズル２０の下面を示している。以下に説明する図５、図６、図７は、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面をそれぞれ示している。   Hereinafter, the detailed configuration of the component suction nozzle in each example of the present embodiment will be described with reference to the drawings. First, the component suction nozzle 20 in the first embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 7. FIG. 4 shows three views of the component suction nozzle 20. 4A and 4B respectively show the front and side surfaces of the component suction nozzle 20, and FIG. 4C shows the lower surface of the component suction nozzle 20 shown in FIG. 4A. 5, 6, and 7 described below show an AA cross section, a BB cross section, and a CC cross section in FIG. 4, respectively.

図５、図６において、部品吸着ノズル２０は、上面に被クランプ部２４が設けられた鍔部２３の下面にノズル本体保持部２２を突設させ、ノズル本体保持部２２にノズル本体部２１を保持させた構成となっている。被クランプ部２４は、テーパ形状のガイド部２４ａに、嵌入部２４ｂおよび係合部２４ｃを形成して構成されている。ノズル本体保持部２２の外形形状は、円柱部材を２面カットした形状（図７参照）の保持本体部２２ａの上部に、円板鍔形状の結合鍔部２２ｂを設けた形状となっている。結合鍔部２２ｂを鍔部２３の中央部に設けられた嵌合部に嵌合固着することにより、ノズル本体保持部２２は部品吸着ノズル２０に組み込まれる。   5 and 6, the component suction nozzle 20 has a nozzle body holding portion 22 projecting from the lower surface of a collar portion 23 having a clamped portion 24 provided on the upper surface thereof, and the nozzle body holding portion 22 is provided with the nozzle body portion 21. It is configured to be held. The clamped portion 24 is configured by forming a fitting portion 24b and an engaging portion 24c on a tapered guide portion 24a. The outer shape of the nozzle body holding portion 22 is a shape in which a disc-shaped coupling flange portion 22b is provided on an upper portion of a holding body portion 22a having a shape in which a cylindrical member is cut into two surfaces (see FIG. 7). The nozzle main body holding portion 22 is incorporated into the component suction nozzle 20 by fitting and fixing the coupling brim portion 22b to the fitting portion provided in the central portion of the brim portion 23.

保持本体部２２ａの中心位置には軸線ＡＸに沿ってノズル本体収納孔２２ｃが形成されている。ノズル本体収納孔２２ｃは、ノズル本体部２１の外周面に接触した状態でノズル本体部２１をその軸線ＡＸ方向に摺動自在に保持する。ノズル本体部２１は、ノズル本体保持部２２の内部において、弾性体であるコイルスプリング２５によってノズル本体部２１の先端部２１ｂ、すなわち部品Ｐに接する方向へ付勢されている。コイルスプリング２５は、ノズル本体収納孔２２ｃが上方に結合鍔部２２ｂまで延出した弾性体収納室２２ｄの内部に収納保持されており、弾性体収納室２２ｄの上端部は、閉塞部材２７によって閉塞されている。すなわち、ノズル本体保持部２２の内部に形成された弾性体収納室２２ｄは、弾性体であるコイルスプリング２５を保持するための弾性体保持部となっている。   A nozzle body accommodating hole 22c is formed along the axis AX at the center of the holding body 22a. The nozzle body accommodating hole 22c holds the nozzle body 21 slidably in the axis AX direction while being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body 21. Inside the nozzle body holding portion 22, the nozzle body portion 21 is biased by a coil spring 25, which is an elastic body, in a direction in which the tip portion 21b of the nozzle body portion 21, that is, the part P, is contacted. The coil spring 25 is housed and held in an elastic body storage chamber 22d in which the nozzle body storage hole 22c extends upward to the coupling flange portion 22b, and the upper end of the elastic body storage chamber 22d is closed by a closing member 27. Has been done. That is, the elastic body storage chamber 22d formed inside the nozzle body holding portion 22 serves as an elastic body holding portion for holding the coil spring 25 which is an elastic body.

図５、図７に示すように、ノズル本体保持部２２の内部には、被クランプ部２４の嵌入部２４ｂ内に開口して下方に挿通する１対の垂直吸引孔２２ｅが、軸線ＡＸに関して対称位置に設けられている。垂直吸引孔２２ｅの下端部は、水平吸引孔２２ｆと連通している。水平吸引孔２２ｆは、ノズル本体収納孔２２ｃの内周面においてノズル本体部２１の外周面の切除部２１ｃの範囲に開口して形成されている。この切除部２１ｃはノズル本体部２１の外周面にＤカット加工または二面取り加工により形成される。無論、ノズル本体部２１の円周面を一周する溝を加工することにより切除部２１ｃとしても良い。   As shown in FIGS. 5 and 7, a pair of vertical suction holes 22e, which are opened inside the fitting portion 24b of the clamped portion 24 and are inserted downward, are symmetrical inside the nozzle body holding portion 22 with respect to the axis AX. It is provided in the position. The lower end of the vertical suction hole 22e communicates with the horizontal suction hole 22f. The horizontal suction hole 22f is formed in the inner peripheral surface of the nozzle main body accommodating hole 22c so as to open in the range of the cutout portion 21c on the outer peripheral surface of the nozzle main body 21. The cutout portion 21c is formed on the outer peripheral surface of the nozzle body 21 by a D-cut process or a double chamfering process. Of course, the cutout portion 21c may be formed by processing a groove that goes around the circumferential surface of the nozzle body 21.

なおノズル本体部２１における切除部２１ｃの軸線方向の形成範囲は、ノズル本体保持部２２に対してノズル本体部２１が相対的に摺動することが許容される摺動代に基づいて設定される。すなわち、ノズル本体部２１の位置が予め設定された摺動代の範囲内であれば水平吸引孔２２ｆが必ず切除部２１ｃと連通するように、切除部２１ｃの形成範囲が設定される。そして切除部２１ｃは貫通孔２１ｄを介して第１の吸引路２１ａと連通していることから、以下に説明する部品保持のための真空吸引経路が形成される。   The axial range of the cutout portion 21c of the nozzle body portion 21 is set based on the sliding allowance that allows the nozzle body portion 21 to slide relative to the nozzle body holding portion 22. .. That is, the forming range of the cutout portion 21c is set so that the horizontal suction hole 22f always communicates with the cutout portion 21c if the position of the nozzle body 21 is within the preset sliding allowance range. Since the cutout portion 21c communicates with the first suction passage 21a through the through hole 21d, a vacuum suction passage for holding a component described below is formed.

すなわち、部品吸着ノズル２０がノズル保持部１３に装着された状態で、図３（ａ）に示す負圧発生源１９を作動させることにより、摺動孔１６ａを介して嵌入部２４ｂ内が真空吸引され、これにより嵌入部２４ｂに開口した垂直吸引孔２２ｅから真空給引される（矢印ａ）。そして垂直吸引孔２２ｅ内を真空吸引することにより、水平吸引孔２２ｆ、切除部２１ｃおよび貫通孔２１ｄを介して第１の吸引路２１ａが真空吸引され、ノズル本体部２１の先端部２１ｂに部品Ｐを真空給引により保持することができる。すなわち、垂直吸引孔２２ｅ、水平吸引孔２２ｆは、一端が負圧発生源１９（図３参照）に接続され他端がノズル本体収納孔２２ｃの内周面に開口して第１の吸引路２１ａに連通する第２の吸引路２２ｇを構成する。   That is, by operating the negative pressure generation source 19 shown in FIG. 3A with the component suction nozzle 20 attached to the nozzle holding portion 13, the inside of the fitting portion 24b is vacuum sucked through the sliding hole 16a. As a result, vacuum suction is performed from the vertical suction hole 22e opened in the fitting portion 24b (arrow a). By vacuum-sucking the inside of the vertical suction hole 22e, the first suction passage 21a is vacuum-sucked through the horizontal suction hole 22f, the cutout portion 21c, and the through hole 21d, and the part P is attached to the tip portion 21b of the nozzle body portion 21. Can be held by vacuum drawing. That is, one end of each of the vertical suction hole 22e and the horizontal suction hole 22f is connected to the negative pressure generating source 19 (see FIG. 3), and the other end is opened to the inner peripheral surface of the nozzle body housing hole 22c to open the first suction passage 21a. And a second suction passage 22g communicating with the.

図６に示すように、ノズル本体部２１の上端部近傍にはノズル本体部２１を水平方向に貫通するピン部材２６が、ノズル本体部２１の外周面から突出して設けられている。ノズル本体保持部２２において弾性体収納室２２ｄを含む範囲には、弾性体収納室２２ｄを外周と連通させて弾性体収納室２２ｄを大気開放するスリット２２ｈが軸線方向に形成されており、ピン部材２６はスリット２２ｈに接触して外部に挿通している。スリット２２ｈの軸線方向の形成範囲は、前述のノズル本体部２１のノズル本体保持部２２に対する摺動代に基づいて設定される。   As shown in FIG. 6, a pin member 26 penetrating the nozzle body 21 in the horizontal direction is provided near the upper end of the nozzle body 21 so as to project from the outer peripheral surface of the nozzle body 21. In the range including the elastic body storage chamber 22d in the nozzle main body holding portion 22, a slit 22h that communicates the elastic body storage chamber 22d with the outer periphery and opens the elastic body storage chamber 22d to the atmosphere is formed in the axial direction. Reference numeral 26 is in contact with the slit 22h and is inserted outside. The axially formed range of the slit 22h is set based on the sliding allowance of the nozzle body 21 with respect to the nozzle body holding portion 22 described above.

この構成において、コイルスプリング２５によって下方に付勢されるノズル本体部２１は、ノズル本体収納孔２２ｃ内においてピン部材２６がスリット２２ｈの下端部に当接する位置まで下方に摺動することが許容される。そしてノズル本体部２１の先端部２１ｂに上向きの外力が作用することにより、ノズル本体部２１はコイルスプリング２５の付勢力に抗して、ノズル本体収納孔２２ｃ内において上述のスリット２２ｈの形成範囲に対応した摺動代で上方へ摺動する。この摺動動作において、ピン部材２６はスリット２２ｈの内壁面に接触して外側に突出していることから、ノズル本体部２１とノズル本体保持部２２との軸線ＡＸ廻りの相対回転が防止される。   In this configuration, the nozzle main body 21 biased downward by the coil spring 25 is allowed to slide downward to the position where the pin member 26 abuts the lower end of the slit 22h in the nozzle main body accommodation hole 22c. It Then, an upward external force acts on the tip end portion 21b of the nozzle body portion 21, so that the nozzle body portion 21 resists the biasing force of the coil spring 25 and reaches the formation range of the slit 22h in the nozzle body housing hole 22c. Sliding upward with the corresponding sliding allowance. In this sliding operation, since the pin member 26 contacts the inner wall surface of the slit 22h and projects outward, relative rotation of the nozzle body 21 and the nozzle body holding portion 22 about the axis AX is prevented.

すなわち、ピン部材２６とピン部材２６が挿通するスリット２２ｈとは、ノズル本体部２１とノズル本体保持部２２とに設けられノズル本体部２１とノズル本体保持部２２との軸線ＡＸ廻りの相対回転を防止する回転防止構造を構成する。そして本実施の形態に示す構成では、ノズル本体保持部２２側の回転防止構造であるスリット２２ｈが、弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄに少なくとも一部が軸線ＡＸ方向において重なる位置に設けられた構成となっている。   That is, the pin member 26 and the slit 22h through which the pin member 26 is inserted are provided in the nozzle main body portion 21 and the nozzle main body holding portion 22, and the relative rotation of the nozzle main body portion 21 and the nozzle main body holding portion 22 about the axis line AX is performed. Configure a rotation prevention structure to prevent. In the configuration shown in the present embodiment, the slit 22h, which is the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion 22 side, is provided at a position where at least a part of the slit 22h overlaps the elastic body storage chamber 22d, which is the elastic body holding portion, in the axis AX direction. It has been configured.

このような構成を採用することにより、ノズル本体において回転防止機構と真空導入のための真空吸引経路とを直列に構成しさらにその上方に付勢のためのコイルスプリングを配置する従来構成と比較して、ノズル本体部２１の軸線ＡＸ方向の長さサイズを極力小さくして、ノズル可動部であるノズル本体部２１の質量を軽減することが可能となっている。   By adopting such a configuration, in comparison with the conventional configuration in which the rotation prevention mechanism and the vacuum suction path for vacuum introduction are configured in series in the nozzle body, and the coil spring for biasing is arranged above the rotation prevention mechanism. Thus, the length size of the nozzle body 21 in the direction of the axis AX can be made as small as possible to reduce the mass of the nozzle body 21 that is the nozzle movable portion.

またノズル本体保持部２２の内部においてノズル本体収納孔２２ｃの上方に弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄを設け、ノズル本体部２１側の回転防止構造であるピン部材２６を、ノズル本体部２１の下側の端部である先端部２１ｂとは反対の上側の端部側に設けた構成となっている。このように回転防止構造であるピン部材２６をノズル本体部２１の上端側に設けることにより、ノズル本体部２１の質量をさらに軽減することができる。これにより、部品実装動作における部品吸着時や部品搭載時の衝撃を緩和することが可能となっている。   Inside the nozzle body holding portion 22, an elastic body storage chamber 22d, which is an elastic body holding portion, is provided above the nozzle body storage hole 22c, and the pin member 26, which is a rotation prevention structure on the nozzle body 21 side, is attached to the nozzle body portion. 21 is provided on the upper end side opposite to the tip end part 21b which is the lower end part. As described above, by providing the pin member 26 having the rotation preventing structure on the upper end side of the nozzle body 21, the mass of the nozzle body 21 can be further reduced. As a result, it is possible to mitigate the impact when the component is picked up or mounted during the component mounting operation.

そしてノズル本体部２１側の回転防止構造であるピン部材２６がノズル本体部２１の外周面から突出する突出部としてのピン部材２６であり、ノズル本体保持部２２側の回転防止構造が突出部としてのピン部材２６に接触して軸線ＡＸ方向に延びるスリット２２ｈであり、弾性体収納室２２ｄはスリット２２ｈを通じて大気開放された形態となっている。このようにそして弾性体収納室２２ｄを大気開放とすることにより、真空吸引時においてノズル本体部２１の上面には真空吸引による負圧が作用することがない。これにより、コイルスプリング２５の緩衝作用に対する真空吸引の影響を排除することができる。   The pin member 26, which is the rotation preventing structure on the nozzle body 21 side, is the pin member 26 as a protruding portion protruding from the outer peripheral surface of the nozzle body 21, and the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion 22 side is the protruding portion. The slit 22h is in contact with the pin member 26 and extends in the axis AX direction, and the elastic body storage chamber 22d is open to the atmosphere through the slit 22h. In this way, and by opening the elastic body storage chamber 22d to the atmosphere, negative pressure due to vacuum suction does not act on the upper surface of the nozzle body 21 during vacuum suction. This makes it possible to eliminate the effect of vacuum suction on the buffering action of the coil spring 25.

図８は、上述構成の部品吸着ノズル２０によって部品Ｐを保持して基板３に搭載する部品実装動作におけるノズル本体部２１の挙動を示している。まず図８（ａ）は、第１の吸引路２１ａから真空吸引することにより、ノズル本体部２１の先端部２１ｂ（図５参照）に部品Ｐを真空吸着して保持した部品吸着ノズル２０を、基板３の部品実装点の上方に位置させた状態を示している。このとき、ノズル本体部２１はコイルスプリング２５によって下方に付勢されており、ピン部材２６がスリット２２ｈ内における下端位置に当接する状態でノズル本体保持部２２に保持されている。   FIG. 8 shows the behavior of the nozzle body 21 in the component mounting operation in which the component suction nozzle 20 having the above-described configuration holds the component P and mounts it on the substrate 3. First, FIG. 8A shows the component suction nozzle 20 in which the tip end 21b (see FIG. 5) of the nozzle body 21 is vacuum-sucked and held by vacuum suction from the first suction passage 21a. It shows a state in which the board 3 is located above the component mounting point. At this time, the nozzle body 21 is biased downward by the coil spring 25, and is held by the nozzle body holding portion 22 in a state where the pin member 26 is in contact with the lower end position in the slit 22h.

次に図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す状態から部品吸着ノズル２０を下降させて（矢印ｂ）、ノズル本体部２１に保持した部品Ｐを基板３の部品実装点に着地させた状態を示している。このとき、ピン部材２６はスリット２２ｈ内における下端位置にあり、ノズル本体部２１にはコイルスプリング２５の付勢力は作用しておらず、部品Ｐには押圧荷重は作用していない。   Next, in FIG. 8B, the component suction nozzle 20 is lowered from the state shown in FIG. 8A (arrow b), and the component P held by the nozzle body 21 is landed on the component mounting point of the substrate 3. The state is shown. At this time, the pin member 26 is at the lower end position in the slit 22h, the biasing force of the coil spring 25 does not act on the nozzle body 21, and the pressing load does not act on the component P.

次いで図８（ｃ）は、図８（ｂ）に示す状態から部品吸着ノズル２０を更に下降させて（矢印ｃ）、ノズル本体部２１をノズル本体保持部２２に対して押し込み代ΔＨだけ相対的に押し込んだ状態を示している。この状態ではコイルスプリング２５は押し込み代ΔＨだけ圧縮され、部品Ｐにはコイルスプリング２５がΔＨだけ圧縮されたことによる押圧荷重が作用している。   Next, in FIG. 8C, the component suction nozzle 20 is further lowered from the state shown in FIG. 8B (arrow c), and the nozzle main body portion 21 is pushed relative to the nozzle main body holding portion 22 by a margin ΔH. It shows the state of being pushed into. In this state, the coil spring 25 is compressed by the pushing margin ΔH, and the component P receives a pressing load due to the coil spring 25 being compressed by ΔH.

この部品実装動作において、基板３の上面高さ位置にそり変形などに起因するばらつきが存在する場合にあっても、ノズル本体部２１がコイルスプリング２５の付勢力に抗して摺動することにより、ノズル本体部２１に保持された部品Ｐは常に基板３の上面に正しく着地する。このとき、コイルスプリング２５のばね定数を適切に設定することにより、部品Ｐに作用する押圧荷重を予め設定された許容値以下に抑制することができ、部品実装動作における部品Ｐへの衝撃を抑制することが可能となっている。   In this component mounting operation, even if there is variation due to warpage or the like in the height position of the upper surface of the substrate 3, the nozzle body 21 slides against the urging force of the coil spring 25. The component P held by the nozzle body 21 is always properly landed on the upper surface of the substrate 3. At this time, by appropriately setting the spring constant of the coil spring 25, the pressing load acting on the component P can be suppressed below a preset allowable value, and the impact on the component P during the component mounting operation is suppressed. It is possible to do.

次に、図９、図１０、図１１を参照して、本発明の実施の形態の第２実施例における部品吸着ノズル２０Ａについて説明する。なお、図１０、図１１は、実施例１における図５、図６に対応するものであり、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面にそれぞれ対応している。また鍔部２３、被クランプ部２４の構造およびノズル本体保持部２２Ａの外形形状については、実施例１におけるものと同様である。   Next, the component suction nozzle 20A in the second example of the exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9, 10, and 11. 10 and 11 correspond to FIGS. 5 and 6 in the first embodiment, and correspond to the AA cross section and the BB cross section in FIG. 4, respectively. The structures of the collar portion 23 and the clamped portion 24 and the outer shape of the nozzle body holding portion 22A are the same as those in the first embodiment.

まず図９を参照して、部品吸着ノズル２０Ａに用いられるノズル本体部２１Ａおよびコイルスプリング２５Ａについて説明する。ノズル本体部２１Ａは、実施例１におけるノズル本体部２１よりも外径が大きく設定されており、同様に第１の吸引路２１ａも実施例１より内径が大きく設定されている。このため、第１の吸引路２１ａの下部が先端部２１ｂに開口する部分には、内径が絞られた小径部２１ｅが設けられている。ノズル本体部２１Ａに形成された切除部２１ｃ、貫通孔２１ｄの形状・機能については、実施例１と同様である。   First, with reference to FIG. 9, the nozzle body 21A and the coil spring 25A used in the component suction nozzle 20A will be described. The outer diameter of the nozzle body 21A is set to be larger than that of the nozzle body 21 of the first embodiment, and similarly, the inner diameter of the first suction passage 21a is set to be larger than that of the first embodiment. Therefore, a small-diameter portion 21e having a narrowed inner diameter is provided in a portion where the lower portion of the first suction passage 21a opens to the tip portion 21b. The shapes and functions of the cutout portion 21c and the through hole 21d formed in the nozzle body portion 21A are the same as those in the first embodiment.

コイルスプリング２５Ａの直径は、実施例１におけるコイルスプリング２５の直径よりも大きく、さらにノズル本体部２１Ａの直径よりも大きな径サイズに設定されている。このため、ノズル本体部２１Ａの上方にコイルスプリング２５Ａを配置するに際しては、ノズル本体部２１Ａの直径よりも大きな直径を有するバネ座部材２８をノズル本体部２１Ａの上端に設け、バネ座部材２８によってコイルスプリング２５Ａを支持するようにしている。このように、径サイズの大きいコイルスプリング２５Ａを用いることにより、衝撃吸収用の弾性体としてばね定数のより小さいコイルスプリングを選定することができ、衝撃吸収作用に優れた低衝撃の部品吸着ノズル２０Ａを実現することができる。   The diameter of the coil spring 25A is set to be larger than the diameter of the coil spring 25 in the first embodiment and further larger than the diameter of the nozzle body portion 21A. Therefore, when disposing the coil spring 25A above the nozzle body 21A, a spring seat member 28 having a diameter larger than the diameter of the nozzle body 21A is provided at the upper end of the nozzle body 21A, and the spring seat member 28 is used. The coil spring 25A is supported. As described above, by using the coil spring 25A having a large diameter size, a coil spring having a smaller spring constant can be selected as the elastic body for shock absorption, and the low-impact component suction nozzle 20A excellent in shock absorbing action. Can be realized.

バネ座部材２８の下面には、ノズル本体部２１Ａの第１の吸引路２１ａに気密に嵌合する嵌合凸部２８ａが設けられている。嵌合凸部２８ａを第１の吸引路２１ａに嵌合させることにより、バネ座部材２８はノズル本体部２１Ａに装着され、第１の吸引路２１ａの上端部が閉塞される。そしてノズル本体部２１Ａにおいて嵌合凸部２８ａの下方には、実施例１におけるピン部材２６と同様の機能を有するピン部材２６Ａが、ノズル本体部２１Ａを水平方向に貫通して設けられている。   On the lower surface of the spring seat member 28, a fitting convex portion 28a that is airtightly fitted to the first suction passage 21a of the nozzle body 21A is provided. By fitting the fitting convex portion 28a into the first suction passage 21a, the spring seat member 28 is attached to the nozzle body portion 21A, and the upper end portion of the first suction passage 21a is closed. A pin member 26A having the same function as the pin member 26 in the first embodiment is provided below the fitting protrusion 28a in the nozzle body 21A so as to horizontally penetrate the nozzle body 21A.

図１０、図１１に示すように、ノズル本体保持部２２Ａにおいて、ノズル本体部２１Ａを摺動自在に保持するノズル本体収納孔２２ｃの上方は、コイルスプリング２５Ａを収納する弾性体収納室２２ｄと連通している。ここで、コイルスプリング２５Ａは実施例１に示すコイルスプリング２５よりも直径が大きく、さらにノズル本体部２１Ａの直径よりも大きな直径を有するバネ座部材２８によって支持されていることから、実施例２における弾性体収納室２２ｄは、実施例１における弾性体収納室２２ｄよりも大きな径サイズで設けられている。   As shown in FIGS. 10 and 11, in the nozzle body holding portion 22A, the upper side of the nozzle body housing hole 22c that slidably holds the nozzle body portion 21A communicates with the elastic body housing chamber 22d that houses the coil spring 25A. is doing. Here, the coil spring 25A has a larger diameter than the coil spring 25 shown in the first embodiment, and is supported by the spring seat member 28 having a diameter larger than the diameter of the nozzle body 21A. The elastic body storage chamber 22d is provided with a larger diameter size than the elastic body storage chamber 22d in the first embodiment.

図１１に示すように、ノズル本体保持部２２Ａに設けられた弾性体収納室２２ｄにおいてピン部材２６Ａの摺動範囲には、弾性体収納室２２ｄを外周と連通させて弾性体収納室２２ｄを大気開放するスリット２２ｈが軸線方向に形成されている。ピン部材２６Ａは、スリット２２ｈの内壁面に接触して外部に挿通している。この構成においても実施例１と同様に、コイルスプリング２５Ａによって下方に付勢されるノズル本体部２１Ａは、ピン部材２６Ａがスリット２２ｈの下端部に当接する位置まで、ノズル本体収納孔２２ｃ内において下方に摺動することが許容される。そしてノズル本体部２１Ａの先端部２１ｂに上向きの外力が作用することにより、ノズル本体部２１Ａはコイルスプリング２５Ａの付勢力に抗してノズル本体収納孔２２ｃ内において上方へ摺動する。このとき、ピン部材２６Ａはスリット２２ｈの内壁面に接触して外側に突出していることから、ノズル本体部２１Ａとノズル本体保持部２２Ａとの軸線ＡＸ廻りの相対回転が防止される。   As shown in FIG. 11, in the elastic body storage chamber 22d provided in the nozzle body holding portion 22A, the elastic body storage chamber 22d is communicated with the outer periphery in the sliding range of the pin member 26A so that the elastic body storage chamber 22d is exposed to the atmosphere. A slit 22h for opening is formed in the axial direction. The pin member 26A is in contact with the inner wall surface of the slit 22h and is inserted outside. Also in this configuration, as in the first embodiment, the nozzle body portion 21A urged downward by the coil spring 25A moves downward in the nozzle body housing hole 22c until the pin member 26A abuts the lower end portion of the slit 22h. Is allowed to slide. Then, an upward external force acts on the tip portion 21b of the nozzle body portion 21A, so that the nozzle body portion 21A slides upward in the nozzle body housing hole 22c against the biasing force of the coil spring 25A. At this time, since the pin member 26A is in contact with the inner wall surface of the slit 22h and projects outward, relative rotation of the nozzle body 21A and the nozzle body holding portion 22A about the axis AX is prevented.

すなわち、ピン部材２６Ａとピン部材２６Ａが挿通するスリット２２ｈとは、ノズル本体部２１Ａとノズル本体保持部２２Ａとに設けられノズル本体部２１Ａとノズル本体保持部２２Ａとの軸線ＡＸ廻りの相対回転を防止する回転防止構造を構成する。そして実施例２においても同様に、ノズル本体保持部２２Ａ側の回転防止構造であるスリット２２ｈが、弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄに少なくとも一部が軸線ＡＸ方向において重なる位置に設けられた構成となっている。またノズル本体保持部２２Ａの内部においてノズル本体収納孔２２ｃの上方に弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄを設け、ノズル本体部２１Ａ側の回転防止構造であるピン部材２６Ａをノズル本体部２１Ａの下側の端部である先端部２１ｂとは反対側の上側の端部側に設けた構成となっている。そしてこのような構成により、実施例１において述べた効果と同様の効果を得る。   That is, the pin member 26A and the slit 22h through which the pin member 26A is inserted are provided in the nozzle main body portion 21A and the nozzle main body holding portion 22A, and the relative rotation of the nozzle main body portion 21A and the nozzle main body holding portion 22A about the axis AX is performed. Configure a rotation prevention structure to prevent. Also in the second embodiment, similarly, the slit 22h, which is the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion 22A side, is provided at a position where at least a part of the slit 22h overlaps the elastic body storage chamber 22d, which is the elastic body holding portion, in the axis AX direction. It has been configured. Inside the nozzle body holding portion 22A, an elastic body storage chamber 22d that is an elastic body holding portion is provided above the nozzle body storage hole 22c, and a pin member 26A that is a rotation prevention structure on the side of the nozzle body portion 21A is attached to the nozzle body portion 21A. The tip end portion 21b, which is the lower end portion, is provided on the upper end portion side opposite to the tip end portion 21b. With such a configuration, the same effect as the effect described in the first embodiment can be obtained.

次に、図１２、図１３、図１４、図１５を参照して、本発明の実施の形態の第３実施例における部品吸着ノズル２０Ｂについて説明する。なお、図１３、図１４は、実施例１における図５、図６に対応するものであり、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面にそれぞれ対応している。また図１５（ｂ）は、図１４におけるＤ−Ｄ断面を示しており、鍔部２３、被クランプ部２４の構造およびノズル本体保持部２２Ｂの外形形状については、実施例１におけるものと同様である。   Next, the component suction nozzle 20B in the third example of the exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 12, 13, 14, and 15. 13 and 14 correspond to FIGS. 5 and 6 in the first embodiment, and correspond to the AA cross section and the BB cross section in FIG. 4, respectively. Further, FIG. 15B shows a DD cross section in FIG. 14, and the structures of the collar portion 23, the clamped portion 24, and the outer shape of the nozzle body holding portion 22B are the same as those in the first embodiment. is there.

まず図１２を参照して、部品吸着ノズル２０Ｂに用いられるノズル本体部２１Ｂおよびコイルスプリング２５Ｂについて説明する。ノズル本体部２１Ｂは、実施例１におけるノズル本体部２１よりも外径が大きく設定されており、同様に第１の吸引路２１ａも実施例１より内径が大きく設定されている。このため、実施例２と同様に、第１の吸引路２１ａの下部が先端部２１ｂに開口する部分には、内径が絞られた小径部２１ｅが設けられている。第１の吸引路２１ａの上端部には閉塞部材２１ｆが気密に嵌合しており、これにより第１の吸引路２１ａの上端部は閉塞される。ノズル本体部２１Ｂにおいて閉塞部材２１ｆの下方には、実施例１におけるピン部材２６と同様の機能を有するピン部材２６Ｂが、ノズル本体部２１Ｂを水平方向に貫通して設けられている。ノズル本体部２１Ｂに形成された切除部２１ｃ、貫通孔２１ｄの形状・機能については、実施例１と同様である。   First, with reference to FIG. 12, the nozzle main body 21B and the coil spring 25B used in the component suction nozzle 20B will be described. The outer diameter of the nozzle body 21B is set to be larger than that of the nozzle body 21 of the first embodiment, and similarly, the inner diameter of the first suction passage 21a is set to be larger than that of the first embodiment. Therefore, as in the second embodiment, a small-diameter portion 21e having a narrowed inner diameter is provided at a portion where the lower portion of the first suction passage 21a opens to the tip portion 21b. A closing member 21f is airtightly fitted to the upper end of the first suction passage 21a, whereby the upper end of the first suction passage 21a is closed. Below the closing member 21f in the nozzle body 21B, a pin member 26B having the same function as the pin member 26 in the first embodiment is provided horizontally penetrating the nozzle body 21B. The shapes and functions of the cutout portion 21c and the through hole 21d formed in the nozzle body portion 21B are the same as those in the first embodiment.

コイルスプリング２５Ｂの直径は、実施例１におけるコイルスプリング２５の直径よりも大きく、さらにノズル本体部２１Ｂよりも大きな径サイズに設定されている。このため、ノズル本体部２１Ｂの上方にコイルスプリング２５Ｂを配置するに際しては、ノズル本体部２１Ｂの直径よりも大きな直径を有する円環形状のバネ座部材２９を介して、コイルスプリング２５Ｂの付勢力をピン部材２６Ｂに伝達するようにしている。   The diameter of the coil spring 25B is set to be larger than the diameter of the coil spring 25 in the first embodiment and further larger than that of the nozzle body 21B. Therefore, when arranging the coil spring 25B above the nozzle body 21B, the biasing force of the coil spring 25B is applied through the annular spring seat member 29 having a diameter larger than the diameter of the nozzle body 21B. It is transmitted to the pin member 26B.

図１３、図１４に示すように、ノズル本体保持部２２Ｂにおいて、ノズル本体部２１Ｂを摺動自在に保持するノズル本体収納孔２２ｃの上方は、コイルスプリング２５Ｂを収納する弾性体収納室２２ｄと連通している。ここで、コイルスプリング２５Ｂは実施例１に示すコイルスプリング２５よりも直径が大きく、さらにノズル本体部２１Ｂの直径よりも大きな直径を有するバネ座部材２９を介して支持されていることから、実施例３における弾性体収納室２２ｄは、実施例１における弾性体収納室２２ｄよりも大きな径サイズで設けられている。   As shown in FIGS. 13 and 14, in the nozzle body holding portion 22B, the upper side of the nozzle body housing hole 22c that slidably holds the nozzle body portion 21B communicates with the elastic body housing chamber 22d that houses the coil spring 25B. is doing. Here, the coil spring 25B has a larger diameter than the coil spring 25 shown in the first embodiment, and is supported through the spring seat member 29 having a diameter larger than the diameter of the nozzle body 21B. The elastic body storage chamber 22d in No. 3 is larger in diameter than the elastic body storage chamber 22d in the first embodiment.

図１４、図１５に示すように、ノズル本体保持部２２Ｂに設けられた弾性体収納室２２ｄにおいてピン部材２６Ｂの摺動範囲には、弾性体収納室２２ｄを外周と連通させて弾性体収納室２２ｄを大気開放するスリット２２ｈが軸線方向に形成されている。ピン部材２６Ｂはスリット２２ｈの内壁面に接触して外部に挿通しており、図１５に示すように、ピン部材２６Ｂの上面側にはコイルスプリング２５Ｂの付勢力を支持するバネ座部材２９が当接している。すなわち、ノズル本体部２１Ｂは、ピン部材２６Ｂを介してコイルスプリング２５Ｂによって下方に付勢される。   As shown in FIGS. 14 and 15, in the elastic body storage chamber 22d provided in the nozzle body holding portion 22B, the elastic body storage chamber 22d is communicated with the outer periphery in the sliding range of the pin member 26B. A slit 22h that opens 22d to the atmosphere is formed in the axial direction. The pin member 26B is in contact with the inner wall surface of the slit 22h and is inserted to the outside, and as shown in FIG. 15, a spring seat member 29 for supporting the biasing force of the coil spring 25B abuts on the upper surface side of the pin member 26B. Touching. That is, the nozzle body 21B is biased downward by the coil spring 25B via the pin member 26B.

そしてこの構成においても実施例１と同様に、コイルスプリング２５Ｂによって下方に付勢されるノズル本体部２１Ｂは、ピン部材２６Ｂがスリット２２ｈの下端部に当接する位置まで、ノズル本体収納孔２２ｃ内において下方に摺動することが許容される。そしてノズル本体部２１Ｂの先端部２１ｂに上向きの外力が作用することにより、ノズル本体部２１Ｂはコイルスプリング２５Ｂの付勢力に抗してノズル本体収納孔２２ｃ内において上方へ摺動する。このとき、ピン部材２６Ｂはスリット２２ｈの内壁面に接触して外側に突出していることから、ノズル本体部２１Ｂとノズル本体保持部２２Ｂとの軸線ＡＸ廻りの相対回転が防止される。   Also in this configuration, similarly to the first embodiment, the nozzle body portion 21B urged downward by the coil spring 25B is located in the nozzle body housing hole 22c until the pin member 26B abuts the lower end portion of the slit 22h. Sliding down is allowed. Then, an upward external force acts on the tip end portion 21b of the nozzle body portion 21B, so that the nozzle body portion 21B slides upward in the nozzle body housing hole 22c against the biasing force of the coil spring 25B. At this time, since the pin member 26B is in contact with the inner wall surface of the slit 22h and protrudes outward, the relative rotation of the nozzle body 21B and the nozzle body holding portion 22B about the axis AX is prevented.

すなわち、ピン部材２６Ｂとピン部材２６Ｂが挿通するスリット２２ｈとは、ノズル本体部２１Ｂとノズル本体保持部２２Ｂとに設けられノズル本体部２１Ｂとノズル本体保持部２２Ｂとの軸線ＡＸ廻りの相対回転を防止する回転防止構造を構成する。そして実施例３においても同様に、ノズル本体保持部２２側の回転防止構造であるスリット２２ｈが、弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄに少なくとも一部が軸線ＡＸ方向において重なる位置に設けられた構成となっている。またノズル本体保持部２２Ｂの内部においてノズル本体収納孔２２ｃの上方に弾性体保持部である弾性体収納室２２ｄを設け、ノズル本体部２１側の回転防止構造であるピン部材２６Ｂをノズル本体部２１Ｂの下側の端部である先端部２１ｂとは反対側の上側の端部側に設けた構成となっている。そしてこのような構成により、実施例１において述べた効果と同様の効果を得る。   That is, the pin member 26B and the slit 22h through which the pin member 26B is inserted are provided in the nozzle main body portion 21B and the nozzle main body holding portion 22B, and the relative rotation of the nozzle main body portion 21B and the nozzle main body holding portion 22B about the axis AX is performed. Configure a rotation prevention structure to prevent. Also in the third embodiment, similarly, the slit 22h, which is the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion 22 side, is provided at a position where at least a part of the slit 22h overlaps the elastic body storage chamber 22d, which is the elastic body holding portion, in the axis AX direction. It has been configured. Inside the nozzle body holding portion 22B, an elastic body storage chamber 22d that is an elastic body holding portion is provided above the nozzle body storage hole 22c, and a pin member 26B that is a rotation prevention structure on the nozzle body portion 21 side is attached to the nozzle body portion 21B. The tip end portion 21b, which is the lower end portion, is provided on the upper end portion side opposite to the tip end portion 21b. With such a configuration, the same effect as the effect described in the first embodiment can be obtained.

そして上述の実施例３においては、ノズル本体部２１Ｂ側の回転防止構造がノズル本体部２１Ｂの外周方向へ突出する突出部としてのピン部材２６Ｂであり、さらに弾性体としてノズル本体部２１の直径よりも大きなコイルスプリング２５Ｂを用いており、ピン部材２６Ｂを通じてノズル本体部２１Ｂを下方、すなわち部品Ｐに接する方向へ付勢する形態となっている。このように、径サイズの大きいコイルスプリング２５Ｂを用いることにより、衝撃吸収用の弾性体としてばね定数のより小さいコイルスプリングを選定することができ、衝撃吸収作用に優れた低衝撃の部品吸着ノズル２０Ｂを実現することができる。   Further, in the above-described third embodiment, the rotation preventing structure on the nozzle body 21B side is the pin member 26B as a projecting portion that projects in the outer peripheral direction of the nozzle body 21B, and further, as the elastic body, the diameter of the nozzle body 21 Also uses a large coil spring 25B and urges the nozzle body 21B downward through the pin member 26B, that is, in the direction of contacting the component P. As described above, by using the coil spring 25B having a large diameter size, a coil spring having a smaller spring constant can be selected as the elastic body for shock absorption, and the low-impact component suction nozzle 20B excellent in shock absorbing action. Can be realized.

次に図１６、図１７、図１８を参照して、本発明の実施の形態の第４実施例における部品吸着ノズル２０Ｃについて説明する。なお、図１６、図１７は、実施例１における図５、図６に対応するものであり、図４におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面にそれぞれ対応している。また図１８は、図１７におけるＥ−Ｅ断面を示しており、鍔部２３、被クランプ部２４の構造については、実施例１におけるものと同様である。   Next, with reference to FIGS. 16, 17, and 18, a component suction nozzle 20C in a fourth example of the exemplary embodiment of the present invention will be described. 16 and 17 correspond to FIGS. 5 and 6 in the first embodiment, and correspond to the AA cross section and the BB cross section in FIG. 4, respectively. 18 shows a cross section taken along the line EE in FIG. 17, and the structures of the collar portion 23 and the clamped portion 24 are the same as those in the first embodiment.

図１６、図１７において、ノズル本体保持部２２Ｃの外形形状は、下部が円錐状の円柱部材である保持本体部２２ａの上部に円板形状の結合鍔部２２ｂを設けた形状となっており、結合鍔部２２ｂを鍔部２３の中央部に設けられた嵌合部に嵌合固着することにより、ノズル本体保持部２２Ｃは部品吸着ノズル２０Ｃに組み込まれる。保持本体部２２ａの中心位置には軸線ＡＸに沿ってノズル本体収納孔２２ｃが上下に貫通して形成されており、ノズル本体収納孔２２ｃの上端部は、閉塞部材２７によって閉塞されている。ノズル本体収納孔２２ｃは、ノズル本体部２１の外周面に接触した状態でノズル本体部２１Ｃをその軸線ＡＸ方向に摺動自在に保持する。   In FIG. 16 and FIG. 17, the outer shape of the nozzle body holding portion 22C is a shape in which a disc-shaped coupling flange portion 22b is provided on the upper portion of the holding body portion 22a whose lower portion is a conical column member. The nozzle main body holding portion 22C is incorporated in the component suction nozzle 20C by fitting and fixing the coupling brim portion 22b to the fitting portion provided in the central portion of the brim portion 23. A nozzle body accommodating hole 22c is formed vertically through the holding body portion 22a along the axis AX, and the upper end of the nozzle body accommodating hole 22c is closed by a closing member 27. The nozzle body accommodating hole 22c holds the nozzle body 21C slidably in the axis AX direction while being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body 21.

ノズル本体部２１Ｃは、実施例２に示すノズル本体部２１Ｂと同様の構成であり、図１５（ａ）に示すノズル本体部２１Ｂと同様に、第１の吸引路２１ａの上端部には閉塞部材２１ｆが気密に嵌合しており、これにより第１の吸引路２１ａの上端部は閉塞されている。またノズル本体部２１Ｃの上端部近傍において閉塞部材２１ｆの下方には、ノズル本体部２１Ｃを水平方向に貫通するピン部材２６Ｃがノズル本体部２１Ｃの外周面から突出して設けられている。ノズル本体部２１Ｃに形成された切除部２１ｃ、貫通孔２１ｄの形状・機能については、実施例１と同様である。   The nozzle main body portion 21C has the same configuration as the nozzle main body portion 21B shown in the second embodiment, and like the nozzle main body portion 21B shown in FIG. 15 (a), the upper end portion of the first suction passage 21a has a closing member. 21f is airtightly fitted, whereby the upper end of the first suction passage 21a is closed. A pin member 26C penetrating the nozzle body 21C in the horizontal direction is provided below the closing member 21f near the upper end of the nozzle body 21C so as to project from the outer peripheral surface of the nozzle body 21C. The shapes and functions of the cutout portion 21c and the through hole 21d formed in the nozzle body portion 21C are the same as those in the first embodiment.

図１７、図１８に示すように、ノズル本体保持部２２Ｃの外周面２２ｉの外側には、円環形状のバネ座部材３０がピン部材２６Ｃの上面に当接して配置されている。この構成において、コイルスプリング２５Ｃはバネ座部材３０およびピン部材２６Ｃを介して、ノズル本体部２１Ｃを下方へ付勢する。すなわちノズル本体部２１Ｃは、ノズル本体保持部２２Ｃの外周面において、弾性体であるコイルスプリング２５Ｃによってノズル本体部２１Ｃの先端部２１ｂ、すなわち部品Ｐに接する方向へ付勢されている。   As shown in FIGS. 17 and 18, a ring-shaped spring seat member 30 is disposed outside the outer peripheral surface 22i of the nozzle body holding portion 22C so as to abut the upper surface of the pin member 26C. In this configuration, the coil spring 25C urges the nozzle body 21C downward via the spring seat member 30 and the pin member 26C. That is, the nozzle body 21C is urged on the outer peripheral surface of the nozzle body holding portion 22C by the coil spring 25C, which is an elastic body, in the direction of contacting the tip 21b of the nozzle body 21C, that is, the component P.

結合鍔部２２ｂにおいて外周面２２ｉの延長上の外周位置に形成された円環溝部２２ｋとバネ座部材３０上面との間は、弾性体であるコイルスプリング２５Ｃを装着するための弾性体装着部２２ｊとなっている。すなわち実施例４においては、弾性体であるコイルスプリング２５Ｃを保持するための弾性体保持部は、ノズル本体保持部２２Ｃの外側の外周面２２ｉに設けた弾性体装着部２２ｊである。ノズル本体保持部２２Ｃにおいて弾性体装着部２２ｊを含む範囲には、ノズル本体収納孔２２ｃの上面を外周と連通させて大気開放するスリット２２ｈが軸線方向に形成されており、ピン部材２６Ｃはスリット２２ｈの内壁面に接触して外部に挿通している。これにより、ノズル本体部２１Ｃの上面には常に大気圧が作用する。   An elastic body mounting portion 22j for mounting the coil spring 25C, which is an elastic body, between the annular groove portion 22k formed at the outer peripheral position on the extension of the outer peripheral surface 22i of the coupling flange portion 22b and the upper surface of the spring seat member 30. Has become. That is, in the fourth embodiment, the elastic body holding portion for holding the coil spring 25C which is an elastic body is the elastic body mounting portion 22j provided on the outer peripheral surface 22i outside the nozzle body holding portion 22C. In the range including the elastic body mounting portion 22j in the nozzle body holding portion 22C, a slit 22h that communicates the upper surface of the nozzle body housing hole 22c with the outer periphery and opens to the atmosphere is formed in the axial direction, and the pin member 26C has the slit 22h. It comes in contact with the inner wall surface and is inserted outside. Thereby, the atmospheric pressure always acts on the upper surface of the nozzle body 21C.

図１６、図１８に示すように、ノズル本体保持部２２Ｃの内部には、実施例１と同様の垂直吸引孔２２ｅが設けられており、垂直吸引孔２２ｅの下端部は、ノズル本体収納孔２２ｃの内周面においてノズル本体部２１の切除部２１ｃの範囲に開口して形成された水平吸引孔２２ｆと連通している。そして切除部２１ｃは貫通孔２１ｄを介して第１の吸引路２１ａと連通していることから、実施例１と同様に部品保持のための真空給引経路が形成される。   As shown in FIGS. 16 and 18, a vertical suction hole 22e similar to that of the first embodiment is provided inside the nozzle body holding portion 22C, and the lower end portion of the vertical suction hole 22e has a nozzle body storage hole 22c. The inner peripheral surface of the nozzle body 21 communicates with a horizontal suction hole 22f formed by opening in the area of the cutout portion 21c of the nozzle body 21. Since the excision portion 21c communicates with the first suction passage 21a through the through hole 21d, a vacuum supply route for holding components is formed as in the first embodiment.

上述の構成において、コイルスプリング２５Ｃによって下方に付勢されるノズル本体部２１Ｃは、ピン部材２６Ｃがスリット２２ｈの下端部に当接する位置までノズル本体収納孔２２ｃ内において下方に摺動することが許容される。そしてノズル本体部２１Ｃの先端部２１ｂに上向きの外力が作用することにより、ノズル本体部２１Ｃはコイルスプリング２５Ｃの付勢力に抗してノズル本体収納孔２２ｃ内において上方へ摺動する。このとき、ピン部材２６Ｃはスリット２２ｈの内壁面に接触して外側に突出していることから、ノズル本体部２１Ｃとノズル本体保持部２２Ｃとの軸線ＡＸ廻りの相対回転が防止される。   In the above configuration, the nozzle body portion 21C biased downward by the coil spring 25C is allowed to slide downward in the nozzle body housing hole 22c to a position where the pin member 26C abuts the lower end portion of the slit 22h. To be done. Then, an upward external force acts on the tip portion 21b of the nozzle body portion 21C, so that the nozzle body portion 21C slides upward in the nozzle body housing hole 22c against the biasing force of the coil spring 25C. At this time, since the pin member 26C is in contact with the inner wall surface of the slit 22h and protrudes outward, relative rotation of the nozzle body 21C and the nozzle body holding portion 22C about the axis AX is prevented.

すなわち、ピン部材２６Ｃとピン部材２６Ｃが挿通するスリット２２ｈとは、ノズル本体部２１Ｃとノズル本体保持部２２Ｃとに設けられノズル本体部２１Ｃとノズル本体保持部２２Ｃとの軸線ＡＸ廻りの相対回転を防止する回転防止構造を構成する。そして実施例４に示す構成においても、ノズル本体保持部２２Ｃ側の回転防止構造であるスリット２２ｈが、弾性体保持部である弾性体装着部２２ｊに少なくとも一部が軸線ＡＸ方向において重なる位置に設けられた構成となっている。またノズル本体保持部２２Ｃの外周面２２ｉにおいてノズル本体収納孔２２ｃの上方に弾性体保持部である弾性体装着部２２ｊを設け、ノズル本体部２１Ｃ側の回転防止構造であるピン部材２６Ｃをノズル本体部２１Ｃの下側の端部である先端部２１ｂとは反対側の上側の端部側に設けた構成となっている。そしてこのような構成により、実施例１において述べた効果と同様の効果を得る。   That is, the pin member 26C and the slit 22h through which the pin member 26C is inserted are provided in the nozzle main body portion 21C and the nozzle main body holding portion 22C, and the relative rotation of the nozzle main body portion 21C and the nozzle main body holding portion 22C about the axis AX is performed. Configure a rotation prevention structure to prevent. Also in the configuration shown in the fourth embodiment, the slit 22h, which is the rotation preventing structure on the nozzle body holding portion 22C side, is provided at a position where at least a part overlaps with the elastic body mounting portion 22j that is the elastic body holding portion in the axis AX direction. It has been configured. Further, an elastic body mounting portion 22j, which is an elastic body holding portion, is provided above the nozzle body housing hole 22c on the outer peripheral surface 22i of the nozzle body holding portion 22C, and the pin member 26C, which is a rotation preventing structure on the nozzle body portion 21C side, is attached to the nozzle body. The tip end portion 21b which is the lower end portion of the portion 21C is provided on the upper end portion side opposite to the tip end portion 21b. With such a configuration, the same effect as the effect described in the first embodiment can be obtained.

上述構成の実施例４では、ノズル本体保持部２２Ｃにノズル本体収納孔２２ｃからノズル本体保持部２２Ｃの外周に至るスリット２２ｈが形成され、ノズル本体部２１Ｃにはスリット２２ｈを貫通してノズル本体保持部２２Ｃの外側に設けた弾性体装着部２２ｊまで到達するピン部材２６Ｃが備えられ、スリット２２ｈとピン部材２６Ｃとが回転防止構造を構成している。このような構成を採用することにより、衝撃吸収用の弾性体としてさらに径サイズが大きくばね定数の小さいコイルスプリング２５Ｃを選定することができ、衝撃吸収作用に優れた低衝撃の部品吸着ノズル２０Ｃを実現することができる。   In the fourth embodiment having the above-described configuration, the nozzle body holding portion 22C is provided with the slit 22h extending from the nozzle body housing hole 22c to the outer periphery of the nozzle body holding portion 22C, and the nozzle body holding portion 21C penetrates the slit 22h to hold the nozzle body. The pin member 26C that reaches the elastic body mounting portion 22j provided outside the portion 22C is provided, and the slit 22h and the pin member 26C form a rotation preventing structure. By adopting such a configuration, the coil spring 25C having a larger diameter size and a smaller spring constant can be selected as the elastic body for shock absorption, and the low-impact component suction nozzle 20C excellent in shock absorbing action can be obtained. Can be realized.

上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品実装装置１に備えられた部品吸着ノズルは、部品に接する先端部に開口する第１の吸引路が形成されたノズル本体部と、ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体であるコイルスプリングと、ノズル本体部２１を軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が負圧発生源に接続され他端がノズル本体収納孔の内周面に開口して第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、コイルスプリングを保持するための弾性体保持部としての弾性体収納室とが設けられたノズル本体保持部と、ノズル本体部とノズル本体保持部とに設けられ相互の軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備えた構成において、ノズル本体保持部側の回転防止構造が、弾性体保持部に少なくとも一部が軸線方向において重なる位置に設けられたことを特徴としている。このような構成を採用することにより、ノズル本体部の軸線方向の長さサイズを極力短くすることができ、部品吸着ノズルにおける可動部分であるノズル本体部の質量を低減して、部品実装動作における部品吸着時や部品搭載時の部品への衝撃を抑制することができる。   As described above, the component suction nozzle provided in the electronic component mounting apparatus 1 according to the present embodiment includes a nozzle main body portion having a first suction passage opening at a tip end portion in contact with a component, and a nozzle main body. A coil spring, which is an elastic body that urges the nozzle portion in the direction of contacting the component, a nozzle body housing hole that slidably holds the nozzle body portion 21 in the axial direction, one end connected to the negative pressure generation source, and the other end Nozzle provided with a second suction passage opening to the inner peripheral surface of the nozzle body housing hole and communicating with the first suction passage, and an elastic body storage chamber as an elastic body holding portion for holding the coil spring. In the configuration including the main body holding part and the anti-rotation structure provided in the nozzle main body part and the nozzle main body holding part to prevent relative rotation around the mutual axis, the anti-rotation structure on the nozzle main body holding part side is elastic. It is characterized in that at least a part of the body holding portion is provided at a position overlapping in the axial direction. By adopting such a configuration, the length size in the axial direction of the nozzle main body can be made as short as possible, the mass of the nozzle main body that is a movable part of the component suction nozzle can be reduced, and the component mounting operation can be performed. It is possible to suppress the impact on the component when the component is picked up or mounted.

本発明の電子部品実装装置および部品吸着ノズルは、部品実装動作における部品に対する衝撃を低減することができるという効果を有し、電子部品を基板に実装する部品実装分野において有用である。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The electronic component mounting apparatus and the component suction nozzle of the present invention have the effect of reducing the impact on the component during the component mounting operation, and are useful in the component mounting field for mounting electronic components on a board.

１ 電子部品実装装置
３ 基板
８ 実装ヘッド
９ ノズルユニット
１３ ノズル保持部
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ 部品吸着ノズル
２１、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ ノズル本体部
２１ａ 第１の吸引路
２１ｂ 先端部
２２、２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ ノズル本体保持部
２２ｃ ノズル本体収納孔
２２ｄ 弾性体収納室
２２ｅ 垂直吸引孔
２２ｆ 水平吸引孔
２２ｇ 第２の吸引路
２２ｈ スリット
２２ｊ 弾性体装着部
２５、２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ コイルスプリング
２６、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ ピン部材
２８、２９、３０ バネ座部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic component mounting apparatus 3 Substrate 8 Mounting head 9 Nozzle unit 13 Nozzle holding part 20, 20A, 20B, 20C Component suction nozzle 21, 21A, 21B, 21C Nozzle body 21a First suction path 21b Tip part 22, 22A, 22B, 22C Nozzle body holding part 22c Nozzle body housing hole 22d Elastic body housing chamber 22e Vertical suction hole 22f Horizontal suction hole 22g Second suction path 22h Slit 22j Elastic body mounting portion 25, 25A, 25B, 25C Coil spring 26, 26A , 26B, 26C Pin member 28, 29, 30 Spring seat member

Claims (8)

部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、
前記部品吸着ノズルが、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記弾性体保持部は、前記ノズル本体保持部の内部に形成された弾性体収納室であり、
前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周面から突出する突出部であり、前記ノズル本体保持部側の回転防止構造が前記突出部に接触して前記軸線方向に延びるスリットであり、前記弾性体収納室は前記スリットを通じて大気開放されている、電子部品実装装置。 An electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure source,
The component suction nozzle,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
The elastic body holding portion is an elastic body storage chamber formed inside the nozzle body holding portion,
The rotation preventing structure on the side of the nozzle body is a protrusion protruding from the outer peripheral surface of the nozzle body, and the rotation preventing structure on the side of the nozzle body holding portion is a slit extending in the axial direction in contact with the protrusion. An electronic component mounting apparatus , wherein the elastic body storage chamber is open to the atmosphere through the slit . 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、
前記部品吸着ノズルが、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記ノズル本体部の直径よりも大きな直径を有する弾性体受部を前記ノズル本体部の上端に設け、さらに前記弾性体は前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングである、電子部品実装装置。 An electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure source,
The component suction nozzle,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
An electronic component mounting apparatus , wherein an elastic body receiving portion having a diameter larger than a diameter of the nozzle body portion is provided on an upper end of the nozzle body portion, and the elastic body is a coil spring larger than a diameter of the nozzle body portion . 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、
前記部品吸着ノズルが、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周方向へ突出する突出部であり、さらに前記弾性体が前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングであり、
前記突出部を通じて前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する、電子部品実装装置。 An electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure source,
The component suction nozzle,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
The nozzle main body side anti-rotation structure is a protrusion that protrudes in the outer peripheral direction of the nozzle main body, and the elastic body is a coil spring larger than the diameter of the nozzle main body.
An electronic component mounting apparatus for urging the nozzle body in a direction of contacting a component through the protrusion . 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルを備えた電子部品実装装置であって、
前記部品吸着ノズルが、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記弾性体保持部は前記ノズル本体保持部の外側に設けた弾性体装着部であり、
前記ノズル本体保持部に前記ノズル本体収納孔から前記ノズル本体保持部の外周に至るスリットが形成され、前記ノズル本体部には前記スリットを貫通して前記弾性体装着部まで到達するピン部材が前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部に備えられ、前記スリットと前記ピン部材が前記回転防止構造を構成している、電子部品実装装置。 An electronic component mounting apparatus including a component suction nozzle that holds a component by using a suction force generated by a negative pressure source,
The component suction nozzle,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A nozzle main body holding portion provided with a second suction passage opening to an inner peripheral surface of the hole and communicating with the first suction passage; and an elastic body holding portion for holding the elastic body,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The elastic body holding portion is an elastic body mounting portion provided outside the nozzle body holding portion,
A slit extending from the nozzle body accommodating hole to the outer periphery of the nozzle body holding portion is formed in the nozzle body holding portion, and a pin member that penetrates the slit and reaches the elastic body mounting portion is formed in the nozzle body portion. An electronic component mounting apparatus, which is provided at an end of a nozzle body opposite to the tip, and in which the slit and the pin member constitute the rotation prevention structure. 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記弾性体保持部は、前記ノズル本体保持部の内部に形成された弾性体収納室であり、
前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周面から突出する突出部であり、前記ノズル本体保持部側の回転防止構造が前記突出部に接触して前記軸線方向に延びるスリットであり、前記弾性体収納室は前記スリットを通じて大気開放されている、部品吸着ノズル。 A component suction nozzle that holds a component using the suction force generated by a negative pressure source,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
The elastic body holding portion is an elastic body storage chamber formed inside the nozzle body holding portion,
The rotation preventing structure on the side of the nozzle body is a protrusion protruding from the outer peripheral surface of the nozzle body, and the rotation preventing structure on the side of the nozzle body holding portion is a slit extending in the axial direction in contact with the protrusion. And a component suction nozzle in which the elastic body storage chamber is open to the atmosphere through the slit . 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記ノズル本体部の直径よりも大きな直径を有する弾性体受部を前記ノズル本体部の上端に設け、さらに前記弾性体は前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングである、部品吸着ノズル。 A component suction nozzle that holds a component using the suction force generated by a negative pressure source,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
A component suction nozzle , wherein an elastic body receiving portion having a diameter larger than the diameter of the nozzle body portion is provided at the upper end of the nozzle body portion, and the elastic body is a coil spring larger than the diameter of the nozzle body portion . 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記ノズル本体収納孔の上方に設けられた前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部は前記弾性体保持部内に位置し、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記ノズル本体部側の前記回転防止構造は前記ノズル本体部の前記反対側の端部に設けられて前記弾性体保持部に位置し、
前記ノズル本体部側の回転防止構造が前記ノズル本体部の外周方向へ突出する突出部であり、さらに前記弾性体が前記ノズル本体部の直径よりも大きなコイルスプリングであり、前記突出部を通じて前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する、部品吸着ノズル。 A component suction nozzle that holds a component using the suction force generated by a negative pressure source,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A second suction passage that opens to the inner peripheral surface of the hole and communicates with the first suction passage, and an elastic body holding portion that is provided above the nozzle body accommodating hole and holds the elastic body. The nozzle body holding part provided,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
An end of the nozzle body opposite to the tip is located in the elastic body holder,
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The rotation preventing structure on the nozzle body side is provided at the opposite end of the nozzle body and is located at the elastic body holding portion ,
The rotation prevention structure on the nozzle body side is a protrusion protruding in the outer peripheral direction of the nozzle body, and the elastic body is a coil spring larger than the diameter of the nozzle body, and the nozzle is passed through the protrusion. A component suction nozzle that urges the main body in the direction of contacting the component. 部品を負圧発生源で発生した吸引力を利用して保持する部品吸着ノズルであって、
前記部品に接する方の端部である先端部に開口する第１の吸引路が内部に形成されたノズル本体部と、
前記ノズル本体部を部品に接する方向へ付勢する弾性体と、
前記ノズル本体部の外周面に接触した状態で前記ノズル本体部をその軸線方向に摺動自在に保持するノズル本体収納孔と、一端が前記負圧発生源に接続され他端が前記ノズル本体収納孔の内周面に開口して前記第１の吸引路に連通する第２の吸引路と、前記弾性体を保持するための弾性体保持部とが設けられたノズル本体保持部と、
前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部とに設けられ前記ノズル本体部と前記ノズル本体保持部との前記軸線廻りの相対回転を防止する回転防止構造と、を備え、
前記ノズル本体保持部側の前記回転防止構造が、前記弾性体保持部に少なくとも一部が前記軸線方向において重なる位置に設けられ、
前記弾性体保持部は前記ノズル本体保持部の外側に設けた弾性体装着部であり、前記ノズル本体保持部に前記ノズル本体収納孔から前記ノズル本体保持部の外周に至るスリットが形成され、前記ノズル本体部には前記スリットを貫通して前記弾性体装着部まで到達するピン部材が前記ノズル本体部の前記先端部とは反対側の端部に備えられ、前記スリットと前記ピン部材が前記回転防止構造を構成している、部品吸着ノズル。 A component suction nozzle that holds a component using the suction force generated by a negative pressure source,
A nozzle main body having a first suction passage formed therein, the first suction passage having an opening at the tip that is the end that contacts the component;
An elastic body that urges the nozzle body in a direction in which it contacts a component,
A nozzle body accommodating hole for holding the nozzle body slidably in the axial direction in a state of being in contact with the outer peripheral surface of the nozzle body, and one end connected to the negative pressure source and the other end accommodating the nozzle body. A nozzle main body holding portion provided with a second suction passage opening to an inner peripheral surface of the hole and communicating with the first suction passage; and an elastic body holding portion for holding the elastic body,
A rotation preventing structure which is provided in the nozzle main body and the nozzle main body holding portion and prevents relative rotation around the axis between the nozzle main body portion and the nozzle main body holding portion;
The rotation preventing structure on the nozzle body holding portion side is provided at a position where at least a portion of the elastic body holding portion overlaps in the axial direction,
The elastic body holding portion is an elastic body mounting portion provided outside the nozzle body holding portion, and the nozzle body holding portion is provided with a slit extending from the nozzle body housing hole to the outer periphery of the nozzle body holding portion, The nozzle main body is provided with a pin member that penetrates the slit and reaches the elastic body mounting portion at an end of the nozzle main body opposite to the tip end, and the slit and the pin member are rotated. The component suction nozzle that constitutes the prevention structure.
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