JP6686014B2 - ファクトリインターフェースで基板キャリアをパージするシステム、装置及び方法 - Google Patents

ファクトリインターフェースで基板キャリアをパージするシステム、装置及び方法 Download PDF

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Description

関連出願
本出願は、２０１４年１０月２４日出願の「ＳＹＳＴＥＭＳ， ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ， ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＰＵＲＧＩＮＧ Ａ ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ ＣＡＲＲＩＥＲ ＡＴ Ａ ＦＡＣＴＯＲＹ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ」（整理番号第２２０１７／Ｌ号）と題する米国仮特許出願第６２／０６８，６１７号への優先権を主張し、その内容全体が、あらゆる目的のために参照により本明細書に援用される。
本発明は、基板キャリアの処理に関し、具体的には、ファクトリインターフェースまたは装置フロントエンドモジュールにおいて基板キャリアをパージするシステム、装置及び方法に関する。
半導体製造産業が２２ｎｍ、１４ｎｍなどといったどんどん小さくなる技術に移行してくるのにつれて、酸化不良や粒子状物質が、解決すべきより重大な問題になってきている。製造業者及び他の研究者によって実施された多数の研究によって、基板キャリア内に不活性環境を維持することによって、湿気及び酸化によって生じる不良が顕著に減少することが指摘されている。しかし、既存の解決法では、製造業者が、電子デバイス製造設備内で使用されているロードポート及び基板キャリアを交換することが必要である。これらの構成要素の交換は高価であるし、製造設備内の他のシステムと適合しない可能性がある。したがって、必要とされているのは、製造業者が、新たなロードポートまたは新たな基板キャリアを必要とすることなく、ファクトリインターフェースで処理中の基板キャリア内の不活性環境を維持することを可能にするシステム、方法及び装置である。
ある実施形態では、本発明は、ファクトリインターフェース（ＦＩ）または装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）において基板キャリアをパージするキットを提供する。このキットの実施形態は、ＦＩロボットまたはＥＦＥＭロボットの動作を妨げることなくロードポートドアの近傍に位置するように構成されたフレームと、フレームによって支持され、基板キャリア内にガスを噴霧するように構成された１つ以上の基板間ノズルアレイと、フレームによって支持され、基板キャリアの開口を横切ってガスを噴霧するように構成された１つ以上のカーテンノズルアレイとを含む。
他のある実施形態では、本発明は、基板キャリアをパージするシステムを提供する。このシステムは、ドアを含み、基板キャリアを受容するように適合されたロードポートと、ＦＩロボットまたはＥＦＥＭロボットの動作を妨げることなくロードポートドアの近傍に位置するように構成されたフレームと、フレームによって支持され、基板キャリア内にガスを噴霧するように構成された１つ以上の基板間ノズルアレイと、フレームによって支持され、基板キャリアの開口を横切ってガスを噴霧するように構成された１つ以上のカーテンノズルアレイとを含む。
さらに他の実施形態では、本発明は、基板キャリアをパージする方法を提供する。この方法は、基板キャリアをロードポートに送達してキャリアのドアを開けることと、キャリアのドアが開いてキャリア内の基板がマッピングされると基板キャリアにガス流を噴霧することと、基板のマップに基づいて、処理パージ状態を判定することと、判定された処理パージ状態に関する所定の噴霧ステータス構成で、１つ以上の基板間ノズルアレイ及び１つ以上のカーテンノズルアレイを作動させることを含む。
本発明のさらに別の特徴、態様、及び利点は、本発明を実施するために想定されるベストモードを含むいくつかの例示的な実施形態及び実行形態を示すことにより、以下の詳細説明、添付の特許請求の範囲、及び付随する図面から、より十分に明らかになるであろう。本発明の実施形態は、他の種々の実施形態もまた可能なものであってよく、本発明のいくつかの詳細は、本発明の趣旨及び範囲から全く逸脱することなく、様々な観点において改変され得る。したがって、図面及び説明は、本質的に例示的であると見なされるべきであり、限定的であるとは見なすべきではない。図面は、必ずしも縮尺どおりには描かれていない。本書の記載は、特許請求の範囲の趣旨及び範囲に該当するすべての改変例、均等物、及び代替例をカバーするものである。
本発明の実施形態による、例示の基板キャリアパージシステムを示す概略図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、例示のガス噴霧パターンを示す概略図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、例示のノズルアレイを示す概略図である。 図４Ａ及び４Ｂは、本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、例示のフレームの概略正面図及び概略側面図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、第１の例示的ガス流制御回路を示す、空気圧回路概略図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、第１の例示的なオプションのアクチュエータ回路を示す、空気圧回路概略図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、第２の例示的ガス流制御回路を示す、空気圧回路概略図である。 本発明の実施形態による基板キャリアパージシステムの、例示の制御インターフェースを示すスクリーンショットである。 本発明の実施形態による、ファクトリインターフェースにおいて基板キャリアをパージする例示的方法を示すフローチャートである。
本発明の実施形態は、ファクトリインターフェースにおいて基板キャリアをパージするシステム、装置及び方法を提供する。このシステム及び方法によって、基板キャリアの環境（例えばＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ−ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）の内部）が窒素またはアルゴンといった不活性ガスで確実にパージされ、その結果、酸化、湿気及び粒子汚染の影響が緩和され、ウエハのアウトガスの発生などといった現象を引き起こす、この他の潜在的な不良のリスクが緩和される。本発明の実施形態は、基板キャリアがツール上で処理されているときに、窒素（Ｎ２）または、アルゴンといった任意の他の実用的な不活性ガスで基板キャリアをパージすることができる、現場で後付け可能なファクトリインターフェース（ＦＩ）／装置フロントエンドモジュール（ｅＦＥＭ）キットを提供する。本発明の実施形態による汎用フロントパージＦＩ／ｅＦＥＭキットは、垂直に配置された２つの基板間パージノズルアレイ（ＦＩ／ｅＦＥＭドア開口部の両側部に位置する）と、１つのカーテンノズルアレイ（ＦＩ／ｅＦＥＭドア開口部の側部にある基板間パージノズルアレイのうちの１つの隣に位置する）とを含むことができる。ノズルアレイからのガス流の組合せは、基板キャリアの最適なパージが達成できるようにして制御される。この新規のキットは、全ての基板キャリア及び自動ドアオープナー（ＡＤＯ）構成と連携するように構成されている。
このキットは、ＦＩフレーム／パネル／ロボット軌道上、または基準プレート上に取り付けられるように、さらに構成される。パージ用アセンブリ（例えばノズルアレイ及びフレーム）は、性能要件及びスペースの制約に基づいて、固定式であることも可動式であることもできる。ＦＩ／ｅＦＥＭ制御システムは、このキットのパージ作業の制御に使用するように構成され得る。パージ作業の性能は、ＦＩの安全インターロック、ロードポートのステータス、及びロボットの動作によって決まる（例えばこれらによってゲートされる）ことができる。このキットは、基板キャリア内に不活性環境を提供し、それによって粒子状物質による不良を削減することによって、関連するツールの生産量向上を支援する。
このキットは、全てのＡＤＯ及び基板キャリアのタイプに汎用的に適合することによって、ＦＩ／ｅＦＥＭをアップグレードする際に、基板キャリアとロードポートを交換するよりも、より商業的に実施可能な選択肢になっている。ＦＩの制御は、不活性ガスのタイミングと流量に関して正確な制御を提供するように、調整されることができる。これらの制御は、ＦＩ制御ソフトウェア及び安全システムに、完全に組み込まれることが可能である。ある実施形態では、ガス流は、任意の所与の時点において、基板キャリア内の基板の数及び位置に応答して、動的に且つ連続的に調節することが可能である。
ここで図１を参照すると、ＦＩ用の基板キャリアパージシステム１００の例示的実施形態が示されている。システム１００は、ＦＩロボット軌道１０４上に取り付けられるように適合された基板キャリアパージキット１０２及び、ある実施形態では、ＦＩフレーム１０６を含む。ＦＩロボット軌道１０４は、ＦＩロボット１０８の底部が正確に水平方向に移動するための、レール、ガントリー、フレーム、またはステージを提供する。それによって、ＦＩロボット１０８がＦＩの様々なロードポートにアクセスすることが可能になる。システム１００にＦＩロボットトラック１０４がない実施形態（例えば、その底部を水平方向に移動する必要なしに複数のロードポートに届き得るＦＩロボットを含むシステム１００）では、ＦＩフレーム１０６、ＦＩパネル、及び／またはＦＩの基準プレート上に、基板キャリアパージキット１０２を取り付けることができる。示されるように、基板キャリアパージキット１０２は、複数のガスストリーム１１０またはガス流（図１に破線矢印で示す）を、ドア１１６が開いているときに、ＦＩのロードポート１１４上にロードされた基板キャリア１１２内に向かわせるように構成されている。システム１００は、基板キャリアパージキット１０２を含む様々な構成要素と、有線または無線の通信ネットワーク（単数または複数）を介して動作可能に連結されることができる、コントローラ１１８の制御下で稼働する。
図２は、キャリア１１２内で基板２０２に向かう、（図２で破線の三角形で表される）ガスストリーム１１０の拡張する流動方向を示す、システム１００の上面図２００をより詳細に示す。基板キャリアパージキット１０２内の基板間ノズルアレイ２０４は、
基板２０２の表面の大部分の上にガスを流動させることを目的としている。ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４は、（矢印２０６で示すように）基板キャリア１１２の両側面に対して約４５度の角度を向いている。ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４の照準角度（即ち矢印２０６）は、ガス流１１０が任意の所望の方向（例えば基板２０２の中心点）を向くように、または基板キャリア内に直接入る角度（０°）から基板側面に垂直な角度（９０°）までの角度になるように、調節され得る。ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４は、擺動する（例えば０°から９０°までの角度の範囲で往復してスイープする）ように構成され得るか、または、現在キャリア１１２内にある基板２０２の数及び／または位置に基づいて角度が変更され得るか、及び／または所望のガス流パターンを達成するように構成され得る。基板間ノズルアレイ２０４のノズルは、約０°と約１２０°の間である角度θでガスストリーム１１０を拡散させるように適合されている。ある実施形態では、角度θは、現在キャリア１１２内にある基板２０２の数や位置に基づいて、及び／または所望のガス流パターンを達成するために、時間と共に変更され得る。したがって、ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４には、調整可能及び／または照準可能なノズルが用いられ得る。
図２はまた、基板間ノズルアレイ２０４のうちの１つに隣接して配置されたカーテンノズルアレイ２０８の一例も示している。ある実施形態では、カーテンノズルアレイ２０８は、概して基板間ノズルアレイ２０４と同じ構造を有しているが、より細く、連続して、均一で、一貫したガスの平面を生成するように構成されたノズルを含むことができる。矢印２１２で示される方向を向いて、拡散角度θ’でガスカーテン２１０が形成されるように、カーテンノズルアレイ２０８は、基板キャリア１１２の開口を横切って、ガスの平面またはシートを横方向に（例えば、基板キャリア１１２の開口にほぼ平行に）向けるように構成されている。ある実施形態では、カーテンノズルアレイ２０８の照準角度（即ち矢印２１２）は、ガスストリーム２１０が任意の所望の方向を（例えば基板キャリア１１２の開口を横切って（０°））向くように、または基板キャリア内に入る角度（−４５°）から基板キャリアから離れる角度（＋４５°）までの角度になるように、調節され得る。ある実施形態では、ガスカーテン２１０の流動の拡散角度θ’は、約０°と約１２０°の間であり得る。カーテンノズルアレイ２０８からのガスカーテン２１０は、ＦＩ内に存在し得るあらゆる粒子、湿気、または他のガスが、基板キャリア１１２内に侵入するのを効果的にブロックする。ある実施形態では、ガスをキャリア１１２から離れさせ、キャリア１１２の前に低圧エリアを作り出すことによって、ＦＩ内に存在し得る粒子、湿気、または他のガスが、基板キャリア１１２内に侵入する機会をさらに減らすため、カーテンノズルアレイ２０８は、基板キャリア１１２からわずかな角度（キャリア開口の平面から１５°未満）離れて方向づけられ得る。
ある実施形態では、カーテンノズルアレイ２０８は、基板間ノズルアレイ２０４に対して水平に、且つ基板キャリア開口の上方に、下方を向いて配置され得る。言い換えれば、カーテンノズルアレイ２０８は、基板キャリアパージキット１０２の頂部を横切って位置し、ガスのシートを基板キャリア１１２の開口を横切って下方に向けることができる。さらに他の実施形態では、カーテンノズルアレイ２０８は、基板キャリア開口の下方に位置し、ガスのシートを基板キャリア１１２の開口を横切って上方に向けることができる。
ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４とカーテンノズルアレイ２０８の両方が、ノズル噴出速度、噴霧角度、拡散角度、流動パターン、擺動速度、ノズルの形状及びサイズなどを変更するため稼働中に動的に調整し得る、調整可能ノズルを含むことができる。
ある実施形態では、ガス流量及びガス流量パターンは、粒子、湿気または他のガスがキャリア１１２に侵入するのを最適に減らすために、調整され得る。例えば、キャリア１１２内をＦＩ内の気圧に対してわずかに正圧（例えば約０．００５ＡＴＭ）に維持し、且つ空気をキャリア１１２の後部からキャリア開口の外へと動かす、層流の渦パターンを作り出すため、ガスは、基板間ノズルアレイ２０４から所定の速度及び角度で基板１１２内へと流入することができる。例えば、２５個の基板２０２がロードされた標準的な２５スロットの基板キャリアを使用するある実施形態では、キャリア１１２の両辺に対して４５°の角度で、１つの側の基板間ノズルアレイ２０４からは約６０ＳＬＭの流量で且つもう１つの側からは約３０ＳＬＭの流量で、キャリア１１２内にＮ２を噴霧し、一方カーテンノズルアレイ２０８は約７５ＳＬＭの流量でガスを噴霧することによって、最適な結果（例えばキャリア１１２内のＯ２濃度の最小化）が達成され得る。
ここで図３を参照すると、基板間ノズルアレイ２０４からキャリア１１２内への、及び基板２０２間の、（図３で破線の三角形で表される）ガスストリーム１１０の流動方向を示す、システム１００の側面図３００がより詳細に示される。ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４（及びカーテンノズルアレイ２０８）のノズル本体３０２は、複数のノズル３０６を含む、着脱可能／交換可能ノズルヘッド３０４を保持するように構成されている。ノズル３０６の数は、使用される基板キャリア１１２のサイズに応じて変わることができる。例えば、２５個までの基板２０２を保持するように構成された基板キャリア１１２には、５０個のノズル３０６を有するノズルヘッド３０４を用いることができる。この構成では、各基板２０２の頂部と底部とにガスを噴霧するため、一対のノズル３０６が配置され得る。１３個までの基板を保持するように構成された基板キャリア１１２に対しては、２６個のノズルを有するノズルヘッド３０４が使用され得る。
ノズルヘッド３０４内のプレナム３０８は、ノズル本体３０２内に挿入されているとき、ノズルヘッド３０４の一端または両端で、ポートを介してガス供給チャネル３１０と流体連通する。ある実施形態では、異なるノズルヘッド３０４内では、ノズル３０６の数及び配列は異なることができ、そのためノズルヘッド３０４を交換することによって、異なるノズルの構成が達成され得る。異なるノズルヘッド３０４に関しては、ノズル３０６に加えてプレナム３０８の形状も、また異なり得る。ある実施形態では、プレナム３０８は、種々のノズル３０６に行く相対的なガスの圧力や量を変化させるため、プレナム３０８の形状（例えば、プレナム３０８の後壁と様々なノズル３０６との間の相対距離）を変更することができる、調整可能なベローズ（図示せず）を含み得る。ベローズは、コントローラ１１８上で実行されるシステムソフトウェアによって制御され得る。
ある実施形態では、個別のノズルを制御するため、ノズル３０６の前にノズルオリフィスプレート３１２が配置されている。例えば、ノズルオリフィスプレート３１２は、ノズル３０６の数と位置に対応するように配置された、様々なサイズ及び形状の、規則的間隔を持つ複数のセットのオリフィスを含むことができる。このように、種々のセットのオリフィスの間でノズルオリフィスプレート３１２を移動することによって、ガス噴霧パターンの様々な特性を調整することができる。ある実施形態では、ノズルオリフィスプレート３１２の位置は、コントローラ１１８上で実行されるシステムソフトウェアによって制御される。ノズルオリフィスプレート３１２の位置は、プレート３１２内の一連のノッチに対して結び付けることができ、それによって密封ステッピングモータ（図示せず）がプレートの位置を変更及び追跡することができる。
ノズル噴出速度、噴霧角度、及び基板キャリア１１２内への流動方向といったガス流動の特性を変更するため、着脱可能ノズルヘッド３０４は、現場での種々のノズルの置換を可能にする。カーテンノズルアレイ２０８にも、同じ設計哲学が該当する。ノズル噴出速度、噴霧角度、及び基板キャリア開口を横切る流動方向といった流動特性を変更するため、現場で種々のノズルの置換が可能なように、カーテンノズルヘッドもまた、置換が可能である。例えば、カーテンノズルアレイ２０８用のノズルヘッドは、（イオン化されたまたはイオン化されていない）パージガスが、搬入基板／搬出基板（またはエンドエフェクタ）上に存在し得るあらゆる粒子を、キャリアの前の閉鎖された小型環境へと移動させ、それによって排気口に向けた気流でＦＩから外へ押し出すことを可能にするため、基板キャリア開口から離れるように角度付けされたノズルを含むことができる。
ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４ではなく、または基板間ノズルアレイ２０４のうちの１つの代わりに、真空ポートアレイ（図示せず）を設けることができる。同様に、カーテンノズルアレイではなく、またはカーテンノズルアレイに加えて（例えば、キャリア開口を横切って配置されて）、真空ポートアレイを設けることができる。真空ポートアレイは、複数の吸引ポートまたは、吸引ポートの役割を果たす細長いスロットを含むことができる。真空ポートアレイを用いるときであっても、流出よりも高い流量によるガスの流入を確保することによって、基板キャリア内を正圧に維持することが好ましくあり得る。
ある実施形態では、基板キャリアの四端のそれぞれは、任意の実施可能な配置で位置する、基板間ノズルアレイ、カーテンノズルアレイ、及び／または真空ノズルアレイのうちの１つ以上を含むように構成され得る。このように、基板間ノズルアレイ、カーテンノズルアレイ、及び／または真空ノズルアレイの配置は、完全に構成変更可能であり、２つの垂直な基板間ノズルアレイと１つの垂直または水平なカーテンノズルアレイのみに限定されない。
図４Ａ及び４Ｂは、事業者団体ＳＥＭＩ（登録商標）（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ６２規格に準拠したＡＤＯ、ロードポート１１４、及び基板キャリア１１２と汎用的に適合可能である、基板キャリアパージキット１０２のフレームの寸法を示す。図４Ａは、キット１０２のフレームの正面図４００Ａである。全体の外のりＡは、約４００ｍｍから約４４０ｍｍの範囲であり、内のりＢは、約３６０ｍｍから約４００ｍｍの範囲であり、キャリアのドア開口に相当するノズルアレイの高さＣは、約２５０ｍｍから約３００ｍｍの範囲である。図４Ｂは、キット１０２のフレームの側面図４００Ｂである。キット１０２の全体の奥行Ｄは、約１００ｍｍ未満である。ＳＥＭＩのＥ６２規格は、３００ｍｍの基板用である。種々の規格で実施可能な他の寸法も、使用可能である。例えば、ＳＥＭＩのＥ１５４規格は、４５０ｍｍ基板用の寸法を規定しており、基板キャリアパージキット１０２は、Ｅ１５４規格に準拠した装置と連動するように構成され得る。言い換えれば、本発明の実施形態のキット１０２は、ＳＥＭＩに準拠する全てのロードポート、ＡＤＯ、及び基板キャリアと適合するように構成され得る。
ここで図５Ａを参照すると、基板キャリアパージシステム１００の、ガス流量制御用空気圧回路の例５００Ａが概略的に示されている。加圧不活性ガス供給５０２（例えば窒素、アルゴンなど）が、供給バルブ５０４（例えばロックアウトタグアウト（ＬＯＴＯ）バルブ）に連結されている。供給バルブ５０４の出力は、基板間ノズルアレイ２０４用の第１のエアフィルタ調節器５０６（ＡＦＲ１）、及びカーテンノズルアレイ２０８用の第２のエアフィルタ調節器５０８（ＡＦＲ２）に連結されている。第１のエアフィルタ調節器５０６及び第２のエアフィルタ調節器５０８は、基板間ノズルアレイ２０４とカーテンノズルアレイ２０８とに送達される、ガス源におけるガス圧の比率を制御する。
第１のエアフィルタ調節器５０６からの流れは、２つの基板間ノズルアレイ２０４用の２つの並列のサブ回路５１０の間で、分岐される。２つのサブ回路５１０はそれぞれ、同じ構成要素を含むことができる。例えば、サブ回路はそれぞれ、各基板間ノズルアレイ２０４をスイッチオンまたはオフするためのバルブ５１２（例えばソレノイドバルブ）を含むことができる。各サブ回路５１０はまた、バルブ５１２の出力に連結された、互いに並列な２つのフロー開閉器５１４も含むことができる。各フロー開閉器５１４は、それぞれ異なる流量が可能なように設定可能な、別の流量制限器５１６と直列に連結されている。各サブ回路５１０はまた、流量制限器５１６の出力に連結されたシャトル弁５１８も含む。シャトル弁５１８は、２つの異なるフロー開閉器５１４からの流量の間の選択を可能にする。このように、各サブ回路５１０は、（１）オフ、（２）第１の流量（例えば「高」）、及び第２の流量（例えば「低」）という、３つの異なる流動状態間の選択を可能にする。サブ回路５１０の出力は、それぞれの基板間ノズルアレイ２０４のガス供給チャネル３１０に連結されている。例えば、ある実施形態では、基板キャリアパージキット１０２の右側で１つのサブ回路５１０が基板間ノズルアレイ２０４に連結され、もう１つのサブ回路５１０が左側で基板間ノズルアレイ２０４に連結されている。
第２のエアフィルタ調節器５０８からの流れは、流量制限器５２１と直列につながれ、共に、カーテンノズルアレイ２０８へのガスの流量をセットするのに用いられる、フロー開閉器５２０に送られる。流量制限器５２１の出力は、カーテンノズルアレイ２０８をスイッチオンまたはオフするため、バルブ５２２（例えばソレノイドバルブ）の入力に連結されている。バルブ５２２の出力は、カーテンノズルアレイ２０８の入力に連結されている。
基板間ノズルアレイ２０４及び／またはカーテンノズルアレイ２０８の角度が調節可能もしくは動的に調節可能（例えば使用時、及び／またはガス噴霧時に調節可能）であるか、またはこれらのアレイが擺動するように適合されている実施形態では、アレイを動かすため、図５Ｂに示すような１つ以上の空気圧アクチュエータ回路５００Ｂが用いられ得る。示されている空気圧アクチュエータ回路５００Ｂの例には、出力が第３のエアフィルタ調節器５２８（ＡＦＲ３）に連結された供給バルブ５２６（例えばＬＯＴＯバルブ）に連結された、クリーンドライエア（ＣＤＡ）供給５２４が含まれる。第３のエアフィルタ調節器５２８の出力は、空気圧アクチュエータ５３２（リニアアクチュエータまたはロータリーアクチュエータ）の動作を制御するため、バルブ５３０（例えばソレノイドバルブ）の入力に送られる。ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４、カーテンノズルアレイ２０８、ノズルヘッド３０４のプレナム３０８内の調節可能なベローズ、基板間ノズルアレイ２０４もしくはカーテンノズルアレイ２０８上のノズルオリフィスプレート３１２（図３）、及び／または他の任意の可動もしくは調節可能な機械的アセンブリの動作を駆動するため、１つ以上の空気圧アクチュエータ回路５００Ｂが用いられ得る。
図６は、基板キャリアパージシステム１００用の、ガス流量制御用空気圧回路６００の第２の例を示す。加圧不活性ガス供給６０２（例えば窒素、アルゴンなど）が、供給バルブ６０４（例えばＬＯＴＯバルブ）に連結されている。供給バルブ６０４の出力は、基板間ノズルアレイ２０４用の第１のエアフィルタ調節器６０６（ＡＦＲ１）、及びカーテンノズルアレイ２０８用の第２のエアフィルタ調節器６０８（ＡＦＲ２）に連結されている。第１のエアフィルタ調節器６０６及び第２のエアフィルタ調節器６０８は、基板間ノズルアレイ２０４とカーテンノズルアレイ２０８とに送達される、ガス源におけるガス圧の比率を制御する。
第１のエアフィルタ調節器６０６からの流れは、（例えば、基板キャリア開口の左側と右側に位置する）２つの基板間ノズルアレイ２０４用の２つの並列のサブ回路６１０の間で、分岐される。２つのサブ回路６１０はそれぞれ、同じ構成要素を含むことができる。例えば、サブ回路はそれぞれ、各基板間ノズルアレイ２０４をスイッチオンまたはオフするためのバルブ６１２（例えばソレノイドバルブ）を含むことができる。サブ回路６１０はそれぞれ、バルブ６１２の出力に連結された、質量流量コントローラ６１４もまた含むことができる。各質量流量コントローラ６１４は、２つの基板間ノズルアレイ２０４のうちの１つに連結される。このように、サブ回路６１０は、オフか、第１のエアフィルタ調節器６０６によって供給される最大流量までの任意の所望の流量か、の間の選択を可能にする。サブ回路６１０の出力は、それぞれの基板間ノズルアレイ２０４のガス供給チャネル３１０（図３）に連結されている。例えば、ある実施形態では、基板キャリアパージキット１０２の右側で１つのサブ回路６１０が基板間ノズルアレイ２０４に連結され、もう１つのサブ回路５１０が左側で基板間ノズルアレイ２０４に連結されている。
第２のエアフィルタ調節器６０８からの流れは、カーテンノズルアレイ２０８へのガスの流量をセットするのに用いられる、質量流量コントローラ６１６に送られる。質量流量コントローラ６１６の出力は、カーテンノズルアレイ２０８をスイッチオンまたはオフするため、バルブ６１８（例えばソレノイドバルブ）の入力に連結されている。バルブ６１８の出力は、カーテンノズルアレイ２０８の入力に連結されている。
図５のガス流量制御用空気圧回路５００Ａと同様に、図６のガス流量制御用空気圧回路６００もまた、空気圧アクチュエータ５３２（例えばリニアアクチュエータまたはロータリーアクチュエータ）の動作を制御するため、図５Ｂに示す１つ以上の空気圧アクチュエータ回路５００Ｂを、オプションで含むことができる。上記のように、ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４、カーテンノズルアレイ２０８、ノズルヘッド３０４（図３）のプレナム３０８内の調節可能なベローズ、基板間ノズルアレイ２０４もしくはカーテンノズルアレイ２０８上のノズルオリフィスプレート３１２（図３）、及び／または他の任意の可動もしくは調節可能な機械的アセンブリの動作を駆動するため、１つ以上の空気圧アクチュエータ回路５００Ｂが用いられ得る。
ここで図７を参照すると、基板キャリアパージシステム１００用の、例示の制御インターフェース７００のウィンドウのスクリーンショットが示されている。多くの異なる制御インターフェースが用いられ得るが、システム１００の動作の特徴を詳細に示すため、以下の例のインターフェースが記載されている。制御インターフェース７００は、処理ステータス及び／または構成制御を提供するいくつかの表示／制御エリアを含み得る。図７に示される例示の表示／制御エリアは、それぞれ、別々の破線の長方形で囲まれている。例えば、例示の制御インターフェース７００は、基板キャリアステータスエリア７０２、処理パージ状態表示エリア７０４、ノズルアレイステータスエリア７０６、ノズルアレイ構成制御エリア７０８、キー表示エリア７１０、キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２、及びキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４を含む。さらに多くの、またはより少数の、表示／制御エリアが用いられ得る。
基板キャリアステータスエリア７０２は、論理ゾーン７１８にグループ分けされた数々の基板スロット７１６を含む、基板キャリア１１２の表示を含む。各スロットは、１つの基板２０２を保持し得、１ゾーン当たりのスロットの数と１キャリア当たりのゾーンの数は、ユーザによって設定され得る。例えば、図７に示す具体的な構成では、キャリア１１２は３つのゾーン７１８を含む。基板２０２が空であるゾーン１は、８個のスロット７１６を含み、７個の基板２０２を有するゾーン２は、９個のスロット７１６を含み（２個は空である）、基板２０２で満ちているゾーン３は、８個のスロット７１６を含む。システム１００と共に使用される、（適切な数のスロットを有する）任意のサイズのキャリアを反映するため、基板キャリア１１２の表示が変更され得ることは、留意されたい。
別の例では、各ゾーン７１８は１個のスロット７１６のみを有し得、キャリア１１２は２５個のゾーン７１８を有し得る。さらに別の例では、キャリア１１２は１つのゾーン７１８のみを有し得る。基板キャリア１１２がマッピングされると、キャリア１１２内に存在する基板２０２は、基板キャリアステータスエリア７０２内に表示され得る。基板２０２が処理のためにキャリア１１２から取り外される度に、または処理からキャリア１１２へ戻される度に、基板キャリアステータスエリア７０２は更新される。したがって、基板キャリアステータスエリア７０２は、キャリア１１２内の基板２０２の現在のマップとしての役割を果たす。
動作中、各ゾーン７１８は、基板２０２が少なくとも１つ存在しているかをチェックされる。基板２０２が存在している場合、ゾーンステータスはＴＲＵＥにセットされる。基板２０２が存在していない場合、各ゾーンステータスはＦＡＬＳＥにセットされる。これは、各ゾーン７１８のそれぞれに関して行われる。示されている具体的な例では、３つのゾーン７１８で可能な処理パージ状態７０４の組合せは、８個である。ゾーン７１８が１つ増加する都度、処理パージ状態７０４の可能な組み合わせの数は、ｎが可能な処理パージ状態の数、ｙがゾーンの数であるとき、式ｎ＝２ｙに基づいて増加する。こうして、ゾーン７１８の数が２個の場合は処理パージ状態７０４の組合せは４個になり、ゾーン７１８の数が３個の場合は処理パージ状態７０４の組合せは８個になり、ゾーン７１８の数が４個の場合は処理パージ状態７０４の組合せは１６個になり、ゾーン７１８の数が２５個の場合は処理パージ状態７０４の組合せは３３，５５４，４３２個になる。各ゾーン７１８に設けられている「ウエハをクリア」ボタンによって、オペレータがシミュレーションモードで様々なゾーンの設定をテストすることが可能になる。
処理パージ状態表示エリア７０４は、システム１００の現在のパージ状態を反映し、どのゾーン７１８が現在、少なくとも１つの基板２０２を中に有しているかに基づいて判定される。処理パージ状態表示エリア７０４の行７２０に示すように、状態７がハイライトされ、現在の処理パージ状態が状態７であることを示している。ゾーン１には基板が存在しない一方、ゾーン２及びゾーン３にはそれぞれ少なくとも１つの基板が存在するため、これが該当する（ゾーン２及びゾーン３がハイライトされる一方、ゾーン１がハイライトされていないことに留意されたい）。行７２２、行７２４、及び行７２６は、合わせて、可能な全ての処理パージ状態１から８の真理値表のような表示を提供する。このテーブルを点検することによって、状態７がキャリア１１２のゾーン７１８の現在のステータスに相当することが明らかにされる。示される例では、１つの基板がキャリア１１２のゾーン１のスロット７１６に戻されるという場合、処理パージ状態は、状態５（即ち、全てのゾーンが少なくとも１つの基板を含む）へと変更される。もしこのときゾーン２及び３内の全ての基板が取り除かれ、ゾーン１内の１つの基板のみが残されたら、処理パージ状態は状態３へと変更される。
ノズルアレイステータスエリア７０６は、基板間ノズルアレイ２０４及びカーテンノズルアレイ２０８の現在のステータスを示す。これらのアレイのステータスは、処理パージ状態表示エリア７０４に表示される現在の処理パージ状態に基づいてノズルアレイ構成制御エリア７０８（下記）で規定される構成に基づいて、判定される。この例の構成（例えば図５Ａ）では、基板間ノズルアレイ２０４は３段構成、即ち、オフ、低、または高にすることができ、カーテンノズルアレイ２０８は２段構成、即ちオンまたはオフされる。左側の基板間ノズルアレイ２０４（Ｎ１）の現在の状態はステータス表示７２８によって表され、右側の基板間ノズルアレイ２０４（Ｎ２）の現在の状態はステータス表示７３０によって表され、中央のカーテンノズルアレイ２０８（Ｃ１）の現在の状態はステータス表示７３２によって表される。示される例を説明すると、システム１００は現在、処理パージ状態表示エリア７０４の行７２０に示すように処理パージ状態７にあり、Ｎ１は低、Ｎ２は高、Ｃ１はＯＮである。
ノズルアレイステータスエリア７０６に表示される各アレイの現在のステータスは、ノズルアレイ構成制御エリア７０８及び現在の処理パージ状態によって影響される。ノズルアレイ構成制御エリア７０８は、各処理パージ状態に関する所望の状態を規定するカーテンノズルアレイ行７３４と、各処理パージ状態に関する所望の状態を規定する左の基板間ノズルアレイ（Ｎ１）行７３６と、各処理パージ状態に関する所望の状態を規定する右の基板間ノズルアレイ（Ｎ２）行とを含む。各行の各入力ボックスでは、各処理パージ状態（即ち各列）ごとに、特定の行のアレイに関する所望のステータスの選択が可能である。
各タイプのアレイに関して利用可能な様々なステータスがキー表示エリア７１０に示されており、それらはガス流量制御用空気圧回路５００Ａ（図５）のハードウェア構成に対応している。示されるように、基板間ノズルアレイは、ＯＦＦ（中空の入力ボックスで示される）、低（チェックマークの付いた入力ボックスで示される）、及び高（中実の入力ボックスで示される）に設定されることができる。カーテンノズルアレイは、ＯＦＦ（中空の入力ボックスで示される）、及びＯＮ（チェックマークの付いた入力ボックスで示される）に設定されることができる。代わりのシンボルや配列も、用いられ得る。
各ゾーン内に基板が少なくとも１つあるかないかに基づいて、処理パージ状態表示エリア７０４に既定される８個の処理パージ状態に加えて、基板キャリア内のＦＩロボットのエンドエフェクタの存在に基づいて、２つのさらなるパージ状態が規定され得る。基板キャリアのロード作業中、基板を伴ったエンドエフェクタがキャリア内に入り、基板をスロット内に設置する。次いで、空のエンドエフェクタが退出する。基板キャリアのアンロード作業中、空のエンドエフェクタがキャリア内に入り、スロットから基板を取り出す。次いで基板を保持するエンドエフェクタが、キャリア内から退出する。
キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２は、基板キャリアのロード処理中の、カーテンノズルアレイ２０８と基板間ノズルアレイ２０４の構成ステータスを規定する。キャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４は、基板キャリアのロード処理中の、カーテンノズルアレイ２０８と基板間ノズルアレイ２０４の構成ステータスを規定する。キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２とキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４には、共に、キー表示エリア７１０で用いられているのと同じシンボルが用いられ得る。
キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２とキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４に共に含まれ得るさらなる構成制御は、エンドエフェクタタイプのインジケータである。例えば、ある実施形態では、基板を堅固に保持するための固定機構を含むエンドエフェクタが用いられ得る。他の実施形態では、基板を固定しないエンドエフェクタが用いられ得る。基板が固定機構によってエンドエフェクタに固定されていない場合、ユーザは、１つ以上のアレイからのガス流によって基板をエンドエフェクタから移動させるリスクを冒したがらないかもしれない。したがって、非固定式のエンドエフェクタブレードが用いられる場合、キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２またはキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４の構成に優先して、エンドエフェクタタイプのインジケータが用いられ得る。
ある実施形態では、基板間ノズルアレイ２０４、カーテンノズルアレイ２０８、ノズルヘッド３０４のプレナム３０８内の調節可能なベローズ、基板間ノズルアレイ２０４もしくはカーテンノズルアレイ２０８上のノズルオリフィスプレート３１２（図３）、及び／または他の任意の可動もしくは調節可能な機械的アセンブリの動作といった追加の構成オプションを制御する空気圧アクチュエータ回路５００Ｂ（図５Ｂ）の稼働を制御するため、追加の表示／制御エリアが設けられ得る。
質量流量コントローラ６１４付きのガス流量制御用空気圧回路６００が用いられる実施形態では、単純な３段または２段構成のステータス入力オプションの代わりに、ノズルアレイ構成制御エリア７０８のカーテンノズルアレイ行７３４、左の基板間ノズルアレイ（Ｎ１）行７３６、右の基板間ノズルアレイ（Ｎ２）行７３８の各入力ボックス内に、実際の流量を特定するパラメータ値が入力され得る。ガス流制御空気圧回路６００は、入力されたパラメータ値に応答して制御され得る。同様に、キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２及びキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４の各入力ボックスは、ノズルアレイからのガス流量を制御するため、実際の流量を特定するパラメータ値を受容するように適合され得る。ある実施形態では、ノズルアレイ構成制御エリア７０８への追加の制御入力を用いて、代わりのガスが選択され得る。
ここで図８を参照すると、本発明の実施形態による、基板キャリアパージシステム１００を稼働させる例示の方法８００を表すフローチャートが示されている。ロードポート上に基板キャリアが設置され、キャリアのドアが開放される（８０２）。ある実施形態では、キャリアのドア開放及びマッピング状態が規定され得る。キャリアのドアが開放され、内部の基板がマッピングされると、ノズルアレイがキャリアに対してガス流を噴霧する（８０４）。ドアが開放されると、キャリア内の基板がマッピングされ、実際のキャリア内の基板の数及び位置が判定または確認される。基板がマッピングされると、システム１００は、基板マップに基づいて処理パージ状態を判定し、判定された処理パージ状態用の所定の構成に基づいて、基板間ノズルアレイ及びカーテンノズルアレイを作動させる（８０６）。
基板２０２がＦＩロボットによって基板キャリア１１２からまたは基板キャリア１１２へ移動されるのに従って、システム１００は、キャリアロードノズルアレイ制御エリア７１２またはキャリアアンロードノズルアレイ制御エリア７１４のどちらかで指定された、適切な所定の噴霧ステータス構成に変更される（８０８）。毎回の取り出しまたは設置の後、マップが更新され（８１０）、システム１００は処理パージ状態が変更されるべきかどうかを判定する（８１２）。変更されるべきと判定された場合、新たな処理パージ状態が決定され、新たな状態に従って、ノズルアレイのステータスが変更される（８０６）。変更されるべきではないと判定された場合、ノズルアレイは、現在の処理パージ状態に従ってガスを流動させる（８１４）。
全ての基板が処理され終わるか、及び／または基板キャリアが密封されて取り外されるまで、方法は繰り返される。ある実施形態では、キャリアのドアの閉鎖状態が規定され得る。ノズルアレイは、キャリアのドアが閉鎖されるとキャリアに向かってガス流を噴霧する。
本開示では数々の実施形態が記載されているが、これらは例示目的でのみ提示されている。記載の実施形態は、いかなる意味でも限定的ではなく、限定的であることが意図されてもいない。開示されている本発明のコンセプトは、本開示から容易に明らかなように、数々の実施形態に広く適用可能である。開示される実施形態が、構造、論理、ソフトウェア、電気に関する変更といった、様々な変更及び修正をして実施され得ることは、当業者に認識されるであろう。開示される本発明の実施形態の具体的な特徴は、１つ以上の具体的な実施形態及び／または図面に関連して記載され得るが、別様に明示されない限り、こうした特徴が、関連して記載されているところの１つ以上の具体的な実施形態または図面における使用に限定されないことは、理解されるべきである。
本開示は、全ての実施形態の逐語的な記載ではなく、全ての実施形態に存在しなければならない本発明の実施形態の特徴の羅列でもない。
発明の名称（本開示の１ページ目の冒頭に記載）は、いかなる意味でも開示される本発明の範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
「製品」という用語は、別様に明示されない限り、米国特許法第１０１条で検討される、任意の機械、製造物、及び／または組成物を意味する。
本書で単一の装置、構成要素、または品目が記載される場合、代わりに、（協働するかしないかに関わらず）複数の装置、構成要素、または品目が、記載の単一の装置、構成要素または品目の代わりに使用され得る。この結果、１つの装置が有しているとして記載されている機能は、代わりに、（協働するかしないかに関わらず）複数の装置、構成要素または品目が有していてよい。
同様に、（協働するかしないかに関わらず）複数の装置、構成要素、または品目が本書に記載されている箇所について、代わりに単一の装置、構成要素、または品目が、記載の複数の装置、構成要素、または品目の代わりに使用され得る。例えば、複数のコンピュータベースの装置は、単一のコンピュータベースの装置によって代替され得る。この結果、複数の装置、構成要素、または品目が有するとして記載されている様々な機能は、代わりに単一の装置、構成要素、または品目が有していてよい。
記載されている単一の装置の機能及び／または特徴は、代わりに、記載されているが、こうした機能及び／または特徴を有するものとして明示的には記載されていない、１つ以上の他の装置によって具現化されてよい。このように、他の実施形態は記載の装置そのものを含まなくてもよく、むしろ、実施形態にこうした機能／特徴を有する、１つ以上の他の装置を含むことができる。
互いに通信可能な状態にある装置同士は、別様に明示されない限り、継続して互いに通信していなくてよい。反対に、こうした装置は、必要または所望に応じて互いに送信してさえいればよく、ほとんどの時間は実際のデータの交換は控えていてよい。例えば、インターネットを介して別のマシンと通信可能な状態にあるマシンは、何週間もの間、この別のマシンにデータを送っていなくてよい。加えて、互いに通信可能な状態にある装置同士は、直接に、または１つ以上の中間媒体を通じて間接に、通信し得る。
いくつかの構成要素または特徴を伴う実施形態の記載は、こうした構成要素及び／または特徴のすべてが必要だということを意味するものではなく、いかなる構成要素及び／または特徴も必要ないという意味でさえある。反対に、本発明の多岐にわたる可能な実施形態を示すために、様々なオプションの構成要素が記載されている。別様に明示されない限り、構成要素及び／または特徴のうち、必須または必要であるものはない。
さらに、プロセスのステップやアルゴリズムなどは順序立てて記載され得るが、こうしたプロセスは、異なる順番でも機能するように構成され得る。言い換えれば、明示的に記載され得るステップのいかなる順序または順番も、ステップがその順番で実施される必要があるということを必ずしも意味しない。本書に記載のプロセスのステップは、任意の実用的な順番で実施され得る。さらに、いくつかのステップは、同時には起こらないように記載または含意されている（例えば、１つのステップが他のステップの後に記載されている）にも関わらず、同時または一斉に実施されてよい。さらに、図面中の記載によるプロセスの例示は、例示されたプロセスが他の変形形態や修正形態を除外することを意味せず、例示されたプロセスまたはその任意のステップが本発明にとって必要であることも意味せず、例示のプロセスが好適であることも意味しない。
あるものを「決定する／判定する」ことは様々な態様で実施することができ、したがって「決定する／判定する」という用語（及び類似の用語）は、計算する、算出する、導出する、（例えば、表、データベースまたはデータ構造内を）探索する、確認する、認証する、などを含む。
本書で使用される「表示」という用語は、閲覧者に情報を伝達するエリアのことである。情報は動的であってよく、その場合、表示を形成するのにＬＣＤ、ＬＥＤ、ＣＲＴ、ＤＬＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）、リアプロジェクション、フロントプロジェクション、などが用いられ得る。表示のアスペクト比は、４：３、１６：９などであってよい。さらに、表示の解像度は、４８０ｉ、４８０ｐ、７２０ｐ、１０８０ｉ、１０８０ｐなどといった任意の好適な解像度であってよい。表示に送られる情報のフォーマットは、標準解像度テレビ（ＳＤＴＶ）、ＥＤＴＶ（Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ ＴＶ）、高精細度テレビ（ＨＤＴＶ）などといった、任意の好適なフォーマットであってよい。情報はまた静的であってもよく、その場合、表示を形成するのに彩色ガラスが用いられ得る。所望により、動的情報を表示することができる表示上に静的情報が提示され得ることは、留意されてよい。ある表示はインタラクティブであり得、よく理解されるように、タッチスクリーン機能または関連したキー操作部を含み得る。
本開示は、「制御システム」、インターフェース、またはプログラムに言及し得る。制御システム、インターフェース、またはプログラムとは、これらの用語が本書で用いられる場合、コントロールシステム用に記載された機能を提供するための命令を有する、オペレーティングシステム、デバイスドライバ、及び適切なプログラム（「ソフトウェア」と総称する）と結び付けられたコンピュータプロセッサであってよい。ソフトウェアは、関連するメモリデバイス（時として、コンピュータ可読媒体と称する）内に保存されている。適切にプログラムされた汎用のコンピュータまたは計算装置が用いられ得ると考えられる一方、様々な実施形態のプロセスを実施するソフトウェア命令の代わりに、またはそれと組み合わせて、ハードワイヤ回路またはカスタムハードウェア（例えば、特定回路向け集積回路（ＡＳＩＣ））が用いられ得ることもまた考えられる。したがって、実施形態は、ハードウェアとソフトウェアの任意の特定の組み合わせに限定されない。
「プロセッサ」は、任意の１つ以上のマイクロプロセッサ、中央処理装置（ＣＰＵ）装置、計算装置、マイクロコントローラ、デジタルシグナルプロセッサ、または類似の装置を意味する。例示のプロセッサは、ＩＮＴＥＬ ＰＥＮＴＩＵＭまたはＡＭＤ ＡＴＨＬＯＮプロセッサである。
「コンピュータ可読媒体」という用語は、コンピュータ、プロセッサ、または類似の装置によって読み取られ得るデータ（例えば命令）の提供に関与する、任意の法定の（ｓｔａｔｕｔｏｒｙ）媒体を意味する。こうした媒体は、限定しないが、不揮発性媒体、揮発性媒体、及び特定の法定のタイプの伝送媒体を含む、多数の形態を採り得る。不揮発性媒体は、例えば、光学ディスクまたは磁気ディスク、及び他の持続性メモリを含む。揮発性媒体は、通常メインメモリを構成するＤＲＡＭを含む。法定のタイプの伝送メディアは、プロセッサに連結されたシステムバスを備える配線を含む、同軸ケーブル、銅線、及び光ファイバーを含む。コンピュータ可読媒体の一般的な形態は、例えば
フロッピーディスク、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気テープ、任意の他の磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、任意の他の光学媒体、パンチカード、紙テープ、パターンで穴が開いている任意の他の物理的媒体、ＲＡＭ、ＰＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＥＰＲＯＭ、ＵＳＢメモリスティック、ドングル、任意の他のメモリチップもしくはカートリッジ、搬送波、またはコンピュータが読み取ることができる任意の他の媒体を含む。「コンピュータ可読メモリ」及び／または「有形媒体」という用語からは、信号、波動及び波形、または、コンピュータで読み取り得るけれども無形または非一時的である他の媒体は、明確に除外される。
プロセッサに命令を搬送するシーケンスには、様々な形態のコンピュータ可読媒体が含まれ得る。例えば、命令のシーケンスは、（ｉ）ＲＡＭからプロセッサへと伝達され得、（ｉｉ）無線伝送媒体を通じて搬送され得、及び／または（ｉｉｉ）数々のフォーマット、基準、またはプロトコルに従ってフォーマットされ得る。より網羅的なプロトコルのリストに関して、「ネットワーク」という用語が以下で定義されており、この用語には、本書にも適用され得る多数の例示的プロトコルが含まれる。
本書に記載されている様々な方法及びアルゴリズムが、制御システムによって実装され得ること、及び／または本発明のプロセスを実行するためにソフトウェア命令が設計され得ることは、容易に明らかであろう。
データベースが記載されている箇所に関して、（ｉ）記載のものに代わるデータベース構造が容易に採用され得ること、及び（ｉｉ）データベースに加えて他のメモリ構造も容易に採用され得ることは、当業者によって理解されるであろう。本書で提示されているあらゆるデータベースのサンプルのあらゆる例示や記載は、保存された情報の表現に関する例示のために配設されている。例えば図面中の表または他の箇所で提案されているものに加えて、任意の数の他の配設が採用され得る。同様に、データベースに示されているあらゆる入力事項は例示の情報を表しているだけであり、入力事項の数及び中身が本書に記載のものと異なり得ることは、当業者によって理解されるであろう。さらに、表で表されている全てのデータベースに関して、本書に記載のデータのタイプを保存し操作するために、（リレーショナルデータベース、オブジェクトベースモデル、階層型電子ファイル構造、及び／または分散型データベースを含む）他の形式が用いられ得る。同様に、本書に記載のものといった様々なプロセスを実装するため、データベースのオブジェクトメソッドまたはビヘイビアが用いられ得る。加えて、データベースは、既知の方法によって、ローカルで、またはこうしたデータベース内でデータにアクセスする装置から離れて、保存され得る。さらに、統合データベースが検討され得る一方で、データベースが様々な装置の間で分散及び／または複製され得ることもまた可能である。
本書で使用される「ネットワーク」という用語は、１つ以上のコンピュータ装置が互いに通信し得る環境である。こうした装置は、インターネット、ＬＡＮ、ＷＡＮもしくはイーサネット（即ちＩＥＥＥ８０２．３）、トークンリング、もしくは任意の適切な通信手段、またはこれらの通信手段の組合せといった、有線または無線の媒体を介して、直接または間接的に通信し得る。例示的なプロトコルは、限定しないが、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（商標）、時分割多元接続（ＴＤＭＡ）、符号分割多元接続（ＣＤＭＡ）、ＧＳＭ（Ｇｌｏｂａｌ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｍｏｂｉｌｅ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ）、ＥＤＧＥ（Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｄａｔａ ｒａｔｅｓ ｆｏｒ ＧＳＭ Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ）、ＧＰＲＳ（Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐａｃｋｅｔ Ｒａｄｉｏ Ｓｅｒｖｉｃｅ）、ワイドバンドＣＤＭＡ（ＷＣＤＭＡ）、ＡＭＰＳ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍｏｂｉｌｅ Ｐｈｏｎｅ Ｓｙｓｔｅｍ）、デジタルＡＭＰＳ（Ｄ−ＡＭＰＳ）、ＩＥＥＥ８０２．１１（Ｗｉ−Ｆｉ）、ＩＥＥＥ８０２．３、ＳＡＰ、ベストオブブリード（ＢＯＢ）、Ｓ２Ｓ（ｓｙｓｔｅｍ ｔｏ ｓｙｓｔｅｍ）、などを含む。ビデオ信号または大容量ファイルをネットワーク経由で送信する場合、こうした大容量ファイルの伝送に付随する遅延を軽減するため、ブロードバンドネットワークが用いられ得るが、それは厳密に必要とされている訳ではないことは留意されたい。これらの装置のそれぞれが、こうした通信手段で通信するように適合されている。ネットワークを経由して、任意の数及びタイプのマシンが通信可能な状態にあってよい。ネットワークがインターネットである場合、インターネットを経由した通信は、コンピュータによってリモートサーバー上でメンテナンスされているウェブサイトを通じて行われ得るか、または商用オンラインサービスプロバイダ、電子掲示板システムなどを含む、オンラインデータネットワーク経由で行われ得る。さらなる別の実施形態では、これらの装置は、無線周波数、ケーブルテレビ、衛星通信などを通じて互いに通信し得る。機密情報や秘密情報を保護するため、適切な暗号化、またはログインやパスワードといった他のセキュリティ手段が設けられ得る。
本書に記載の様々な方法及びアルゴリズムが、例えば適切にプログラムされた汎用コンピュータ及び計算装置によって実装され得ることは、容易に明らかであろう。典型的に、プロセッサ（例えば、１つ以上のマイクロプロセッサ）は、メモリまたは類似の装置から命令を受信してそれらの命令を実行し、それにより、それらの命令によって規定された１つ以上の処理を実行する。さらに、このような方法及びアルゴリズムを実装するプログラムは、数々の態様で、様々な媒体（例えば、コンピュータ可読媒体）を使用して記憶及び送信され得る。いくつかの実施形態では、ハードワイヤ回路またはカスタムハードウェアを、様々な実施形態の処理の実装のためのソフトウェア命令の代わりに、またはそれと組み合わせて使用してもよい。したがって、実施形態は、ハードウェアとソフトウェアの任意の特定の組み合わせに限定されない。その結果、処理を説明することによって、処理を実行するための少なくとも１つの装置が同様に説明され、同様に処理を実行するための少なくとも１つのコンピュータ可読媒体及び／またはメモリが同様に説明される。処理を実行する装置は、処理を実行するのに適切な構成要素及び装置（例えば、プロセッサ、入力装置及び出力装置）を含み得る。コンピュータ可読媒体は、本方法を実行するのに適切なプログラム要素を記憶することができる。
本開示は、いくつかの実施形態及び／または発明の、実施可能な説明を当業者に提供する。これらの実施形態及び／または発明のうちのいくつかは、本出願では特許請求されないかもしれないが、それに関わらず、本出願の優先権の利益を主張する１つ以上の継続出願で特許請求され得る。
前述の説明は、本発明の例示的な実施形態を開示しているにすぎない。本発明の範囲に含まれる、上記で開示された装置、システム、及び方法の修正例が、当業者には容易に自明であろう。
したがって、本発明は、その例示的な実施形態に関連して開示されているが、他の実施形態が、以下の特許請求の範囲によって定義される本発明の趣旨及び範囲に含まれることもあると、理解すべきである。

Claims (15)

  1. ファクトリインターフェース（ＦＩ）または装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）のロードポートにおいて基板キャリアをパージするキットであって、
    ＦＩロボットまたはＥＦＥＭロボットの動作を妨げることなくロードポートドアの近傍に位置するように構成されたフレームと、
    前記フレームによって支持され、前記基板キャリア内にガスを噴霧するように構成された１つ以上の基板間ノズルアレイであって、前記基板キャリア内の基板の数又は位置の少なくとも一つに基づいて調節可能な照準角度を有する１つ以上の基板間ノズルアレイと、
    前記フレームによって支持され、前記基板キャリアの開口を横切ってガスを噴霧するように構成された１つ以上のカーテンノズルアレイと
    を備える、キット。
  2. 既存のファクトリインターフェースまたは装置フロントエンドモジュールに追加されるように構成された、請求項１に記載のキット。
  3. 前記１つ以上の基板間ノズルアレイは、それぞれ前記基板キャリアの前記開口の側部に垂直に配置された２つの基板間ノズルアレイを含む、請求項１に記載のキット。
  4. 前記１つ以上のカーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口の側部に垂直に配置された１つのカーテンノズルアレイを含む、請求項１に記載のキット。
  5. 前記１つ以上のカーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口の頂部または底部に水平に配置された１つのカーテンノズルアレイを含む、請求項１に記載のキット。
  6. 前記カーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口を垂直に横切ってガスを噴霧するように構成された、請求項５に記載のキット。
  7. 前記１つ以上の基板間ノズルアレイは、それぞれ前記基板キャリア内の各スロット用の２つのノズルを含む、請求項１に記載のキット。
  8. ドアを含み、基板キャリアを受容するように適合されたロードポートと、
    ＦＩロボットまたはＥＦＥＭロボットの動作を妨げることなくロードポートドアの近傍に位置するように構成されたフレームと、
    前記フレームによって支持され、前記基板キャリア内にガスを噴霧するように構成された１つ以上の基板間ノズルアレイであって、前記基板キャリア内の基板の数又は位置の少なくとも一つに基づいて調節可能な照準角度を有する１つ以上の基板間ノズルアレイと、
    前記フレームによって支持され、前記基板キャリアの開口を横切ってガスを噴霧するように構成された１つ以上のカーテンノズルアレイと
    を備える、基板キャリアをパージするシステム。
  9. 前記１つ以上の基板間ノズルアレイは、それぞれ前記基板キャリアの前記開口の側部に垂直に配置された２つの基板間ノズルアレイを含む、請求項８に記載のシステム。
  10. 前記１つ以上のカーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口の側部に垂直に配置された１つのカーテンノズルアレイを含む、請求項８に記載のシステム。
  11. 前記１つ以上のカーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口の頂部または底部に水平に配置された１つのカーテンノズルアレイを含む、請求項８に記載のシステム。
  12. 前記カーテンノズルアレイは、前記基板キャリアの前記開口を垂直に横切ってガスを噴霧するように構成された、請求項１１に記載のシステム。
  13. 前記１つ以上の基板間ノズルアレイは、それぞれ前記基板キャリア内の各スロット用の２つのノズルを含む、請求項８に記載のシステム。
  14. 基板キャリアをロードポートに送達して前記キャリアのドアを開けることと、
    前記キャリアの前記ドアが開いて前記キャリア内の基板がマッピングされると前記基板キャリアにガス流を噴霧することと、
    基板マップに基づいて、処理パージ状態を判定することと、
    判定された前記処理パージ状態に関する所定の噴霧ステータス構成を用いて、前記基板キャリア内の基板の数又は位置の少なくとも一つに基づいて調節可能な照準角度を有する１つ以上の基板間ノズルアレイ及び１つ以上のカーテンノズルアレイを作動させることと
    を含む、ロードポートにおいて基板キャリアをパージする方法。
  15. 基板が前記基板キャリアに追加されるか前記基板キャリアから取り外されるのに従って、ロード用噴霧ステータス構成またはアンロード用噴霧ステータス構成にするよう、前記噴霧ステータス構成を切り替えることと、
    基板が前記基板キャリアに追加されるか前記基板キャリアから取り外されるのに従って、前記基板マップを更新することと、
    更新された前記基板マップに基づいて、新たな処理パージ状態を判定することと、
    判定された前記新たな処理パージ状態に関する所定の噴霧ステータス構成を用いて、１つ以上の基板間ノズルアレイ及び１つ以上のカーテンノズルアレイを作動させることと
    をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
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