JP6681182B2 - Transfer device, processing device, and transfer method - Google Patents
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Description
本発明は、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送装置、当該搬送装置を備えた処理装置、およびステージ上に載置された対象物を搬送する搬送方法に関する。 The present invention relates to a transfer device that transfers an object placed on a stage, a processing apparatus including the transfer device, and a transfer method for transferring an object placed on the stage.
自動車部品などの工業製品の製造工程では、製造後の製品の外観に異常がないかどうかを調べる外観検査が行われる。外観検査は、作業者の目視により行われる場合が多い。しかしながら、作業者の目視に依存すると、複数の作業者間で、検査にかかる時間や検査結果にばらつきが生じる。また、同一の作業者であっても、体調不良や集中力の低下により、検査に時間がかかったり、欠陥の見落としが発生したりする虞がある。このため、工業製品の外観検査を、自動かつ高速に行うことができる装置の開発が求められている。 In the manufacturing process of industrial products such as automobile parts, a visual inspection is performed to check whether there is any abnormality in the external appearance of the manufactured product. The visual inspection is often performed by the operator's visual inspection. However, depending on the operator's visual inspection, the time required for the inspection and the inspection result vary among a plurality of operators. In addition, even the same operator may take a long time for inspection or may overlook a defect due to poor physical condition or a decrease in concentration. Therefore, it is required to develop an apparatus that can automatically and visually inspect the appearance of industrial products.
外観検査装置における検査対象物の搬送方法としては、例えば、ターンテーブルによる搬送や、ベルト搬送などが考えられる。しかしながら、検査位置において、ターンテーブルやベルトに検査対象物を載置したまま検査対象物を撮影すると、搬入・搬出位置の振動が、ターンテーブルまたはベルトを介して検査位置まで伝達する。このため、検査対象物の静止画像を撮影することが困難となる。 As a method of transporting the inspection object in the appearance inspection apparatus, for example, transport by a turntable, belt transport, or the like can be considered. However, at the inspection position, when the inspection target is imaged with the inspection target placed on the turntable or belt, the vibration at the carry-in / carry-out position is transmitted to the inspection position via the turntable or the belt. Therefore, it is difficult to capture a still image of the inspection target.
一方、検査対象物をステージ上に載置して、当該ステージをレール搬送する方式では、搬入・搬出位置の振動が検査位置まで伝達しにくい。したがって、検査位置において検査対象物を静止させつつ撮影することができる。対象物をステージ上に載置して搬送する従来の搬送方法については、例えば、特許文献１に記載されている。
On the other hand, in the system in which the inspection target is placed on the stage and the stage is rail-transported, it is difficult to transmit the vibration at the loading / unloading position to the testing position. Therefore, it is possible to take an image of the inspection object while keeping it stationary at the inspection position. A conventional carrying method for carrying an object placed on a stage and carried is described in, for example,
しかしながら、１つのステージを、単一の移動機構により、搬入・搬出位置と検査位置との間で往復させると、１つの検査対象物の検査中に、他の検査対象物を搬入または搬出することができない。このため、検査時間に律速されて、処理時間が増大するという問題がある。 However, when one stage is reciprocated between the loading / unloading position and the inspection position by a single moving mechanism, another inspection target can be loaded or unloaded during the inspection of one inspection target. I can't. Therefore, there is a problem that the processing time is increased due to the rate being controlled by the inspection time.
一方、複数のステージを複数の移動機構を用いて移動させれば、１つの移動機構が１つのステージを検査位置に配置して検査対象物を検査する間に、他の移動機構が他のステージを搬入・搬出位置に配置して、検査対象物を搬入または搬出することができる。ただし、その場合には、複数の移動機構の間でステージを受け渡す機構が必要となる。 On the other hand, if the plurality of stages are moved by using the plurality of moving mechanisms, while one moving mechanism arranges one stage at the inspection position and inspects the inspection target, the other moving mechanism moves the other stages. Can be carried in or out by arranging at the carry-in / carry-out position. However, in that case, a mechanism for transferring the stage among a plurality of moving mechanisms is required.
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送装置において、複数の移動機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and in a transfer device that transfers an object placed on a stage, the stage can be moved while passing the stage among a plurality of moving mechanisms. The purpose is to provide technology that can.
上記課題を解決するため、本願の第１発明は、第１方向に順に配置された第１位置、中間位置、および第３位置と、前記中間位置から前記第１方向に対して交差する第２方向に隣接する第２位置との間で、対象物を搬送する搬送装置であって、対象物を載置するステージと、前記ステージを移動方向に案内するレールと、前記ステージを互いに異なる向きに移動させる複数の移動機構と、を備え、前記移動機構は、前記第１位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第１移動機構と、前記中間位置と前記第２位置との間で、前記ステージを移動させる第２移動機構と、前記第３位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第３移動機構と、を有し、前記第１移動機構、前記第２移動機構、および前記第３移動機構は、それぞれ、前記ステージに固定される固定部と、前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、を有し、前記ステージは、前記第１方向の一方側の端縁、前記第１方向の他方側の端縁、および前記第２方向の端縁に、それぞれ、前記固定部と係合する貫通孔または凹部を有する。
In order to solve the above-mentioned problems, the first invention of the present application is a second position that intersects the first position, the intermediate position, and the third position, which are sequentially arranged in the first direction, from the intermediate position in the first direction. A transport device for transporting an object between a second position adjacent to each other in a direction, a stage on which the object is placed, a rail for guiding the stage in a moving direction, and the stage in different directions. A plurality of moving mechanisms for moving the moving mechanism, wherein the moving mechanism includes a first moving mechanism for moving the stage between the first position and the intermediate position, and an intermediate position and a second position. A second moving mechanism for moving the stage, and a third moving mechanism for moving the stage between the third position and the intermediate position, and the first moving mechanism and the third moving mechanism . 2 moving mechanism, and the third moving mechanism , Respectively, a fixed portion fixed to the stage, the stationary part have a, and detaching mechanism to attach and detach with respect to the stage, the stage has one side edge of said first direction, said first The other end in the direction and the end in the second direction each have a through hole or a recess that engages with the fixing portion .
本願の第２発明は、第１発明の搬送装置であって、前記固定部は、前記貫通孔または前記凹部に挿入されるピンを有する。
The second invention of the present application relates to a conveying apparatus of the first invention, the front Symbol fixing portion has a pin inserted into the through-hole or the recess.
本願の第３発明は、第２発明の搬送装置であって、前記着脱機構は、前記ピンを前記貫通孔または前記凹部へ向かう方向に付勢する弾性部材を有する。 3rd invention of this application is a conveyance apparatus of 2nd invention, Comprising: The said attachment / detachment mechanism has an elastic member which urges | biases the said pin toward the said through-hole or the said recessed part.
本願の第４発明は、第３発明の搬送装置であって、前記着脱機構は、前記貫通孔または前記凹部から離れる方向に前記ピンを移動させるエアシリンダをさらに有する。 A fourth invention of the present application is the transfer device according to the third invention, wherein the attachment / detachment mechanism further includes an air cylinder that moves the pin in a direction away from the through hole or the recess.
本願の第５発明は、第４発明の搬送装置であって、前記エアシリンダは水平に配置され、前記着脱機構は、前記エアシリンダのロッドの水平移動を、前記ピンの昇降移動に変換する変換機構をさらに有する。 5th invention of this application is a conveyance apparatus of 4th invention, Comprising: The said air cylinder is arrange | positioned horizontally, The said attachment / detachment mechanism converts the horizontal movement of the rod of the said air cylinder into the raising / lowering movement of the said pin. Further has a mechanism.
本願の第６発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の搬送装置であって、前記ステージは、対象物を載置するステージ本体と、前記ステージ本体に固定された受け部材と、を有し、前記受け部材が、前記貫通孔または前記凹部を有する。
Sixth invention of the present application relates to a conveying apparatus according to any one invention of the first invention to the fifth invention, the stage comprises a stage main body for mounting an object, receiving member fixed to the stage main body And the receiving member has the through hole or the recess.
本願の第７発明は、第１発明から第６発明までのいずれか１発明の搬送装置であって、常時少なくとも１つの前記移動機構の前記固定部が、前記ステージに固定されるように、前記着脱機構を制御する制御部をさらに有する。 A seventh invention of the present application is the transport apparatus according to any one of the first invention to the sixth invention, wherein the fixing portion of at least one of the moving mechanisms is fixed to the stage at all times. It further has a control part which controls an attachment / detachment mechanism.
本願の第８発明は、第１発明から第７発明までのいずれか１発明の搬送装置であって、前記レールは、前記移動方向に沿って配列される第１レール、第２レール、および第３レールを含み、前記第１レール、前記第２レール、および前記第３レールは、互いに別体であり、前記第２レールは、前記第１レールおよび前記第３レールに対して交差する方向に移動可能である。 An eighth invention of the present application is the transport apparatus according to any one of the first invention to the seventh invention, wherein the rails are a first rail, a second rail, and a second rail arranged along the moving direction. Including three rails, the first rail, the second rail, and the third rail are separate bodies, and the second rail is in a direction intersecting with the first rail and the third rail. Can be moved.
本願の第９発明は、第８発明の搬送装置であって、前記第１移動機構は、前記第１レールと前記第２レールとの間で、前記ステージを移動させ、前記第２移動機構は、前記第２レールと前記第２レール上に配置されたステージとを、前記第１レールおよび前記第３レールに対して交差する方向に移動させ、前記第３移動機構は、前記第３レールと前記第２レールとの間で、前記ステージを移動させる。
A ninth invention of the present application is the transport apparatus according to the eighth invention, wherein the first moving mechanism moves the stage between the first rail and the second rail, and the second moving mechanism. , the second rail and arranged on the stage to the second rail is moved in a direction intersecting the first rail and the third rail, the third moving mechanism, the third between the rail and the second rail, Before moving the stage.
本願の第１０発明は、処理装置であって、第１発明から第９発明までのいずれか１発明の搬送装置と、前記ステージ上の対象物に対して処理を行う処理部と、を備える。 A tenth invention of the present application is a processing apparatus, which includes the transport apparatus according to any one of the first to ninth inventions, and a processing unit that processes an object on the stage.
本願の第１１発明は、第１０発明の処理装置であって、前記処理部は、前記第２位置に配置された前記ステージ上の対象物を検査する検査部である。
An eleventh invention of the present application is the processing apparatus according to the tenth invention, wherein the processing section is an inspection section that inspects an object on the stage arranged at the second position.
本願の第１２発明は、搬送装置を用いて、第１方向に順に配置された第１位置、中間位置、および第３位置と、前記中間位置から前記第１方向に対して交差する第２方向に隣接する第２位置との間で、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送方法であって、前記搬送装置は、対象物を載置する前記ステージと、前記第１位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第１移動機構と、前記中間位置と前記第２位置との間で、前記ステージを移動させる第２移動機構と、前記第３位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第３移動機構と、を備え、前記第１移動機構、前記第２移動機構、および前記第３移動機構を含む３つの移動機構は、それぞれ、前記ステージに固定される固定部と、前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、を有し、前記ステージは、前記第１方向の一方側の端縁、前記第１方向の他方側の端縁、および前記第２方向の端縁に、それぞれ、前記固定部と係合する貫通孔または凹部を有し、ａ）前記３つの移動機構のうちの１つの移動機構の前記固定部を前記ステージに固定した状態で、前記１つの移動機構により、前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置の１つから前記中間位置に前記ステージを移動させる工程と、ｂ）前記工程ａ）の後に、前記ステージに、前記３つの移動機構のうちの他の移動機構の前記固定部を固定する工程と、ｃ）前記工程ｂ）の後に、前記ステージから、前記１つの移動機構の前記固定部を切り離す工程と、ｄ）前記工程ｃ）の後に、前記他の移動機構により、前記中間位置から前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置の他の１つへ前記ステージを移動させる工程と、を有する。 A twelfth invention of the present application is the second direction intersecting the first position, the intermediate position, and the third position, which are sequentially arranged in the first direction, and the intermediate position with respect to the first direction, by using the transport device. Is a transfer method for transferring an object placed on a stage between a second position adjacent to the stage, the transfer device including the stage on which the object is placed, the first position, and the stage. A first moving mechanism that moves the stage between an intermediate position, a second moving mechanism that moves the stage between the intermediate position and the second position, a third position and the intermediate position And a third moving mechanism that moves the stage between, and three moving mechanisms including the first moving mechanism, the second moving mechanism, and the third moving mechanism are respectively provided on the stage. The fixed part to be fixed and the fixed part And a detaching mechanism that attaches and detaches to and from the stage, and the stage has an edge on one side in the first direction, an edge on the other side in the first direction, and an edge in the second direction, Each of them has a through hole or a concave portion that engages with the fixed portion, and a) With the fixed moving portion of one of the three moving mechanisms fixed to the stage, a step of moving the stage to the intermediate position the first position, from one of the second position and the third position, b) after step a), a said stage, of the three moving mechanism A step of fixing the fixed part of the other moving mechanism, c) a step of separating the fixed part of the one moving mechanism from the stage after the step b), and a step of d) the step c). Later, by the other moving mechanism, the intermediate position Et the first position, and a step of moving the stage to another one of the second position and the third position.
本願の第１発明〜第１２発明によれば、複数の移動機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる。 According to the first invention to the twelfth invention of the present application, the stage can be moved while passing the stage among the plurality of moving mechanisms.
特に、本願の第３発明によれば、着脱機構への電力供給が停止した場合に、貫通孔または凹部からピンが外れてステージの位置がずれることを防止できる。 Particularly, according to the third invention of the present application, it is possible to prevent the stage from being displaced due to the pin coming off the through hole or the recess when the power supply to the attaching / detaching mechanism is stopped.
特に、本願の第５発明によれば、エアシリンダを水平に配置することで、着脱機構の高さ方向の寸法を抑制できる。 In particular, according to the fifth aspect of the present application, by arranging the air cylinder horizontally, it is possible to suppress the heightwise dimension of the attachment / detachment mechanism.
特に、本願の第６発明によれば、ピンの挿入によりステージ本体が損傷することを抑制できる。 Particularly, according to the sixth invention of the present application, it is possible to prevent the stage main body from being damaged by the insertion of the pin.
特に、本願の第７発明または第１２発明によれば、ステージが意図しない方向へ移動することを防止できる。 Particularly, according to the seventh invention or the twelfth invention of the present application, it is possible to prevent the stage from moving in an unintended direction.
特に、本願の第８発明によれば、第２レール上に配置されたステージを、第２レールとともに、第１レールおよび第３レールに対して交差する方向に移動させることができる。このような構造では、第１レールと第３レールとの間で、１つの搬送機構でステージを搬送することが困難であるが、本発明によれば、２つの搬送機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる。 In particular, according to the eighth invention of the present application, the stage arranged on the second rail can be moved together with the second rail in a direction intersecting the first rail and the third rail. With such a structure, it is difficult to transfer the stage between the first rail and the third rail by one transfer mechanism, but according to the present invention, the stage is transferred between the two transfer mechanisms. While you can move the stage.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
＜１．外観検査装置の構成＞
図１および図２は、本発明の一実施形態に係る搬送装置１を備えた検査装置１００の上面図である。図３および図４は、検査装置１００の正面図である。この検査装置１００は、立体的な形状を有する検査対象物９を複数のカメラ２０１で撮影し、得られた画像に基づいて、検査対象物９の状態を検査する装置である。検査装置１００は、例えば、検査対象物９となる工業製品に取り付けられた複数の部品の位置や取り付け状態が、正常であるか否かを検査するために用いられる。
<1. Configuration of appearance inspection device>
FIG. 1 and FIG. 2 are top views of an
図１〜図４に示すように、本実施形態の検査装置１００は、検査対象物９を搬送する搬送装置１と、検査対象物９を検査する検査部２と、を備えている。また、搬送装置１は、２つのステージ１０と、互いに別体の第１レール２１、第２レール２２、第３レール２３、および予備レール２４と、第１移動機構３１、第２移動機構３２、第３移動機構３３、および第４移動機構３４と、搬送制御部４０とを備えている。
As shown in FIGS. 1 to 4, the
ステージ１０は、検査対象物９を載置する板状の部材である。２つのステージ１０は、それぞれ、水平に広がる上面を有する。検査対象物９は、ステージ１０上面に載置されるとともに、ステージ１０に対して固定される。したがって、各ステージ１０に載置された検査対象物９は、ステージ１０とともに移動する。搬送装置１は、複数の検査対象物９を、２つのステージ１０を用いて順次に搬送する。したがって、検査装置１００の稼働時には、検査装置１００内に、２つの検査対象物９が同時に存在する場合がある。
The
搬送装置１は、搬入位置Ｐ１、中間位置Ｐｍ、検査位置Ｐ２、および搬出位置Ｐ３の間で、ステージ１０を搬送する。搬入位置Ｐ１は、検査前の検査対象物９をステージ１０上に搬入する位置である。検査位置Ｐ２は、検査部２内において、ステージ１０上に載置された検査対象物９を検査する位置（処理位置）である。搬出位置Ｐ３は、検査後の検査対象物９をステージ１０から搬出する位置である。本実施形態では、搬入位置Ｐ１が第１位置となり、検査位置Ｐ２が第２位置となり、搬出位置Ｐ３が第３位置となる。
The
本実施形態では、搬入位置Ｐ１、中間位置Ｐｍ、および搬出位置Ｐ３が、この順に、直線状に配列されている。また、検査位置Ｐ２は、中間位置Ｐｍに隣接し、かつ、搬入位置Ｐ１、中間位置Ｐｍ、および搬出位置Ｐ３を結ぶ直線から外れた位置に配置されている。また、搬入位置Ｐ１、中間位置Ｐｍ、検査位置Ｐ２、および搬出位置Ｐ３は、同一の水平面内に配置されている。 In this embodiment, the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3 are linearly arranged in this order. Further, the inspection position P2 is arranged adjacent to the intermediate position Pm and at a position deviating from the straight line connecting the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3. The carry-in position P1, the intermediate position Pm, the inspection position P2, and the carry-out position P3 are arranged in the same horizontal plane.
なお、以下では、搬入位置Ｐ１、中間位置Ｐｍ、および搬出位置Ｐ３の配列方向を「第１方向」と称する。また、中間位置Ｐｍおよび検査位置Ｐ２の配列方向を「第２方向」と称する。本実施形態では、第１方向と第２方向とは、互いに直交する。 In addition, below, the arrangement direction of the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3 is referred to as a “first direction”. The arrangement direction of the intermediate position Pm and the inspection position P2 is referred to as the "second direction". In the present embodiment, the first direction and the second direction are orthogonal to each other.
第１レール２１は、搬入位置Ｐ１から中間位置Ｐｍへ向けて延びるガイドレールである。第１レール２１は、第２方向に配列され、各々が第１方向に延びる一対の第１レール部材２１１を有する。第１レール２１上にステージ１０を配置したときには、ステージ１０の下面に設けられた一対の被案内部１０１が、第１レール部材２１１に対して、第１方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ１０は、第１レール２１に沿って、第１方向に案内される。
The
第２レール２２は、中間位置Ｐｍと検査位置Ｐ２との間で位置を変更することが可能なガイドレールである。図１および図３のように、第２レール２２を中間位置Ｐｍに配置すると、第１レール２１と第３レール２３との間に、第２レール２２が介挿される。第２レール２２は、第２方向に配列され、各々が第１方向に延びる一対の第２レール部材２２１を有する。第２レール２２上にステージ１０を配置したときには、ステージ１０の下面に設けられた一対の被案内部１０１が、第２レール部材２２１に対して、第１方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ１０は、第２レール２２に沿って、第１方向に案内される。
The
第３レール２３は、搬出位置Ｐ３から中間位置Ｐｍへ向けて延びるガイドレールである。第３レール２３は、第２方向に配列され、各々が第１方向に延びる一対の第３レール部材２３１を有する。第３レール２３上にステージ１０を配置したときには、ステージ１０の下面に設けられた一対の被案内部１０１が、第３レール部材２３１に対して、第１方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ１０は、第３レール２３に沿って、第１方向に案内される。
The
予備レール２４は、中間位置Ｐｍと、中間位置Ｐｍの下方に位置する待機位置Ｐｗとの間で、位置を変更することが可能なガイドレールである。予備レール２４は、図２および図４のように、第２レール２２を検査位置Ｐ２に移動させたときに、第２レール２２に代わって、中間位置Ｐｍに配置される。予備レール２４を中間位置Ｐｍに配置すると、第１レール２１と第３レール２３との間に、予備レール２４が介在する。予備レール２４は、第２方向に配列され、各々が第１方向に延びる一対の予備レール部材２４１を有する。予備レール２４上にステージ１０を配置したときには、ステージ１０の下面に設けられた一対の被案内部１０１が、予備レール部材２４１に対して、第１方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ１０は、予備レール２４に沿って、第１方向に案内される。
The
第１移動機構３１は、搬入位置Ｐ１と中間位置Ｐｍとの間で、ステージ１０を移動させる機構である。第１移動機構３１は、第１レール２１と、中間位置Ｐｍに配置された第２レール２２または予備レール２４とに沿って、ステージ１０を第１方向に移動させる。第２移動機構３２は、検査位置Ｐ２と中間位置Ｐｍとの間で、ステージ１０を移動させる機構である。第２移動機構３２は、第２レール２２上に載置されたステージ１０を第２方向に移動させることによって、ステージ１０とともに第２レール２２を第２方向に移動させる。第３移動機構３３は、搬出位置Ｐ３と中間位置Ｐｍとの間で、ステージ１０を移動させる機構である。第３移動機構３３は、第３レール２３と、中間位置Ｐｍに配置された第２レール２２または予備レール２４とに沿って、ステージ１０を第１方向に移動させる。
The first moving
すなわち、第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３は、中間位置Ｐｍと、中間位置Ｐｍに対して互いに異なる向きに配置された搬入位置Ｐ１、検査位置Ｐ２、および搬出位置Ｐ３との間で、それぞれステージ１０を移動させることができる。搬送装置１は、第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３の間でステージ１０を受け渡しながら、ステージ１０を移動させる。
That is, the first moving
第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３は、いずれも同等の機構を有する。図５は、当該機構の構造を示した図である。図５に示すように、第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３は、それぞれ、駆動源であるモータ５１と、ボールねじ５２と、ナット部材５３とを有する。
The first moving
ボールねじ５２は、各移動機構におけるステージ１０の移動方向と平行に延び、その一端がモータ５１に接続されている。ナット部材５３は、ボールねじ５２の外周面に設けられた螺旋状のねじ溝と噛み合うように、ボールねじ５２に取り付けられている。モータ５１を駆動させると、ボールねじ５２がその軸心周りに回転する。これにより、ナット部材５３が、ボールねじ５２に沿って移動する。すなわち、モータ５１の回転運動が、ボールねじ５２を介してナット部材５３の直進運動に変換される。
The ball screw 52 extends parallel to the moving direction of the
また、各移動機構３１〜３３は、さらに、一対の固定ピン５４と、ステージ１０に対して固定ピン５４を着脱する着脱機構５５とを有する。一対の固定ピン５４は、ナット部材５３よりも中間位置Ｐｍ側に配列され、各々が上下方向に延びている。一対の固定ピン５４の下部は、共通の支持部材５６に固定されている。
In addition, each of the moving
ここで、本実施形態のステージ１０の構造について、説明する。図６は、ステージ１０の上面図である。図６に示すように、ステージ１０は、矩形状のステージ本体１１と、３つの受け部材１２とを有する。検査対象物９は、ステージ本体１１の上面に載置される。３つの受け部材１２は、ステージ本体１１の搬入位置Ｐ１側の端縁付近、検査位置Ｐ２側の端縁付近、および搬出位置Ｐ３側の端縁付近に、それぞれ固定されている。ステージ本体１１の材料には、例えば、鉄が用いられる。受け部材１２の材料には、例えば、固定ピン５４との接触により損傷が生じにくい銅合金が用いられる。
Here, the structure of the
図７は、受け部材１２の付近におけるステージ１０の部分縦断面図である。図６および図７に示すように、各受け部材１２には、一対の貫通孔１３が設けられている。一対の貫通孔１３は、ステージ１０の端縁に沿って配列され、各々が受け部材１２を上下方向に貫通する。貫通孔１３への固定ピン５４の挿入を円滑に行うために、各貫通孔１３の下部には、下方へ向かうにつれて拡径するテーパ面１３１が設けられている。また、本実施形態では、ステージ本体１１とは別の部材である受け部材１２に、貫通孔１３が設けられている。このため、固定ピン５４の挿入によるステージ本体１１の損傷が抑制される。
FIG. 7 is a partial vertical cross-sectional view of the
図５に戻る。着脱機構５５は、ステージ１０の貫通孔１３に対して、一対の固定ピン５４を着脱するための機構である。図５に示すように、着脱機構５５は、エアシリンダ６１、変換機構６２、およびコイルばね６３を有する。エアシリンダ６１は、第１方向に沿って水平に配置されている。エアシリンダ６１は、シリンダ本体６１１とロッド６１２とを有する。ロッド６１２は、シリンダ本体６１１に供給される空気圧によって第１方向に進退する。
Returning to FIG. The attachment /
変換機構６２は、ロッド６１２の水平移動を、固定ピン５４の昇降移動に変換する機構である。本実施形態の変換機構６２は、Ｌ字部材６２０を有する。Ｌ字部材６２０は、ナット部材５３の移動方向に対して垂直かつ水平な回転軸６２９を中心として回転する板状の部材である。Ｌ字部材６２０は、回転軸６２９の周りにおいて略９０°離れた２つのアーム６２１，６２２を有する。一方のアーム６２１は、エアシリンダ６１のロッド６１２の先端に接続されている。他方のアーム６２２は、支持部材５６に接続されている。Ｌ字部材６２０は、回転軸６２９を中心として回転することで、ロッド６１２の第１方向の水平移動を、支持部材５６および一対の固定ピン５４の昇降移動に変換する。
The
コイルばね６３は、固定ピン５４を、ステージ１０の貫通孔１３へ向かう方向に付勢するための弾性部材である。コイルばね６３は、エアシリンダ６１のシリンダ本体６１１とロッド６１２の先端との間に、自然長よりも圧縮された状態で介挿されている。エアシリンダ６１のシリンダ本体６１１に空気圧が供給されていない状態では、コイルばね６３の反発力によって、ロッド６１２は中間位置側へ突出した状態となる。そうすると。Ｌ字部材６２０を介して、支持部材５６および一対の固定ピン５４が上昇する。
The
上昇した一対の固定ピン５４は、ステージ１０の貫通孔１３に、それぞれ挿入される。これにより、ナット部材５３とステージ１０とが、第１方向に相対移動不能に固定される。すなわち、本実施形態では、一対の固定ピン５４が、ステージ１０に固定される固定部となる。一対の固定ピン５４が貫通孔１３に挿入された状態で、モータ５１を駆動させると、ナット部材５３とともにステージ１０が、ボールねじ５２と平行に移動する。
The pair of raised fixing
一方、エアシリンダ６１のシリンダ本体６１１に空気圧を供給すると、ロッド６１２は、コイルばね６３の反発力に抗して、シリンダ本体６１１側へ移動する。そうすると、Ｌ字部材６２０を介して、支持部材５６および一対の固定ピン５４が下降する。これにより、ステージ１０の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４が引き抜かれる。その結果、ナット部材５３に対するステージ１０の固定が解除される。
On the other hand, when air pressure is supplied to the
後述する搬送制御部４０は、常時、第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３のうちの少なくとも１つの移動機構の固定ピン５４が、ステージ１０の貫通孔１３に挿入されるように、着脱機構５５を制御する。ステージ１０は、常に、第１移動機構３１、第２移動機構３２、および第３移動機構３３のうちの少なくとも１つの移動機構によって保持される。これにより、ステージ１０が意図しない方向へ移動することが、防止されている。
In the
また、本実施形態では、停電等でエアシリンダ６１への電力供給が停止した場合には、コイルばね６３の反発力によって、ロッド６１２が中間位置側へ突出し、固定ピン５４が上昇状態となる。したがって、固定ピン５４は、貫通孔１３に挿入された状態に維持される。したがって、停電時に、貫通孔１３から固定ピン５４が外れてステージ１０の位置がずれることを防止できる。
Further, in the present embodiment, when the power supply to the
図３および図４に戻る。第４移動機構３４は、中間位置Ｐｍと待機位置Ｐｗとの間で、予備レール２４を昇降移動させる機構である。第４移動機構３４は、予備レール２４の下方に鉛直に配置されたエアシリンダ７０を有する。エアシリンダ７０は、シリンダ本体７１とロッド７２とを有する。予備レール２４は、ロッド７２の上端部に固定される。ロッド７２は、シリンダ本体７１に供給される空気圧によって上下方向に進退する。これにより、予備レール２４を上下に昇降移動させることができる。
Returning to FIG. 3 and FIG. The fourth moving
本実施形態では、第２レール２２上に配置されたステージ１０を、中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２へ、第２レール２２ごと移動させることができる。そして、第２レール２２の代わりに、中間位置Ｐｍに予備レール２４を配置することができる。したがって、１つのステージ１０を検査位置Ｐ２に配置しつつ、搬入位置Ｐ１と搬出位置Ｐ３との間で他のステージ１０を移動させることができる。
In the present embodiment, the
搬送制御部４０は、搬送装置１内の各部を動作制御するための手段である。図１および図２中に概念的に示したように、搬送制御部４０は、ＣＰＵ等の演算処理部４１、ＲＡＭ等のメモリ４２、およびハードディスクドライブ等の記憶部４３を有するコンピュータにより構成される。記憶部４３内には、検査対象物９の搬送処理を実行するためのコンピュータプログラム４４が、インストールされている。
The
図８は、搬送制御部４０と、搬送装置１内の各部との接続構成を示したブロック図である。図８に示すように、搬送制御部４０は、上述した第１移動機構３１のモータ５１、第１移動機構３１のエアシリンダ６１、第２移動機構３２のモータ５１、第２移動機構３２のエアシリンダ６１、第３移動機構３３のモータ５１、第３移動機構３３のエアシリンダ６１、および第４移動機構３４のエアシリンダ７０と、それぞれ通信可能に接続されている。搬送制御部４０は、記憶部４３に記憶されたコンピュータプログラム４４をメモリ４２に一時的に読み出し、当該コンピュータプログラム４４に基づいて、演算処理部４１が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、複数の検査対象物９の搬送が、順次に進行する。
FIG. 8 is a block diagram showing a connection configuration between the
検査部２は、検査位置Ｐ２に配置されたステージ１０上の検査対象物９を検査するための処理部である。図１および図２に示すように、検査部２は、複数のカメラ２０１と、複数の光照射部２０２と、画像処理部２０３とを有する。複数のカメラ２０１は、検査対象物９の検査すべき箇所に、それぞれ向けられている。カメラ２０１には、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の受光素子を有し、多階調のデジタル画像を取得可能なカメラが用いられる。光照射部２０２には、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）が用いられる。
The
検査部２は、光照射部２０２を発光させつつ、カメラ２０１による撮影を行うことにより、検査対象物９の検査すべき箇所の画像を取得する。取得された画像は、画像処理部２０３へ入力される。画像処理部２０３は、取得された画像と、正常な検査対象物９の画像とを比較する。そして、その比較結果に基づいて、各検査対象物９の状態に、欠陥がないかどうかを判断する。
The
なお、画像処理部２０３には、例えば、ＣＰＵ等の演算処理部、ＲＡＭ等のメモリ、およびハードディスクドライブ等の記憶部を有するコンピュータが用いられる。搬送制御部４０と画像処理部２０３とは、同一のコンピュータにより実現されていてもよい。
For the
＜２．検査装置の動作について＞
続いて、上述した検査装置１００における検査対象物９の搬送および検査の流れについて、説明する。図９および図１０は、検査装置１００における検査対象物９の搬送および検査の流れを示したフローチャートである。図１１〜図２７は、各時点におけるステージ１０の位置を示した図である。以下の動作におけるステージ１０の動きは、搬送制御部４０が、第１移動機構３１、第２移動機構３２、第３移動機構３３、および第４移動機構３４を動作制御することによって実現される。
<2. About operation of inspection equipment>
Next, the flow of conveyance and inspection of the
この検査装置１００では、最初の検査対象物９を搬入する前に、まず、第２レール２２を中間位置Ｐｍに配置し、予備レール２４を待機位置Ｐｗに配置する。また、２つのステージ１０のうちの一方（以下、「第１ステージ１０ａ」と称する）を、第１レール２１上の搬入位置Ｐ１に配置する。そして、２つのステージ１０のうちの他方（以下、「第２ステージ１０ｂ」と称する）を、第３レール２３上の搬出位置Ｐ３に配置する。
In this
検査装置１００のオペレータは、まず、搬入位置Ｐ１に配置された第１ステージ１０ａの上面に、検査対象物９を搬入する（ステップＳ１，図１１の状態）。なお、検査対象物９の搬入作業は、図示しないフィーダによって、自動的に行われてもよい。搬入された検査対象物９は、第１ステージ１０ａの上面に、予め定められた向きで載置される。
The operator of the
次に、第１移動機構３１は、第１ステージ１０ａを、搬入位置Ｐ１から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ２，図１２の状態）。これにより、第１ステージ１０ａ上の検査対象物９も、搬入位置Ｐ１から中間位置Ｐｍへ移動する。
Next, the first moving
続いて、第１移動機構３１から第２移動機構３２への、第１ステージ１０ａの受け渡しが行われる（ステップＳ３）。具体的には、まず、第２移動機構３２が、第１ステージ１０ａの検査位置Ｐ２側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第１ステージ１０ａが第２移動機構３２に保持される。次に、第１移動機構３１が、第１ステージ１０ａの搬入位置Ｐ１側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第１ステージ１０ａから第１移動機構３１が切り離される。
Subsequently, the
その後、第２移動機構３２は、第１ステージ１０ａを、中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２へ移動させる（ステップＳ４，図１３の状態）。これにより、第１ステージ１０ａ上の検査対象物９も、中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２へ移動する。
After that, the second moving
検査対象物９を載置した第１ステージ１０ａが、検査位置Ｐ２に配置されると、検査部２は、第１ステージ１０ａ上の検査対象物９を検査する（ステップＳ５）。具体的には、複数の光照射部２０２を発光させつつ、複数のカメラ２０１による撮影を行う。これにより、検査対象物９の検査すべき箇所の画像が取得される。画像処理部２０３は、取得された画像に基づいて、検査対象物９の検査すべき箇所が、それぞれ正常であるか否かを判断する。
When the
一方、ステップＳ４の後、第４移動機構３４は、予備レール２４を、待機位置Ｐｗから中間位置Ｐｍへ上昇させる（ステップＳ６）。これにより、第１レール２１と第３レール２３との間に、第２レール２２に代わって、予備レール２４が配置される。この搬送装置１では、ステップＳ４における第２レール２２の移動と、ステップＳ６における予備レール２４の移動とが、連動して実行される。
On the other hand, after step S4, the fourth moving
予備レール２４が中間位置Ｐｍに配置されると、第３移動機構３３は、第２ステージ１０ｂを、搬出位置Ｐ３から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ７，図１４の状態）。
When the
続いて、第３移動機構３３から第１移動機構３１への、第２ステージ１０ｂの受け渡しが行われる（ステップＳ８）。具体的には、まず、第１移動機構３１が、第２ステージ１０ｂの搬入位置Ｐ１側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第２ステージ１０ｂが第１移動機構３１に保持される。次に、第３移動機構３３が、第２ステージ１０ｂの搬出位置Ｐ３側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第２ステージ１０ｂから第３移動機構３３が切り離される。
Then, the
その後、第１移動機構３１は、第２ステージ１０ｂを、中間位置Ｐｍから搬入位置Ｐ１へ移動させる（ステップＳ９，図１５の状態）。第２ステージ１０ｂが搬入位置Ｐ１に配置されると、第４移動機構３４は、予備レール２４を、中間位置Ｐｍから再び待機位置Ｐｗへ下降させる（ステップＳ１０）。また、検査装置１００のオペレータは、搬入位置Ｐ１に配置された第２ステージ１０ｂの上面に、次の検査対象物９を搬入する（ステップＳ１１，図１６の状態）。
Then, the first moving
検査部２による検査が終了すると、第２移動機構３２は、第１ステージ１０ａを、検査位置Ｐ２から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ１２，図１７の状態）。これにより、第１ステージ１０ａ上の検査対象物９も、検査位置Ｐ２から中間位置Ｐｍへ移動する。
When the inspection by the
続いて、第２移動機構３２から第３移動機構３３への、第１ステージ１０ａの受け渡しが行われる（ステップＳ１３）。具体的には、まず、第３移動機構３３が、第１ステージ１０ａの搬出位置Ｐ３側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第１ステージ１０ａが第３移動機構３３に保持される。次に、第２移動機構３２が、第１ステージ１０ａの検査位置Ｐ２側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第１ステージ１０ａから第２移動機構３２が切り離される。
Then, the
その後、第３移動機構３３は、第１ステージ１０ａを、中間位置Ｐｍから搬出位置Ｐ３へ移動させる（ステップＳ１４，図１８の状態）。これにより、第１ステージ１０ａ上の検査対象物９も、中間位置Ｐｍから搬出位置Ｐ３へ移動する。検査装置１００のオペレータは、搬出位置Ｐ３に配置された第１ステージ１０ａの上面から、検査後の検査対象物９を搬出する（ステップＳ１５，図１９の状態）。
Then, the third moving
次に、第１移動機構３１は、第２ステージ１０ｂを、搬入位置Ｐ１から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ１６，図２０の状態）。これにより、第２ステージ１０ｂ上の検査対象物９も、搬入位置Ｐ１から中間位置Ｐｍへ移動する。
Next, the first moving
続いて、第１移動機構３１から第２移動機構３２への、第２ステージ１０ｂの受け渡しが行われる（ステップＳ１７）。具体的には、まず、第２移動機構３２が、第２ステージ１０ｂの検査位置Ｐ２側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第２ステージ１０ｂが第２移動機構３２に保持される。次に、第１移動機構３１が、第２ステージ１０ｂの搬入位置Ｐ１側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第２ステージ１０ｂから第１移動機構３１が切り離される。
Then, the
その後、第２移動機構３２は、第２ステージ１０ｂを、中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２へ移動させる（ステップＳ１８，図２１の状態）。これにより、第２ステージ１０ｂ上の検査対象物９も、中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２へ移動する。
Then, the second moving
検査対象物９を載置した第２ステージ１０ｂが、検査位置Ｐ２に配置されると、検査部２は、第２ステージ１０ｂ上の検査対象物９を検査する（ステップＳ１９）。具体的には、複数の光照射部２０２を発光させつつ、複数のカメラ２０１による撮影を行う。これにより、検査対象物９の検査すべき箇所の画像が取得される。画像処理部２０３は、取得された画像に基づいて、検査対象物９の検査すべき箇所が、それぞれ正常であるか否かを判断する。
When the
一方、ステップＳ１８の後、第４移動機構３４は、予備レール２４を、待機位置Ｐｗから中間位置Ｐｍへ上昇させる（ステップＳ２０）。これにより、第１レール２１と第３レール２３との間に、第２レール２２に代わって、予備レール２４が配置される。この搬送装置１では、ステップＳ１８における第２レール２２の移動と、ステップＳ２０における予備レール２４の移動とが、連動して実行される。
On the other hand, after step S18, the fourth moving
予備レール２４が中間位置Ｐｍに配置されると、第３移動機構３３は、第１ステージ１０ａを、搬出位置Ｐ３から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ２１，図２２の状態）。
When the
続いて、第３移動機構３３から第１移動機構３１への、第１ステージ１０ａの受け渡しが行われる（ステップＳ２２）。具体的には、まず、第１移動機構３１が、第１ステージ１０ａの搬入位置Ｐ１側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第１ステージ１０ａが第１移動機構３１に保持される。次に、第３移動機構３３が、第１ステージ１０ａの搬出位置Ｐ３側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第１ステージ１０ａから第３移動機構３３が切り離される。
Then, the
その後、第１移動機構３１は、第１ステージ１０ａを、中間位置Ｐｍから搬入位置Ｐ１へ移動させる（ステップＳ２３，図２３の状態）。第１ステージ１０ａが搬入位置Ｐ１に配置されると、第４移動機構３４は、予備レール２４を、中間位置Ｐｍから再び待機位置Ｐｗへ下降させる（ステップＳ２４）。また、検査装置１００のオペレータは、搬入位置Ｐ１に配置された第１ステージ１０ａの上面に、次の検査対象物９を搬入する（ステップＳ２５，図２４の状態）。
Then, the first moving
検査部２による検査が終了すると、第２移動機構３２は、第２ステージ１０ｂを、検査位置Ｐ２から中間位置Ｐｍへ移動させる（ステップＳ２６，図２５の状態）。これにより、第２ステージ１０ｂ上の検査対象物９も、検査位置Ｐ２から中間位置Ｐｍへ移動する。
When the inspection by the
続いて、第２移動機構３２から第３移動機構３３への、第２ステージ１０ｂの受け渡しが行われる（ステップＳ２７）。具体的には、まず、第３移動機構３３が、第２ステージ１０ｂの搬出位置Ｐ３側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３に、一対の固定ピン５４を挿入する。これにより、第２ステージ１０ｂが第３移動機構３３に保持される。次に、第２移動機構３２が、第２ステージ１０ｂの検査位置Ｐ２側の端辺に設けられた一対の貫通孔１３から、一対の固定ピン５４を引き抜く。これにより、第２ステージ１０ｂから第２移動機構３２が切り離される。
Then, the
その後、第３移動機構３３は、第２ステージ１０ｂを、中間位置Ｐｍから搬出位置Ｐ３へ移動させる（ステップＳ２８，図２６の状態）。これにより、第２ステージ１０ｂ上の検査対象物９も、中間位置Ｐｍから搬出位置Ｐ３へ移動する。検査装置１００のオペレータは、搬出位置Ｐ３に配置された第２ステージ１０ｂの上面から、検査後の検査対象物９を搬出する（ステップＳ２９，図２７の状態）。
Then, the third moving
その後、ステップＳ２に戻り、検査装置１００は、ステップＳ２〜Ｓ２９の処理を繰り返す。
After that, the process returns to step S2, and the
以上のように、この搬送装置１では、１つのステージ１０を検査位置Ｐ２に配置しつつ、他のステージ１０を、搬出位置Ｐ３から中間位置Ｐｍを経て搬入位置Ｐ１へ移動させることができる。このため、１つのステージ１０を搬出位置Ｐ３まで移動させ、他のステージ１０を搬入位置Ｐ１から検査位置Ｐ２に移動させた後、先に移動させたステージ１０を、他のステージ１０に妨害されずに、搬出位置Ｐ３から搬入位置Ｐ１へ移動させることができる。このため、帰還用の搬送経路を別に設けることなく、２つのステージ１０による検査対象物９の搬送処理を、効率よく行うことができる。
As described above, in the
特に、本実施形態では、ステージ１０を中間位置Ｐｍから検査位置Ｐ２に移動させるときに、ステージ１０とともに第２レール２２も、検査位置Ｐ２に移動させる。そして、中間位置Ｐｍに、第２レール２２に代えて予備レール２４を配置する。このような構造では、第１レール２１と第３レール２３との間で、１つの搬送機構でステージ１０を搬送することが困難である。しかしながら、本実施形態の構造では、第１移動機構３１と第３移動機構３３との間でステージ１０を受け渡しながら、ステージ１０を移動させることができる。
Particularly, in the present embodiment, when the
＜３．変形例＞
以上、本発明の主たる実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
<3. Modification>
Although the main embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments.
上記の実施形態では、第１位置を搬入位置とし、第２位置を検査位置とし、第３位置を搬出位置としていた。すなわち、搬入位置、中間位置、および搬出位置が、直線状に配置されていた。このようにすれば、搬入位置から搬出位置までの直線状の搬送経路と、搬送経路に隣接する処理位置を含む処理部とを、コンパクトに配置することができる。 In the above embodiment, the first position is the carry-in position, the second position is the inspection position, and the third position is the carry-out position. That is, the carry-in position, the intermediate position, and the carry-out position are arranged linearly. With this configuration, it is possible to compactly arrange the linear transport path from the carry-in position to the carry-out position and the processing unit including the processing position adjacent to the transport path.
しかしながら、例えば、図２８のように、第２位置を搬入位置としてもよい。この場合、第１位置を、搬出位置および検査位置のいずれか一方とし、第３位置を搬出位置および検査位置の他方とすればよい。また、例えば、図２９のように、第２位置を搬出位置としてもよい。この場合、第１位置を、搬入位置および検査位置のいずれか一方とし、第３位置を搬入位置および検査位置の他方とすればよい。 However, for example, as shown in FIG. 28, the second position may be the carry-in position. In this case, the first position may be one of the carry-out position and the inspection position, and the third position may be the other of the carry-out position and the inspection position. Further, for example, as shown in FIG. 29, the second position may be the carry-out position. In this case, the first position may be either the carry-in position or the inspection position, and the third position may be the other of the carry-in position and the inspection position.
このように、第２位置を搬入位置または搬出位置にすれば、上記の実施形態よりも、搬入位置と搬出位置との距離が近くなる。したがって、搬入位置と搬出位置との間の作業位置Ｐｏに配置された同一のロボットまたは同一の作業者によって、検査対象物の搬入および搬出を行いやすくなる。 Thus, if the second position is set to the carry-in position or the carry-out position, the distance between the carry-in position and the carry-out position becomes shorter than that in the above-described embodiment. Therefore, it becomes easy to carry in and carry out the inspection object by the same robot or the same operator arranged at the work position Po between the carry-in position and the carry-out position.
また、上記の実施形態では、１つの検査装置内に存在する検査位置が１箇所のみであった。しかしながら、図３０のように、１つの検査装置内に、２つの検査位置Ｐ２を設けてもよい。この場合、検査対象物９が載置された２つのステージ１０を、第１検査位置Ｐ２および第２検査位置Ｐ２にそれぞれ配置している間に、他の１つのステージ１０を、搬出位置Ｐ３から搬入位置Ｐ１へ移動させるようにすればよい。図３０の例では、搬送装置内において、３つのステージ１０を移動させることができる。
Moreover, in the above-described embodiment, there is only one inspection position existing in one inspection device. However, as shown in FIG. 30, two inspection positions P2 may be provided in one inspection device. In this case, while the two
同様に、検査位置の数を３つ以上としてもよい。その場合、ステージの数は、搬入位置、搬出位置、および検査位置の合計数よりも１少ない数とすればよい。 Similarly, the number of inspection positions may be three or more. In that case, the number of stages may be one less than the total number of the carry-in position, the carry-out position, and the inspection position.
また、上記の実施形態では、予備レールを待機させるための待機位置が、中間位置の下方に配置されていた。これにより、搬送装置の水平方向の広がりが抑制されていた。しかしながら、予備レールを待機させるための待機位置は、他の位置であってもよい。例えば、第２方向に十分なスペースがある場合には、中間位置に対して第２位置とは反対側に、待機位置を配置してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the standby position for waiting the spare rail is arranged below the intermediate position. As a result, the horizontal spread of the transfer device is suppressed. However, the standby position for waiting the spare rail may be another position. For example, when there is sufficient space in the second direction, the standby position may be arranged on the side opposite to the second position with respect to the intermediate position.
また、上記の実施形態では、ステージに設けられた貫通孔に、固定ピンが挿入されていた。しかしながら、ステージは、貫通孔に代えて凹部を有し、当該凹部にピンを挿入する構造であってもよい。あるいは、移動機構側に、固定部としての貫通孔または凹部を設け、ステージ側に、当該貫通孔または凹部に挿入される凸部を設けてもよい。また、一対の部材による挟持などの他の方法で、ナット部材に対してステージを固定してもよい。 Further, in the above embodiment, the fixing pin is inserted into the through hole provided in the stage. However, the stage may have a recess instead of the through hole, and the pin may be inserted into the recess. Alternatively, the moving mechanism side may be provided with a through hole or a concave portion as a fixed portion, and the stage side may be provided with a convex portion to be inserted into the through hole or the concave portion. Further, the stage may be fixed to the nut member by another method such as sandwiching with a pair of members.
また、上記の実施形態では、貫通孔または凹部へ向かう方向にピンを付勢するための弾性部材として、コイルばねが用いられていた。しかしながら、コイルばねに代えて、板ばねやゴムなどの他の弾性部材を用いて、ピンを付勢してもよい。 Further, in the above embodiment, the coil spring is used as the elastic member for urging the pin in the direction toward the through hole or the recess. However, instead of the coil spring, another elastic member such as a leaf spring or rubber may be used to urge the pin.
また、上記の実施形態では、エアシリンダを水平に配置していた。そして、ロッドの水平移動を、Ｌ字部材を介して昇降移動に変換していた。このように、エアシリンダを水平に配置すれば、着脱機構の高さ方向の寸法を抑制できる。しかしながら、高さ方向のスペースが十分にある場合には、Ｌ字部材を省略し、エアシリンダを鉛直方向に配置してもよい。 Further, in the above embodiment, the air cylinder is arranged horizontally. Then, the horizontal movement of the rod is converted into the vertical movement via the L-shaped member. By arranging the air cylinders horizontally in this way, the size of the attachment / detachment mechanism in the height direction can be suppressed. However, if there is sufficient space in the height direction, the L-shaped member may be omitted and the air cylinder may be arranged in the vertical direction.
また、上記の実施形態では、検査位置に配置されたステージ上の検査対象物に対して、検査を行う装置について説明した。しかしながら、本発明の搬送装置の適用対象は、ステージ上の対象物に対して、検査以外の処理を行う処理装置であってもよい。例えば、ステージ上の対象物に対して、塗布、描画、印刷等の処理を行う装置に、本発明を適用してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the device for inspecting the inspection object on the stage arranged at the inspection position has been described. However, the transfer device of the present invention may be applied to a processing device that performs a process other than an inspection on an object on the stage. For example, the present invention may be applied to an apparatus that performs processing such as coating, drawing, and printing on an object on the stage.
また、搬送装置の細部の形状や、検査装置の細部の形状については、本願の各図と相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。 Further, the detailed shape of the transport device and the detailed shape of the inspection device may be different from those in the drawings of the present application. Further, the respective elements appearing in the above-described embodiments and modified examples may be appropriately combined as long as no contradiction occurs.
１ 搬送装置
２ 検査部
９ 検査対象物
１０ ステージ
１０ａ 第１ステージ
１０ｂ 第２ステージ
１１ ステージ本体
１２ 受け部材
１３ 貫通孔
２１ 第１レール
２２ 第２レール
２３ 第３レール
２４ 予備レール
３１ 第１移動機構
３２ 第２移動機構
３３ 第３移動機構
３４ 第４移動機構
４０ 搬送制御部
５１ モータ
５２ ボールねじ
５３ ナット部材
５４ 固定ピン
５５ 着脱機構
５６ 支持部材
６１ エアシリンダ
６２ 変換機構
６３ コイルばね
７０ エアシリンダ
１００ 検査装置
１０１ 被案内部
１３１ テーパ面
２０１ カメラ
２０２ 光照射部
２０３ 画像処理部
Ｐ１ 搬入位置
Ｐ２ 検査位置
Ｐ３ 搬出位置
Ｐｍ 中間位置
Ｐｗ 待機位置
Ｐｏ 作業位置
DESCRIPTION OF
Claims (12)
対象物を載置するステージと、
前記ステージを移動方向に案内するレールと、
前記ステージを互いに異なる向きに移動させる複数の移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
前記第１位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第１移動機構と、
前記中間位置と前記第２位置との間で、前記ステージを移動させる第２移動機構と、
前記第３位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第３移動機構と、
を有し、
前記第１移動機構、前記第２移動機構、および前記第３移動機構は、それぞれ、
前記ステージに固定される固定部と、
前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、
を有し、
前記ステージは、前記第１方向の一方側の端縁、前記第１方向の他方側の端縁、および前記第２方向の端縁に、それぞれ、前記固定部と係合する貫通孔または凹部を有する搬送装置。 An object between a first position, an intermediate position, and a third position that are sequentially arranged in the first direction, and a second position that is adjacent to the second direction that intersects the first direction from the intermediate position . A transport device for transporting
A stage on which the object is placed,
A rail for guiding the stage in the moving direction,
A plurality of moving mechanisms for moving the stage in different directions,
Equipped with
The moving mechanism is
A first moving mechanism that moves the stage between the first position and the intermediate position;
A second moving mechanism that moves the stage between the intermediate position and the second position;
A third moving mechanism for moving the stage between the third position and the intermediate position;
Have
The first moving mechanism, the second moving mechanism, and the third moving mechanism , respectively,
A fixed part fixed to the stage,
An attaching / detaching mechanism for attaching / detaching the fixing unit to / from the stage,
Have a,
The stage has a through hole or a recess that engages with the fixing portion at one end of the first direction, the other end of the first direction, and the end of the second direction, respectively. A transport device having .
前記固定部は、前記貫通孔または前記凹部に挿入されるピンを有する搬送装置。 The transport device according to claim 1 , wherein
Before SL fixing unit, the transport device having a pin inserted into the through-hole or the recess.
前記着脱機構は、
前記ピンを前記貫通孔または前記凹部へ向かう方向に付勢する弾性部材
を有する搬送装置。 The transport device according to claim 2, wherein
The attachment / detachment mechanism,
A conveyance device having an elastic member that urges the pin in a direction toward the through hole or the recess.
前記着脱機構は、
前記貫通孔または前記凹部から離れる方向に前記ピンを移動させるエアシリンダ
をさらに有する搬送装置。 The transport apparatus according to claim 3,
The attachment / detachment mechanism,
The carrier device further comprising an air cylinder that moves the pin in a direction away from the through hole or the recess.
前記エアシリンダは水平に配置され、
前記着脱機構は、
前記エアシリンダのロッドの水平移動を、前記ピンの昇降移動に変換する変換機構
をさらに有する搬送装置。 The transport device according to claim 4,
The air cylinder is arranged horizontally,
The attachment / detachment mechanism,
The transport device further comprising a conversion mechanism that converts horizontal movement of the rod of the air cylinder into vertical movement of the pin.
前記ステージは、
対象物を載置するステージ本体と、
前記ステージ本体に固定された受け部材と、
を有し、
前記受け部材が、前記貫通孔または前記凹部を有する搬送装置。 The transport apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The stage is
A stage body on which an object is placed,
A receiving member fixed to the stage body,
Have
A conveyance device in which the receiving member has the through hole or the recess.
常時少なくとも１つの前記移動機構の前記固定部が、前記ステージに固定されるように、前記着脱機構を制御する制御部
をさらに有する搬送装置。 The transport device according to any one of claims 1 to 6,
The transfer device further comprising a control unit that controls the attachment / detachment mechanism so that at least one of the fixing units of the moving mechanism is fixed to the stage at all times.
前記レールは、前記移動方向に沿って配列される第１レール、第２レール、および第３レールを含み、
前記第１レール、前記第２レール、および前記第３レールは、互いに別体であり、
前記第２レールは、前記第１レールおよび前記第３レールに対して交差する方向に移動可能である搬送装置。 The transport device according to any one of claims 1 to 7,
The rail includes a first rail, a second rail, and a third rail arranged along the movement direction,
The first rail, the second rail, and the third rail are separate bodies,
The said 2nd rail is a conveyance apparatus which is movable in the direction which cross | intersects the said 1st rail and the said 3rd rail.
前記第１移動機構は、前記第１レールと前記第２レールとの間で、前記ステージを移動させ、
前記第２移動機構は、前記第２レールと前記第２レール上に配置されたステージとを、前記第１レールおよび前記第３レールに対して交差する方向に移動させ、
前記第３移動機構は、前記第３レールと前記第２レールとの間で、前記ステージを移動させる搬送装置。 The transport device according to claim 8,
The first moving mechanism moves the stage between the first rail and the second rail ,
The second moving mechanism moves the second rail and a stage arranged on the second rail in a direction intersecting with the first rail and the third rail ,
The third movement mechanism between the second rail and the third rail, transport device Before moving the stage.
前記ステージ上の対象物に対して処理を行う処理部と、
を備える処理装置。 The transport device according to any one of claims 1 to 9,
A processing unit for processing the object on the stage,
A processing device comprising.
前記処理部は、前記第２位置に配置された前記ステージ上の対象物を検査する検査部である処理装置。 The processing device according to claim 10, wherein
The said processing part is a processing apparatus which is an inspection part which inspects the target object on the said stage arrange | positioned at the said 2nd position.
前記搬送装置は、
対象物を載置する前記ステージと、
前記第１位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第１移動機構と、
前記中間位置と前記第２位置との間で、前記ステージを移動させる第２移動機構と、
前記第３位置と前記中間位置との間で、前記ステージを移動させる第３移動機構と、
を備え、
前記第１移動機構、前記第２移動機構、および前記第３移動機構を含む３つの移動機構は、それぞれ、
前記ステージに固定される固定部と、
前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、
を有し、
前記ステージは、前記第１方向の一方側の端縁、前記第１方向の他方側の端縁、および前記第２方向の端縁に、それぞれ、前記固定部と係合する貫通孔または凹部を有し、
ａ）前記３つの移動機構のうちの１つの移動機構の前記固定部を前記ステージに固定した状態で、前記１つの移動機構により、前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置の１つから前記中間位置に前記ステージを移動させる工程と、
ｂ）前記工程ａ）の後に、前記ステージに、前記３つの移動機構のうちの他の移動機構の前記固定部を固定する工程と、
ｃ）前記工程ｂ）の後に、前記ステージから、前記１つの移動機構の前記固定部を切り離す工程と、
ｄ）前記工程ｃ）の後に、前記他の移動機構により、前記中間位置から前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置の他の１つへ前記ステージを移動させる工程と、
を有する搬送方法。
A first position, an intermediate position, and a third position, which are sequentially arranged in the first direction, and a second position which is adjacent to the second direction intersecting the first direction from the intermediate position, using the transport device. A method of transporting an object placed on a stage between ,
The carrier is
The stage on which an object is placed,
A first moving mechanism that moves the stage between the first position and the intermediate position;
A second moving mechanism that moves the stage between the intermediate position and the second position;
A third moving mechanism for moving the stage between the third position and the intermediate position;
Equipped with
The three moving mechanisms including the first moving mechanism, the second moving mechanism, and the third moving mechanism are respectively
A fixed part fixed to the stage,
An attaching / detaching mechanism for attaching / detaching the fixing unit to / from the stage,
Have
The stage has a through hole or a recess that engages with the fixing portion at the one end of the first direction, the other end of the first direction, and the end of the second direction, respectively. Have,
a) One of the first position, the second position, and the third position is moved by the one moving mechanism in a state where the fixed portion of one moving mechanism of the three moving mechanisms is fixed to the stage. a step of moving the stage in the intermediate position because One,
b) after the step a), fixing the fixed portion of the other moving mechanism of the three moving mechanisms to the stage;
c) separating the fixed part of the one moving mechanism from the stage after the step b),
d) after step c), by the other movement mechanism, and a step of moving the said from the intermediate position the first position, the second position and the other of said stage to one of the third position,
A transportation method having.
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