JP2017100869A - Transport device, processing device, and transport method - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 176
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 175
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 27
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Relays Between Conveyors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送装置、当該搬送装置を備えた処理装置、およびステージ上に載置された対象物を搬送する搬送方法に関する。 The present invention relates to a transport apparatus that transports an object placed on a stage, a processing apparatus including the transport apparatus, and a transport method that transports an object placed on a stage.
自動車部品などの工業製品の製造工程では、製造後の製品の外観に異常がないかどうかを調べる外観検査が行われる。外観検査は、作業者の目視により行われる場合が多い。しかしながら、作業者の目視に依存すると、複数の作業者間で、検査にかかる時間や検査結果にばらつきが生じる。また、同一の作業者であっても、体調不良や集中力の低下により、検査に時間がかかったり、欠陥の見落としが発生したりする虞がある。このため、工業製品の外観検査を、自動かつ高速に行うことができる装置の開発が求められている。 In the manufacturing process of industrial products such as automobile parts, an appearance inspection is performed to check whether the appearance of the manufactured product is normal. In many cases, the appearance inspection is performed by visual inspection of an operator. However, depending on the visual observation of the worker, the time required for the inspection and the inspection result vary among the plurality of workers. Further, even the same worker may take a long time for inspection or a defect may be overlooked due to poor physical condition or reduced concentration. For this reason, development of the apparatus which can perform the external appearance inspection of industrial products automatically and at high speed is calculated | required.
外観検査装置における検査対象物の搬送方法としては、例えば、ターンテーブルによる搬送や、ベルト搬送などが考えられる。しかしながら、検査位置において、ターンテーブルやベルトに検査対象物を載置したまま検査対象物を撮影すると、搬入・搬出位置の振動が、ターンテーブルまたはベルトを介して検査位置まで伝達する。このため、検査対象物の静止画像を撮影することが困難となる。 As a method for conveying the inspection object in the appearance inspection apparatus, for example, conveyance by a turntable or belt conveyance can be considered. However, if the inspection object is photographed while the inspection object is placed on the turntable or belt at the inspection position, vibrations at the loading / unloading position are transmitted to the inspection position via the turntable or belt. For this reason, it is difficult to capture a still image of the inspection object.
一方、検査対象物をステージ上に載置して、当該ステージをレール搬送する方式では、搬入・搬出位置の振動が検査位置まで伝達しにくい。したがって、検査位置において検査対象物を静止させつつ撮影することができる。対象物をステージ上に載置して搬送する従来の搬送方法については、例えば、特許文献1に記載されている。
On the other hand, in a method in which an inspection object is placed on a stage and the stage is transported by rail, vibrations at the loading / unloading position are difficult to be transmitted to the inspection position. Therefore, it is possible to take an image while the inspection object is stationary at the inspection position. A conventional transport method for transporting an object placed on a stage is described in
しかしながら、1つのステージを、単一の移動機構により、搬入・搬出位置と検査位置との間で往復させると、1つの検査対象物の検査中に、他の検査対象物を搬入または搬出することができない。このため、検査時間に律速されて、処理時間が増大するという問題がある。 However, when one stage is reciprocated between the loading / unloading position and the inspection position by a single moving mechanism, another inspection object is carried in or out during the inspection of one inspection object. I can't. For this reason, there is a problem that the processing time increases due to the rate being controlled by the inspection time.
一方、複数のステージを複数の移動機構を用いて移動させれば、1つの移動機構が1つのステージを検査位置に配置して検査対象物を検査する間に、他の移動機構が他のステージを搬入・搬出位置に配置して、検査対象物を搬入または搬出することができる。ただし、その場合には、複数の移動機構の間でステージを受け渡す機構が必要となる。 On the other hand, if a plurality of stages are moved using a plurality of moving mechanisms, while one moving mechanism places one stage at the inspection position and inspects the inspection object, the other moving mechanism moves to the other stage. Can be placed at the loading / unloading position to load or unload the inspection object. However, in that case, a mechanism for transferring the stage among a plurality of moving mechanisms is required.
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送装置において、複数の移動機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and in a transport apparatus that transports an object placed on a stage, the stage can be moved while delivering the stage among a plurality of moving mechanisms. The purpose is to provide technology that can be used.
上記課題を解決するため、本願の第1発明は、対象物を搬送する搬送装置であって、対象物を載置するステージと、前記ステージを移動方向に案内するレールと、前記ステージを互いに異なる向きに移動させる複数の移動機構と、を備え、前記移動機構は、それぞれ、前記ステージに固定される固定部と、前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、を有する。 In order to solve the above-described problem, the first invention of the present application is a transport device that transports an object, wherein the stage on which the object is placed, the rail that guides the stage in the moving direction, and the stage are different from each other. A plurality of moving mechanisms that move in directions, each of the moving mechanisms having a fixing portion that is fixed to the stage, and an attaching / detaching mechanism that attaches / detaches the fixing portion to / from the stage.
本願の第2発明は、第1発明の搬送装置であって、前記ステージは、貫通孔または凹部を有し、前記固定部は、前記貫通孔または前記凹部に挿入されるピンを有する。 2nd invention of this application is a conveying apparatus of 1st invention, Comprising: The said stage has a through-hole or a recessed part, The said fixing | fixed part has a pin inserted in the said through-hole or the said recessed part.
本願の第3発明は、第2発明の搬送装置であって、前記着脱機構は、前記ピンを前記貫通孔または前記凹部へ向かう方向に付勢する弾性部材を有する。 3rd invention of this application is a conveying apparatus of 2nd invention, Comprising: The said attachment / detachment mechanism has an elastic member which urges | biases the said pin in the direction which goes to the said through-hole or the said recessed part.
本願の第4発明は、第3発明の搬送装置であって、前記着脱機構は、前記貫通孔または前記凹部から離れる方向に前記ピンを移動させるエアシリンダをさらに有する。 4th invention of this application is a conveying apparatus of 3rd invention, Comprising: The said attachment / detachment mechanism further has an air cylinder which moves the said pin in the direction away from the said through-hole or the said recessed part.
本願の第5発明は、第4発明の搬送装置であって、前記エアシリンダは水平に配置され、前記着脱機構は、前記エアシリンダのロッドの水平移動を、前記ピンの昇降移動に変換する変換機構をさらに有する。 5th invention of this application is a conveying apparatus of 4th invention, Comprising: The said air cylinder is arrange | positioned horizontally, The said attachment / detachment mechanism is a conversion which converts the horizontal movement of the rod of the said air cylinder into the raising / lowering movement of the said pin. It further has a mechanism.
本願の第6発明は、第2発明から第5発明までのいずれか1発明の搬送装置であって、前記ステージは、対象物を載置するステージ本体と、前記ステージ本体に固定された受け部材と、を有し、前記受け部材が、前記貫通孔または前記凹部を有する。 6th invention of this application is the conveying apparatus of any one invention from 2nd invention to 5th invention, Comprising: The said stage is a stage main body which mounts a target object, and the receiving member fixed to the said stage main body. The receiving member has the through hole or the recess.
本願の第7発明は、第1発明から第6発明までのいずれか1発明の搬送装置であって、常時少なくとも1つの前記移動機構の前記固定部が、前記ステージに固定されるように、前記着脱機構を制御する制御部をさらに有する。 7th invention of this application is the conveying apparatus of any one invention from 1st invention to 6th invention, Comprising: The said fixing | fixed part of the said at least 1 said moving mechanism is always fixed to the said stage, A control unit for controlling the attachment / detachment mechanism is further included.
本願の第8発明は、第1発明から第7発明までのいずれか1発明の搬送装置であって、前記レールは、前記移動方向に沿って配列される第1レール、第2レール、および第3レールを含み、前記第1レール、前記第2レール、および前記第3レールは、互いに別体であり、前記第2レールは、前記第1レールおよび前記第3レールに対して交差する方向に移動可能である。 An eighth invention of the present application is the transfer device according to any one of the first to seventh inventions, wherein the rail is arranged along the moving direction, the first rail, the second rail, and the The first rail, the second rail, and the third rail are separate from each other, and the second rail is in a direction intersecting the first rail and the third rail. It is movable.
本願の第9発明は、第8発明の搬送装置であって、前記移動機構は、前記第1レールと前記第2レールとの間で、前記ステージを移動させる第1移動機構と、前記第2レールと前記第2レール上に配置されたステージとを、前記第1レールおよび前記第3レールに対して交差する方向に移動させる第2移動機構と、前記第3レールと前記第2レールとの間で、前記ステージを移動させる第3移動機構と、を有する。 A ninth invention of the present application is the transfer apparatus according to the eighth invention, wherein the moving mechanism includes a first moving mechanism for moving the stage between the first rail and the second rail; A second moving mechanism that moves a rail and a stage disposed on the second rail in a direction intersecting the first rail and the third rail, and the third rail and the second rail. And a third moving mechanism for moving the stage.
本願の第10発明は、処理装置であって、第1発明から第9発明までのいずれか1発明の搬送装置と、前記ステージ上の対象物に対して処理を行う処理部と、を備える。 A tenth invention of the present application is a processing apparatus, and includes the transfer device according to any one of the first to ninth inventions, and a processing unit that processes an object on the stage.
本願の第11発明は、第10発明の処理装置であって、前記処理部は、前記処理位置に配置された前記ステージ上の対象物を検査する検査部である。 An eleventh invention of the present application is the processing apparatus according to the tenth invention, wherein the processing unit is an inspection unit that inspects an object on the stage arranged at the processing position.
本願の第12発明は、ステージ上に載置された対象物を搬送する搬送方法であって、a)1つの移動機構により、ある位置から中間位置に前記ステージを移動させる工程と、b)前記工程a)の後に、前記ステージに、他の移動機構を固定する工程と、c)前記工程b)の後に、前記ステージから、前記1つの移動機構を切り離す工程と、d)前記工程c)の後に、前記他の移動機構により、前記中間位置から他の位置へ前記ステージを移動させる工程と、を有する。 A twelfth aspect of the present invention is a transport method for transporting an object placed on a stage, wherein: a) a step of moving the stage from a certain position to an intermediate position by one moving mechanism; b) the above After step a), a step of fixing another moving mechanism to the stage, c) a step of separating the one moving mechanism from the stage after step b), and d) of step c) And a step of moving the stage from the intermediate position to another position by the other moving mechanism.
本願の第1発明〜第12発明によれば、複数の移動機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる。 According to the first to twelfth inventions of the present application, the stage can be moved while delivering the stage among a plurality of moving mechanisms.
特に、本願の第3発明によれば、着脱機構への電力供給が停止した場合に、貫通孔または凹部からピンが外れてステージの位置がずれることを防止できる。 In particular, according to the third invention of the present application, when the power supply to the attachment / detachment mechanism is stopped, it is possible to prevent the pin from being removed from the through hole or the recessed portion and the stage from being displaced.
特に、本願の第5発明によれば、エアシリンダを水平に配置することで、着脱機構の高さ方向の寸法を抑制できる。 In particular, according to the fifth invention of the present application, the dimension of the attachment / detachment mechanism in the height direction can be suppressed by arranging the air cylinder horizontally.
特に、本願の第6発明によれば、ピンの挿入によりステージ本体が損傷することを抑制できる。 In particular, according to the sixth invention of the present application, it is possible to prevent the stage body from being damaged by the insertion of the pins.
特に、本願の第7発明または第12発明によれば、ステージが意図しない方向へ移動することを防止できる。 In particular, according to the seventh or twelfth invention of the present application, the stage can be prevented from moving in an unintended direction.
特に、本願の第8発明によれば、第2レール上に配置されたステージを、第2レールとともに、第1レールおよび第3レールに対して交差する方向に移動させることができる。このような構造では、第1レールと第3レールとの間で、1つの搬送機構でステージを搬送することが困難であるが、本発明によれば、2つの搬送機構の間でステージを受け渡しながら、ステージを移動させることができる。 In particular, according to the eighth invention of the present application, the stage disposed on the second rail can be moved together with the second rail in a direction intersecting the first rail and the third rail. In such a structure, it is difficult to transfer the stage between the first rail and the third rail by one transfer mechanism, but according to the present invention, the stage is transferred between the two transfer mechanisms. However, the stage can be moved.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
<1.外観検査装置の構成>
図1および図2は、本発明の一実施形態に係る搬送装置1を備えた検査装置100の上面図である。図3および図4は、検査装置100の正面図である。この検査装置100は、立体的な形状を有する検査対象物9を複数のカメラ201で撮影し、得られた画像に基づいて、検査対象物9の状態を検査する装置である。検査装置100は、例えば、検査対象物9となる工業製品に取り付けられた複数の部品の位置や取り付け状態が、正常であるか否かを検査するために用いられる。
<1. Configuration of appearance inspection device>
1 and 2 are top views of an
図1〜図4に示すように、本実施形態の検査装置100は、検査対象物9を搬送する搬送装置1と、検査対象物9を検査する検査部2と、を備えている。また、搬送装置1は、2つのステージ10と、互いに別体の第1レール21、第2レール22、第3レール23、および予備レール24と、第1移動機構31、第2移動機構32、第3移動機構33、および第4移動機構34と、搬送制御部40とを備えている。
As shown in FIGS. 1 to 4, the
ステージ10は、検査対象物9を載置する板状の部材である。2つのステージ10は、それぞれ、水平に広がる上面を有する。検査対象物9は、ステージ10上面に載置されるとともに、ステージ10に対して固定される。したがって、各ステージ10に載置された検査対象物9は、ステージ10とともに移動する。搬送装置1は、複数の検査対象物9を、2つのステージ10を用いて順次に搬送する。したがって、検査装置100の稼働時には、検査装置100内に、2つの検査対象物9が同時に存在する場合がある。
The
搬送装置1は、搬入位置P1、中間位置Pm、検査位置P2、および搬出位置P3の間で、ステージ10を搬送する。搬入位置P1は、検査前の検査対象物9をステージ10上に搬入する位置である。検査位置P2は、検査部2内において、ステージ10上に載置された検査対象物9を検査する位置(処理位置)である。搬出位置P3は、検査後の検査対象物9をステージ10から搬出する位置である。本実施形態では、搬入位置P1が第1位置となり、検査位置P2が第2位置となり、搬出位置P3が第3位置となる。
The
本実施形態では、搬入位置P1、中間位置Pm、および搬出位置P3が、この順に、直線状に配列されている。また、検査位置P2は、中間位置Pmに隣接し、かつ、搬入位置P1、中間位置Pm、および搬出位置P3を結ぶ直線から外れた位置に配置されている。また、搬入位置P1、中間位置Pm、検査位置P2、および搬出位置P3は、同一の水平面内に配置されている。 In the present embodiment, the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3 are arranged linearly in this order. Further, the inspection position P2 is disposed adjacent to the intermediate position Pm and deviated from a straight line connecting the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3. Further, the carry-in position P1, the intermediate position Pm, the inspection position P2, and the carry-out position P3 are arranged in the same horizontal plane.
なお、以下では、搬入位置P1、中間位置Pm、および搬出位置P3の配列方向を「第1方向」と称する。また、中間位置Pmおよび検査位置P2の配列方向を「第2方向」と称する。本実施形態では、第1方向と第2方向とは、互いに直交する。 Hereinafter, the arrangement direction of the carry-in position P1, the intermediate position Pm, and the carry-out position P3 is referred to as a “first direction”. The arrangement direction of the intermediate position Pm and the inspection position P2 is referred to as a “second direction”. In the present embodiment, the first direction and the second direction are orthogonal to each other.
第1レール21は、搬入位置P1から中間位置Pmへ向けて延びるガイドレールである。第1レール21は、第2方向に配列され、各々が第1方向に延びる一対の第1レール部材211を有する。第1レール21上にステージ10を配置したときには、ステージ10の下面に設けられた一対の被案内部101が、第1レール部材211に対して、第1方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ10は、第1レール21に沿って、第1方向に案内される。
The
第2レール22は、中間位置Pmと検査位置P2との間で位置を変更することが可能なガイドレールである。図1および図3のように、第2レール22を中間位置Pmに配置すると、第1レール21と第3レール23との間に、第2レール22が介挿される。第2レール22は、第2方向に配列され、各々が第1方向に延びる一対の第2レール部材221を有する。第2レール22上にステージ10を配置したときには、ステージ10の下面に設けられた一対の被案内部101が、第2レール部材221に対して、第1方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ10は、第2レール22に沿って、第1方向に案内される。
The
第3レール23は、搬出位置P3から中間位置Pmへ向けて延びるガイドレールである。第3レール23は、第2方向に配列され、各々が第1方向に延びる一対の第3レール部材231を有する。第3レール23上にステージ10を配置したときには、ステージ10の下面に設けられた一対の被案内部101が、第3レール部材231に対して、第1方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ10は、第3レール23に沿って、第1方向に案内される。
The
予備レール24は、中間位置Pmと、中間位置Pmの下方に位置する待機位置Pwとの間で、位置を変更することが可能なガイドレールである。予備レール24は、図2および図4のように、第2レール22を検査位置P2に移動させたときに、第2レール22に代わって、中間位置Pmに配置される。予備レール24を中間位置Pmに配置すると、第1レール21と第3レール23との間に、予備レール24が介在する。予備レール24は、第2方向に配列され、各々が第1方向に延びる一対の予備レール部材241を有する。予備レール24上にステージ10を配置したときには、ステージ10の下面に設けられた一対の被案内部101が、予備レール部材241に対して、第1方向にスライド移動可能に係合される。これにより、ステージ10は、予備レール24に沿って、第1方向に案内される。
The
第1移動機構31は、搬入位置P1と中間位置Pmとの間で、ステージ10を移動させる機構である。第1移動機構31は、第1レール21と、中間位置Pmに配置された第2レール22または予備レール24とに沿って、ステージ10を第1方向に移動させる。第2移動機構32は、検査位置P2と中間位置Pmとの間で、ステージ10を移動させる機構である。第2移動機構32は、第2レール22上に載置されたステージ10を第2方向に移動させることによって、ステージ10とともに第2レール22を第2方向に移動させる。第3移動機構33は、搬出位置P3と中間位置Pmとの間で、ステージ10を移動させる機構である。第3移動機構33は、第3レール23と、中間位置Pmに配置された第2レール22または予備レール24とに沿って、ステージ10を第1方向に移動させる。
The first moving
すなわち、第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33は、中間位置Pmと、中間位置Pmに対して互いに異なる向きに配置された搬入位置P1、検査位置P2、および搬出位置P3との間で、それぞれステージ10を移動させることができる。搬送装置1は、第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33の間でステージ10を受け渡しながら、ステージ10を移動させる。
That is, the first moving
第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33は、いずれも同等の機構を有する。図5は、当該機構の構造を示した図である。図5に示すように、第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33は、それぞれ、駆動源であるモータ51と、ボールねじ52と、ナット部材53とを有する。
The first moving
ボールねじ52は、各移動機構におけるステージ10の移動方向と平行に延び、その一端がモータ51に接続されている。ナット部材53は、ボールねじ52の外周面に設けられた螺旋状のねじ溝と噛み合うように、ボールねじ52に取り付けられている。モータ51を駆動させると、ボールねじ52がその軸心周りに回転する。これにより、ナット部材53が、ボールねじ52に沿って移動する。すなわち、モータ51の回転運動が、ボールねじ52を介してナット部材53の直進運動に変換される。
The ball screw 52 extends in parallel with the moving direction of the
また、各移動機構31〜33は、さらに、一対の固定ピン54と、ステージ10に対して固定ピン54を着脱する着脱機構55とを有する。一対の固定ピン54は、ナット部材53よりも中間位置Pm側に配列され、各々が上下方向に延びている。一対の固定ピン54の下部は、共通の支持部材56に固定されている。
Each of the moving
ここで、本実施形態のステージ10の構造について、説明する。図6は、ステージ10の上面図である。図6に示すように、ステージ10は、矩形状のステージ本体11と、3つの受け部材12とを有する。検査対象物9は、ステージ本体11の上面に載置される。3つの受け部材12は、ステージ本体11の搬入位置P1側の端縁付近、検査位置P2側の端縁付近、および搬出位置P3側の端縁付近に、それぞれ固定されている。ステージ本体11の材料には、例えば、鉄が用いられる。受け部材12の材料には、例えば、固定ピン54との接触により損傷が生じにくい銅合金が用いられる。
Here, the structure of the
図7は、受け部材12の付近におけるステージ10の部分縦断面図である。図6および図7に示すように、各受け部材12には、一対の貫通孔13が設けられている。一対の貫通孔13は、ステージ10の端縁に沿って配列され、各々が受け部材12を上下方向に貫通する。貫通孔13への固定ピン54の挿入を円滑に行うために、各貫通孔13の下部には、下方へ向かうにつれて拡径するテーパ面131が設けられている。また、本実施形態では、ステージ本体11とは別の部材である受け部材12に、貫通孔13が設けられている。このため、固定ピン54の挿入によるステージ本体11の損傷が抑制される。
FIG. 7 is a partial longitudinal sectional view of the
図5に戻る。着脱機構55は、ステージ10の貫通孔13に対して、一対の固定ピン54を着脱するための機構である。図5に示すように、着脱機構55は、エアシリンダ61、変換機構62、およびコイルばね63を有する。エアシリンダ61は、第1方向に沿って水平に配置されている。エアシリンダ61は、シリンダ本体611とロッド612とを有する。ロッド612は、シリンダ本体611に供給される空気圧によって第1方向に進退する。
Returning to FIG. The attachment /
変換機構62は、ロッド612の水平移動を、固定ピン54の昇降移動に変換する機構である。本実施形態の変換機構62は、L字部材620を有する。L字部材620は、ナット部材53の移動方向に対して垂直かつ水平な回転軸629を中心として回転する板状の部材である。L字部材620は、回転軸629の周りにおいて略90°離れた2つのアーム621,622を有する。一方のアーム621は、エアシリンダ61のロッド612の先端に接続されている。他方のアーム622は、支持部材56に接続されている。L字部材620は、回転軸629を中心として回転することで、ロッド612の第1方向の水平移動を、支持部材56および一対の固定ピン54の昇降移動に変換する。
The
コイルばね63は、固定ピン54を、ステージ10の貫通孔13へ向かう方向に付勢するための弾性部材である。コイルばね63は、エアシリンダ61のシリンダ本体611とロッド612の先端との間に、自然長よりも圧縮された状態で介挿されている。エアシリンダ61のシリンダ本体611に空気圧が供給されていない状態では、コイルばね63の反発力によって、ロッド612は中間位置側へ突出した状態となる。そうすると。L字部材620を介して、支持部材56および一対の固定ピン54が上昇する。
The
上昇した一対の固定ピン54は、ステージ10の貫通孔13に、それぞれ挿入される。これにより、ナット部材53とステージ10とが、第1方向に相対移動不能に固定される。すなわち、本実施形態では、一対の固定ピン54が、ステージ10に固定される固定部となる。一対の固定ピン54が貫通孔13に挿入された状態で、モータ51を駆動させると、ナット部材53とともにステージ10が、ボールねじ52と平行に移動する。
The pair of raised fixing
一方、エアシリンダ61のシリンダ本体611に空気圧を供給すると、ロッド612は、コイルばね63の反発力に抗して、シリンダ本体611側へ移動する。そうすると、L字部材620を介して、支持部材56および一対の固定ピン54が下降する。これにより、ステージ10の貫通孔13から、一対の固定ピン54が引き抜かれる。その結果、ナット部材53に対するステージ10の固定が解除される。
On the other hand, when air pressure is supplied to the
後述する搬送制御部40は、常時、第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33のうちの少なくとも1つの移動機構の固定ピン54が、ステージ10の貫通孔13に挿入されるように、着脱機構55を制御する。ステージ10は、常に、第1移動機構31、第2移動機構32、および第3移動機構33のうちの少なくとも1つの移動機構によって保持される。これにより、ステージ10が意図しない方向へ移動することが、防止されている。
In the
また、本実施形態では、停電等でエアシリンダ61への電力供給が停止した場合には、コイルばね63の反発力によって、ロッド612が中間位置側へ突出し、固定ピン54が上昇状態となる。したがって、固定ピン54は、貫通孔13に挿入された状態に維持される。したがって、停電時に、貫通孔13から固定ピン54が外れてステージ10の位置がずれることを防止できる。
In the present embodiment, when power supply to the
図3および図4に戻る。第4移動機構34は、中間位置Pmと待機位置Pwとの間で、予備レール24を昇降移動させる機構である。第4移動機構34は、予備レール24の下方に鉛直に配置されたエアシリンダ70を有する。エアシリンダ70は、シリンダ本体71とロッド72とを有する。予備レール24は、ロッド72の上端部に固定される。ロッド72は、シリンダ本体71に供給される空気圧によって上下方向に進退する。これにより、予備レール24を上下に昇降移動させることができる。
Returning to FIG. 3 and FIG. The fourth moving
本実施形態では、第2レール22上に配置されたステージ10を、中間位置Pmから検査位置P2へ、第2レール22ごと移動させることができる。そして、第2レール22の代わりに、中間位置Pmに予備レール24を配置することができる。したがって、1つのステージ10を検査位置P2に配置しつつ、搬入位置P1と搬出位置P3との間で他のステージ10を移動させることができる。
In the present embodiment, the
搬送制御部40は、搬送装置1内の各部を動作制御するための手段である。図1および図2中に概念的に示したように、搬送制御部40は、CPU等の演算処理部41、RAM等のメモリ42、およびハードディスクドライブ等の記憶部43を有するコンピュータにより構成される。記憶部43内には、検査対象物9の搬送処理を実行するためのコンピュータプログラム44が、インストールされている。
The
図8は、搬送制御部40と、搬送装置1内の各部との接続構成を示したブロック図である。図8に示すように、搬送制御部40は、上述した第1移動機構31のモータ51、第1移動機構31のエアシリンダ61、第2移動機構32のモータ51、第2移動機構32のエアシリンダ61、第3移動機構33のモータ51、第3移動機構33のエアシリンダ61、および第4移動機構34のエアシリンダ70と、それぞれ通信可能に接続されている。搬送制御部40は、記憶部43に記憶されたコンピュータプログラム44をメモリ42に一時的に読み出し、当該コンピュータプログラム44に基づいて、演算処理部41が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、複数の検査対象物9の搬送が、順次に進行する。
FIG. 8 is a block diagram illustrating a connection configuration between the
検査部2は、検査位置P2に配置されたステージ10上の検査対象物9を検査するための処理部である。図1および図2に示すように、検査部2は、複数のカメラ201と、複数の光照射部202と、画像処理部203とを有する。複数のカメラ201は、検査対象物9の検査すべき箇所に、それぞれ向けられている。カメラ201には、例えば、CCDやCMOS等の受光素子を有し、多階調のデジタル画像を取得可能なカメラが用いられる。光照射部202には、例えば、LED(発光ダイオード)が用いられる。
The
検査部2は、光照射部202を発光させつつ、カメラ201による撮影を行うことにより、検査対象物9の検査すべき箇所の画像を取得する。取得された画像は、画像処理部203へ入力される。画像処理部203は、取得された画像と、正常な検査対象物9の画像とを比較する。そして、その比較結果に基づいて、各検査対象物9の状態に、欠陥がないかどうかを判断する。
The
なお、画像処理部203には、例えば、CPU等の演算処理部、RAM等のメモリ、およびハードディスクドライブ等の記憶部を有するコンピュータが用いられる。搬送制御部40と画像処理部203とは、同一のコンピュータにより実現されていてもよい。
As the
<2.検査装置の動作について>
続いて、上述した検査装置100における検査対象物9の搬送および検査の流れについて、説明する。図9および図10は、検査装置100における検査対象物9の搬送および検査の流れを示したフローチャートである。図11〜図27は、各時点におけるステージ10の位置を示した図である。以下の動作におけるステージ10の動きは、搬送制御部40が、第1移動機構31、第2移動機構32、第3移動機構33、および第4移動機構34を動作制御することによって実現される。
<2. About operation of inspection equipment>
Subsequently, the conveyance of the
この検査装置100では、最初の検査対象物9を搬入する前に、まず、第2レール22を中間位置Pmに配置し、予備レール24を待機位置Pwに配置する。また、2つのステージ10のうちの一方(以下、「第1ステージ10a」と称する)を、第1レール21上の搬入位置P1に配置する。そして、2つのステージ10のうちの他方(以下、「第2ステージ10b」と称する)を、第3レール23上の搬出位置P3に配置する。
In this
検査装置100のオペレータは、まず、搬入位置P1に配置された第1ステージ10aの上面に、検査対象物9を搬入する(ステップS1,図11の状態)。なお、検査対象物9の搬入作業は、図示しないフィーダによって、自動的に行われてもよい。搬入された検査対象物9は、第1ステージ10aの上面に、予め定められた向きで載置される。
The operator of the
次に、第1移動機構31は、第1ステージ10aを、搬入位置P1から中間位置Pmへ移動させる(ステップS2,図12の状態)。これにより、第1ステージ10a上の検査対象物9も、搬入位置P1から中間位置Pmへ移動する。
Next, the first moving
続いて、第1移動機構31から第2移動機構32への、第1ステージ10aの受け渡しが行われる(ステップS3)。具体的には、まず、第2移動機構32が、第1ステージ10aの検査位置P2側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第1ステージ10aが第2移動機構32に保持される。次に、第1移動機構31が、第1ステージ10aの搬入位置P1側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第1ステージ10aから第1移動機構31が切り離される。
Subsequently, the
その後、第2移動機構32は、第1ステージ10aを、中間位置Pmから検査位置P2へ移動させる(ステップS4,図13の状態)。これにより、第1ステージ10a上の検査対象物9も、中間位置Pmから検査位置P2へ移動する。
Thereafter, the second moving
検査対象物9を載置した第1ステージ10aが、検査位置P2に配置されると、検査部2は、第1ステージ10a上の検査対象物9を検査する(ステップS5)。具体的には、複数の光照射部202を発光させつつ、複数のカメラ201による撮影を行う。これにより、検査対象物9の検査すべき箇所の画像が取得される。画像処理部203は、取得された画像に基づいて、検査対象物9の検査すべき箇所が、それぞれ正常であるか否かを判断する。
When the
一方、ステップS4の後、第4移動機構34は、予備レール24を、待機位置Pwから中間位置Pmへ上昇させる(ステップS6)。これにより、第1レール21と第3レール23との間に、第2レール22に代わって、予備レール24が配置される。この搬送装置1では、ステップS4における第2レール22の移動と、ステップS6における予備レール24の移動とが、連動して実行される。
On the other hand, after step S4, the fourth moving
予備レール24が中間位置Pmに配置されると、第3移動機構33は、第2ステージ10bを、搬出位置P3から中間位置Pmへ移動させる(ステップS7,図14の状態)。
When the
続いて、第3移動機構33から第1移動機構31への、第2ステージ10bの受け渡しが行われる(ステップS8)。具体的には、まず、第1移動機構31が、第2ステージ10bの搬入位置P1側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第2ステージ10bが第1移動機構31に保持される。次に、第3移動機構33が、第2ステージ10bの搬出位置P3側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第2ステージ10bから第3移動機構33が切り離される。
Subsequently, the
その後、第1移動機構31は、第2ステージ10bを、中間位置Pmから搬入位置P1へ移動させる(ステップS9,図15の状態)。第2ステージ10bが搬入位置P1に配置されると、第4移動機構34は、予備レール24を、中間位置Pmから再び待機位置Pwへ下降させる(ステップS10)。また、検査装置100のオペレータは、搬入位置P1に配置された第2ステージ10bの上面に、次の検査対象物9を搬入する(ステップS11,図16の状態)。
Thereafter, the first moving
検査部2による検査が終了すると、第2移動機構32は、第1ステージ10aを、検査位置P2から中間位置Pmへ移動させる(ステップS12,図17の状態)。これにより、第1ステージ10a上の検査対象物9も、検査位置P2から中間位置Pmへ移動する。
When the inspection by the
続いて、第2移動機構32から第3移動機構33への、第1ステージ10aの受け渡しが行われる(ステップS13)。具体的には、まず、第3移動機構33が、第1ステージ10aの搬出位置P3側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第1ステージ10aが第3移動機構33に保持される。次に、第2移動機構32が、第1ステージ10aの検査位置P2側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第1ステージ10aから第2移動機構32が切り離される。
Subsequently, the
その後、第3移動機構33は、第1ステージ10aを、中間位置Pmから搬出位置P3へ移動させる(ステップS14,図18の状態)。これにより、第1ステージ10a上の検査対象物9も、中間位置Pmから搬出位置P3へ移動する。検査装置100のオペレータは、搬出位置P3に配置された第1ステージ10aの上面から、検査後の検査対象物9を搬出する(ステップS15,図19の状態)。
Thereafter, the third moving
次に、第1移動機構31は、第2ステージ10bを、搬入位置P1から中間位置Pmへ移動させる(ステップS16,図20の状態)。これにより、第2ステージ10b上の検査対象物9も、搬入位置P1から中間位置Pmへ移動する。
Next, the first moving
続いて、第1移動機構31から第2移動機構32への、第2ステージ10bの受け渡しが行われる(ステップS17)。具体的には、まず、第2移動機構32が、第2ステージ10bの検査位置P2側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第2ステージ10bが第2移動機構32に保持される。次に、第1移動機構31が、第2ステージ10bの搬入位置P1側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第2ステージ10bから第1移動機構31が切り離される。
Subsequently, the
その後、第2移動機構32は、第2ステージ10bを、中間位置Pmから検査位置P2へ移動させる(ステップS18,図21の状態)。これにより、第2ステージ10b上の検査対象物9も、中間位置Pmから検査位置P2へ移動する。
Thereafter, the second moving
検査対象物9を載置した第2ステージ10bが、検査位置P2に配置されると、検査部2は、第2ステージ10b上の検査対象物9を検査する(ステップS19)。具体的には、複数の光照射部202を発光させつつ、複数のカメラ201による撮影を行う。これにより、検査対象物9の検査すべき箇所の画像が取得される。画像処理部203は、取得された画像に基づいて、検査対象物9の検査すべき箇所が、それぞれ正常であるか否かを判断する。
When the
一方、ステップS18の後、第4移動機構34は、予備レール24を、待機位置Pwから中間位置Pmへ上昇させる(ステップS20)。これにより、第1レール21と第3レール23との間に、第2レール22に代わって、予備レール24が配置される。この搬送装置1では、ステップS18における第2レール22の移動と、ステップS20における予備レール24の移動とが、連動して実行される。
On the other hand, after step S18, the fourth moving
予備レール24が中間位置Pmに配置されると、第3移動機構33は、第1ステージ10aを、搬出位置P3から中間位置Pmへ移動させる(ステップS21,図22の状態)。
When the
続いて、第3移動機構33から第1移動機構31への、第1ステージ10aの受け渡しが行われる(ステップS22)。具体的には、まず、第1移動機構31が、第1ステージ10aの搬入位置P1側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第1ステージ10aが第1移動機構31に保持される。次に、第3移動機構33が、第1ステージ10aの搬出位置P3側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第1ステージ10aから第3移動機構33が切り離される。
Subsequently, the
その後、第1移動機構31は、第1ステージ10aを、中間位置Pmから搬入位置P1へ移動させる(ステップS23,図23の状態)。第1ステージ10aが搬入位置P1に配置されると、第4移動機構34は、予備レール24を、中間位置Pmから再び待機位置Pwへ下降させる(ステップS24)。また、検査装置100のオペレータは、搬入位置P1に配置された第1ステージ10aの上面に、次の検査対象物9を搬入する(ステップS25,図24の状態)。
Thereafter, the first moving
検査部2による検査が終了すると、第2移動機構32は、第2ステージ10bを、検査位置P2から中間位置Pmへ移動させる(ステップS26,図25の状態)。これにより、第2ステージ10b上の検査対象物9も、検査位置P2から中間位置Pmへ移動する。
When the inspection by the
続いて、第2移動機構32から第3移動機構33への、第2ステージ10bの受け渡しが行われる(ステップS27)。具体的には、まず、第3移動機構33が、第2ステージ10bの搬出位置P3側の端辺に設けられた一対の貫通孔13に、一対の固定ピン54を挿入する。これにより、第2ステージ10bが第3移動機構33に保持される。次に、第2移動機構32が、第2ステージ10bの検査位置P2側の端辺に設けられた一対の貫通孔13から、一対の固定ピン54を引き抜く。これにより、第2ステージ10bから第2移動機構32が切り離される。
Subsequently, the
その後、第3移動機構33は、第2ステージ10bを、中間位置Pmから搬出位置P3へ移動させる(ステップS28,図26の状態)。これにより、第2ステージ10b上の検査対象物9も、中間位置Pmから搬出位置P3へ移動する。検査装置100のオペレータは、搬出位置P3に配置された第2ステージ10bの上面から、検査後の検査対象物9を搬出する(ステップS29,図27の状態)。
Thereafter, the third moving
その後、ステップS2に戻り、検査装置100は、ステップS2〜S29の処理を繰り返す。
Thereafter, the process returns to step S2, and the
以上のように、この搬送装置1では、1つのステージ10を検査位置P2に配置しつつ、他のステージ10を、搬出位置P3から中間位置Pmを経て搬入位置P1へ移動させることができる。このため、1つのステージ10を搬出位置P3まで移動させ、他のステージ10を搬入位置P1から検査位置P2に移動させた後、先に移動させたステージ10を、他のステージ10に妨害されずに、搬出位置P3から搬入位置P1へ移動させることができる。このため、帰還用の搬送経路を別に設けることなく、2つのステージ10による検査対象物9の搬送処理を、効率よく行うことができる。
As described above, in the
特に、本実施形態では、ステージ10を中間位置Pmから検査位置P2に移動させるときに、ステージ10とともに第2レール22も、検査位置P2に移動させる。そして、中間位置Pmに、第2レール22に代えて予備レール24を配置する。このような構造では、第1レール21と第3レール23との間で、1つの搬送機構でステージ10を搬送することが困難である。しかしながら、本実施形態の構造では、第1移動機構31と第3移動機構33との間でステージ10を受け渡しながら、ステージ10を移動させることができる。
In particular, in the present embodiment, when the
<3.変形例>
以上、本発明の主たる実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
<3. Modification>
As mentioned above, although main embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment.
上記の実施形態では、第1位置を搬入位置とし、第2位置を検査位置とし、第3位置を搬出位置としていた。すなわち、搬入位置、中間位置、および搬出位置が、直線状に配置されていた。このようにすれば、搬入位置から搬出位置までの直線状の搬送経路と、搬送経路に隣接する処理位置を含む処理部とを、コンパクトに配置することができる。 In the above embodiment, the first position is the carry-in position, the second position is the inspection position, and the third position is the carry-out position. That is, the carry-in position, the intermediate position, and the carry-out position are arranged linearly. If it does in this way, the linear conveyance path | route from a carrying-in position to a carrying-out position and the process part containing the processing position adjacent to a conveyance path | route can be arrange | positioned compactly.
しかしながら、例えば、図28のように、第2位置を搬入位置としてもよい。この場合、第1位置を、搬出位置および検査位置のいずれか一方とし、第3位置を搬出位置および検査位置の他方とすればよい。また、例えば、図29のように、第2位置を搬出位置としてもよい。この場合、第1位置を、搬入位置および検査位置のいずれか一方とし、第3位置を搬入位置および検査位置の他方とすればよい。 However, for example, as shown in FIG. 28, the second position may be the loading position. In this case, the first position may be one of the unloading position and the inspection position, and the third position may be the other of the unloading position and the inspection position. Further, for example, as shown in FIG. 29, the second position may be set as the carry-out position. In this case, the first position may be one of the carry-in position and the inspection position, and the third position may be the other of the carry-in position and the inspection position.
このように、第2位置を搬入位置または搬出位置にすれば、上記の実施形態よりも、搬入位置と搬出位置との距離が近くなる。したがって、搬入位置と搬出位置との間の作業位置Poに配置された同一のロボットまたは同一の作業者によって、検査対象物の搬入および搬出を行いやすくなる。 Thus, if the 2nd position is made into a carrying-in position or a carrying-out position, the distance of a carrying-in position and a carrying-out position will become near rather than said embodiment. Therefore, it becomes easy to carry in and carry out the inspection object by the same robot or the same worker arranged at the work position Po between the carry-in position and the carry-out position.
また、上記の実施形態では、1つの検査装置内に存在する検査位置が1箇所のみであった。しかしながら、図30のように、1つの検査装置内に、2つの検査位置P2を設けてもよい。この場合、検査対象物9が載置された2つのステージ10を、第1検査位置P2および第2検査位置P2にそれぞれ配置している間に、他の1つのステージ10を、搬出位置P3から搬入位置P1へ移動させるようにすればよい。図30の例では、搬送装置内において、3つのステージ10を移動させることができる。
In the above-described embodiment, only one inspection position exists in one inspection apparatus. However, as shown in FIG. 30, two inspection positions P2 may be provided in one inspection apparatus. In this case, while the two
同様に、検査位置の数を3つ以上としてもよい。その場合、ステージの数は、搬入位置、搬出位置、および検査位置の合計数よりも1少ない数とすればよい。 Similarly, the number of inspection positions may be three or more. In that case, the number of stages may be one less than the total number of carry-in positions, carry-out positions, and inspection positions.
また、上記の実施形態では、予備レールを待機させるための待機位置が、中間位置の下方に配置されていた。これにより、搬送装置の水平方向の広がりが抑制されていた。しかしながら、予備レールを待機させるための待機位置は、他の位置であってもよい。例えば、第2方向に十分なスペースがある場合には、中間位置に対して第2位置とは反対側に、待機位置を配置してもよい。 Moreover, in said embodiment, the standby position for making a standby rail wait was arrange | positioned under the intermediate position. Thereby, the spread of the horizontal direction of the conveying apparatus was suppressed. However, the standby position for waiting the spare rail may be another position. For example, when there is sufficient space in the second direction, the standby position may be arranged on the opposite side of the second position from the intermediate position.
また、上記の実施形態では、ステージに設けられた貫通孔に、固定ピンが挿入されていた。しかしながら、ステージは、貫通孔に代えて凹部を有し、当該凹部にピンを挿入する構造であってもよい。あるいは、移動機構側に、固定部としての貫通孔または凹部を設け、ステージ側に、当該貫通孔または凹部に挿入される凸部を設けてもよい。また、一対の部材による挟持などの他の方法で、ナット部材に対してステージを固定してもよい。 In the above embodiment, the fixing pin is inserted into the through hole provided in the stage. However, the stage may have a recess instead of the through hole, and a pin may be inserted into the recess. Or the through-hole or recessed part as a fixing | fixed part may be provided in the moving mechanism side, and the convex part inserted in the said through-hole or recessed part may be provided in the stage side. Moreover, you may fix a stage with respect to a nut member by other methods, such as clamping by a pair of member.
また、上記の実施形態では、貫通孔または凹部へ向かう方向にピンを付勢するための弾性部材として、コイルばねが用いられていた。しかしながら、コイルばねに代えて、板ばねやゴムなどの他の弾性部材を用いて、ピンを付勢してもよい。 Moreover, in said embodiment, the coil spring was used as an elastic member for energizing a pin in the direction which goes to a through-hole or a recessed part. However, the pin may be biased by using another elastic member such as a leaf spring or rubber instead of the coil spring.
また、上記の実施形態では、エアシリンダを水平に配置していた。そして、ロッドの水平移動を、L字部材を介して昇降移動に変換していた。このように、エアシリンダを水平に配置すれば、着脱機構の高さ方向の寸法を抑制できる。しかしながら、高さ方向のスペースが十分にある場合には、L字部材を省略し、エアシリンダを鉛直方向に配置してもよい。 In the above embodiment, the air cylinder is horizontally arranged. And the horizontal movement of the rod was converted into the raising / lowering movement via the L-shaped member. Thus, if the air cylinder is disposed horizontally, the dimension of the attaching / detaching mechanism in the height direction can be suppressed. However, when there is sufficient space in the height direction, the L-shaped member may be omitted and the air cylinder may be arranged in the vertical direction.
また、上記の実施形態では、検査位置に配置されたステージ上の検査対象物に対して、検査を行う装置について説明した。しかしながら、本発明の搬送装置の適用対象は、ステージ上の対象物に対して、検査以外の処理を行う処理装置であってもよい。例えば、ステージ上の対象物に対して、塗布、描画、印刷等の処理を行う装置に、本発明を適用してもよい。 In the above-described embodiment, an apparatus for inspecting an inspection object on a stage arranged at an inspection position has been described. However, the application target of the transfer apparatus of the present invention may be a processing apparatus that performs processing other than inspection on an object on a stage. For example, the present invention may be applied to an apparatus that performs processing such as coating, drawing, and printing on an object on a stage.
また、搬送装置の細部の形状や、検査装置の細部の形状については、本願の各図と相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。 Further, the detailed shape of the transport device and the detailed shape of the inspection device may be different from those in the drawings of the present application. Moreover, you may combine suitably each element which appeared in said embodiment and modification in the range which does not produce inconsistency.
1 搬送装置
2 検査部
9 検査対象物
10 ステージ
10a 第1ステージ
10b 第2ステージ
11 ステージ本体
12 受け部材
13 貫通孔
21 第1レール
22 第2レール
23 第3レール
24 予備レール
31 第1移動機構
32 第2移動機構
33 第3移動機構
34 第4移動機構
40 搬送制御部
51 モータ
52 ボールねじ
53 ナット部材
54 固定ピン
55 着脱機構
56 支持部材
61 エアシリンダ
62 変換機構
63 コイルばね
70 エアシリンダ
100 検査装置
101 被案内部
131 テーパ面
201 カメラ
202 光照射部
203 画像処理部
P1 搬入位置
P2 検査位置
P3 搬出位置
Pm 中間位置
Pw 待機位置
Po 作業位置
DESCRIPTION OF
Claims (12)
対象物を載置するステージと、
前記ステージを移動方向に案内するレールと、
前記ステージを互いに異なる向きに移動させる複数の移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、それぞれ、
前記ステージに固定される固定部と、
前記固定部を前記ステージに対して着脱する着脱機構と、
を有する搬送装置。 A transport device for transporting an object,
A stage on which the object is placed;
A rail for guiding the stage in the moving direction;
A plurality of moving mechanisms for moving the stage in different directions;
With
The moving mechanisms are respectively
A fixing portion fixed to the stage;
An attachment / detachment mechanism for attaching / detaching the fixing portion to / from the stage;
Conveying device having
前記ステージは、貫通孔または凹部を有し、
前記固定部は、前記貫通孔または前記凹部に挿入されるピンを有する搬送装置。 It is a conveying apparatus of Claim 1, Comprising:
The stage has a through hole or a recess,
The conveying device having a pin inserted into the through hole or the recess.
前記着脱機構は、
前記ピンを前記貫通孔または前記凹部へ向かう方向に付勢する弾性部材
を有する搬送装置。 It is a conveyance apparatus of Claim 2, Comprising:
The attachment / detachment mechanism is
A conveying apparatus having an elastic member that urges the pin in a direction toward the through hole or the recess.
前記着脱機構は、
前記貫通孔または前記凹部から離れる方向に前記ピンを移動させるエアシリンダ
をさらに有する搬送装置。 It is a conveyance apparatus of Claim 3, Comprising:
The attachment / detachment mechanism is
The conveying apparatus which further has an air cylinder which moves the said pin in the direction away from the said through-hole or the said recessed part.
前記エアシリンダは水平に配置され、
前記着脱機構は、
前記エアシリンダのロッドの水平移動を、前記ピンの昇降移動に変換する変換機構
をさらに有する搬送装置。 It is a conveyance apparatus of Claim 4, Comprising:
The air cylinder is arranged horizontally;
The attachment / detachment mechanism is
The conveying apparatus which further has the conversion mechanism which converts the horizontal movement of the rod of the said air cylinder into the raising / lowering movement of the said pin.
前記ステージは、
対象物を載置するステージ本体と、
前記ステージ本体に固定された受け部材と、
を有し、
前記受け部材が、前記貫通孔または前記凹部を有する搬送装置。 It is a conveying apparatus of any one of Claim 2-5, Comprising:
The stage is
A stage body on which an object is placed;
A receiving member fixed to the stage body;
Have
The conveying apparatus in which the receiving member has the through hole or the concave portion.
常時少なくとも1つの前記移動機構の前記固定部が、前記ステージに固定されるように、前記着脱機構を制御する制御部
をさらに有する搬送装置。 It is a conveyance apparatus of any one of Claim 1- Claim 6, Comprising:
The transport apparatus further comprising a control unit that controls the attachment / detachment mechanism so that the fixed unit of the at least one moving mechanism is always fixed to the stage.
前記レールは、前記移動方向に沿って配列される第1レール、第2レール、および第3レールを含み、
前記第1レール、前記第2レール、および前記第3レールは、互いに別体であり、
前記第2レールは、前記第1レールおよび前記第3レールに対して交差する方向に移動可能である搬送装置。 It is a conveying apparatus of any one of Claim 1- Claim 7, Comprising:
The rail includes a first rail, a second rail, and a third rail arranged along the moving direction,
The first rail, the second rail, and the third rail are separate from each other;
The transfer device is capable of moving in a direction intersecting the first rail and the third rail.
前記移動機構は、
前記第1レールと前記第2レールとの間で、前記ステージを移動させる第1移動機構と、
前記第2レールと前記第2レール上に配置されたステージとを、前記第1レールおよび前記第3レールに対して交差する方向に移動させる第2移動機構と、
前記第3レールと前記第2レールとの間で、前記ステージを移動させる第3移動機構と、
を有する搬送装置。 It is a conveying apparatus of Claim 8, Comprising:
The moving mechanism is
A first moving mechanism for moving the stage between the first rail and the second rail;
A second moving mechanism for moving the second rail and the stage disposed on the second rail in a direction intersecting the first rail and the third rail;
A third moving mechanism for moving the stage between the third rail and the second rail;
Conveying device having
前記ステージ上の対象物に対して処理を行う処理部と、
を備える処理装置。 A conveying device according to any one of claims 1 to 9,
A processing unit for processing an object on the stage;
A processing apparatus comprising:
前記処理部は、前記処理位置に配置された前記ステージ上の対象物を検査する検査部である処理装置。 The processing apparatus according to claim 10, wherein
The processing device is a processing device that is an inspection unit that inspects an object on the stage arranged at the processing position.
a)1つの移動機構により、ある位置から中間位置に前記ステージを移動させる工程と、
b)前記工程a)の後に、前記ステージに、他の移動機構を固定する工程と、
c)前記工程b)の後に、前記ステージから、前記1つの移動機構を切り離す工程と、
d)前記工程c)の後に、前記他の移動機構により、前記中間位置から他の位置へ前記ステージを移動させる工程と、
を有する搬送方法。 A transport method for transporting an object placed on a stage,
a) moving the stage from a certain position to an intermediate position by one moving mechanism;
b) after the step a), fixing another moving mechanism to the stage;
c) after the step b), separating the one moving mechanism from the stage;
d) after the step c), the step of moving the stage from the intermediate position to another position by the other moving mechanism;
Conveying method.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015237083A JP6681182B2 (en) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | Transfer device, processing device, and transfer method |
PCT/JP2016/084615 WO2017094565A1 (en) | 2015-12-04 | 2016-11-22 | Conveyance device, processing device, conveyance method, and processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017100869A true JP2017100869A (en) | 2017-06-08 |
JP6681182B2 JP6681182B2 (en) | 2020-04-15 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6681182B2 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62211209A (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-17 | Tsubakimoto Chain Co | Truck drawgear |
JPH02231304A (en) * | 1989-01-27 | 1990-09-13 | Jr Olof A Hallstrom | Reciprocating conveyor |
JPH03128813A (en) * | 1989-04-07 | 1991-05-31 | Linco Holland Eng Bv | Method and device to carry object along closed track |
JP2004099254A (en) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Honda Motor Co Ltd | Carrying device |
JP2009166936A (en) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Denso Corp | Pallet transfer device |
JP2011189999A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Nittoku Eng Co Ltd | Apparatus and method for transporting pallet |
JP2013505178A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | レイトラム,エル.エル.シー. | Checkpoint system with a container with wheels |
JP2014200887A (en) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 日特エンジニアリング株式会社 | Pallet carrying device, and pallet carrying method |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62211209A (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-17 | Tsubakimoto Chain Co | Truck drawgear |
JPH02231304A (en) * | 1989-01-27 | 1990-09-13 | Jr Olof A Hallstrom | Reciprocating conveyor |
JPH03128813A (en) * | 1989-04-07 | 1991-05-31 | Linco Holland Eng Bv | Method and device to carry object along closed track |
JP2004099254A (en) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Honda Motor Co Ltd | Carrying device |
JP2009166936A (en) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Denso Corp | Pallet transfer device |
JP2013505178A (en) * | 2009-09-22 | 2013-02-14 | レイトラム,エル.エル.シー. | Checkpoint system with a container with wheels |
JP2011189999A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Nittoku Eng Co Ltd | Apparatus and method for transporting pallet |
JP2014200887A (en) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 日特エンジニアリング株式会社 | Pallet carrying device, and pallet carrying method |
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